專利名稱：有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具備多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件的有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法和有機(jī)電致發(fā)光裝置，以及顯示裝置。
背景技術(shù)：
具備作為光源發(fā)揮功能的多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件(以下，有時(shí)將“電致發(fā)光”記為 “EL”。)的顯示裝置的研究開發(fā)現(xiàn)在進(jìn)行。顯示裝置中搭載的有機(jī)EL元件是通過施加電壓而發(fā)光的發(fā)光元件，其含有一對(duì)電極、在該電極間設(shè)置的發(fā)光層來構(gòu)成。對(duì)有機(jī)EL元件施加電壓時(shí)，從一個(gè)電極注入空穴， 同時(shí)從另一個(gè)電極注入電子，這些空穴和電子在發(fā)光層結(jié)合，從而發(fā)光。彩色顯示用的顯示裝置為了表現(xiàn)所需的色，通常具備發(fā)紅色光的有機(jī)EL元件、發(fā)綠色光的有機(jī)EL元件、發(fā)藍(lán)色光的有機(jī)EL元件這3種有機(jī)EL元件。顯示裝置中，在基板上設(shè)有用于劃分各有機(jī)EL元件的隔壁。例如基板上設(shè)有格子狀的隔壁時(shí)，在通過隔壁劃分為格子狀的各像素中分別設(shè)有各有機(jī)EL元件。因此有機(jī)EL元件以矩陣狀配置。有機(jī)EL元件的發(fā)光層可以通過各種方法形成，但是從工序的簡易度觀點(diǎn)出發(fā)，一直研究用涂布法形成發(fā)光層。例如發(fā)光層通過利用規(guī)定的涂布法涂布將形成該發(fā)光層的材料溶于溶劑而成的墨液，并將其固化，由此來形成。為了將前述的3種有機(jī)EL元件形成于基板上，必須在各自規(guī)定的位置分別制作發(fā)紅色光的紅色發(fā)光層，發(fā)綠色光的綠色發(fā)光層，發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層。為了用涂布法實(shí)現(xiàn)該操作，必須將用于形成紅色發(fā)光層的墨液(以下有時(shí)簡單稱為紅墨液。)、用于形成綠色發(fā)光層的墨液(以下有時(shí)簡單稱為綠墨液。)、 用于形成藍(lán)色發(fā)光層的墨液(以下有時(shí)簡單稱為藍(lán)墨液。)選擇性地供給到規(guī)定的位置。 具體而言，必須將紅墨液、綠墨液、藍(lán)墨液分別選擇性地供給到分別形成發(fā)紅色光的有機(jī)EL 元件、發(fā)綠色光的有機(jī)EL元件，發(fā)藍(lán)色光的有機(jī)EL元件的區(qū)域中。例如通過噴墨打印法、凸版印刷法等的規(guī)定的涂布法，能夠在規(guī)定的區(qū)域選擇性地供給紅墨液，綠墨液，藍(lán)墨液的3種類的墨液，但是隔壁顯示親液性時(shí)，有時(shí)對(duì)利用隔壁劃分的規(guī)定的區(qū)域供給的墨液會(huì)沿著隔壁表面浸潤擴(kuò)展，墨液有時(shí)也會(huì)擴(kuò)展到隔著隔壁鄰接的相鄰像素區(qū)域中。這時(shí)，產(chǎn)生所謂的混色。即形成紅墨液、綠墨液、藍(lán)墨液混雜的發(fā)光層。這樣，在具備顯示親液性的隔壁的基板上制作有機(jī)EL元件時(shí)，很難按照設(shè)計(jì)形成發(fā)出所需的色的光的發(fā)光層。為了解決上述的混色的問題，公開了對(duì)顯示親液性的隔壁實(shí)施疏液處理，使用顯示疏液性的隔壁制作有機(jī)EL元件的方法(例如，參照日本特開2006-286241號(hào)公報(bào))。隔壁顯示疏液性時(shí)，可以防止被供給的墨液沿著隔壁浸潤擴(kuò)展，因此供給到規(guī)定的區(qū)域的墨液擴(kuò)展至間隔隔壁而鄰接的相鄰像素區(qū)域的情況可以得到防止。由此，能夠?qū)⒐┙o的墨液確實(shí)地保持在規(guī)定的區(qū)域內(nèi)。由此，可以防止不同種類的墨液的混合，作為結(jié)果，能夠按照設(shè)計(jì)形成發(fā)出所需的色的光的發(fā)光層。

