專利名稱：有機電致發(fā)光顯示面板、具備該有機電致發(fā)光顯示面板的有機電致發(fā)光顯示裝置以及有 ...的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機電致發(fā)光(EL)顯示面板、具有該有機電致發(fā)光顯示面板的有機電致發(fā)光顯示裝置以及有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法。
背景技術(shù)：
近年來，利用了有機材料的場致發(fā)光現(xiàn)象的有機電致發(fā)光顯示面板(以下，簡稱為顯示面板)的研究/開發(fā)正在進展。在該顯示面板中，各像素部具有陽極電極、陰極電極、 和插入在所述陽極電極和陰極電極之間的有機發(fā)光層。并且，在顯示面板的驅(qū)動中，從陽極電極注入空穴，從陰極電極注入電子，在有機發(fā)光層內(nèi)空穴與電子再結(jié)合(復(fù)合)，由此進行發(fā)光。作為上述有機發(fā)光層的制造方法的例子，有蒸鍍法和印刷法。特別是，在通過作為印刷法之一的噴墨法形成發(fā)光層以及其他層的情況下，為了防止由于墨滴下而與相鄰的其他顏色的材料混合(混色)，需要將像素與相鄰的其他像素之間通過由絕緣材料等構(gòu)成的隔壁(提岸(bank))劃分(區(qū)劃)。形成該隔壁的方式存在如下方式并列設(shè)置多個線狀隔壁，將有機發(fā)光層呈條狀劃分的方式(線提岸方式)；和通過以井字狀(格子狀)形成的隔壁圍繞各像素的周圍的方式(像素提岸方式)。在線提岸方式的情況下，當(dāng)通過噴墨等印刷方式涂敷形成有機發(fā)光層的材料時， 形成有機發(fā)光層的材料在多個像素部上移動，因此能夠在多個像素部中使有機發(fā)光層的膜厚均一。但是，在線提岸方式的情況下，為了劃分以線狀配置的多個像素部的各自，需要將用于控制在像素部的端部的發(fā)光的像素規(guī)定層這樣的別的層垂直于線狀的隔壁而配置。因此，存在如下問題為了形成該像素規(guī)定層這樣的別的層而增加一個形成有機電致發(fā)光元件的工藝，使得成本增加。另一方面，在像素提岸方式的情況下，不需要所述像素規(guī)定層這樣的別的層，解決了成本上的問題。但是，在通過噴墨等印刷方式涂敷形成有機發(fā)光層的材料的情況下，因為多個像素部的每一個分別受限制，所以形成有機發(fā)光層的材料不會遍及多個像素部而移動，難以在多個像素部中使有機發(fā)光層的膜厚均一。作為采用了上述線提岸方式的一例，有專利文獻1。所述專利文獻1中，在沿線狀的隔壁排列的多個像素部之間，形成規(guī)定在像素部間的發(fā)光的像素規(guī)定層這樣的由絕緣材料構(gòu)成的層。上述像素規(guī)定層也可以由隔壁材料形成。將該由隔壁材料構(gòu)成的像素規(guī)定層稱為“輔助隔壁”。像素規(guī)定層形成得比線狀的隔壁低，以墨能夠在線狀的隔壁的延伸方向上流動的方式形成。由此，多個像素部的墨量被平均化。專利文獻1 日本特開2009-200049號公報
然而，在上述現(xiàn)有技術(shù)中產(chǎn)生以下這樣的問題。S卩，在上述專利文獻1中記載了如下方法在隔壁材料曝光時使用半色調(diào)掩模等， 使第一隔壁和第二隔壁的曝光量不同，由此同時形成高度不同的第一隔壁和第二隔壁。但是，在現(xiàn)實中難以制作適于使用半色調(diào)掩模等形成隔壁的隔壁材料，上述方法存在缺乏實用性這樣的問題。這是因為隔壁材料需要具備對隔壁形成時的曝光的感光性、 對燒成(烘焙(bake))處理等的耐受性、撥水性(也包括氟處理后的撥水性)、絕緣性等各種特性，除此以外還要使其適合使用了半色調(diào)掩模等的隔壁的形成，這是很困難的。因此， 尋求不受縛于隔壁材料的限制、能夠同時形成高度不同的第一隔壁和第二隔壁的結(jié)構(gòu)的顯示面板等。本發(fā)明是為了實現(xiàn)解決上述課題而完成的，其目的在于，提供一種在形成上述線提岸方式的隔壁的情況下，隔壁材料的限制少、能夠由相同的工序同時形成高度不同的兩種隔壁的結(jié)構(gòu)的有機電致發(fā)光顯示面板、具備該有機電致發(fā)光顯示面板的有機電致發(fā)光顯示裝置以及它們的制造方法。為了解決上述課題，本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板，具備平坦化膜，其使薄膜晶體管層的上方平坦化；一組隔壁，其形成在所述平坦化膜的上方，規(guī)定呈列狀配置的多個像素部的各自的側(cè)面；以及有機發(fā)光層，其形成在存在于所述一組隔壁之間的所述多個像素部；所述平坦化膜具有凹部，所述凹部沿與所述一組隔壁交叉的方向橫穿成為所述多個像素部的各自的邊界的區(qū)域而形成；以及預(yù)定的隔壁，所述預(yù)定的隔壁由與所述一組隔壁相同的材料構(gòu)成，與所述一組隔壁連結(jié)，在所述平坦化膜的凹部的上方跟隨其內(nèi)部形狀而形成，比所述一組隔壁低。在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，在平坦化膜上形成凹部，所述凹部沿與一組隔壁(以下，稱為一組第一隔壁)交叉的方向橫穿成為多個像素部的各自的邊界的區(qū)域而形成。在該凹部的上方形成預(yù)定的隔壁(以下，稱為第二隔壁)，因此第二隔壁為跟隨凹部的內(nèi)部形狀的形狀，能夠使得第二隔壁的高度比第一隔壁低。由此，能夠通過凹部將第二隔壁設(shè)得低。例如，即使第一隔壁和第二隔壁的曝光量相同，也能夠同時形成第一隔壁和第二隔壁。其結(jié)果，能夠從隔壁材料所要求的各種特性中除去適合于使用半色調(diào)掩模形成這樣的特性，因此能夠擴大隔壁材料的選擇項。即，本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板，在線提岸方式中，能夠不受隔壁材料的限制，通過實現(xiàn)性高的方法，以相同的工序同時形成高度不同的兩種隔壁。與此同時，即使在采用了線提岸方式的情況下，所述第二隔壁分別劃分由所述一組隔壁共同規(guī)定限制的多個像素部，實現(xiàn)與像素規(guī)定層相同的功能。其結(jié)果，即使在采用線提岸方式的情況下，也可以不需要所述像素規(guī)定層。


圖1是表示實施方式的有機電致發(fā)光顯示面板1的概略結(jié)構(gòu)的框圖。圖2是表示圖像顯示部10中的像素部100的A-A，示意剖面圖。圖3是表示圖像顯示部10中的像素部100的B-B，示意剖面圖。圖4是表示圖像顯示部10中的提岸111、121的構(gòu)造的示意俯視圖以及示意剖面圖。
圖5是表示形成于平坦化膜的凹部123的示意俯視圖。圖6是表示沒有形成第二提岸121的圖像顯示部130的示意剖面圖。圖7是表示圖像顯示部10的制造方法中的平坦化膜形成工序的示意剖面圖。圖8是表示圖像顯示部10的制造方法中的陽極電極形成工序的示意剖面圖。圖9是表示圖像顯示部10的制造方法中的提岸形成工序的示意剖面圖。圖10是表示圖像顯示部10的制造方法中的有機發(fā)光層形成工序的示意剖面圖。圖11是表示圖像顯示部10的制造方法中的平坦化膜形成工序和陽極電極形成工序的示意剖面圖。圖12是表示圖像顯示部10的制造方法中的提岸形成工序和有機發(fā)光層形成工序的示意剖面圖。圖13是詳細表示圖像顯示部10的制造方法中的提岸形成工序的一部分的示意剖面圖。圖14是表示變形例1的圖像顯示部10的提岸111、121的構(gòu)造的示意剖面圖。圖15是表示變形例1的圖像顯示部10的提岸111、121的構(gòu)造的示意剖面圖。圖16是表示變形例2的圖像顯示部10的提岸111、121的構(gòu)造的示意剖面圖。圖17是表示變形例3的圖像顯示部10的像素部100的構(gòu)造的示意剖面圖。圖18是表示變形例4的圖像顯示部10的像素部100的構(gòu)造的示意剖面圖。圖19是表示變形例5的圖像顯示部10的像素部100的構(gòu)造的示意剖面圖。圖20是表示包括有機電致發(fā)光顯示面板1的有機電致發(fā)光顯示裝置500的外觀立體圖。圖21是示意性表示有機電致發(fā)光顯示裝置500的主要部分結(jié)構(gòu)的框圖。標號說明1有機電致發(fā)光顯示面板10,200圖像顯示部100像素部IOOa像素區(qū)域101 基板102 TFT 層103平坦化膜103a 平坦面111 第一提岸112陽極電極112a,b電極端部112c 接觸插頭(contact plug)112d 彎曲部112e開口邊緣部113有機發(fā)光層114陰極電極121 第二提岸
121a 突出部121b 傾斜面122 凹部123箱形部125接觸孔127 凹部129有機發(fā)光材料140多色調(diào)掩模172 墨300有機電致發(fā)光顯示裝置
具體實施例方式(本發(fā)明的一種方式的概要)本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板，具備平坦化膜，使薄膜晶體管層的上方平坦化；一組隔壁，其形成在所述平坦化膜的上方，規(guī)定呈列狀配置的多個像素部的各自的側(cè)面；以及有機發(fā)光層，其形成在存在于所述一組隔壁之間的所述多個像素部；所述平坦化膜具有凹部，所述凹部沿與所述一組隔壁交叉的方向橫穿成為所述多個像素部的各自的邊界的區(qū)域而形成；以及預(yù)定的隔壁，所述預(yù)定的隔壁由與所述一組隔壁相同的材料構(gòu)成，與所述一組隔壁連結(jié)，在所述平坦化膜的凹部的上方跟隨其內(nèi)部形狀而形成，比所述一組隔壁低。在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，在平坦化膜上形成凹部，所述凹部沿與一組隔壁(以下，稱為一組第一隔壁)交叉的方向橫穿成為多個像素部的各自的邊界的區(qū)域而形成。在該凹部的上方形成預(yù)定的隔壁(以下，稱為第二隔壁)，從而第二隔壁為跟隨凹部的內(nèi)部形狀的形狀，能夠使得第二隔壁的高度比第一隔壁低。由此，能夠通過凹部將第二隔壁設(shè)得低。例如，即使第一隔壁和第二隔壁的曝光量相同，也能夠同時形成第一隔壁和第二隔壁。其結(jié)果，能夠從隔壁材料所要求的各種特性中除去適合于使用半色調(diào)掩模形成這樣的特性，因此能夠擴大隔壁材料的選擇項。即，本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板，在線提岸方式中，能夠不受隔壁材料的限制，通過實現(xiàn)性高的方法，以相同的工序同時形成高度不同的兩種隔壁。與此同時，即使在采用了線提岸方式的情況下，所述第二隔壁分別劃分由所述一組隔壁共同規(guī)定限制的多個像素部，實現(xiàn)與像素規(guī)定層相同的功能。其結(jié)果，即使在采用了線提岸方式的情況下，也能夠不需要所述像素規(guī)定層。而且，如上所述本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板采用線提岸方式，第二隔壁的高度設(shè)得比第一隔壁低。因此，在形成有機發(fā)光層時，通過噴墨法等印刷法涂敷的含有有機發(fā)光材料的墨能夠在一組第一隔壁間流動，在多個像素部中有機發(fā)光層的膜厚變得均一。凹部可以在平坦化膜的上面(有機發(fā)光層側(cè)的面)側(cè)開口而在下面(驅(qū)動配線層側(cè)的面)側(cè)不開口，也可以在平坦化膜的上面?zhèn)群拖旅鎮(zhèn)冗@兩側(cè)都開口。在凹部沒有在下面?zhèn)乳_口的情況下，在與凹部不同的區(qū)域中形成接觸孔，但是可以例如通過使用了多色調(diào)掩模的曝光處理，容易地同時形成接觸孔、各自具有不同高度的凹部和平坦部。此外，凹部在平坦化膜的上面?zhèn)群拖旅鎮(zhèn)冗@兩側(cè)都開口的情況下，例如可以在凹部設(shè)置臺階，在凹部的下部形成接觸孔狀的孔。并且，可以例如如上所述使用多色調(diào)掩模， 容易地同時形成具有臺階的凹部和平坦部。平坦化膜可以不像隔壁材料那樣具有多種功能，因此存在適于半色調(diào)掩模等多色調(diào)掩模的感光性材料。即，本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板，成為能夠不增加制造工藝地形成彼此高度不同的兩種隔壁的構(gòu)造。凹部在平坦化膜的上面?zhèn)群拖旅鎮(zhèn)冗@兩側(cè)都開口的情況下，如后所述，能夠?qū)⑾袼仉姌O層配置在凹部內(nèi)，通過下面?zhèn)鹊拈_口電連接像素電極層和驅(qū)動電極層。在該方式中， 可以認為凹部兼具作為接觸孔的功能。在該情況下，不必將凹部和接觸孔形成在不同區(qū)域， 能夠使像素部的面積更大。第二隔壁不需要設(shè)得所有部分都比第一隔壁低。為了確保墨的流動性，例如優(yōu)選， 在與一組第一隔壁正交的方向上，比第一隔壁低的部分的長度為一組第一隔壁間的距離的 50%以上，更優(yōu)選為70%以上。凹部在平坦化膜的上面?zhèn)群拖旅鎮(zhèn)冗@兩側(cè)都開口的情況下，因為在下面?zhèn)鹊拈_口的上方不存在平坦化膜，所以能夠?qū)⑾旅鎮(zhèn)鹊拈_口的上方的區(qū)域稱為“除去了平坦化膜的區(qū)域”。此外，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，形成在所述平坦化膜的所述凹部的底面比所述一組隔壁的底面低。根據(jù)本方式，即使在一組第一隔壁的底面例如比像素部下方的平坦部低的情況下，也能夠?qū)⒌诙舯诘母叨仍O(shè)得比第一隔壁的高度低。其結(jié)果，能夠由線提岸形成類似像素提岸。即，既允許在一組第一隔壁滴下的墨的流動，又能夠使第二隔壁作為像素規(guī)定層發(fā)揮功能。