專(zhuān)利名稱(chēng):?jiǎn)尉О糇詣?dòng)裝卸車(chē)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及單晶棒裝卸技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)。
背景技術(shù):
單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直 拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備。由圖1所示,單晶爐一般由立柱2、上爐筒1、下?tīng)t筒4、爐蓋 3、操作平臺(tái)6、電源柜9、單晶硅底座和混凝土底座等組成。單晶爐隨著投料量的增加,拉制的單晶棒5也越來(lái)越長(zhǎng),于是出現(xiàn)2000mm以上的 單晶棒5,這種長(zhǎng)度的單晶棒5按照常規(guī)的在副室內(nèi)取棒方式不能有效,這樣只有通過(guò)在爐 蓋3下面取出,由于單晶棒的長(zhǎng)度較長(zhǎng),所以需要下降至操作平臺(tái)6下面。目前的取棒方法有以下缺陷一 在取單晶棒5時(shí),拿掉臨時(shí)托架后,單晶棒可以從上爐筒1以600mm/min的 速度下降,此時(shí),如果上爐筒1稍有晃動(dòng),或單晶棒5在下降過(guò)程中碰到物體,那么直徑僅 4-5mm的籽晶可能會(huì)斷裂,引起晶棒墜落,存在著嚴(yán)重的安全隱患(人身安全和產(chǎn)品安全)。二 2000mm以上的晶棒必須要通過(guò)操作平臺(tái)6下面取,因此,需要延長(zhǎng)冷卻時(shí)間, 這樣,操作員可以接觸單晶棒5而不至于燙傷,如果是高溫的晶棒這樣操作無(wú)疑又是增加 難度和不安全的因素,這樣將會(huì)浪費(fèi)很多時(shí)間。三現(xiàn)在這種方式取棒通常需要四個(gè)人以上合作來(lái)完成,尤其在剪斷籽晶以后,必 須上下人員配合,才能把單晶棒5從操作平臺(tái)6上方慢慢傾斜移動(dòng),控制好車(chē)輪方向和單晶 棒5頭部的位置,方可讓晶棒車(chē)第三支點(diǎn)著地,籽晶剪斷處很鋒利的,不注意容易刮傷。四由于在地面上,放置了電源柜,補(bǔ)償柜,還有控制柜,所以操作的空間有限,作 業(yè)人員在狹窄的過(guò)道里作業(yè)和運(yùn)輸很不方便也不安全。五單晶棒運(yùn)送到周轉(zhuǎn)貨架上,需要二人以上從推車(chē)上抬起搬到存放架上,單晶棒 的頭部和尾部都有尖銳的棱角,稍不注意,在搬動(dòng)90公斤以上的高溫晶棒時(shí),易引起人身
安全事故。
實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此,本實(shí)用新型提供了一種單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),以實(shí)現(xiàn)節(jié)約了人工和操作 時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率的目的。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),包括車(chē)架,該車(chē)架上設(shè)有電源,其包括底板和設(shè)置在該底板上的立柱,所述底板的底部 設(shè)有萬(wàn)向輪;位于所述底板上部豎立的晶棒升降架,所述晶棒升降架具體包括晶棒固定架和位 于所述晶棒固定架一側(cè)的晶棒活動(dòng)桿以及若干個(gè)晶棒抱架,所述晶棒抱架由兩個(gè)半架組 成,且其中一個(gè)半架設(shè)置在所述晶棒活動(dòng)桿上,另一個(gè)半架設(shè)置在所述晶棒固定架上,所述晶棒活動(dòng)桿與晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相連;設(shè)置在所述立柱和所述晶棒升降架之間的連接系統(tǒng),該連接系統(tǒng)的一側(cè)設(shè)有滑 輪,所述立柱上設(shè)有與所述滑輪適配的滑槽;伸出桿與所述連接系統(tǒng)相連的主升降機(jī)構(gòu)。優(yōu)選的,在上述單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)中,還包括相互連接的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和減速機(jī),該減 速機(jī)的輸出端連接有齒輪,所述晶棒固定架上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)軸,該轉(zhuǎn)動(dòng)軸上設(shè)有與所述減速機(jī) 輸出端上的齒輪嚙合的齒輪。優(yōu)選的,在上述單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)中,所述晶棒升降架還包括安全托架絲杠,所述安全托架絲杠與絲杠驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相連;與所述安全托架絲杠螺紋連接的安全托架,該安全托架具體包括減震彈簧和設(shè)置 于該減震彈簧頂部的托板,所述托板位于所述晶棒抱架的晶棒抱緊孔的下方。優(yōu)選的,在上述單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)中,所述萬(wàn)向輪上設(shè)有剎車(chē)片,該單晶棒自動(dòng)裝 卸車(chē)的把手通過(guò)閘線(xiàn)與所述剎車(chē)片相連。優(yōu)選的,在上述單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)中,所述主升降機(jī)構(gòu)為液壓缸。優(yōu)選的,在上述單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)中,所述立柱上設(shè)有滑輪的上下行程的行程限 位開(kāi)關(guān)。