發(fā)明內(nèi)容
上述的以往的技術(shù)中，通過使用顯示疏液性的隔壁可以解決混色的問題，但是存在以下問題需要實(shí)施將隔壁表面的性質(zhì)由親液性轉(zhuǎn)變?yōu)槭枰盒缘奶幚?，并且增加相?yīng)的工序數(shù)。本發(fā)明的目的在于，提供一種有機(jī)EL裝置的制造方法，其能夠使用顯示親液性的隔壁而避免混色的問題的明顯化，且利用很少的工序來制作所需的有機(jī)EL元件。本發(fā)明涉及一種有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，所述有機(jī)電致發(fā)光裝置具備基板、設(shè)于該基板上的多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件以及劃分多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件的隔壁，上述多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件包括通過涂布法形成的發(fā)光層、以及隔著該發(fā)光層而配置的一對(duì)電極來構(gòu)成，作為上述發(fā)光層，具有發(fā)紅色光的紅色發(fā)光層、發(fā)綠色光的綠色發(fā)光層、或發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層，該制造方法包括準(zhǔn)備設(shè)有顯示親液性的隔壁、上述一對(duì)電極中的一個(gè)電極的基板的工序；在用于形成紅色發(fā)光層的一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成紅色發(fā)光層的墨液的紅墨液供給工序；在用于形成綠色發(fā)光層的一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成綠色發(fā)光層的墨液的綠墨液供給工序；在用于形成藍(lán)色發(fā)光層的一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成藍(lán)色發(fā)光層的墨液的藍(lán)墨液供給工序；將供給的墨液固化的工序；以及形成上述一對(duì)電極中的另一個(gè)電極的工序，紅墨液供給工序、藍(lán)墨液供給工序和綠墨液供給工序中，最后進(jìn)行紅墨液供給工序。作為該發(fā)明的一種實(shí)施方式，例如可舉出如下有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，有機(jī)電致發(fā)光裝置是如下裝置具備基板、設(shè)于該基板上的多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件、和劃分多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件的隔壁，上述多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件包含包含利用涂布法形成的發(fā)紅色光的紅色發(fā)光層、和隔著該紅色發(fā)光層配置的一對(duì)電極而構(gòu)成的有機(jī)電致發(fā)光元件(A)，包含利用涂布法形成的發(fā)綠色光的綠色發(fā)光層、和隔著該綠色發(fā)光層配置的一對(duì)電極而構(gòu)成的有機(jī)電致發(fā)光元件(B)，以及包含利用涂布法形成的發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層、和隔著該藍(lán)色發(fā)光層配置的一對(duì)電極而構(gòu)成的有機(jī)電致發(fā)光元件(C)，該發(fā)明包括以下工序準(zhǔn)備設(shè)有顯示親液性的隔壁、以及分別構(gòu)成上述多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