凹部的底面，優(yōu)選其俯視觀察至少從所述一組隔壁的一方的側(cè)面下端位置到另一方的側(cè)面下端位置連續(xù)的區(qū)域中的高度比一組第一隔壁的底面低。所謂俯視觀察可以設(shè)為例如從平坦化膜等各層層疊的方向的上方眺望下方的觀察點。此外，在空穴注入輸送層等插入在第一隔壁的下方的情況下，凹部的底面被設(shè)得比空穴注入輸送層等的底面低。而且， 在凹部形成了臺階的情況下，例如可以將最上級的臺階面設(shè)為底面。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，在所述平坦化膜與所述有機發(fā)光層之間，與所述多個像素部的各自對應(yīng)地夾有像素電極層，所述像素電極層的端部的一部分被配置在形成于所述平坦化膜的凹部，所述預(yù)定的隔壁覆蓋了配置在形成于所述平坦化膜的凹部的所述像素電極層的端部的一部分。根據(jù)本發(fā)明，由第二隔壁覆蓋像素電極層的端部的一部分，由此能夠防止電場集中在上述端部而產(chǎn)生亮度不均。例如在像素電極層的平面形狀為矩形的情況下，可以將像素電極層的端部的一部分設(shè)為與該矩形的四邊中的、與第一隔壁交叉的兩邊中的至少一邊相當(dāng)?shù)牟糠?。即，可以將像素電極層的端部的一部分設(shè)為在第一隔壁的延伸方向上像素電極層的兩個端部中的至少一方的端部。對上述亮度不均的產(chǎn)生進行說明。在使有機發(fā)光層發(fā)光時向像素電極層施加電壓，有時存在電場集中在像素電極層的端部的一部分、在有機發(fā)光層中局部的電流流動的情況。在有機發(fā)光層中局部的電流流動的情況下，局部地亮度變高，會產(chǎn)生亮度不均。于是， 在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，通過由第二隔壁覆蓋像素電極層的端部的一部分，從而防止電場集中在上述端部的一部分而產(chǎn)生亮度不均。而且，根據(jù)本方式，通過由第二隔壁覆蓋像素電極層的端部的一部分，從而能夠防止在像素電極層的端部的一部分產(chǎn)生的、像素電極層與共同電極(是形成在有機發(fā)光層的上方、具有與像素電極層相反極性的電極，也可以稱為上部電極)之間的短路。對上述短路的發(fā)生進行說明。像素電極層具有一定膜厚。在沒有通過絕緣膜覆蓋像素電極層的端部的一部分的情況下，特別是若發(fā)光層的膜厚比像素電極層的膜厚薄，則所制膜的發(fā)光層在像素電極層的端部的一部分上產(chǎn)生不連續(xù)的臺階的可能性變高，有時像素電極層的端部的一部分露出，與發(fā)光層制膜后形成的共同電極直接或以很低的電阻相接觸。由于像這樣像素電極層的端部的一部分與共同電極接觸，從而發(fā)生上述短路。于是，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，通過由第二隔壁覆蓋像素電極層的端部的一部分，從而能夠防止上述像素電極層與共同電極之間發(fā)生短路。像素電極層的端部中的例如與第一隔壁相鄰的部分，也可以不由第二隔壁覆蓋，而由第一隔壁覆蓋。此外，在采用這樣的結(jié)構(gòu)的情況下，通過將像素電極層的端部的一部分配置在凹部，從而能夠盡可能地擴大像素部的大小。如果將端部的一部分配置在凹部外，則因為沒有配置像素電極層的部分不有助于發(fā)光，所以會使像素部變得較小。即，不能有效地利用一組第一隔壁間的能夠形成像素部的區(qū)域。與此相對，根據(jù)本方式，能夠有效地利用能形成像素部的區(qū)域。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，形成于所述平坦化膜的凹部沒有形成在所述一組隔壁的下方。根據(jù)本方式，能夠使一組第一隔壁的高度在其延伸方向上均一。作為極端的例子， 若凹部以在與一組第一隔壁交叉的方向上橫穿第一隔壁的下方的方式形成，則第一隔壁中的位于凹部上方的部分的高度變得比其他部分低，例如會變?yōu)榕c第二隔壁相同的高度。這是因為本方式的隔壁材料是跟隨凹部的內(nèi)部形狀而堆積的。其結(jié)果，在形成有機發(fā)光層時，含有有機發(fā)光材料的墨不僅超過第二隔壁還超過第一隔壁而流動。在線提岸方式中，因為多數(shù)情況下在由第一隔壁劃分的像素部堆積不同顏色的有機發(fā)光材料，所以在形成有機發(fā)光層時，優(yōu)選墨不超過第一隔壁。與此相對，本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板，確保第一隔壁比第二隔壁高，所以能夠使得在形成有機發(fā)光層時墨不超過第一隔壁。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，形成于所述平坦化膜的凹部，以其緣部進入到所述一組隔壁的側(cè)面的下方的狀態(tài)而形成。根據(jù)本方式，能夠?qū)⒌诙舯谠O(shè)得整體比第一隔壁低，所以墨的流動性提高。這是因為，例如如后所述，在凹部的側(cè)面沒有進入第一隔壁的情況下，第二隔壁中與第一隔壁相連的部分的高度變?yōu)榕c第一隔壁相同的高度，不有助于墨的流動。在本方式中，優(yōu)選在第一隔壁的頂部的下方不形成凹部，在該情況下容易將第一隔壁的頂部的高度保持得比第二隔壁高。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述一組隔壁形成為線狀。根據(jù)本方式，多數(shù)像素部連續(xù)排列，易于將包含于顯示面板的全部像素部以行列狀(矩陣狀)排列。雖然說是連續(xù)，但相互相鄰的像素部彼此由預(yù)定的隔壁劃分，實際上不相連。此外，多個像素部可以以直線狀排列，也可以以曲折狀排列。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，形成于所述多個像素部的有機發(fā)光層是由同一顏色的發(fā)光材料構(gòu)成的有機發(fā)光層。根據(jù)本方式，形成于在一組第一隔壁間排列的多個像素部的有機發(fā)光層是同一顏色的，由此能夠使包含有機發(fā)光材料的墨在一組第一隔壁間流動，能夠使得多個像素部的有機發(fā)光層的膜厚均一。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述凹部的下部，形成連接所述像素電極層與所述薄膜晶體管層的接觸孔，所述凹部的上側(cè)開口形成在與形成有所述接觸孔的區(qū)域在上下方向上重疊的區(qū)域。根據(jù)本方式，平坦化膜的凹部的上側(cè)開口形成在與形成有接觸孔的區(qū)域在上下方向上重疊的區(qū)域。換言之，與形成接觸孔的區(qū)域重疊地形成凹部，由此能夠防止因形成了凹部而無用地使像素部變窄。在上下方向上重疊的區(qū)域，俯視觀察具有與形成接觸孔的區(qū)域重復(fù)的區(qū)域。因此， 凹部在平坦化膜的上面?zhèn)纫约跋旅鎮(zhèn)冗@兩側(cè)開口，例如能夠通過凹部使像素電極層的一部分與驅(qū)動配線層接觸。在該情況下，凹部具有接觸孔的功能，可以認為接觸孔為凹部的一部分。例如，存在凹部的形狀為上部形成為箱形狀、下部形成為較小直徑的孔形狀的情況。所謂連接像素電極層與薄膜晶體管層，例如是指接觸孔在像素電極層側(cè)和所述驅(qū)動配線層側(cè)這兩側(cè)開口，能夠使得像素電極層進入到接觸孔而與驅(qū)動配線層接觸。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述凹部為隨著從所述上側(cè)開口部接近所述下側(cè)開口部而連續(xù)或階段性地直徑縮小的形狀。根據(jù)本方式，能夠?qū)疾康男螤钤O(shè)為例如在平坦化膜的上面?zhèn)葹檫m于使第二隔壁低的形狀，在平坦化膜的下面?zhèn)葹槭棺鳛榻佑|孔的功能優(yōu)先的形狀。此外，在本方式的凹部為隨著從上側(cè)開口部接近下側(cè)開口部而連續(xù)地直徑縮小的形狀的情況下，凹部以貫通平坦化膜的狀態(tài)而形成、且在凹部上沒有形成臺階。因此，在形成平坦化膜時，即便不用多色調(diào)掩模，也能夠通過單色調(diào)掩模同時形成凹部和接觸孔。此外，也能夠使凹部作為接觸孔發(fā)揮功能。凹部的直徑縮小的程度，例如可以為在形成平坦化膜時因曝光以及顯像處理的特性而必然形成的程度。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，在所述凹部的內(nèi)部存在除去了所述平坦化膜的區(qū)域，所述接觸孔至少被設(shè)置在除去了所述平坦化膜的區(qū)域，所述像素電極層與所述驅(qū)動配線層經(jīng)由所述接觸孔而接觸。本方式明確了像素電極層和驅(qū)動配線層經(jīng)由接觸孔而接觸。除去了平坦化膜的區(qū)域例如是形成有貫通平坦化膜的孔的區(qū)域等。此外，凹部的形狀可以是在上部與下部之間形成有臺階的形狀，也可以是沒有形成臺階的形狀。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，在所述驅(qū)動配線層的上面與所述平坦化膜的下面之間具有絕緣保護層，所述絕緣保護層，在形成有所述接觸孔的區(qū)域中具有開口部，所述絕緣保護層的開口部的面積比所述凹部的面積小。根據(jù)本方式，通過將凹部的面積設(shè)得比絕緣保護膜的開口部的面積大，從而能夠確保像素電極層與驅(qū)動配線層的接觸面積。在本方式中，優(yōu)選在俯視觀察，形成有開口部的區(qū)域全部包含在形成有凹部的區(qū)域內(nèi)。在本方式中可以增加如下結(jié)構(gòu)所述像素電極層通過所述下側(cè)開口部和所述保護層開口部與所述驅(qū)動電極層電連接。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，形成有所述凹部的上側(cè)開口部的俯視區(qū)域，比形成有所述接觸孔的俯視區(qū)域大、 且與形成有所述接觸孔的俯視區(qū)域的整體重疊。根據(jù)本方式，形成有凹部的區(qū)域被設(shè)定得比形成有接觸孔的區(qū)域大，但與形成有接觸孔的區(qū)域的整體重疊，由此能夠盡可能地擴大像素部。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述一組隔壁例如存在三組，對于所述至少三組隔壁中的三組隔壁，紅色、綠色、 藍色各對應(yīng)著一組隔壁，在各組隔壁之間設(shè)置有所述有機發(fā)光層、所述凹部和所述預(yù)定的隔壁。在本方式中，能夠顯示彩色圖像。在顯示彩色圖像的情況下，對應(yīng)色不限定于三種顏色，可以是四種顏色以上。例如可以一組隔壁存在四組，按紅色、綠色、藍色、白色的各顏色對應(yīng)有一組隔壁。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，將形成于所述平坦化膜的凹部設(shè)為第一凹部，所述預(yù)定的隔壁，跟隨所述第一凹部的內(nèi)部形狀而凹陷，從而在上部形成有第二凹部，在所述第二凹部堆積有與所述有機發(fā)光層同樣的有機發(fā)光材料，形成于所述三組隔壁中的一組隔壁之間的第二凹部，其容積與形成于其他兩組隔壁之間的第二凹部不同。如本方式那樣，在線提岸方式中，含有有機發(fā)光材料的墨也被涂敷于第二隔壁上。 即，有機發(fā)光材料不僅堆積于有機發(fā)光層，也堆積于第二凹部上。并且，通過改變第一凹部的容積，可以改變第二凹部的容積，改變堆積于該第二凹部的有機發(fā)光材料的量。并且，例如，如果不改變墨的涂敷量而增大第二凹部的容積來增加有機發(fā)光材料的堆積量，則有機發(fā)光層的膜厚反而減少。雖然在三組隔壁間涂敷相互不同顏色的墨，但在將各色墨的涂敷量設(shè)為相等的情況下，例如通過使凹部的容積按各顏色不同，也能夠按顏色調(diào)整有機發(fā)光層的膜厚。由此， 適于三種顏色中的一種顏色的有機發(fā)光層的最適當(dāng)?shù)哪ず衽c其他顏色不同的情況。也可以使墨的涂敷量和凹部的容積這兩方不同。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，將形成于所述平坦化膜的凹部設(shè)為第一凹部，所述預(yù)定的隔壁跟隨所述第一凹部的內(nèi)部形狀而凹陷，從而在上部形成有第二凹部，在所述第二凹部堆積有與所述有機發(fā)光層同樣的有機發(fā)光材料，形成于所述三組隔壁中的一組隔壁之間的所述第二凹部，其面積與形成于其他兩組隔壁之間的所述第二凹部不同。在本方式中，能夠通過改變第一凹部的面積來改變第二凹部的面積，改變堆積于該第二凹部的有機發(fā)光材料的量。因此，即使在將各色墨的涂敷量設(shè)得相等的情況下，也能夠通過例如按各顏色使第一凹部的面積不同，從而按各顏色調(diào)整有機發(fā)光層的膜厚，起到與前項同樣的作用效果。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述凹部，具有上部凹部，其形狀為隨著從在平坦化膜的上面?zhèn)乳_口的上側(cè)開口部向在下面?zhèn)乳_口的下側(cè)開口部接近而連續(xù)地直徑縮??；和下部凹部，其形狀為隨著從所述下側(cè)開口部向所述上側(cè)開口部接近而連續(xù)地直徑擴大，并且，在所述上部凹部與所述下部凹部之間存在臺階；所述像素電極層，從所述像素部延伸到所述凹部內(nèi)而形成，通過所述下側(cè)開口部與所述驅(qū)動電極層電連接，形成于所述三組隔壁中的一組隔壁之間的所述上部凹部和所述第二凹部，各自的深度或面積分別與形成于其他兩組隔壁之間的所述上部凹部和所述第二凹部不同，并且，形成于所述三組隔壁之間的所述下部凹部的所述下側(cè)開口部為彼此相同的形狀。根據(jù)本方式，能夠改變?nèi)我唤M的第一隔壁間的上部凹部的深度或面積，改變堆積于該第二凹部的有機發(fā)光材料的量。