優(yōu)選的,在上述單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)中,所述晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)上設(shè)有所述晶棒抱 架的鎖緊角度限位開(kāi)關(guān)。優(yōu)選的,在上述單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)中,所述連接系統(tǒng)上設(shè)有限制所述晶棒升降架 翻轉(zhuǎn)90度位置的90度限位開(kāi)關(guān)。優(yōu)選的,在上述單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)中,所述安全托架的上下行程分別設(shè)有行程限 位開(kāi)關(guān),該安全托架上設(shè)有物體反射探測(cè)器,該安全托架底部設(shè)有晶棒架安全限位開(kāi)關(guān)。優(yōu)選的,在上述單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)中,所述絲杠驅(qū)動(dòng)馬達(dá)和晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)均 設(shè)有調(diào)速器;所述電源為直流24v可充電電池組。從上述的技術(shù)方案可以看出,本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置車(chē)架和晶棒升降架,且在晶棒 升降架上設(shè)置晶棒抱架,這樣不但可以自動(dòng)進(jìn)行取棒作業(yè),大大節(jié)約了人工和操作時(shí)間,提 高了生產(chǎn)效率,而且通過(guò)晶棒抱架鎖緊晶棒,保證了下落的安全性。晶棒抱架由兩個(gè)半架組 成,通過(guò)將其中的一個(gè)半架固定在固定不動(dòng)的晶棒固定架,另一個(gè)固定在可通過(guò)晶棒抱架 驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的晶棒活動(dòng)桿上,因此能夠通過(guò)晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)該半架轉(zhuǎn) 動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)抱緊和張開(kāi)的功能。
為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅 是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提 下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)的結(jié)構(gòu)示意圖;[0033]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)的取棒示意圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),以實(shí)現(xiàn)取棒操作時(shí)安全方便快捷,而 且節(jié)約時(shí)間和人工的目的。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行 清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的 實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下 所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖2,圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)的結(jié)構(gòu)示意圖。本實(shí)用新型提供的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),包括車(chē)架、晶棒升降架、連接系統(tǒng)104和 主升降機(jī)構(gòu)。其中,車(chē)架上設(shè)有電氣箱113,該電氣箱113的上部為控制面板112,用于控制 該單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)的動(dòng)作。電氣箱113內(nèi)部具有電源,該電源優(yōu)選為直流電源,更加優(yōu)選 為24v可充電電池組。在控制面板112上可設(shè)有總電源斷路器,并有急停按鈕終止所有動(dòng) 作。控制面板112還可設(shè)有推桿式液壓開(kāi)關(guān),上推為上升動(dòng)作,下拉為下降動(dòng)作,符合人們 的習(xí)慣行為。車(chē)架是該單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)的框架和支撐部件,其包括底板和設(shè)置在該底板上的 立柱110,所述底板的底部設(shè)有萬(wàn)向輪114,萬(wàn)向輪114是本實(shí)用新型單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)的 行走輪。晶棒升降架位于所述底板上部且豎立設(shè)置,所述晶棒升降架具體包括棒固定架 103和位于所述晶棒固定架103—側(cè)的晶棒活動(dòng)桿(圖中未示出)以及若干個(gè)晶棒抱架 101,所述晶棒抱架101由兩個(gè)半架組成,且其中一個(gè)半架設(shè)置在所述晶棒活動(dòng)桿上,另一 個(gè)半架設(shè)置在所述晶棒固定架103上,所述晶棒活動(dòng)桿與晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)115相連。