件的一對(duì)電極中的一個(gè)電極的基板的工序；在上述有機(jī)電致發(fā)光元件(A)的一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成紅色發(fā)光層的墨液的紅墨液供給工序；在上述有機(jī)電致發(fā)光元件(B)的一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成綠色發(fā)光層的墨液的綠墨液供給工序；在上述有機(jī)電致發(fā)光元件(C)的一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成藍(lán)色發(fā)光層的墨液的藍(lán)墨液供給工序；將供給的墨液固化的工序；以及形成上述一對(duì)電極中的另一個(gè)電極的工序，其中，在紅墨液供給工序、藍(lán)墨液供給工序、綠墨液供給工序之中，最后進(jìn)行紅墨液供給工序。另外本發(fā)明涉及一種如上述有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，在上述藍(lán)墨液供給工序之后進(jìn)行上述綠墨液供給工序。另外本發(fā)明涉及一種如上述有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，上述涂布法為噴嘴涂布法或有版印刷法。另外本發(fā)明涉及一種如上述有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，上述涂布法為凸版印刷法。另外本發(fā)明涉及一種如上述有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，上述墨液含有沸點(diǎn)為200°C以上的溶劑，并且，沸點(diǎn)為200°C以上的溶劑相對(duì)于墨液的比例為5重
量％以上。另外本發(fā)明涉及一種有機(jī)電致發(fā)光裝置，其特征在于，其是包括基板、設(shè)于該基板上的多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件、和劃分該多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件的隔壁而構(gòu)成的有機(jī)電致發(fā)光裝置，上述多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件包含通過涂布法形成的發(fā)光層、以及隔著該發(fā)光層配置的一對(duì)電極而構(gòu)成，作為發(fā)光層，具備發(fā)紅色光的紅色發(fā)光層、發(fā)綠色光的綠色發(fā)光層、 或發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層，上述隔壁顯示親液性，綠色發(fā)光層和/或藍(lán)色發(fā)光層的一個(gè)端部沿著隔壁延續(xù)至隔著隔壁而鄰接的紅色發(fā)光層上。另外本發(fā)明涉及一種顯示裝置，其特征在于，具備上述有機(jī)電致發(fā)光裝置。


圖1是示意性地表示本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1的平面圖。圖2是將圖1所示的有機(jī)EL裝置1的1個(gè)像素部分的區(qū)域示意性地放大表示的有機(jī)EL裝置1的剖面圖。圖3是用于說明涂布墨液時(shí)的墨液行為和發(fā)光層5的形成方法的圖。附圖標(biāo)記說明1有機(jī)EL裝置2 基板3有機(jī)EL元件4 隔壁
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5發(fā)光層6 —個(gè)電極(陽極)7另一個(gè)電極(陰極)8絕緣膜9空穴注入層11 凹部