因此，即使在將各色墨的涂敷量設(shè)得相等的情況下，也能夠通過例如按各顏色使第一凹部的面積不同，從而按各顏色調(diào)整有機發(fā)光層的膜厚，起到與前項同樣的作用效果。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述預(yù)定的隔壁，具有在所述三組隔壁的延伸方向上規(guī)定所述有機發(fā)光層的側(cè)面的傾斜面，形成于所述三組隔壁中的一組隔壁之間的預(yù)定的隔壁的傾斜面的傾斜角度， 與形成于其他兩組隔壁之間的預(yù)定的隔壁的傾斜面的傾斜角度不同。根據(jù)本方式，在形成有機發(fā)光層時，在對涂敷于各組隔壁間的含有有機發(fā)光材料的墨進行干燥時，能夠?qū)⑵浔砻嫘螤畋３譃檫m當(dāng)?shù)男螤?。這是因為，根據(jù)預(yù)定的隔壁的傾斜面的傾斜角度，墨的表面形狀發(fā)生改變(之后進行說明)。此外，適當(dāng)?shù)膬A斜角度根據(jù)墨的特性(表面張力、粘度等)而不同，所以優(yōu)選若對應(yīng)色不同則使傾斜角度不同。而且，能夠通過使傾斜角度不同，來調(diào)整在第二凹部中流動的有機發(fā)光材料的量，所以能夠調(diào)整堆積于第二凹部的有機發(fā)光材料的量。另外，不必使所有三種顏色的傾斜角度相互不同。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述像素電極層的配置在所述凹部的開口邊緣的部分彎曲，所述預(yù)定的隔壁， 形成在比所述凹部大的區(qū)域，在所述一組隔壁的延伸方向上覆蓋所述像素電極層彎曲的部分。在本方式中，在凹部的開口邊緣，像素電極層彎曲，成為在施加了電壓的情況下電場易于集中的形狀。通過由預(yù)定的隔壁覆蓋該像素電極層彎曲的部分，能夠防止電場集中在該彎曲部分而在有機發(fā)光層中局部的電流流動。而且，根據(jù)本方式，通過由第二隔壁覆蓋像素電極層的彎曲部，能夠防止在像素電極層的彎曲部發(fā)生的、像素電極層與共同電極之間的短路。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)所述驅(qū)動配線層為薄膜晶體管層。根據(jù)本方式，能夠以有源矩陣方式驅(qū)動多個像素部。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)所述像素電極層由金屬、半導(dǎo)體、或者金屬以及半導(dǎo)體構(gòu)成。
而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示裝置中，可以采用如下結(jié)構(gòu)具備技術(shù)方案1至技術(shù)方案13的任一項所述的有機電致發(fā)光顯示面板。本方式，具備所述的有機電致發(fā)光顯示面板，能夠起到與所述的方式同樣的作用效果。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法中，可以采用如下構(gòu)成。該方法包括第一工序，在薄膜晶體管層的上方形成平坦化膜，將所述薄膜晶體管層的上方平坦化；第二工序，在所述平坦化膜的上方形成一組隔壁，所述一組隔壁規(guī)定呈列狀配置的多個像素區(qū)域的各自的側(cè)面；以及第三工序，在存在于所述一組隔壁之間的所述多個像素區(qū)域中形成有機發(fā)光層；在所述第一工序中，在所述平坦化膜形成凹部，所述凹部沿與所述一組隔壁交叉的方向橫穿成為所述多個像素部的各自的邊界的區(qū)域而形成；在所述第二工序中，形成預(yù)定的隔壁，使所述預(yù)定的隔壁跟隨所述平坦化膜的凹部的內(nèi)部形狀、 且形成為比所述一組隔壁低的形狀，所述預(yù)定的隔壁由與所述一組隔壁同樣的材料構(gòu)成、 與所述一組隔壁連結(jié)。根據(jù)本方式，在形成線提岸方式的隔壁的情況下，即使將第一隔壁和第二隔壁的曝光量設(shè)得相等，也能夠同時形成第一隔壁和第二隔壁。其結(jié)果，隔壁材料的選擇項擴大， 能夠使用更好的隔壁材料。即，本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法，在線提岸方式中，能夠使得隔壁材料的限制少，并能通過同樣的工序同時形成高度不同的兩種隔壁。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法中，可以采用如下構(gòu)成在所述第二工序中，在所述平坦化膜上涂敷形成所述一組隔壁和所述預(yù)定的隔壁的隔壁材料，經(jīng)由留下所述一組隔壁和所述預(yù)定的隔壁的掩模圖案，將所述隔壁材料曝光， 所述預(yù)定的隔壁，跟隨所述平坦化膜的凹部的內(nèi)部形狀而進入到所述凹部的內(nèi)部，從而變?yōu)楸人鲆唤M隔壁低的高度。本方式具體地規(guī)定了第二工序。涂敷于平坦化膜的隔壁材料，在形成有凹部的區(qū)域中進入到凹部的內(nèi)部，高度變低。通過留下該凹部上方的高度低的部分，例如在將曝光量設(shè)得相等的情況下，也能夠?qū)⒌诙舯诘母叨仍O(shè)得比第一隔壁低。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法中，可以采用如下構(gòu)成在所述第二工序中，留下所述預(yù)定的隔壁的掩模圖案是留下比形成于所述平坦化膜的凹部的俯視區(qū)域大的掩模圖案。根據(jù)本方式，第二隔壁的俯視區(qū)域(俯視觀察時的區(qū)域)在第一隔壁的延伸方向上伸出(超出)到凹部的俯視區(qū)域之外。因此，即使在涂敷于平坦化膜的隔壁材料的厚度尺寸比凹部的深度尺寸小的情況下，第二隔壁中的攀上凹部的側(cè)面而伸出到凹部的俯視區(qū)域外的部分，也能夠作為像素規(guī)定層發(fā)揮功能，該像素規(guī)定層用于規(guī)定在發(fā)光時有機發(fā)光層中不會發(fā)生局部電場集中等而穩(wěn)定的發(fā)光區(qū)域。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法中，可以采用如下構(gòu)成在所述第一工序中，經(jīng)由在所述平坦化膜形成所述凹部的掩模圖案使所述平坦化膜曝光，在所述平坦化膜形成所述凹部的掩模圖案是具有光的透射率相互不同的多個透光區(qū)域的多色調(diào)掩模圖案。根據(jù)本方式，使用所謂的多色調(diào)掩模，例如既能夠使平坦化膜的平坦部的高度和凹部的高度不同，又能夠在平坦化膜上同時形成凹部和接觸孔。接觸孔是為了連接像素電極層與TFT層而必須形成的，所以如果與接觸孔同時形成，則能夠不增加制造工藝地形成凹部。多色調(diào)掩模包括灰色調(diào)掩模(gray tone mask)、縫隙掩模(slit mask，狹縫掩模)、 疊層掩模(stacked layer mask)、半色調(diào)掩模?？梢詫疾亢徒佑|孔形成在不同的區(qū)域，也可以將接觸孔形成在凹部內(nèi)。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法中，可以采用如下構(gòu)成在所述第一工序中，通過所述多色調(diào)掩模圖案，在形成所述凹部的區(qū)域中，使照射到形成接觸孔的區(qū)域和其周圍的區(qū)域的光的透射率不同而曝光，在所述平坦化膜形成具有臺階的凹部。根據(jù)本方式，使形成接觸孔的區(qū)域的曝光量和其周圍的區(qū)域的曝光量不同，能夠形成具有臺階的凹部。由此，能夠不增加制造工藝地形成具有接觸孔的凹部。具有臺階的凹部，例如可以設(shè)為上部為從一組第一隔壁的一方到另一方為止連續(xù)的大且淺的形狀，下部為在平坦化膜的下面?zhèn)乳_口的較小直徑的孔形狀。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法中，可以采用如下構(gòu)成在所述第二工序中，經(jīng)由使照射到形成所述一組隔壁的區(qū)域和形成所述預(yù)定的隔壁的區(qū)域的光的透射率相等的掩模圖案，使所述隔壁材料曝光。根據(jù)本方式，例如能夠使用單色調(diào)掩模，同時形成高度不同的第一隔壁和第二隔壁。因此，能夠使得隔壁材料的限制減少。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法中，可以采用如下構(gòu)成。該方法還包括如下的第四工序在所述第二工序之前，在所述平坦化膜上與所述多個像素區(qū)域的各自對應(yīng)地形成像素電極層；在所述第四工序中，所述像素電極層的端部的一部分被配置在所述凹部的內(nèi)部；在所述第二工序中，通過所述預(yù)定的隔壁覆蓋所述像素電極層的端部的一部分。根據(jù)本方式，通過將像素電極層的端部的一部分配置在凹部，能夠得到盡可能擴大了像素區(qū)域的顯示面板。此外，由預(yù)定的隔壁覆蓋像素電極層的端部的一部分，能夠得到能防止電場集中在該端部而在有機發(fā)光層中發(fā)生局部的電流流動的顯示面板。而且，根據(jù)本方式，通過由第二隔壁覆蓋像素電極層的彎曲部，能夠防止在像素電極層的彎曲部發(fā)生的、像素電極層與共同電極之間的短路。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法中，可以采用如下構(gòu)成在所述第四工序中，所述像素電極層形成為從所述像素區(qū)域延伸到所述凹部的內(nèi)部、在所述凹部的開口邊緣彎曲的形狀，在所述第二工序中，留下所述預(yù)定的隔壁的掩模圖案是留下比形成于所述平坦化膜的凹部的俯視區(qū)域大的掩模圖案，通過所述預(yù)定的隔壁覆蓋所述像素電極層的彎曲部分。根據(jù)本方式，通過由預(yù)定的隔壁覆蓋像素電極層彎曲的部分，能夠得到能防止在發(fā)光時電場集中在該彎曲部分而在有機發(fā)光層中發(fā)生局部的電流流動的顯示面板。此外，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述一組隔壁分別具備在其延伸方向上連續(xù)地形成的頂部，和以隨著從所述頂部向所述平坦化膜接近、所述一組隔壁間的距離減少的朝向傾斜的側(cè)面；所述凹部，俯視觀察至少形成在從所述一組隔壁的一方的側(cè)面下端位置到另一方的側(cè)面下端位置為止連續(xù)的區(qū)域；所述區(qū)域中的所述平坦化膜的高度比位于所述一組隔壁的頂部的下方的所述平坦化膜的高度低。本方式是更具體地規(guī)定第一隔壁和凹部的構(gòu)成的方式。根據(jù)本方式，例如即使在平坦化膜中位于第一隔壁下方的部分的高度比形成像素部的部分(平坦部)的高度低的情況下，通過將平坦化膜的高度設(shè)得比所述連續(xù)區(qū)域中位于第一隔壁下方的部分低，從而也能夠?qū)⒌诙舯诘母叨仍O(shè)得比第一隔壁低。連續(xù)的區(qū)域在第一隔壁的延伸方向上具有某種程度的寬度。該區(qū)域的寬度尺寸可以設(shè)為能夠?qū)⒌诙舯谠O(shè)得比第一隔壁低的尺寸。例如，能夠?qū)⑸鲜鰠^(qū)域的寬度尺寸設(shè)為第一隔壁的高度尺寸以上、或者一組隔壁間的距離的一半以上。此外，連續(xù)的區(qū)域，優(yōu)選以位于第一隔壁的頂部的下方的所述平坦化膜的高度為基準，低第一隔壁的頂部的高度的 20%以上，當(dāng)?shù)?0%以上時，易于進一步提高墨的流動性。上述連續(xù)的區(qū)域中的第一隔壁附近的區(qū)域不需要低第一隔壁的頂部的高度的20%以上等。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述凹部具有在平坦化膜的上面?zhèn)乳_口的上側(cè)開口部和在下面?zhèn)乳_口的下側(cè)開口部，所述像素電極層從所述像素部延伸到所述凹部內(nèi)而形成，通過所述下側(cè)開口部與所述驅(qū)動電極層電連接。根據(jù)本方式，能夠使凹部具有接觸孔的功能。因此，不需要在俯視觀察為凹部以外的區(qū)域另外形成接觸孔，能夠防止由于形成凹部而無用地使像素部變窄。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述凹部具有隨著從所述上側(cè)開口部向所述下側(cè)開口部接近而連續(xù)地直徑縮小的形狀的上部凹部、和隨著從所述下側(cè)開口部向所述上側(cè)開口部接近而連續(xù)地直徑擴大的形狀的下部凹部，在上部凹部與下部凹部之間存在臺階。根據(jù)本方式，能夠?qū)疾康男螤钤O(shè)為在平坦化膜的上面?zhèn)葹檫m于使第二隔壁低的形狀，在平坦化膜的下面?zhèn)葹槭棺鳛榻佑|孔的功能優(yōu)先的形狀。而且，在本發(fā)明的一種方式的有機電致發(fā)光顯示面板中，可以采用如下結(jié)構(gòu)在上述結(jié)構(gòu)中，所述像素電極層通過所述下側(cè)開口部和所述絕緣保護層的開口部與所述驅(qū)動電極層電連接。根據(jù)本方式，能夠使凹部具有接觸孔的功能。因此，不需要在俯視觀察為凹部以外的區(qū)域另外形成接觸孔，能夠防止由于形成凹部而無用地使像素部變窄。(實施方式)以下，參照附圖對用于實施本發(fā)明的方式的一例進行說明。以下的說明中使用的方式，是為了易于清楚地說明本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以及作用/效果而使用的例子，本發(fā)明在其本質(zhì)的特征部分以外不受以下的實施方式的任何限定。1.有機電致發(fā)光顯示面板1的概略結(jié)構(gòu)使用圖1對本實施方式的有機電致發(fā)光顯示面板1(以下，簡稱為“顯示面板1”) 的整體結(jié)構(gòu)進行說明。