通 過(guò)將其中的一個(gè)半架固定在固定不動(dòng)的晶棒固定架103,另一個(gè)固定在可通過(guò)晶棒抱架驅(qū) 動(dòng)馬達(dá)115驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的晶棒活動(dòng)桿上,因此能夠通過(guò)晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)107的驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)一 個(gè)半架轉(zhuǎn)動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)抱緊和張開(kāi)的功能。連接系統(tǒng)設(shè)置在所述立柱110和所述晶棒升降架之間,該連接系統(tǒng)的一側(cè)設(shè)有滑 輪(圖中未示出),所述立柱110上設(shè)有與所述滑輪適配的滑槽(圖中未示出),滑輪可帶 動(dòng)連接系統(tǒng)沿立柱110上的滑槽上下移動(dòng)。又由于該連接系統(tǒng)與晶棒升降架相連,所以在 連接系統(tǒng)上下移動(dòng)時(shí),晶棒升降架跟隨連接系統(tǒng)上下移動(dòng)。晶棒升降架的上下移動(dòng)的動(dòng)力 來(lái)源由主升降機(jī)構(gòu)(圖中未示出)實(shí)現(xiàn),具體的可將主升降機(jī)構(gòu)的伸出桿與連接系統(tǒng)相連, 可將主升降機(jī)構(gòu)設(shè)置在車(chē)架的底板上,通過(guò)其伸出桿的伸出與縮回帶動(dòng)晶棒升降架上下移 動(dòng)。主升降機(jī)構(gòu)可以為液壓缸或氣缸,優(yōu)選的為液壓缸。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置車(chē)架和晶棒升降架,且在晶棒升降架上設(shè)置晶棒抱架,這樣 不但可以自動(dòng)進(jìn)行取棒作業(yè),大大節(jié)約了人工和操作時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率,而且通過(guò)晶棒 抱架鎖緊晶棒,保證了下落的安全性。晶棒抱架由兩個(gè)半架組成,通過(guò)將其中的一個(gè)半架固 定在固定不動(dòng)的晶棒固定架,另一個(gè)固定在可通過(guò)晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的晶棒活動(dòng) 桿上,因此能夠通過(guò)晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)的驅(qū)動(dòng)帶動(dòng)該半架轉(zhuǎn)動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)抱緊和張開(kāi)的功 能。[0042]進(jìn)一步為了優(yōu)化上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型提供的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)還可以包括 安全托架絲杠102和安全托架,所述安全托架絲杠102與絲杠驅(qū)動(dòng)馬達(dá)106相連;安全托 架與安全托架絲杠102螺紋連接,該安全托架具體包括減震彈簧108和設(shè)置于該減震彈簧 108頂部的托板107,所述托板107位于所述晶棒抱架101的晶棒抱緊孔的下方。通過(guò)絲杠 驅(qū)動(dòng)馬達(dá)106的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)安全托架絲杠102旋轉(zhuǎn),由于安全托架絲杠102和安全托架螺紋 連接,從而帶動(dòng)安全托架沿安全托架絲杠102的軸向上下移動(dòng)。晶棒固定架103、晶棒活動(dòng)桿與安全托架絲杠102同為晶棒升降架的一部分,三者 的相對(duì)位置是不變的,因此主升降機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)時(shí),晶棒活動(dòng)桿、晶棒固定架103和安全托架絲 杠102跟隨上下移動(dòng)。晶棒固定架103、晶棒活動(dòng)桿和安全托架絲杠102的連接可通過(guò)在三 者的底部設(shè)置一個(gè)托板,托板直接與晶棒固定架109相連,晶棒活動(dòng)桿和安全托架絲杠102 與該托板通過(guò)軸承相連,以保證晶棒活動(dòng)桿和安全托架絲杠102可轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型通過(guò) 設(shè)置主升降機(jī)構(gòu)和安全托架絲杠102可實(shí)現(xiàn)晶棒升降架的二級(jí)升降功能,最大限度的提高 晶棒升降架升降距離。安全托架由于在托板107的底部設(shè)置有減震彈簧108,所以其具有緩沖作用,將其 置于所述晶棒抱架101的晶棒抱緊孔的下方,可使得由晶棒抱架101的晶棒抱緊孔下降的 晶棒落在托板107上。進(jìn)一步為了優(yōu)化上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型提供的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)還可以包括 相互連接的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)和減速機(jī),該減速機(jī)的輸出端連接有齒輪,所述晶棒固定架103上設(shè) 有轉(zhuǎn)動(dòng)軸,該轉(zhuǎn)動(dòng)軸上設(shè)有與所述減速機(jī)輸出端上的齒輪嚙合的齒輪。旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的輸出軸與減速機(jī)的輸入軸相連,減速機(jī)的輸出軸通過(guò)齒輪與設(shè)置在晶 棒固定架103上的轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連。