具體實(shí)施例方式圖1是示意性地表示本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1的平面圖。圖2將圖1所示的有機(jī)EL裝置1的1個(gè)像素部分的區(qū)域示意性地放大表示的有機(jī)EL裝置1的剖面圖。本說明書中，1像素通過1個(gè)有機(jī)EL元件來構(gòu)成。圖2(1)是沿著在圖1中列方向Y垂直的切斷面上，將有機(jī)EL裝置1切斷的剖面圖，圖2 )、(3)沿著圖1中的行方向X的垂直切斷面上，將有機(jī)EL裝置1切斷的剖面圖。圖2(1)、(2)中，切斷面通過了一個(gè)電極6上，圖2(3) 是切斷面以通過隔壁4上的方式將有機(jī)EL裝置1切斷的剖面圖。本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1包含基板2、設(shè)于該基板2上的多個(gè)有機(jī)EL元件3、 以及劃分多個(gè)有機(jī)EL元件的隔壁4而構(gòu)成。有機(jī)EL元件3包含通過涂布法形成的發(fā)光層 5、和隔著該發(fā)光層5而配置的一對(duì)電極6、7來構(gòu)成，作為上述發(fā)光層5，有發(fā)紅色光的紅色發(fā)光層5R、發(fā)綠色光的綠色發(fā)光層5G、或發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層5B(參照后述的圖3(5))。本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置的制造方法的特征在于，包括準(zhǔn)備設(shè)有顯示親液性的隔壁4和上述一對(duì)電極6、7中的一個(gè)電極6的基板2的工序，在上述一個(gè)電極6上通過涂布法供給用于形成紅色發(fā)光層5R的墨液的紅墨液供給工序，上述一方的電極6上通過涂布法供給用于形成綠色發(fā)光層5G的墨液的綠墨液供給工序，上述一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成藍(lán)色發(fā)光層5B的墨液的藍(lán)墨液供給工序，將供給的墨液固化的工序，以及形成上述一對(duì)電極中的另一個(gè)電極7的工序，在紅墨液供給工序、藍(lán)墨液供給工序、綠墨液供給工序之中最后進(jìn)行紅墨液供給工序。1)有機(jī)EL裝置的構(gòu)成首先對(duì)有機(jī)EL裝置1的構(gòu)成進(jìn)行說明。以下將有源矩陣驅(qū)動(dòng)方式的有機(jī)EL裝置 1作為例子，對(duì)有機(jī)EL裝置1進(jìn)行說明，但是本發(fā)明不限于有源矩陣驅(qū)動(dòng)方式，例如也可適用于無源矩陣驅(qū)動(dòng)方式。本實(shí)施方式中，在基板2上矩陣狀設(shè)置多個(gè)有機(jī)EL元件3。即在基板2上以沿著行方向X隔開等間隔并且沿著列方向Y隔開等間隔的方式分別離散地配置多個(gè)有機(jī)EL元件3?；?上，設(shè)有沿著列方向Y拉伸的多根隔壁4。各隔壁4配置于沿著行方向X相鄰的有機(jī)EL元件3之間，沿著行方向X互相隔開等間隔地配列。換言之，在沿著行方向X 相鄰的隔壁4之間配置有機(jī)EL元件3，多個(gè)有機(jī)EL元件3在沿著行方向X相鄰的隔壁4之間，沿著列方向Y隔開等間隔配置。本實(shí)施方式中隔壁4以如圖1所示的長條狀進(jìn)行配置， 但是作為其他的實(shí)施方式，隔壁4也可以格子狀被配置。本實(shí)施方式中，在基板2上設(shè)有發(fā)紅色光的有機(jī)EL元件、發(fā)綠色光的有機(jī)EL元件、和發(fā)藍(lán)色光的有機(jī)EL元件這3種有機(jī)EL元件。本實(shí)施方式中，1列中設(shè)有同類的有機(jī)EL元件。例如在基板2上中，設(shè)有⑴發(fā)紅色光的有機(jī)EL元件的列，設(shè)有(II)發(fā)綠色光的有機(jī)EL元件的列，和設(shè)有(III)發(fā)藍(lán)色光的有機(jī)EL元件的列分別隔開2列而配置。除了這3種有機(jī)EL元件之外，例如還可以設(shè)有用于降低耗電的發(fā)出白色發(fā)光的有機(jī)EL元件?；?的厚度方向的一個(gè)表面上，設(shè)有一對(duì)電極中的一個(gè)電極6。本實(shí)施方式中， 作為一個(gè)電極設(shè)置陽極，作為另一個(gè)電極設(shè)置陰極。