顯示面板1構(gòu)成為具有圖像顯示部10、和與其連接的驅(qū)動控制部20。圖像顯示部 10是利用有機材料的場致發(fā)光現(xiàn)象的有機電致發(fā)光顯示器，排列有多個有機電致發(fā)光元件而構(gòu)成。此外，驅(qū)動控制部20由信號線驅(qū)動電路21、掃描線驅(qū)動電路23和控制電路25構(gòu)成。在信號線驅(qū)動電路21和掃描線驅(qū)動電路23連接有控制像素電路的控制配線，該像素電路在后述的薄膜晶體管層由薄膜晶體管構(gòu)成。信號線驅(qū)動電路21和掃描線驅(qū)動電路23 由電源供給部(參照圖21)供給電力。在實際的顯示面板1中，關(guān)于驅(qū)動控制部20相對于圖像顯示部10的配置并不限于此。2.圖像顯示部10的結(jié)構(gòu)使用圖2和圖3對圖像顯示部10的結(jié)構(gòu)進行說明。本實施方式的圖像顯示部10， 作為一例采用了頂部發(fā)光(top emission，上發(fā)射)型的有機電致發(fā)光顯示器。此外，圖像顯示部10將具備有機發(fā)光層的多個像素部100配置為矩陣狀而構(gòu)成，所述有機發(fā)光層具有紅(R)、綠(G)、藍⑶中的任一種顏色的發(fā)光材料。在圖1中，在“圓C”的內(nèi)側(cè)放大地示意性示出了多個像素部100的排列的一部分。圖2是關(guān)于一部分的像素部100示意性地示出了圖1中的A-A’剖面的圖。此夕卜， 圖3是關(guān)于一個像素部100示意性地示出了圖2所示的B-B’剖面的圖。將圖2和圖3的上側(cè)(Z軸方向)作為圖像顯示部10的上方進行說明。在圖像顯示部10中，在基板101上形成薄膜晶體管層(TFT層)102，在其上方形成平坦化膜103。TFT層102是在基板101上形成多個薄膜晶體管(TFT) 105、配線圖案而成的。在該TFT層102與平坦化膜103之間插入作為絕緣保護膜的鈍化膜107。在圖中簡略圖示了 TFT層102，省略了一部分的結(jié)構(gòu)的圖示。TFT105受動于信號線驅(qū)動電路21和掃描線驅(qū)動電路23而工作，向各像素部100 供給電力。TFT105，如圖3所示，層疊源極105a、漏極10 、溝道層105c、柵極絕緣膜105d、 柵極電極10 而成。一方的TFT105的源極10 或者漏極10 延長，形成與像素部100 電連接的SD電極(源極/漏極電極)106。鈍化膜107由氮化硅(SiN)、氧化硅(SiO)等無機系電介質(zhì)材料、和/或丙烯酸系、聚酰亞胺系等有機系電介質(zhì)材料形成。平坦化膜103堆積在存在凹凸的TFT層102上，在TFT層102的上方形成平坦面 103a。平坦化膜103能夠至少使形成像素部100的區(qū)域平坦即可，不需要使形成后述的接觸孔、凹部等全部區(qū)域平坦化。此外，由于可以使平坦化膜103具有與鈍化膜107同樣的功能，所以在該情況下鈍化膜107不是必須的。在本實施方式中，采用了將排列成行列狀(矩陣狀)的多個像素部100劃分為條狀的線提岸方式。因此，在圖像顯示部10中，將像素部100劃分為條狀的多個第一提岸 111(圖2)并列設(shè)置在平坦化膜103上。第一提岸111在Y軸方向上直線延伸。此外，第一提岸111的剖面形狀，優(yōu)選大致梯形，X軸方向上的兩個側(cè)面Illa分別為傾斜面，頂部為大概平坦的頂面111b。并且，兩個側(cè)面Illa分別作為規(guī)定像素部100的有機發(fā)光層113的一個側(cè)面的隔壁起作用。在圖3中，在Z軸方向的最上部以涂白圖示了處于切斷面的里側(cè)的第一提岸111的側(cè)面111a。在彼此相鄰的第一提岸111間的區(qū)域中，在平坦化膜103上形成陽極電極112，在該陽極電極112上形成有機發(fā)光層113。陽極電極112和有機發(fā)光層113以按每個像素部 100分離的狀態(tài)而形成。此外，至少在發(fā)光區(qū)域中，在陽極電極112和有機發(fā)光層113之間， 可以插入例如空穴注入層(省略圖示)、空穴輸送層(省略圖示)等。而且，可以根據(jù)發(fā)光元件特性在有機發(fā)光層113與陰極電極114之間插入電子輸送層(省略圖示)、電子注入層 (省略圖示)。并且，在第一提岸111和有機發(fā)光層113上依次層疊形成陰極電極114和密封層 (省略圖示)。此外，在圖像顯示部10中，在彼此相鄰的一組第一提岸111之間形成橫穿以列狀排列的多個像素部100間的區(qū)域的多個第二提岸121 (圖3)。各第二提岸121分別與一組第一提岸111連結(jié)。通過這些第二提岸121，形成第一提岸111的延伸方向(Y軸方向)上的像素部100的邊界。第二提岸121的剖面形狀與第一提岸111有很大的不同。第二提岸 121的剖面形狀像是如下的形狀與第一提岸111同樣的剖面形狀的提岸向平坦化膜103 的凹處陷沒而形成的形狀。這是由后述那樣第二提岸121的形成方法引起的。第一提岸111、第二提岸121(以下，簡稱為“提岸111、121”)以及平坦化膜103具有絕緣性。在本實施方式中，像素部100包括在平坦化膜103上層疊的陽極電極112、有機發(fā)光層113、以及陰極電極114，其俯視觀察時的區(qū)域(以下，記為俯視區(qū)域)由第一提岸111 和第二提岸121規(guī)定。像素部100的俯視區(qū)域主要由有機發(fā)光層113的俯視區(qū)域來確定，有機發(fā)光層113 在X軸方向上由一組第一提岸111夾持，限制了其俯視區(qū)域。即，在一組第一提岸111間排列的各像素部100的兩側(cè)面由一組第一提岸111來規(guī)定。具體而言，各像素部100的兩側(cè)面由一組第一提岸111的相對的兩個側(cè)面Illa來規(guī)定。以下，表示圖像顯示部10的主要構(gòu)成材料。a)基板 101基板101，例如以無堿玻璃、鈉玻璃、無熒光玻璃、磷酸系玻璃、硼酸系玻璃、石英、 丙烯酸系樹脂、苯乙烯系樹脂、聚碳酸酯系樹脂、環(huán)氧系樹脂、聚乙烯、聚酯、硅系樹脂、或者氧化鋁等絕緣性材料作為基礎(chǔ)而形成。b)平坦化膜103平坦化膜103使用了作為正型感光性樹脂材料的聚酰亞胺系、丙烯酸系、苯丙環(huán)丁烯(cyclotene)系、酚醛清漆樹脂系。作為平坦化膜103的材料，例如可以使用丙烯酸、 聚酰亞胺、硅氧烷等感光性樹脂材料。此外，也可以使用負型感光性樹脂材料。C)陽極電極112陽極電極112由單層、或?qū)盈B多個層而成的層疊體構(gòu)成。所述單層由金屬性材料構(gòu)成。陽極電極112例如使用Ag(銀)、APC(銀、鈀、銅的合金)、ARA(銀、銣、金的合金)、 MoCr(鉬和鉻的合金)、NiCr (鎳和鉻的合金)等而形成。此外，也能夠使用ITOandium Tin Oxide，銦錫氧化物)、IZOan2O3-SiO)、Zn0、In0、Sn0等半導(dǎo)體材料來形成陽極電極112。在此，金屬性材料是指若溫度上升則電阻變大的材料，半導(dǎo)體材料是指若溫度上升則電阻變小的材料。在如本實施方式那樣為頂部發(fā)光型的情況下，優(yōu)選由高反射性的材料形成。d)提岸 111、121提岸111、121由樹脂等有機材料形成，具有正型感光性和絕緣性。作為用于形成提岸111、121的有機材料的例子，可舉出(苯丙環(huán)丁烯系樹脂)。并且，提岸111、121優(yōu)選具有有機溶劑耐性。也可以使用負型的感光性材料。
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而且，在提岸111、121的形成中，因為要實施涂敷處理、曝光/顯像處理、烘焙處理等，所以優(yōu)選由具有希望的功能(即，在這些處理后在墨涂敷工序中具有良好的墨撥水性， 在面板的驅(qū)動/保管時分解氣體量是微量，等等)的材料形成。關(guān)于用于形成提岸111、121的絕緣材料，以上述的各材料為首，尤其可以使用電阻率為105(Ω .cm)以上的材料。這是因為，在使用了電阻率為105(Ω - cm)以下的材料的情況下，導(dǎo)致在陽極電極112與陰極電極114之間發(fā)生泄漏電流、或者在相鄰像素部100間發(fā)生泄漏電流，產(chǎn)生消耗功率的增加等各種問題。此外，為了使第一提岸111具有撥液(疏液)性，使用氟樹脂等具有撥水性的材料，或者也能夠使用氟氣對表面進行等離子處理。如果在使用親液性的材料形成了提岸111 的情況下，則在制造圖像顯示部10時，含有有機發(fā)光材料的墨順著提岸111的表面?zhèn)魉?、?X軸方向在相鄰的像素部100之間移動，就會使彼此不同顏色的墨混合。而且，關(guān)于提岸111、121的構(gòu)造，不僅能夠采用圖2所示那樣的一層構(gòu)造，還能夠采用兩層以上的多層構(gòu)造。在該情況下，能夠在每層組合上述材料，也能夠在每層使用無機材料和有機材料。e)有機發(fā)光層113有機發(fā)光層113具有通過使從陽極電極112注入的空穴和從陰極電極114注入的電子再結(jié)合從而產(chǎn)生激發(fā)狀態(tài)而發(fā)光的功能。用于形成有機發(fā)光層113的材料需要使用能夠用濕式印刷法制膜的發(fā)光性的有機材料。具體而言，優(yōu)選以例如特許公開公報(日本特開平5-163488號公報)中記載的熒光物質(zhì)來形成，所述熒光物質(zhì)是8-羥基喹啉鹽化合物、茈化合物、香豆素化合物、氮雜香豆素化合物、Tl唑化合物、嘴二唑化合物、紫環(huán)酮(perinone)化合物、吡咯并吡咯化合物、萘化合物、蒽化合物、芴化合物、熒蒽化合物、并四苯化合物、芘化合物、暈苯化合物、 喹諾酮化合物和氮雜喹諾酮化合物、吡唑啉衍生物和吡唑啉酮衍生物、羅丹明化合物、1， 2-苯并菲(chrysene)化合物、菲化合物、環(huán)戊二烯化合物、芪化合物、二苯基醌化合物、苯乙烯基化合物、丁二烯化合物、二氰基亞甲基吡喃化合物、二氰基亞甲基噻喃化合物、熒光素化合物、吡喃饋化合物、噻喃錯化合物、硒吡喃饋(selenapyrylium)化合物、碲吡喃錯 (telluropyrylium)化合物、芳香族醛連氮化合物、寡聚苯撐化合物、噻噸化合物、蒽化合物、菁化合物、吖啶化合物、8-羥基喹啉化合物的金屬配合物、2，2’ -聯(lián)吡啶化合物的金屬配合物、希夫鹽與III族金屬的配合物、喔星金屬配合物、稀土類配合物等。f)陰極電極114陰極電極114例如由ΙΤ0、IZO(氧化銦鋅)等形成。在頂部發(fā)光型的圖像顯示部 10的情況下，優(yōu)選由透光性的材料形成。關(guān)于透光性，優(yōu)選透射率為80 (%)以上。作為用于形成陰極電極114的材料，除了上述以外，例如還可以使用依次層疊了包含堿金屬、堿土類金屬或它們的鹵化物的層、和包含銀的層的構(gòu)造。在上述中，包含銀的層可以單獨由銀形成，也可以由銀合金形成。此外，為了實現(xiàn)提高光取出效率，也可以從該包含銀的層的上方設(shè)置透明度高的折射率調(diào)整層。g)密封層密封層具有抑制有機發(fā)光層113等暴露于水分、或暴露于空氣的功能，例如使用 SiN(氮化硅)、SiON(氮氧化硅)等材料形成。在頂部發(fā)光型的圖像顯示部10的情況下，優(yōu)選由透光性的材料形成。3.提岸111、121、陽極電極112以及平坦化膜等的詳細構(gòu)成以下，參照圖2 圖4對第一提岸111、第二提岸121以及平坦化膜103等進行說明。圖4(a)是對圖像顯示部10的一部分示意性地示出了第一、第二提岸111、121的俯視圖的圖。此外，圖4(b)、(c)是示意性地示出了 X-X’剖面的圖，圖4(d)、(e)是示意性地示出了 Y-Y’剖面的圖。在這些圖中沒有圖示有機發(fā)光層113和陰極電極114。如圖4(a)所示，形成像素部100的像素區(qū)域IOOa由第一提岸111和第二提岸121 圍繞。各像素區(qū)域IOOa是在Y軸方向上長的矩形狀。在圖4(b)、(c)中，在Z軸方向的上側(cè)以涂白圖示了處于切斷面的里側(cè)的第二提岸121。各像素區(qū)域100a(以及像素部100)，如由圖中的標號R、G、B所示，與紅(R)、綠 (G)、藍(B)中的某一顏色對應(yīng)。此外，Y軸方向上排列的像素區(qū)域IOOa對應(yīng)于相同的顏色。 另一方面，從X軸方向的排列來看，像素區(qū)域IOOa的對應(yīng)顏色按RGB的順序變化。S卩，存在于彼此相鄰的一組第一提岸111間的多個像素區(qū)域100a，各自對應(yīng)于相同的顏色。另一方面，任意的像素區(qū)域100a，與由一組第一提岸111在X軸方向上劃分的兩個相鄰的像素區(qū)域 IOOa的各自對應(yīng)于不同的顏色。圖5中示出平坦化膜103的上面。平坦化膜103的上面，大部分為平坦面103a，但在第二提岸121下方的區(qū)域形成有凹部122。該凹部122，其上部為箱形狀的箱形部123(上部凹部)，下部為大致圓柱形狀的接觸孔部125 (下部凹部)(參照圖3和圖4)。箱形部123 的內(nèi)部形狀被設(shè)為底部和上面為長方形的棱錐臺形狀，接觸孔部125的內(nèi)部形狀被設(shè)為圓錐臺形狀，這些箱形部123和接觸孔部125連通。如圖5所示，箱形部123在Y軸方向上彼此相鄰的像素區(qū)域IOOa之間，以橫穿在X 軸方向上彼此相鄰的一組第一提岸111間的區(qū)域的方式形成。此外，箱形部123形成為沿與第一提岸111交叉的方向橫穿形成多個像素區(qū)域IOOa的邊界的區(qū)域。具體而言，箱形部123形成于從在X軸方向上彼此相鄰的一組第一提岸111中的一方的第一提岸111的側(cè)面Illa的下端位置到另一方的第一提岸111的側(cè)面Illa的下端位置為止連續(xù)的區(qū)域。在本實施方式中，箱形部123以與X軸方向交叉的邊部(緣部)進入到第一提岸111的側(cè)面Illa的下方的狀態(tài)而形成。此外，箱形部123沒有進入到第一提岸111的頂面Illb下方的區(qū)域10北，位于頂面Illb的下方的平坦化膜103的高度被設(shè)為與像素區(qū)域IOOa中的平坦化膜103的高度相同。另一方面，在形成有箱形部123的區(qū)域中，平坦化膜103的高度比位于頂面Illb的下方的平坦化膜103的高度低。區(qū)域10 沿頂面Illb延伸，在Y軸方向上高度均一。箱形部123具有四邊形的底面123a和上方向直徑擴大的方向傾斜的四個側(cè)面 12!3b、C。在該箱形部123內(nèi)配置有陽極電極112的電極端部112a、b (參照圖3)。接觸孔部125是貫通平坦化膜103的孔，形成在箱形部123的底面123a。并且，在箱形部123的底面123a側(cè)和TFT105的SD電極106側(cè)分別具有開口。在該接觸孔部125 內(nèi)，陽極電極112的一部分凹入而形成接觸插頭112c，該接觸插頭112c與SD電極106電連接。陽極電極112按每個像素部100設(shè)置，在彼此相鄰的像素部100的陽極電極112之間為了絕緣而確保預(yù)定的間隔距離。由接觸插頭112c的圓板形狀的下端部構(gòu)成所述“接觸部”。
