專利名稱：同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于多晶硅制備技術領域，涉及一種同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器。
背景技術：
隨著太陽能行業(yè)的蓬勃發(fā)展，多晶硅市場得以迅猛發(fā)展，發(fā)展規(guī)模越來越大，硅芯爐是多晶硅生產鏈條上的一個重要環(huán)節(jié)，需求也越來越大，隨著多晶硅生產規(guī)模的擴大，硅芯爐數量增長很快，需要投入大量的人力、物力及能源消耗，占用面積越來越大，而能源消耗也已成為多晶硅生產廠家的考量指標之一，因此，從提高設備效率，節(jié)能降耗，節(jié)約成本方面考慮，很有必要研發(fā)產能更優(yōu)的硅芯制備設備，實現一次拉制更多根硅芯。
發(fā)明內容本實用新型的目的是提供一種同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器，實現了一次同時拉制五根硅芯。本實用新型所采用的技術方案是，一種同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器，包括聚流板，聚流板的圓周纏繞有銅管，銅管的進出口端分別與連接座連接；聚流板的軸心開有化料孔，聚流板上沿化料孔圓周外側均勻設置有五個拉制孔，每個拉制孔內圓壁靠近化料孔的一邊開有凹槽形的小切孔，相鄰拉制孔之間設置有一分流槽，每個分流槽背向化料孔的外端頭各設置有一個擴孔，聚流板的上端面上、與連接座相對應的一個分流槽的端頭與聚流板的邊緣間設置有V形槽，該分流槽通過V形槽與聚流板的邊緣接通。本實用新型的有益效果是，一次可同時拉制五根硅芯，節(jié)省人力、物力及能源，顯著提高設備效率，大大降低多晶硅生產過程的成本。

圖1是本實用新型高頻感應加熱器的結構示意圖圖2是圖1的俯視圖；圖3是本實用新型高頻感應加熱器工作中的瞬間電流分布以及磁力線分布示意圖。圖中，1.連接座，2.銅管，3.聚流板，4.接地板，5.化料孔，6.拉制孔，7.小切孔， 8.分流槽，9.擴孔，10. V形槽，11.大錐面，12.臺階面。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施方式
對本實用新型進行詳細說明。如圖1、圖2，本實用新型裝置的結構是，包括聚流板3，聚流板3上表面沿軸心設置為凹形的大錐面11，聚流板3下表面沿軸心設置有兩級臺階面12 ；聚流板3上還設置有接地板4 ；聚流板3的圓周密合纏繞有銅管2，銅管2的進出口端分別與兩塊連接座1連接，連接座1由兩塊獨立的半圓板組成，每個半圓板上各設置有一個銅管2接口(進口或出口)和兩個安裝孔；聚流板3的軸心開有化料孔5，化料孔5的上端口設置為倒角，聚流板3上沿化料孔5圓周外側均勻設置有五個拉制孔6，每個拉制孔6上端口設置為大倒角，每個拉制孔6內圓壁靠近化料孔5的一邊開有凹槽形的小切孔7，相鄰拉制孔6之間設置有一分流槽8，共有五個分流槽8，每個分流槽8背向化料孔5的外端頭各設置有一個擴孔9，聚流板 3上端面正對連接座1的一個分流槽8通過V形槽10與聚流板3的圓周邊緣接通，相當于從化料孔5中間貫通到聚流板3的圓周邊緣兩極間。聚流板3是加熱多晶硅原料棒用，連接座1、銅管2、聚流板3以及接地板4通過銀焊或銅焊焊接成一體。銅管2的作用是通入循環(huán)的冷卻水，對聚流板3進行冷卻；孔接地板 4為高頻感應加熱器接地用。如圖3所示，本實用新型裝置的工作原理是當交變的高頻電流通過高頻感應加熱器的兩極即連接座1之一進入銅管2，通過銅管2導通聚流板3，于是在聚流板3上形成如圖3所示的瞬間電流分布，交變電流產生交變磁場，交變磁場產生熱并形成熱場，從而使得感應加熱器下方的多晶硅原料棒被加熱熔化，控制孔及槽間參數匹配合適，使得拉制孔6 下產生的五個獨立的熔區(qū)是一致的，從而保證拉制出的五根硅芯直徑的一致性。五芯高頻感應加熱器，中間一個孔為化料用孔，周圍五個孔為拉制硅芯用孔，多晶硅原料棒熔化后在周圍五孔下形成各自小熔區(qū)，五個獨立小熔區(qū)就可以同時拉制五根硅芯。本實用新型裝置實現了一次同時拉制五根硅芯，同等時間內硅芯爐的產能大幅提高；同等規(guī)模的多晶硅生產產能大幅提升，硅芯爐數量大大減少，提高了生產效率，節(jié)省人力、物力及能源，降低了多晶硅生產成本。
權利要求1.一種同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器，其特征在于包括聚流板(3)，聚流板 (3)的圓周纏繞有銅管(2)，銅管(2)的進出口端分別與連接座(1)連接；聚流板(3)的軸心開有化料孔(5 )，聚流板(3 )上沿化料孔(5 )圓周外側均勻設置有五個拉制孔(6 )，每個拉制孔(6)內圓壁靠近化料孔(5)的一邊開有凹槽形的小切孔(7)，相鄰拉制孔(6)之間設置有一分流槽(8)，每個分流槽(8)背向化料孔(5)的外端頭各設置有一個擴孔(9)，聚流板(3) 的上端面上、與連接座(1)相對應的一個分流槽(8)的端頭與聚流板(3)的邊緣間設置有V 形槽(10 )，該分流槽(8 )通過V形槽(10 )與聚流板(3 )的邊緣接通。
2.根據權利要求1所述的同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器，其特征在于所述的聚流板(3)上表面沿軸心設置為凹形的大錐面(11)，聚流板(3)下表面沿軸心設置有兩級臺階面(12)。
3.根據權利要求1所述的同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器，其特征在于所述的聚流板(3 )上還設置有接地板(4 )。
4.根據權利要求1所述的同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器，其特征在于所述的連接座(1)由兩塊獨立的半圓板組成，每個半圓板上各設置有一個銅管(2)進口或出口的接口及安裝孔。
5.根據權利要求1所述的同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器，其特征在于所述的化料孔(5)的上端口設置為倒角。
6.根據權利要求1所述的同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器，其特征在于所述的每個拉制孔(6)上端口設置為大倒角。
專利摘要本實用新型公開了一種同時拉制五根硅芯的高頻感應加熱器，包括聚流板，聚流板的圓周纏繞有銅管，銅管的進出口端分別與連接座連接；聚流板的軸心開有化料孔，聚流板上沿化料孔圓周外側均勻設置有五個拉制孔，每個拉制孔內圓壁靠近化料孔的一邊開有凹槽形的小切孔，相鄰拉制孔之間設置有一分流槽，每個分流槽背向化料孔的外端頭各設置有一個擴孔，聚流板的上端面上、與連接座相對應的一個分流槽的端頭與聚流板的邊緣間設置有V形槽，該分流槽通過V形槽與聚流板的邊緣接通。本實用新型的高頻感應加熱器，實現了一次可同時拉制五根硅芯，提高了效率，明顯節(jié)省人力、物力及能源。
文檔編號C30B15/00GK201952521SQ20102066123
公開日2011年8月31日 申請日期2010年12月15日 優(yōu)先權日2010年12月15日
發(fā)明者原洛渭, 吳斌, 宋艷玲, 王一強, 王建春, 程濤, 董淑梅 申請人:西安理工晶體科技有限公司