通過(guò)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)的轉(zhuǎn)動(dòng),通過(guò)齒輪傳動(dòng),使得晶棒固定架103 繞減速機(jī)的輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng),從而帶動(dòng)晶棒升降架繞減速機(jī)的輸出軸轉(zhuǎn)動(dòng),可將減速機(jī)的輸出 軸設(shè)計(jì)為和立柱110平行,所以可使得晶棒升降架相對(duì)于立柱110轉(zhuǎn)動(dòng)。萬(wàn)向輪114上設(shè)有剎車(chē)片,該單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)的把手111通過(guò)閘線(xiàn)與所述剎車(chē) 片相連。以使的萬(wàn)向輪114具有剎車(chē)功能,萬(wàn)向輪114具體為四個(gè),分別位于底板的四個(gè)角 上。立柱110上設(shè)有滑輪的上下行程的行程限位開(kāi)關(guān);晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)115上設(shè)有 所述晶棒抱架101的鎖緊角度限位開(kāi)關(guān);連接系統(tǒng)104上設(shè)有限制所述晶棒升降架翻轉(zhuǎn)90 度位置的90度限位開(kāi)關(guān);安全托架的上下行程分別設(shè)有行程限位開(kāi)關(guān),該安全托架上設(shè)有 物體反射探測(cè)器105,該安全托架底部設(shè)有晶棒架安全限位開(kāi)關(guān)。在相應(yīng)位置設(shè)置限位開(kāi) 關(guān),能夠控制各自的運(yùn)動(dòng)行程,避免超出該行程后造成的損害。絲杠驅(qū)動(dòng)馬達(dá)106設(shè)有調(diào)速 器,速度可調(diào),晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)115設(shè)有調(diào)速器,速度可調(diào)。請(qǐng)參閱圖3,圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)的取棒示意圖。單晶棒5在2000mm以上,通常采取在爐蓋3下方取出,而爐蓋法蘭至操作平臺(tái)6 絕大部分在2000mm以下,單晶棒5自身的長(zhǎng)度加籽晶長(zhǎng)度使得沒(méi)辦法完成取棒,因此只能 在操作平臺(tái)6上開(kāi)孔、打開(kāi)地板或借助單晶爐后側(cè)蓋板,晶棒下降到操作平臺(tái)6下面,方能 完成取棒作業(yè)。移動(dòng)本實(shí)用新型提供的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)10至單晶爐左側(cè)預(yù)定的取棒位置,打 開(kāi)操作平臺(tái)6的蓋板,首先通過(guò)主升降機(jī)構(gòu)將晶棒升降架下降至下限位置(該下限位置通過(guò)行程限位開(kāi)關(guān)的放置位置限定)。如果單晶棒5的長(zhǎng)度超過(guò)2000mm,可通過(guò)副升降機(jī)構(gòu) 再行下降晶棒升降架,會(huì)取得更大的有效長(zhǎng)度。打開(kāi)晶棒抱架,一般大于晶棒直徑的1. 2-1. 5倍,打開(kāi)角度由鎖緊角度限位開(kāi)關(guān) 設(shè)定,目的使晶棒下降過(guò)程中,不讓晶棒有阻擋。將控制面板112上的按鈕切換至自動(dòng)位 置,將安全托架上升至最高位置,并目測(cè)單晶棒5與安全托架上的托板相對(duì)應(yīng),鎖住萬(wàn)向輪 上的剎車(chē),以防單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)10滑動(dòng)移位。下降單晶棒5,安全托架上有傳感器,探測(cè)到晶棒下降后會(huì)跟隨一起下降,到達(dá)下 限位報(bào)警,提示單晶棒5很快降落到位,繼續(xù)下降晶棒至托板上,剪斷籽晶后,鎖緊晶棒抱 架以穩(wěn)固單晶棒。解除萬(wàn)向輪的剎車(chē),移動(dòng)單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)10至安全位置,可將晶棒架90°翻 轉(zhuǎn),由垂直狀至水平狀,利用單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)10的升降功能,可將晶棒放置在存放架上, 不需要人工接觸高溫和搬運(yùn),實(shí)現(xiàn)機(jī)械化作業(yè)。把單晶棒5運(yùn)送到存放架前,打開(kāi)晶棒抱 架,可以安全的把單晶棒放置在晶棒存放架,至此,完成取棒和存放的作業(yè)。本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他 實(shí)施例的不同之處,各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新 型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的,本文中所定 義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下,在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因 此,本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例,而是要符合與本文所公開(kāi)的原理 和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),其特征在于,包括車(chē)架,該車(chē)架上設(shè)有電源,其包括底板和設(shè)置在該底板上的立柱(110),所述底板的底 部設(shè)有萬(wàn)向輪(114);位于所述底板上部豎立的晶棒升降架,所述晶棒升降架具體包括晶棒固定架(103)和 位于所述晶棒固定架(10 —側(cè)的晶棒活動(dòng)桿以及若干個(gè)晶棒抱架(101),所述晶棒抱架 (101)由兩個(gè)半架組成,且其中一個(gè)半架設(shè)置在所述晶棒活動(dòng)桿上,另一個(gè)半架設(shè)置在所述 晶棒固定架(10 上,所述晶棒活動(dòng)桿與晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(115)相連;設(shè)置在所述立柱(110)和所述晶棒升降架之間的連接系統(tǒng)(104),該連接系統(tǒng)(104)的 一側(cè)設(shè)有滑輪,所述立柱(110)上設(shè)有與所述滑輪適配的滑槽;伸出桿與所述連接系統(tǒng)(104)相連的主升降機(jī)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),其特征在于,還包括相互連接的旋轉(zhuǎn)馬達(dá) 和減速機(jī),該減速機(jī)的輸出端連接有齒輪,所述晶棒固定架(10 上設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)軸,該轉(zhuǎn)動(dòng)軸 上設(shè)有與所述減速機(jī)輸出端上的齒輪嚙合的齒輪。
3.如權(quán)利要求1所述的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),其特征在于,所述晶棒升降架還包括安全托架絲杠(102),所述安全托架絲杠(10 與絲杠驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(106)相連;與所述安全托架絲杠(102)螺紋連接的安全托架,該安全托架具體包括減震彈簧(108)和設(shè)置于該減震彈簧(108)頂部的托板(107),所述托板(107)位于所述晶棒抱架 (101)的晶棒抱緊孔的下方。
4.如權(quán)利要求1所述的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),其特征在于,所述萬(wàn)向輪(114)上設(shè)有剎車(chē) 片,該單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē)的把手(102)通過(guò)閘線(xiàn)與所述剎車(chē)片相連。
5.如權(quán)利要求1所述的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),其特征在于,所述主升降機(jī)構(gòu)為液壓缸。
6.如權(quán)利要求1所述的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),其特征在于,所述立柱(110)上設(shè)有滑輪的 上下行程的行程限位開(kāi)關(guān)。
7.如權(quán)利要求1所述的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),其特征在于,所述晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(115) 上設(shè)有所述晶棒抱架(101)的鎖緊角度限位開(kāi)關(guān)。
8.如權(quán)利要求1所述的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),其特征在于,所述連接系統(tǒng)(104)上設(shè)有限 制所述晶棒升降架翻轉(zhuǎn)90度位置的90度限位開(kāi)關(guān)。
9.如權(quán)利要求2所述的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),其特征在于,所述安全托架的上下行程分 別設(shè)有行程限位開(kāi)關(guān),該安全托架上設(shè)有物體反射探測(cè)器(105),該安全托架底部設(shè)有晶棒 架安全限位開(kāi)關(guān)。
10.如權(quán)利要求3所述的單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),其特征在于,所述絲杠驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(106)和 晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)(11 均設(shè)有調(diào)速器;所述電源為直流24V可充電電池組。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶棒自動(dòng)裝卸車(chē),包括車(chē)架其上設(shè)有電源,其包括底板和立柱,底板的底部設(shè)有萬(wàn)向輪;位于底板上部豎立的晶棒升降架,晶棒升降架具體包括晶棒固定架和位于晶棒固定架一側(cè)的晶棒活動(dòng)桿以及若干個(gè)晶棒抱架,晶棒抱架由兩個(gè)半架組成,且其中一個(gè)半架設(shè)置在晶棒活動(dòng)桿上,另一個(gè)半架設(shè)置在晶棒固定架上,晶棒活動(dòng)桿與晶棒抱架驅(qū)動(dòng)馬達(dá)相連;設(shè)置在立柱和晶棒升降架之間的連接系統(tǒng),該連接系統(tǒng)的一側(cè)設(shè)有滑輪,立柱上設(shè)有與滑輪適配的滑槽;伸出桿與連接系統(tǒng)相連的主升降機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型不但可以自動(dòng)進(jìn)行取棒作業(yè),大大節(jié)約了人工和操作時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率,而且通過(guò)晶棒抱架鎖緊晶棒,保證了下落的安全性。
文檔編號(hào)B66F9/06GK201901577SQ20102061042
公開(kāi)日2011年7月20日 申請(qǐng)日期2010年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月16日
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