從附圖可知，俯視觀察，接觸部的區(qū)域比箱形部123的底面123a的區(qū)域小。S卩，凹部122的俯視面積比接觸孔部125的俯視面積大。此外，在Z軸方向上接觸孔部125的全部區(qū)域與箱形部123的區(qū)域重疊。此外，箱形部123俯視為四邊形的形狀，但可以是圓形，也可以是多邊形。而且，接觸孔部125俯視為圓形的形狀，但可以是四邊形，也可以是多邊形。在本實施方式中，箱形部123的底面123a為所述“臺階”的一例。此外，凹部122， 在形成了臺階的部位階段性地直徑縮小，在箱形部123的四個側(cè)面12!3b、C、接觸孔部125連續(xù)地直徑縮小。而且，凹部122，臺階被設(shè)為一級，但也可以形成多級臺階。此外，在各臺階中，如圖3所示，接觸孔部125的開口邊緣可以是有角的形狀，也可以與圖3不同，為沒有角而彎曲的形狀。而且，箱形部123的側(cè)面12!3b、C與底面123a相交的部分也同樣，可以是有角的形狀，也可以是沒有角而彎曲的形狀。此外，在本實施方式中，箱形部123具有在平坦化膜的上面(平坦面103a)上開口的上側(cè)開口部。接觸孔部125具有在平坦化膜的下面(鈍化膜107側(cè)的面)上開口的下側(cè)開口部。而且，在本實施方式中，接觸孔部125貫通平坦化膜103，形成有接觸孔部125的區(qū)域為所述“除去了平坦化膜的區(qū)域”。如圖4(c)的X2-X2’剖面所示，在X軸方向上彼此相鄰的凹部122之間確保有預(yù)定的間隔距離。具體而言，在第一提岸111的頂面Illb下方?jīng)]有形成箱形部123。這是為了使平坦化膜103的在第一提岸111的頂面Illb下方的區(qū)域中的高度與像素區(qū)域IOOa相同。由此，第一提岸111的頂面Illb的高度在Y軸方向上大概均一。這樣，通過在第一提岸111的頂面Illb下方的區(qū)域不形成凹部122，能夠良好地保持第一提岸111的形狀和頂面Illb的高度。如前所述，箱形部123形成在第一提岸111的側(cè)面Illa下方的區(qū)域，這是為了使第二提岸121整體變低，在涂敷了含有有機發(fā)光材料的墨的情況下，提高墨在Y軸方向排列的像素區(qū)域IOOa間的流動性。第二提岸121形成在上述凹部122的上方，為跟隨凹部122的內(nèi)部形狀的形狀。具體而言，第二提岸121為沿著圖5所示的箱形部123的底面123a和四個側(cè)面123b、c的形狀，在第二提岸121上部形成與凹部122大概相似的小的凹陷即凹部127。此外，根據(jù)制造條件等，會在接觸孔部125的上方形成小凹陷。在該凹部127內(nèi)為了制造方便也會堆積有機發(fā)光材料129(圖3)，但因為由第二提岸121絕緣，所以不發(fā)光。此外，在第二提岸121，形成有向比圖5所示的平坦面103a高的位置突出的突出部 121a。由該突出部121a形成Y軸方向上的像素部100的邊界。具體而言，由突出部121a 的有機發(fā)光層113側(cè)的傾斜面121b規(guī)定了有機發(fā)光層113的Y軸方向上的側(cè)面。由此可知，箱形部123形成在成為多個像素部100各自的邊界的區(qū)域。準確地說，突出部121a比陽極電極121的上面高。然而，在本實施方式中，由于與突出部121a從平坦面103a突出的突出量相比，陽極電極112的厚度非常薄，例如為十分之一左右，所以如上述那樣簡明地表示。上述突出部121a被設(shè)得比第一提岸111低。由此，如后所述，在含有有機發(fā)光材料的墨滴下時，允許墨向第一提岸111的延伸方向流動。此外，通過第一提岸111，防止涂敷于像素區(qū)域IOOa的墨流入到對應(yīng)于不同顏色的相鄰的像素區(qū)域100a。
此外，突出部121a的端部，在Y軸方向上向凹部122外伸出，位于平坦面103a的上方(圖3)。即，俯視觀察，第三提岸121的區(qū)域比凹部122的區(qū)域稍大。其結(jié)果，如后所述易于電場集中的陽極電極112的彎曲部112d由第二提岸121覆蓋。具體而言，由第二提岸121的突出部121a和側(cè)壁121c覆蓋彎曲部112d。在圖中，彎曲部112d被描述為有棱角的形狀，但也可以是以較小的曲率半徑折彎、彎曲的形狀。在該情況下，能夠由第二提岸 121覆蓋曲率半徑小的部分。此夕卜，由第二提岸121覆蓋電極端部112a、b。而且，由第二提岸121覆蓋位于第二提岸121下方的接觸插頭112c。電極端部112a、b和接觸插頭112c的上側(cè)開口邊緣也是電場易于集中的部分(之后進行敘述)。在本實施方式中，由彼此相鄰的兩個第一提岸111中的彼此相對的部分構(gòu)成所述 “一組隔壁”。具體而言，例如，在由與Y軸和Z軸平行的假想平面將各第一提岸111分為了兩部分的情況下，由在兩個第一提岸111中的、形成有夾持有機發(fā)光層113而彼此相對的兩個側(cè)面Illa的兩部分構(gòu)成所述“一組隔壁”。此外，由第二提岸121構(gòu)成所述“預(yù)定的隔壁”。4.顯示面板的工作在所述圖像顯示部10顯示圖像的情況下，通過有源矩陣方式，由信號線驅(qū)動電路 21和掃描線驅(qū)動電路23經(jīng)由TFT105向預(yù)定的像素部100施加電壓。其結(jié)果，電流在預(yù)定的像素部100的陽極電極112與陰極電極114之間流動而使有機發(fā)光層113發(fā)光。此外， 根據(jù)像素部100對應(yīng)的顏色(紅、綠、藍)，形成有機發(fā)光層113的有機發(fā)光材料不同，各像素部100放射紅、綠、藍中的某一顏色的光。上述圖像顯示部10采用了線提岸方式，Y軸方向上排列的多個有機發(fā)光層113的膜厚被設(shè)得均一，所以亮度、色度也均一，能夠顯示品質(zhì)良好的圖像。如前所述，堆積于第二提岸121的凹部127內(nèi)的有機發(fā)光材料129由于第二提岸 121而與陽極電極112電絕緣，所以在有機發(fā)光材料129中沒有電流流動，不發(fā)光。在此，對第二提岸121的功能進行說明。首先，為了進行比較，對在沒有形成第二提岸121的情況下會發(fā)生怎樣的現(xiàn)象進行說明。圖6中示意性地示出在沒有形成第二提岸121時的圖像顯示部130的剖面(與圖 3對應(yīng))。在該圖中，在Z軸方向的最上部以涂白示出了處于切斷面的里側(cè)的第一提岸111 的側(cè)面111a。在沒有第二提岸121的情況下，不僅在像素區(qū)域IOOa的陽極電極112上堆積了有機發(fā)光材料131，在配置于凹部122的陽極電極112上也直接堆積了有機發(fā)光材料 133。因此，在對陽極電極112施加了電壓的情況下，不僅在有機發(fā)光材料131，在凹部122 內(nèi)的有機發(fā)光材料133也有電流流動，兩者都發(fā)光。但是，因為陽極電極112的電極端部112a、b、彎曲部112d以及接觸插頭112c的開口邊緣部11 為棱角形狀，所以電場容易集中，有時會發(fā)生亮度不均。具體而言，當(dāng)對陽極電極112施加電壓時，電場集中在曲率半徑小的電極端部112a、b等，會在有機發(fā)光材料 133中局部地流動電流。局部的電流會導(dǎo)致發(fā)光面內(nèi)的亮度不均、由局部劣化引起的短壽命化這樣的問題。尤其是，電極端部112a、b比彎曲部112d和開口邊緣部11 更易于電場集中，所以由第二提岸121覆蓋電極端部112a、b的必要性高。此外，電極端部llh、b使得在堆積有機發(fā)光材料的區(qū)域產(chǎn)生臺階，所以在該臺階部分有機發(fā)光材料133的膜中斷，有時會出現(xiàn)電極端部112a、b等與陰極電極114接觸而發(fā)生短路的情況。此外，在彎曲部112d和開口邊緣部11 也由于難以控制有機發(fā)光材料133的膜厚，所以與電極端部llh、b同樣，有時會出現(xiàn)電極端部llh、b與陰極電極114接觸而發(fā)生短路的情況。由此，覆蓋電極端部112a、b、彎曲部112d以及開口邊緣部11 的重要性很高。與此相對，在本實施方式的圖像顯示部10中，如圖3所示，由絕緣性的第二提岸 121覆蓋陽極電極112的電場易于集中的部分以及容易發(fā)生短路的部分。由此，使得在有機發(fā)光材料129中沒有電流流動，防止了局部的電流流動而產(chǎn)生亮度不均等、以及發(fā)生短路。如上所述，由第二提岸121在Y軸方向排列的多個像素部100間隔斷會產(chǎn)生亮度不均和短路的區(qū)域的電流路徑，由此形成這些多個像素部100各自的Y軸方向上的邊界。上述的由于電場集中引起的亮度不均以及短路的發(fā)生，在沒有形成凹部122的情況下也是同樣的。這是因為不管是否有凹部122，電極端部122a、b以及接觸插頭112c的開口邊緣部11 由于曲率半徑小、有機發(fā)光層133的膜厚分布不穩(wěn)定，所以都會使得電場容易集中。然而，在本實施方式的顯示面板1中，因為形成凹部122、在該凹部122內(nèi)配置電極端部112a、b，所以形成彎曲部112d。雖然該彎曲部112d中的電場集中是由于形成箱形部123而產(chǎn)生的問題，但通過由第二提岸121覆蓋彎曲部112d，防止了由于電場集中而使電流局部流動。此外，上述的情況也適用于陽極電極112的X軸方向上的電極側(cè)部112f，該電極側(cè)部112f由絕緣性的第一提岸111覆蓋。此外，通過由第一提岸111覆蓋電極側(cè)部112f，也防止了泄漏電流通過有機發(fā)光層113與第一提岸111的界面在與陰極電極114之間流動。在本實施方式中，由電極端部112a、b的至少一方形成所述“像素電極層的端部的一部分”。5.制造方法以下說明上述顯示面板1的制造方法。圖7 圖10中左右并列地示意性示出圖像顯示部10制造時的Χ1-ΧΓ剖面和 X2-X2’剖面。此外，圖11、圖12示意性地示出顯示面板1制造時的Y2-Y2’剖面。在圖7 圖10中，將X1-X1，剖面表示于(al)等，將X2-X2，剖面表示于(a2)等。 有時將(al)等和(a2)等簡單地略記為(a)等。在圖7 圖12中，省略基板101的圖示， TFT層102省略了 SD電極106以外的圖示。此外，關(guān)于Y1-Y1，剖面，由于能夠容易地從其他附圖以及本實施方式的說明中推測出，所以省略圖示。在上述圖中，有時以涂白圖示了處于切斷面的里側(cè)的提岸111、121的側(cè)面、凹部122的側(cè)面等。這是為了易于理解地表示第一提岸111和第二提岸121的高度的不同。(1)平坦化膜形成工序如圖7(a)、(b)所示，在TFT層102上涂敷了由正型的感光性材料構(gòu)成的抗蝕 (resist)膜137后，使用多色調(diào)掩模140進行曝光。然后，在顯像處理中，被照射了光的部分(曝光部分)被除去，形成凹部123和接觸孔部125。然后，進行燒成處理(烘焙處理)?？刮g膜137由旋涂法等液層制膜法來涂敷，通過掩埋TFT層102上的凹部來使表
24面平坦化。也可以使用狹縫式涂敷(slit coat)法、噴涂(spraycoat)法、輥涂(roll coat) 法、模具涂敷(die coat)法、浸涂法等液層制膜法來涂敷。用于曝光處理的多色調(diào)掩模140包括使光透射的透光部141、使透射光減弱的半透光部142、和遮擋光的遮光部143。對于半透光部142配置與曝光機的解析度 (resolution)相比充分細微的圖案，有通過調(diào)整每單位面積上配置的微細圖案的數(shù)量來調(diào)整透射率的方式、或者通過層疊具有任意的透射率的膜來調(diào)整透射率的方式等，由這樣的半透光部142來實現(xiàn)中間曝光。特別是，在以RGB為單位使凹部123的深度不同時，多色調(diào)掩模140優(yōu)選配置與曝光機的解析度相比充分細微的圖案、調(diào)整每單位面積上配置的微細圖案的數(shù)量來調(diào)整透射率的方式。Χ1-ΧΓ剖面與像素區(qū)域100a對應(yīng)，由于不形成凹部122，所以由遮光部143遮光。 其結(jié)果，如圖7 (bl)所示，維持了平坦面103a。另一方面，關(guān)于X2-X2’剖面、Y2-Y2，剖面， 分別將圖7(a2)、(b2)、圖11(a)、(b)對比可知，透光部141與接觸孔部125的形成區(qū)域?qū)?yīng)，半透光部142與箱形部123的形成區(qū)域(接觸孔部125的形成區(qū)域以外的區(qū)域)對應(yīng)。 在本實施方式中，因為接觸孔部125的形成區(qū)域與箱形部123的形成區(qū)域重疊，所以上述半透光部142與箱形部123的形成區(qū)域中的、接觸孔部125的形成區(qū)域以外的區(qū)域?qū)?yīng)。在顯像處理中，被照射了通過透光部141的強光的部分被除掉，形成貫通平坦化膜103的孔、即接觸孔部125。此外，被照射了通過半透光部142的弱光的部分(除去接觸孔部125的形成區(qū)域)被除掉，平坦化膜103的上面凹陷，形成箱形部123。在鈍化膜107(參照圖幻，在涂敷抗蝕膜137之前，通過光刻處理(曝光、顯像、蝕刻處理等)，形成與接觸孔部125連通的開口部?；蛘卟恍纬赦g化膜107。通過燒成處理，例如殘留在抗蝕膜137上的溶劑等被除去，所形成的形狀穩(wěn)定，并且提高了與TFT層102的密合性。在此，對曝光處理與凹部122的形狀的關(guān)系進行簡單說明。箱形部123和接觸孔部125被設(shè)為向上方直徑擴大的形狀。這是因為通過了透光部141和半透光部142的光由于衍射而擴散引起的。具體進行說明。例如，在透光部141中直行的光較強，一直到達抗蝕膜137的最深部，但衍射的光較弱，所以只能到達抗蝕膜137的中間或表面。特別是，與直行光的角度差越大則光的強度越弱。其結(jié)果，對應(yīng)于透光部141的部分在抗蝕膜137的下面?zhèn)乳_口，在其周圍，抗蝕膜137的厚度逐漸增加從而形成傾斜面。上述情況，對箱形部123來說也是同樣的。也可以認為形成于作為絕緣保護膜的鈍化膜107的開口部為接觸孔的一部分。在該情況下，可以認為凹部122具有接觸孔中除去了上述開口部的部分的功能。(2)陽極電極形成工序圖8 (a) (e)、圖11(c) (g)中示出形成陽極電極112的處理。首先，在平坦化膜103上通過例如濺射法、真空蒸鍍法等形成Ag和ITO等的薄膜 149(圖 8 (a)、圖 11(c))。接著，在薄膜149上涂敷正型的抗蝕劑150，使用單色調(diào)掩模151進行曝光(圖 8(b)、圖11(d))。單色調(diào)掩模151包括使光透射的透光部152和遮擋光的遮光膜部153。通過該單色調(diào)掩模151，抗蝕劑150的曝光部分成為格子形狀。
然后，通過顯像、燒成處理將抗蝕劑150形成預(yù)定的圖案(圖8(c)、圖11(e))。此時，抗蝕劑150，俯視觀察，成為由格子形狀的槽155劃分、多個矩形部分以行列狀排列的形狀。然后，通過干式蝕刻處理(或者濕式蝕刻處理)，除掉薄膜149的沒有被抗蝕劑 150覆蓋的格子形狀的部分，形成俯視為矩形的陽極電極112 (圖8 (d)、圖11 (f))。然后，除掉抗蝕劑150(圖8(e)、圖11(g))。(3)提岸形成工序?qū)υ谄教够?03和陽極電極112上形成提岸的提岸形成工序進行說明。在形成有陽極電極112的平坦化膜103上涂敷由正型的感光性樹脂材料構(gòu)成的提岸材料，使用單色調(diào)掩模161進行曝光(圖9 (a)、圖12 (a))。在提岸材料的涂敷中，例如使用旋涂法等在平坦化膜103上以大概均一的厚度堆積提岸材料層160。并且，提岸材料層160，其像素區(qū)域IOOa中的厚度與凹部123內(nèi)的厚度為相同程度，提岸材料層160的上面形狀形成為與平坦化膜103的上面形狀大概類似的形狀?？梢栽谛纬砂疾?22等、存在凹部的部分有些厚度變化。在提岸材料的涂敷中，也能夠使用例如噴涂(spray coat)法、輥涂(roll coat)法、模具涂敷(die coat)法、浸涂法、狹縫式涂敷(slit coat)法等。單色調(diào)掩模161包括使光透射的透光部162和遮擋光的遮光部163。在本實施方式中，因為提岸材料層160由正型的感光性材料構(gòu)成，所以將形成第一提岸111、第二提岸 121的部分遮光，將光照射到提岸111、121以外的部分。接著，通過顯像處理除掉像素區(qū)域100a上的提岸材料層160，對剩余部分進行燒成處理(圖9(b)、圖12(b))。這樣，同時形成第一提岸111和第二提岸121。關(guān)于對上述第二提岸121的曝光和燒成，在圖13(a)、(b)中示意性地示出并進行說明。圖13(a)、(b)分別與圖12(a)、(b)對應(yīng)。如圖13(a)所示，遮光部163與比箱形部123稍大的區(qū)域?qū)?yīng)。這是為了在比箱形部123稍大的區(qū)域上形成第二提岸121，由第二提岸121覆蓋彎曲部112d。與所述的圖7 (a2)、(b2)的曝光處理與凹部122的形狀的關(guān)系同樣，通過了透光部 162的光由于衍射而擴散(圖13(a)中P、Q的箭頭)，強度弱地照射提岸材料層160中位于遮光部162下方的部分。通過對凹部側(cè)面160a的上端160b照射衍射光，能夠更可靠地使第二提岸121的高度比第一提岸111的高度低。通過上述曝光后的顯像處理，得到圖13(b)所示的第二提岸121的未燒成體166。 然后，在燒成處理中，未燒成體166變形，像素區(qū)域100a側(cè)的傾斜面166a的傾斜角度變小 (直線R)，形成第二提岸121。在該燒成處理中，未燒成體166的表面部分熔融，該熔融部分與像素電極112密合而成為正錐形形狀。此外存在如下情況通過燒成處理，進一步向像素區(qū)域100a側(cè)(箱形部123的外側(cè))稍微流動，未燒成體166(或者第二提岸121)有時會在 Y軸方向上擴展。在上述曝光、顯像處理中，通過在凹部122的上方形成第二提岸121，使得第二提岸121比第一提岸111低。此外，通過使第二提岸121比箱形部123寬大，由第二提岸121 覆蓋陽極電極112的彎曲部112d。在曝光處理中，若使直線P、Q比提岸材料層160的凹部開口邊緣160b靠下方，則基本能夠可靠地使第二提岸121比第一提岸111低。通過使第二提岸121比第一提岸111低，在后述的印刷處理中，能夠使得含有有機發(fā)光材料的墨越過第二提岸121而流動。在第一提岸111的高度不一致的情況下，只要第二提岸121的高度比第一提岸111 的最小的高度低即可。此外，為了使剛剛滴下之后墨172的流動更順暢，優(yōu)選將第二提岸 121的高度設(shè)為第一提岸111的高度的80%以下。提岸111、121的高度設(shè)為以平坦化膜 103的平坦面103a為基準的高度。在本實施方式中，第二提岸121的高度被設(shè)為第一提岸 111的高度的30%以上且60%以下。在提岸111、121的形成中，為了使得用于形成有機發(fā)光層113的墨不漏出到相鄰的像素部100，至少表面的一部分被設(shè)為具有撥液性。(4)有機發(fā)光層形成工序?qū)τ袡C發(fā)光層113的形成工序進行說明。在有機發(fā)光層113的形成中使用噴墨法。圖10(a)、圖12(c)中示出印刷裝置的噴墨頭170。噴墨頭170在X軸方向上延伸，一邊沿Y軸方向移動，一邊從多個噴嘴171將含有有機發(fā)光材料的墨172滴到第一提岸111之間。從各噴嘴171中射出對應(yīng)顏色的墨172。涂敷的墨172由于其表面張力而在第一提岸111之間隆起，成為上面彎曲的狀態(tài) (圖10(b))。第一提岸111為撥液性的，涂敷的墨172被排拒而難以超過第一提岸111。這是由于在X軸方向上相鄰的像素區(qū)域IOOa涂敷彼此不同顏色的墨172，所以要避免其超過第一提岸111而使不同顏色的墨172混合。此外，涂敷的墨172超過第二提岸121，以在Y軸方向上相連的狀態(tài)存留(圖 12(d))。并且，因為墨172能夠在Y軸方向上流動，所以在Y軸方向上排列的多個像素區(qū)域 IOOa上涂敷的墨量均勻。當(dāng)對涂敷的墨172進行干燥時，形成預(yù)定厚度的有機發(fā)光層113(圖10(c)、圖 12(e))。此外，雖然在第二提岸121的凹部127內(nèi)堆積了有機發(fā)光材料129，但如前所述不發(fā)光。(5)陰極電極形成工序等對形成陰極電極114的工序進行說明。通過濺射法、真空蒸鍍法等使陰極材料堆積在有機發(fā)光層113等上，形成陰極電極114(圖10(c)、圖12(e))?？梢栽陉帢O電極114的層上通過真空蒸鍍法制作密封膜，也可以在陰極電極114的層與配置在陰極電極114的層上的密封基板之間封入樹脂作為密封膜，也可以在陰極電極114的層與配置在陰極電極114的層上的密封基板之間封入惰性氣體(省略圖示)。在本實施方式中，平坦化膜形成工序相當(dāng)于所述“第一工序”。此外，提岸形成工序相當(dāng)于所述“第二工序”。6.作用效果本實施方式的顯示面板1，設(shè)為通過線狀的第一提岸111將多個像素部100呈條狀劃分的線提岸方式。形成劃分多個像素部100的第二提岸121，其高度比第一提岸111低。 由此，在形成有機發(fā)光層113的情況下，涂敷的墨172能夠超過第二提岸121而流動，在Y 軸方向上排列的多個像素區(qū)域IOOa中，墨172的涂敷量變得均一(圖12(d))。在墨172不能超過第二提岸121的情況下，需要調(diào)節(jié)各像素區(qū)域IOOa上墨172的涂敷量，會存在各像素區(qū)域IOOa的涂敷量不均的情況。此外，因為墨172能夠超過第二提岸121而流動，所以容易調(diào)節(jié)干燥后的有機發(fā)光層113的膜厚。例如，在墨172不能超過第二提岸121的情況下，即便將滴到各像素區(qū)域 IOOa的墨172的液滴數(shù)只增加或減少一滴，有機發(fā)光層113的膜厚也會發(fā)生較大變化，會難以設(shè)為目標厚度。與此相對，在本實施方式的顯示面板1中，通過調(diào)節(jié)凹部122的容積，調(diào)節(jié)堆積在第二提岸121的凹部127的有機發(fā)光材料129的體積，能夠?qū)τ袡C發(fā)光層113的膜厚進行微調(diào)。此外，在本實施方式的顯示面板1中，在平坦化膜103形成凹部123，在該凹部123 上形成第二提岸121，由此即使在第一提岸111和第二提岸121的曝光量不變化，也能夠同時形成高度不同的第一提岸111和第二提岸121。因此，在對提岸111、121曝光時，多色調(diào)掩模140的使用不是必須的，不需要選擇適合于多色調(diào)掩模140的提岸材料。由此，增加了提岸材料的選擇項，提岸材料的限制變少。可以使用多色調(diào)掩模140、且在凹部123上形成第二提岸121。通常使用多色調(diào)掩模在平坦化膜103形成深度不同的孔，因此同時形成在平坦化膜103必然形成的接觸孔和凹部很容易。即，能夠在不增加制造工序數(shù)量的情況下同時形成彼此高度不同的兩個提岸111、121。在本實施方式中，凹部122具有接觸孔部125，凹部 122具備接觸孔的功能。此外，在本實施方式的顯示面板1中，陽極電極112不僅在像素區(qū)域IOOa還延伸凹部123。陽極電極112的配置在凹部123內(nèi)的部分被第二提岸121覆蓋，因此不會使有機發(fā)光層113發(fā)光。然而，假設(shè)電極端部112b位于像素區(qū)域100a，則在為了防止局部的電流 (或者短路)而由第二提岸121覆蓋了電極端部112b的情況下，可能會減少陽極電極112 的露出面積。其結(jié)果使得能有效發(fā)光的面積減小。與此相對，在本實施方式中，通過將電極端部112a、b配置于凹部123，陽極電極 112的露出面積變得不容易減少，能有效發(fā)光的面積就變大。由于將電極端部llh、b配置于凹部123，從而在陽極電極112形成沿凹部123的開口邊緣的彎曲部112d，但因為第二提岸121比凹部123寬大，所以彎曲部112d被第二提岸121覆蓋，防止了在發(fā)光層局部的電流流動。此外，在本實施方式的顯示面板1中，俯視觀察，在形成凹部122的區(qū)域內(nèi)形成接觸孔部125。若凹部和接觸孔形成在不同的區(qū)域，則像素區(qū)域IOOa會變窄，通過將接觸孔部 125形成在凹部122內(nèi)，能夠抑制像素區(qū)域IOOa的減小。(變形例1)第二提岸121的凹部127的形狀，能夠通過改變箱形部123的形狀而容易地變化。 圖14、圖15中分別示出通過改變箱形部123的深度、面積而改變了第二提岸121的凹部127 的深度D、面積W的例子。通過改變凹部127的深度、面積，能夠使凹部127的容積(內(nèi)部空間的體積)變化，使堆積于凹部127的有機發(fā)光材料129的量增減。在凹部127上雖然堆積有機發(fā)光材料129，但不供給電流，所以不會有助于發(fā)光。 但是，通過改變堆積于凹部127的有機發(fā)光材料129的量，能夠調(diào)節(jié)有機發(fā)光層113的膜厚。例如，在按紅、綠、藍各顏色調(diào)節(jié)有機發(fā)光層113的膜厚的情況下，即使不改變各色的墨 172的滴下量，也能夠通過預(yù)先使凹部127的體積按各顏色不同，從而按各顏色調(diào)節(jié)有機發(fā)光層113的膜厚。并且，通過按各顏色調(diào)節(jié)有機發(fā)光層113的膜厚，能夠容易地進行與發(fā)光色對應(yīng)的亮度、色度調(diào)整。也可以不必使所有三種顏色的有機發(fā)光層113的膜厚按各顏色都不相同，例如可以使三種顏色中的兩種顏色的有機發(fā)光層113的膜厚相等。為了使箱形部123的深度不同，例如可以在多色調(diào)掩模140上設(shè)置透射率彼此不同的多個半透光部142。并且，以透射率高的半透光部與形成深凹部的部分對應(yīng)、透射率低的半透光部與形成淺凹部的部分對應(yīng)的方式形成多色調(diào)掩模。通過使用該多色調(diào)掩模來進行曝光、顯像處理，能夠同時形成深度不同的凹部。在使凹部深的情況下，可以貫通平坦化膜 103。為了使箱形部123的寬度不同，例如可以改變多色調(diào)掩模140的半透光部142的寬度。也可以按各顏色使箱形部123的深度和寬度這雙方不同。在本變形例中，箱形部123的深度和/或?qū)挾茸兓佑|孔部125的下側(cè)開口部的大小和形狀沒有變化。由此，不會使陽極電極與TFT層102的導(dǎo)電性變化。(變形例2)第二提岸121，在Y軸方向的端部的像素區(qū)域IOOa側(cè)的傾斜面121b上，規(guī)定了有機發(fā)光層113的Y軸方向上的側(cè)面?？梢园醇t、綠、藍各顏色使該傾斜面121b的傾斜角度不同。圖16 (a)、(b)、(c)中分別示出使傾斜面121b的傾斜角度不同、為θ 1 θ 3的例子。通過調(diào)節(jié)相對于箱形部123的、第二提岸121的Y軸方向的長度，來調(diào)整傾斜面 121b的傾斜角度。例如，如圖16(a)所示，在縮短第二提岸121的Y軸方向的長度、減小了俯視觀察在Y軸方向上從箱形部123伸出的量的情況下，由提岸的燒成處理(參照圖13(b)) 引起的上述說明過的變形的程度變大，燒成后的傾斜面121b的傾斜角度變小。反過來，如圖16(c)所示，在加長第二提岸121的Y軸方向的長度、增大了俯視觀察在Y軸方向上從箱形部123伸出的量的情況下，由燒成處理引起的變形的程度變小，燒成后的傾斜面121b的傾斜角度變小。在圖16(b)中，從箱形部123伸出的伸出量為處于(a)與(c)中間的大小， 傾斜面121b的傾斜角度也為處于(a)與(c)中間的大小。由圖中的直線M1、M3在視覺上表現(xiàn)出(a)與(c)中的從箱形部123伸出的伸出量的不同。通過將傾斜面121b的傾斜角度設(shè)為適于各色的墨172的角度，能夠防止例如干燥后形成的有機發(fā)光層113的膜厚變得不均一的情況等，能夠使有機發(fā)光層113的形狀為適當(dāng)?shù)男螤?。具體進行說明。剛剛滴到多個像素區(qū)域IOOa上等的墨172以在Y軸方向相連的狀態(tài)存留(參照圖12(d))。但是，在隨著干燥的進行，存留的墨172的上面高度變?yōu)榈诙岚?21以下的情況下，各像素區(qū)域IOOa上的墨172與第二提岸121的凹部127上的墨172 分離。并且，在第二提岸121的傾斜面121b具有撥液性、且干燥中途的墨172還殘留有流動性的情況下，各像素區(qū)域IOOa上的墨172的上面由于其表面張力而彎曲。通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)置傾斜面121b的傾斜角度，能夠使該彎曲的程度適當(dāng)，由此能夠使干燥后的有機發(fā)光層 113的形狀變?yōu)檫m當(dāng)?shù)男螤?。傾斜面121b的傾斜角度例如能夠基于各色的墨172的粘性和/或表面張力來確定。與所有三種顏色的有機發(fā)光層113對應(yīng)的傾斜面121b的傾斜角度不必互不相同，可以使兩種顏色的傾斜面121b的傾斜角度相同。即，能夠根據(jù)各色使用的墨172的特性而設(shè)定適當(dāng)傾斜角度，所以能夠使用的墨的選擇項增加。在日本特開2007-311235號公報中，通過在提岸表面形成親液性的突狀部，從而控制墨的鎖住(pinning)位置，防止了有機發(fā)光層的膜厚變得不均一。與此相對，在本變形例的顯示面板1中，通過改變傾斜面121b的傾斜角度，從而控制墨的鎖住位置，能夠防止有機發(fā)光層的膜厚變得不均一。(變形例3)在上述實施方式中，在陽極電極112與陰極電極114之間夾有有機發(fā)光層113。進而，可以在陽極電極112與有機發(fā)光層113之間插入空穴注入輸送層，在有機發(fā)光層113與陰極電極114之間插入電子注入層。圖17中示意性地示出圖1中的A-A’剖面。本變形例的圖像顯示部200，在陽極電極112上層疊形成空穴注入輸送層201，在有機發(fā)光層113上層疊形成電子注入層202。空穴注入輸送層201具有使空穴穩(wěn)定、或者輔助生成空穴，對有機發(fā)光層113注入和輸送空穴的功能，具有大的功函數(shù)。該空穴注入輸送層201能夠由例如銀(Ag)、鉬(Mo)、 鉻(Cr)、釩(V)、鎢(W)、鎳(Ni)、銥(Ir)等氧化金屬形成。在此，在由過渡金屬的氧化物構(gòu)成空穴注入輸送層201的情況下，能夠取得多種氧化價數(shù)，由此可以取得多個能級，其結(jié)果，空穴注入變得容易，能夠降低驅(qū)動電壓。關(guān)于空穴注入輸送層201，除了由上述的金屬氧化物形成以外，還可以使用PEDOT(聚噻吩與聚丙乙烯磺酸的混合物)、酞菁系、三芳基胺系、三苯基胺系等來形成。在所述陽極電極形成工序之后、提岸形成工序之前，進行空穴注入輸送層201的形成。并且，通過濺射法、真空蒸鍍法等在平坦化膜103和陽極電極112上形成空穴注入輸送層201。在由氧化金屬形成空穴注入輸送層201的情況下，可以在平坦化膜103和陽極電極112上制作金屬膜，對該金屬膜進行氧化，從而形成空穴注入輸送層201。電子注入層202具有將從陰極電極112注入的電子向有機發(fā)光層113輸送的功能，例如優(yōu)選由鋇、氟化鋰等形成。在有機發(fā)光層形成工序之后、陰極電極形成工序之前，進行電子注入層202的形成。并且，通過真空蒸鍍法等在有機發(fā)光層103和提岸111、121上形成上述材料的膜。在本變形例的圖像顯示部200中，同樣也可以在提岸形成工序中，通過在凹部122 的上方形成第二提岸121，由此即使在第一提岸111和第二提岸121的曝光量不變化，也能夠同時形成高度不同的第一提岸111和第二提岸121。由此，能夠起到所述實施方式所記載的作用效果。此外，本變形例的圖像顯示部200具有空穴注入輸送層201和電子注入層 202，能夠控制向有機發(fā)光層113的電荷(空穴、電子)的供給平衡，使發(fā)光效率更高。在本變形例中，空穴注入輸送層201以覆蓋平坦化膜103的整個面的方式形成，但也可以僅在陽極電極112上形成。此外，在陽極電極112為反射電極的情況下，可以在陽極電極112與空穴注入輸送層201之間插入由ITO(氧化銦錫)膜等構(gòu)成的電極覆蓋層。此外，在本變形例中，可以省略電子注入層202。在本變形例中，箱形部的底面比第一提岸111 的底面低，而且比在第一提岸111的頂面Illb下方的空穴注入輸送層201的下面低。(變形例4)
在所述實施方式和變形例中，凹部122具有箱形部123和接觸孔部125。也可以將該箱形部123加深直到在平坦化膜的下面?zhèn)乳_口，使得凹部122的容積最大。圖18是表示本變形例中的顯示面板的剖面(相當(dāng)于圖2的B-B’剖面)的圖。在本變形例中，除了平坦化膜和第二隔壁的形狀以外，大部分與所述實施方式相同，因此對相同的構(gòu)成部分標記與所述實施方式相同的標號，對不同的構(gòu)成部分進行說明。在平坦化膜253形成大致四棱錐臺形狀的凹部272。該凹部272的上側(cè)開口部的形狀與所述實施方式的凹部122相同。凹部272的底面27 由鈍化膜107的上面形成。此外，在凹部272的四個側(cè)面272b、c(圖18中僅代表性地示出側(cè)面272b)都沒有形成臺階， 凹部272為從上側(cè)開口部向下側(cè)開口部連續(xù)地直徑縮小的形狀。形成有底面27 的區(qū)域被設(shè)為所述“除去了平坦化膜的區(qū)域”。上述凹部272，可以通過在所述圖7(a2)、(b2)以及圖11 (a)、(b)的工序中，在大概與底面27 相當(dāng)?shù)膮^(qū)域上照射透光部141的光，然后進行顯像而形成。即，即便不使用多色調(diào)掩模，也能夠通過使用了單色調(diào)掩模的曝光處理來形成凹部272。如在所述圖7 (a2)、 (b2)的工序中說明的那樣，由于曝光處理中的光的衍射，側(cè)面272b、c傾斜，凹部272成為朝向下方直徑縮小的形狀。此外，配置在凹部272內(nèi)的陽極電極沈2，穿過鈍化膜107的開口 107a，在接觸部 262g與SD電極106連接。這樣，本變形例的凹部272，俯視觀察，形成在與接觸部重疊的區(qū)域，兼具作為接觸孔的功能。本變形例中，凹部272由箱形部273構(gòu)成，箱形部273兼具作為接觸孔的功能，所以可以認為是將箱形部和接觸孔部一體化的形態(tài)。并且，在本變形例中，所述“形成有接觸孔的區(qū)域”，相當(dāng)于俯視觀察形成有接觸部的區(qū)域。第二提岸271為沿著凹部272的底面27 和側(cè)面272的形狀。此外，與所述實施方式的第二提岸121同樣地形成突出部271a和傾斜面271b。由于凹部272變深，第二提岸271的上部的凹部277的容積變得比所述實施方式的凹部127大。其結(jié)果，堆積于凹部 277的有機發(fā)光材料279的體積變得比所述實施方式的有機發(fā)光材料129的體積大。在圖中，有機發(fā)光層113的膜厚設(shè)得與所述實施方式相同，但在使墨的涂敷量相等的情況下，本變形例的有機發(fā)光層的膜厚比所述實施方式中的有機發(fā)光層的膜厚薄。第二提岸271的形成以及有機發(fā)光層113的形成與所述實施方式相同。在本變形例中，能夠使用單色調(diào)掩模對具有凹部272的平坦化膜253進行曝光，容易進行平坦化膜253的形成。此外，因為能夠盡可能地增大凹部272的容積，所以適于想要增大堆積于凹部277的有機發(fā)光材料279的體積的情況。在本變形例中，如圖18所示，凹部272的四個側(cè)面272b、c(圖中，代表性地示出側(cè)面272b)分別被設(shè)為平面，但并不限于此。即，凹部272的側(cè)面可以至少一部分是曲面。也可以凹部272的整個側(cè)面是曲面，例如可以將凹部設(shè)為碗狀的形狀。(變形例5)在所述實施方式和變形例中，凹部122等在X軸方向上進入到第一提岸111的側(cè)面Illa下方，但也可以設(shè)為不進入到第一提岸111下方的方式。圖19(a)、(b)是示出本變形例中的顯示面板的剖面(分別與圖4的Χ1_ΧΓ剖面、 Χ2-Χ2’剖面相當(dāng))的圖。在該圖中，省略了有機發(fā)光層和陰極電極的圖示。
31
在本變形例中，除了平坦化膜和第二隔壁的形狀以外，大部分與所述實施方式相同，因此對相同的構(gòu)成部分標記與所述實施方式相同的標號，對不同的構(gòu)成部分進行說明。在本變形例中，在X軸方向上，凹部422的邊緣部(側(cè)面423c的上端)在第一提岸411的側(cè)面411a的下端位置終止，沒有進入到第一提岸411下方。因此，在第二提岸421 中，在中央形成比第一提岸411低的低部451，在X軸方向的端部形成與第一提岸411相同高度的高部452。其結(jié)果，低部451的X軸方向上的長度比所述實施方式的第二提岸121短。 在這一點上，從提高墨的流動性的觀點來看，比所述實施方式的第二提岸121差。但是，在更穩(wěn)定地確保第一提岸411的頂面411b的高度這一點上，比所述實施方式好。此外，在本變形例中，凹部422的容積變小，但接觸孔部425的大小與所述實施方式相同，箱形部423的容積減小。此外，伴隨箱形部423的容積減小，第二提岸421的上部的凹部427的容積也變小。第一提岸411與第二提岸421之間的邊界不明確，但對第一提岸411中與像素區(qū)域IOOa相鄰的部分進行了延長的部分為第一提岸411，在圖19(b)中，以虛線示出第一提岸 411的側(cè)面411a。此外，在圖19(b)中，除第一提岸411以外的部分為第二提岸421。也可以將所述高部452認為是第一提岸411的構(gòu)成要素。在該情況下，可以認為 在本變形例中，第一提岸411的寬度(X軸方向上的長度)并不是一定的，在與第二提岸421 相鄰的部分變得寬。在這樣認為的情況下，變?yōu)榘疾?22的緣部進入到第一提岸411的側(cè)面411a的下方的方式。(其他)1.在上述實施方式及其變形例中說明的顯示面板1，例如被用于電視顯像器等顯示裝置。圖20中示出具備顯示面板1的有機電致發(fā)光顯示裝置500(以下，簡記為顯示裝置500)。此外，圖21中示出表示顯示裝置500的主要結(jié)構(gòu)的框圖。顯示裝置500，除顯示面板1以外，還具備調(diào)諧器510、外部信號輸入部511、圖像處理部512、聲音處理部513、控制部514、以及向顯示面板1供給電力的電源線供給部515。此外，在顯示裝置500的內(nèi)部或外部連接有揚聲器516。在顯示裝置500中，由調(diào)諧器510接收到的信號通過省略了圖示的解調(diào)/分離電路分離為圖像信號和聲音信號，分別被傳送到圖像處理部512和聲音處理部513。在圖像處理部512中，對圖像信號進行合成(復(fù)合)來生成幀圖像信號，按預(yù)定周期依次傳送到顯示面板1。顯示面板1的控制電路25基于幀圖像信號，至少控制信號線驅(qū)動電路21和掃描線驅(qū)動電路23，使圖像顯示部10依次顯示一幀的圖像。聲音處理部513對聲音信號進行合成以及放大，輸出到揚聲器516。在外部信號輸入部511，連接有例如DVD錄像機520等外部的圖像再生設(shè)備，向該外部信號輸入部511輸入該圖像再生設(shè)備的圖像信號、聲音信號。圖像處理部512、聲音處理部513根據(jù)控制部514的指令，選擇調(diào)諧器510和外部信號輸入部511中的任一方的信號，將其輸出至顯示面板1等?？刂撇?14 具備 CPU (Central Processing Unit，中央處理單元)、R0M、RAM 等，根據(jù)由省略圖示的遙控器和/或操作開關(guān)等輸入的動作指令，控制各構(gòu)成，實現(xiàn)顯示裝置500 的各種動作。上述顯示裝置500具備所述實施方式及其變形例中記載的顯示面板1，由此能夠起到與所述實施方式等同樣的作用效果。2.在上述實施方式和變形例1 3中，為了易于理解地說明本發(fā)明的構(gòu)成和作用 /效果而采用作為一例的各構(gòu)成，本發(fā)明除了本質(zhì)的部分，不限定于上述方式。例如，在上述實施方式中，如圖2所示，作為一例，采用了相對于有機發(fā)光層113在其Z軸方向下側(cè)配置陽極電極112的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明不限定于此，也可以采用相對于有機發(fā)光層113在其Z軸方向下側(cè)配置陰極電極114這樣的結(jié)構(gòu)。3.在上述實施方式和變形例1 5中，可以設(shè)為陽極電極112為反射金屬、陰極電極114為透明或半透明金屬的頂部發(fā)光構(gòu)造，也可以設(shè)為陽極電極112為透明或半透明金屬、陰極電極114為反射金屬的底部發(fā)光(bottom emission，底部發(fā)射)構(gòu)造。4.在上述實施方式和變形例1 5中，以在基板上具有TFT層102的有源矩陣驅(qū)動為前提進行了說明，但本申請也可以適用于無源矩陣驅(qū)動。在該情況下，不需要TFT層， 可以通過用于驅(qū)動有機發(fā)光層的驅(qū)動配線來向有機發(fā)光層供給電流。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明在實現(xiàn)亮度不均少、具有高畫質(zhì)性能的顯示裝置方面有用。
權(quán)利要求
1.一種有機電致發(fā)光顯示面板，具備 平坦化膜，其使驅(qū)動配線層的上方平坦化；一組隔壁，其形成在所述平坦化膜的上方，規(guī)定呈列狀配置的多個像素部的各自的側(cè)面；以及有機發(fā)光層，其形成在存在于所述一組隔壁之間的所述多個像素部， 所述平坦化膜具有凹部，所述凹部沿與所述一組隔壁交叉的方向橫穿成為所述多個像素部的各自的邊界的區(qū)域而形成；以及預(yù)定的隔壁，所述預(yù)定的隔壁由與所述一組隔壁相同的材料構(gòu)成，與所述一組隔壁連結(jié)，在所述平坦化膜的凹部的上方跟隨其內(nèi)部形狀而形成，比所述一組隔壁低。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光顯示面板，形成在所述平坦化膜的所述凹部的底面比所述一組隔壁的底面低。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的有機電致發(fā)光顯示面板，在所述平坦化膜與所述有機發(fā)光層之間，與所述多個像素部的各自對應(yīng)地夾著像素電極層，所述像素電極層的端部的一部分配置在形成于所述平坦化膜的凹部， 所述預(yù)定的隔壁覆蓋了配置在形成于所述平坦化膜的凹部的所述像素電極層的端部的一部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3的任一項所述的有機電致發(fā)光顯示面板， 形成于所述平坦化膜的凹部沒有形成在所述一組隔壁的下方。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 3的任一項所述的有機電致發(fā)光顯示面板，形成于所述平坦化膜的凹部，以其邊緣部進入到所述一組隔壁的各自的側(cè)面位置的下方的狀態(tài)而形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5的任一項所述的有機電致發(fā)光顯示面板， 所述一組隔壁形成為線狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求1 6的任一項所述的有機電致發(fā)光顯示面板，形成于所述多個像素部的有機發(fā)光層是由同一顏色的發(fā)光材料構(gòu)成的有機發(fā)光層。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機電致發(fā)光顯示面板，所述平坦化膜具有連接所述像素電極層與所述驅(qū)動配線層的接觸孔， 所述凹部形成在與形成有所述接觸孔的區(qū)域在上下方向上重疊的區(qū)域。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機電致發(fā)光顯示面板， 在所述凹部的內(nèi)部存在除去了所述平坦化膜的區(qū)域， 所述接觸孔至少被設(shè)置在除去了所述平坦化膜的區(qū)域， 所述像素電極層與所述驅(qū)動配線層經(jīng)由所述接觸孔而接觸。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或權(quán)利要求9所述的有機電致發(fā)光顯示面板，在所述驅(qū)動配線層的上面與所述平坦化膜的下面之間具有絕緣保護層， 所述絕緣保護層，在形成有所述接觸孔的區(qū)域中具有開口部， 所述絕緣保護層的開口部的面積比所述凹部的面積小。
11.根據(jù)權(quán)利要求1 10的任一項所述的有機電致發(fā)光顯示面板，所述凹部具有在平坦化膜的上面?zhèn)乳_口的上側(cè)開口部、和在下面?zhèn)乳_口的下側(cè)開口部，所述凹部為隨著從所述上側(cè)開口部接近所述下側(cè)開口部而連續(xù)或階段性地直徑縮小的形狀。
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的有機電致發(fā)光顯示面板，形成有所述凹部的上側(cè)開口部的俯視區(qū)域，比形成有所述接觸孔的俯視區(qū)域大、且與形成有所述接觸孔的俯視區(qū)域的整體重疊。
13.根據(jù)權(quán)利要求1 12的任一項所述的有機電致發(fā)光顯示面板，所述一組隔壁至少存在三組，對于所述至少三組隔壁中的三組隔壁，紅色、綠色、藍色各對應(yīng)著一組隔壁， 在各組隔壁之間設(shè)置有所述有機發(fā)光層、所述凹部和所述預(yù)定的隔壁。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的有機電致發(fā)光顯示面板， 將形成于所述平坦化膜的凹部設(shè)為第一凹部，所述預(yù)定的隔壁，通過跟隨所述第一凹部的內(nèi)部形狀而凹陷，從而在上部形成第二凹部，在所述第二凹部堆積有與所述有機發(fā)光層同樣的有機發(fā)光材料， 形成于所述三組隔壁中的一組隔壁之間的第一凹部和第二凹部，其容積與形成于其他兩組隔壁之間的第一凹部和第二凹部不同。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的有機電致發(fā)光顯示面板， 將形成于所述平坦化膜的凹部設(shè)為第一凹部，所述預(yù)定的隔壁通過跟隨所述第一凹部的內(nèi)部形狀而凹陷，從而在上部形成第二凹部，在所述第二凹部堆積有與所述有機發(fā)光層同樣的有機發(fā)光材料， 形成于所述三組隔壁中的一組隔壁之間的所述第二凹部，其面積與形成于其他兩組隔壁之間的所述第二凹部不同。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的有機電致發(fā)光顯示面板， 所述凹部，具有上部凹部，其形狀為隨著從在平坦化膜的上面?zhèn)乳_口的上側(cè)開口部向在下面?zhèn)乳_口的下側(cè)開口部接近而連續(xù)地直徑縮??；和下部凹部，其形狀為隨著從所述下側(cè)開口部向所述上側(cè)開口部接近而連續(xù)地直徑擴大，并且，在所述上部凹部與所述下部凹部之間存在臺階，所述像素電極層，從所述像素部延伸到所述凹部內(nèi)而形成，通過所述下側(cè)開口部與所述驅(qū)動電極層電連接，形成于所述三組隔壁中的一組隔壁之間的所述上部凹部和所述第二凹部，各自的深度或面積分別與形成于其他兩組隔壁之間的所述上部凹部和所述第二凹部不同，并且，形成于所述三組隔壁之間的所述下部凹部的所述下側(cè)開口部為彼此相同的形狀。
17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的有機電致發(fā)光顯示面板，所述預(yù)定的隔壁，具有在所述三組隔壁的延伸方向上規(guī)定所述有機發(fā)光層的側(cè)面的傾斜面，形成于所述三組隔壁中的一組隔壁之間的預(yù)定的隔壁的傾斜面的傾斜角度，與形成于其他兩組隔壁之間的預(yù)定的隔壁的傾斜面的傾斜角度不同。
18.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機電致發(fā)光顯示面板， 在所述像素電極層中配置在所述凹部的開口邊緣的部分彎曲，所述預(yù)定的隔壁，形成在比所述凹部面積大的區(qū)域，在所述一組隔壁的延伸方向上覆蓋所述像素電極層彎曲的部分。
19.根據(jù)權(quán)利要求1 18的任一項所述的有機電致發(fā)光顯示面板， 所述驅(qū)動配線層為薄膜晶體管層。
20.根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機電致發(fā)光顯示面板，所述像素電極層由金屬、半導(dǎo)體、或者金屬以及半導(dǎo)體構(gòu)成。
21.一種有機電致發(fā)光顯示裝置，具備權(quán)利要求1至權(quán)利要求20的任一項所述的有機電致發(fā)光顯示面板。
22.—種有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法，包括第一工序，在薄膜晶體管層的上方形成平坦化膜，使所述薄膜晶體管層的上方平坦化；第二工序，在所述平坦化膜的上方形成一組隔壁，所述一組隔壁規(guī)定呈列狀配置的多個像素區(qū)域的各自的側(cè)面；以及第三工序，在存在于所述一組隔壁之間的所述多個像素區(qū)域中形成有機發(fā)光層， 在所述第一工序中，在所述平坦化膜形成凹部，所述凹部沿與所述一組隔壁交叉的方向橫穿成為所述多個像素部的各自的邊界的區(qū)域而形成，在所述第二工序中，形成預(yù)定的隔壁，使所述預(yù)定的隔壁跟隨所述平坦化膜的凹部的內(nèi)部形狀、且形成為比所述一組隔壁低的形狀，所述預(yù)定的隔壁由與所述一組隔壁同樣的材料構(gòu)成、與所述一組隔壁連結(jié)。
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法， 在所述第二工序中，在所述平坦化膜上涂敷形成所述一組隔壁和所述預(yù)定的隔壁的隔壁材料， 經(jīng)由留下所述一組隔壁和所述預(yù)定的隔壁的掩模圖案，使所述隔壁材料曝光， 所述預(yù)定的隔壁，通過跟隨所述平坦化膜的凹部的內(nèi)部形狀而進入到所述凹部的內(nèi)部，從而成為比所述一組隔壁低的高度。
24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法，在所述第二工序中，留下所述預(yù)定的隔壁的掩模圖案是留下比形成于所述平坦化膜的凹部的俯視區(qū)域大的掩模圖案。
25.根據(jù)權(quán)利要求22所述的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法， 在所述第一工序中，經(jīng)由在所述平坦化膜形成所述凹部的掩模圖案使所述平坦化膜曝光， 在所述平坦化膜形成所述凹部的掩模圖案是具有光的透射率相互不同的多個透光區(qū)域的多色調(diào)掩模圖案。
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法，在所述第一工序中，通過所述多色調(diào)掩模圖案，在形成所述凹部的區(qū)域中，使照射到形成接觸孔的區(qū)域和其周圍的區(qū)域的光的透射率不同而曝光，在所述平坦化膜形成具有臺階的凹部。
27.根據(jù)權(quán)利要求22或23所述的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法，在所述第二工序中，經(jīng)由使照射到形成所述一組隔壁的區(qū)域和形成所述預(yù)定的隔壁的區(qū)域的光的透射率相等的掩模圖案，使所述隔壁材料曝光。
28.根據(jù)權(quán)利要求22 27的任一項所述的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法，還包括如下的第四工序在所述第二工序之前，在所述平坦化膜上與所述多個像素區(qū)域的各自對應(yīng)地形成像素電極層，在所述第四工序中，所述像素電極層的端部的一部分被配置在所述凹部的內(nèi)部，在所述第二工序中，通過所述預(yù)定的隔壁覆蓋所述像素電極層的端部的一部分。
29.根據(jù)權(quán)利要求觀所述的有機電致發(fā)光顯示面板的制造方法，在所述第四工序中，所述像素電極層形成為從所述像素區(qū)域延伸到所述凹部的內(nèi)部、 在所述凹部的開口邊緣彎曲的形狀，在所述第二工序中，留下所述預(yù)定的隔壁的掩模圖案是留下比形成于所述平坦化膜的凹部的俯視區(qū)域大的掩模圖案，通過所述預(yù)定的隔壁覆蓋所述像素電極層的彎曲部分。
全文摘要
有機電致發(fā)光顯示面板，具備形成在平坦化膜(103)的上方、規(guī)定多個像素部(100)的各自的側(cè)面的一組第一堤岸(111)，和形成在多個像素部(100)的有機發(fā)光層(113)。平坦化膜(103)具有凹部(122)，凹部(122)沿與一組第一堤岸(111)交叉的方向橫穿成為多個像素部(100)的各自的邊界的區(qū)域而形成。此外，有機電致發(fā)光顯示面板具有由與第一堤岸(111)相同的材料構(gòu)成的、與一組第一堤岸(111)連結(jié)的第二堤岸(121)。所述第二堤岸(121)在凹部(122)的上方跟隨其內(nèi)部形狀而形成，比第一堤岸(111)低。
文檔編號H05B33/12GK102405686SQ201080001720
公開日2012年4月4日 申請日期2010年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月19日
發(fā)明者吉田英博, 小野晉也, 西山誠司 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社