因此，以下記載中將一個(gè)電極設(shè)為陽極 6，另一個(gè)電極設(shè)為陰極7。以下本說明書中，有時(shí)將基板2的厚度方向的一面記載為“上方” 或“上”，將厚度方向的另一面記載為“下方”或“下”。陽極6在基板2上矩陣狀地設(shè)置。陽極6在1個(gè)有機(jī)EL元件3中設(shè)置1個(gè)。即設(shè)置有與有機(jī)EL元件3的數(shù)量相同的陽極6。陽極6以在基板2上沿著行方向X隔開等間隔且沿著列方向Y隔開等間隔的方式分別離散地配置。陽極6為平板狀，從基板2的厚度方向的一側(cè)看(以下，有時(shí)稱為“俯視”。)形成大致矩形狀。在俯視方向看陽極6設(shè)于沿著行方向X相鄰的隔壁4之間，在各隔壁4之間，沿著列方向Y隔開等間隔地配置。本實(shí)施方式中，在俯視方向看陽極6的行方向X的兩端部與隔壁4重合。在俯視方向看陽極6的行方向X的兩端部也可以不與隔壁4重合。本實(shí)施方式中，在基板2上還設(shè)有絕緣膜8。絕緣膜8具有電絕緣性，是為了將各有機(jī)EL元件3電絕緣而設(shè)置的。絕緣膜8主要形成在除了陽極6以外的區(qū)域中，以其一部分被覆陽極6的周緣部的方式設(shè)為格子狀。即絕緣膜8以從形成有陽極6的基板2的上方被覆一面的方式設(shè)置，進(jìn)而以矩陣狀穿設(shè)(穿設(shè))陽極6露出的開口。由于上述的絕緣膜8 介于各陽極6之間存在，因此各陽極6被電絕緣，因此各有機(jī)EL元件3也同樣地被電絕緣。 在設(shè)置有擔(dān)負(fù)實(shí)現(xiàn)各有機(jī)EL元件3的電絕緣的功能的隔壁4時(shí)等，也可以通過設(shè)計(jì)而不設(shè)置絕緣膜8。主要在有機(jī)EL元件在俯視方向看形成有開口的部分發(fā)光。該開口的尺寸根據(jù)分辨率、所需的特性來設(shè)計(jì)，行方向χ和列方向Y的開口的寬度通常為20 μ m 500 μ m左右。隔壁4如上所述分別沿著列方向Y延伸，沿著行方向X互相隔開規(guī)定的間隔地配置。本實(shí)施方式中，隔壁4設(shè)于在絕緣膜8上相鄰的開口和開口之間設(shè)置。隔壁4相對(duì)于后述的墨液顯示親液性。本說明書中，隔壁顯示親液性，是指用于形成發(fā)光層的墨液與隔壁的接觸角為30°以下。隔壁4的行方向X的間隔，根據(jù)分辨率、所需的特性來設(shè)計(jì)，通常為 20 μ m ~ 500 μ m IxM。在有機(jī)EL元件3中，在一對(duì)電極6、7之間，不僅有發(fā)光層5，考慮到元件特性和工序的容易度等，有時(shí)還設(shè)有規(guī)定的層。本實(shí)施方式中，作為上述的規(guī)定的層，還設(shè)有空穴注入層9?？昭ㄗ⑷雽?在陽極6和發(fā)光層5之間設(shè)置。本實(shí)施方式中，空穴注入層9與發(fā)光層5同樣地通過涂布法形成。如后所述，通過旋涂法涂布用于形成空穴注入層9的墨液時(shí)， 由于隔壁4顯示親液性，墨液也在隔壁4上潤濕擴(kuò)展，結(jié)果，空穴注入層9在基板上整面地形成。另外，即使利用能進(jìn)行圖案涂布的涂布法在沿著列方向Y相鄰的隔壁4間供給墨液， 由于隔壁4顯示親液性，被供給的墨液也會(huì)沿著隔壁4表面浸潤擴(kuò)展。因此空穴注入層9 不僅在陽極6上形成，也在隔壁4上形成。由此，使用顯示親液性的隔壁4時(shí)，空穴注入層 9沿著陽極6、絕緣膜8和隔壁4露出的表面而整面地形成。發(fā)光層5通過涂布法形成。本實(shí)施方式中，發(fā)光層5形成于空穴注入層9上。用于形成發(fā)光層5的墨液由于在空穴注入層9上浸潤擴(kuò)展，因此與空穴注入層9同樣地，從俯視方向看也在隔壁4上形成。由于本實(shí)施方式中設(shè)有發(fā)紅色光的有機(jī)EL元件、發(fā)綠色光的有機(jī)EL元件、發(fā)藍(lán)色光的有機(jī)EL元件這3種有機(jī)EL元件，因此在發(fā)紅色光的有機(jī)EL元件中設(shè)有發(fā)紅色光的紅色發(fā)光層5R，在發(fā)綠色光的有機(jī)EL元件中設(shè)有發(fā)綠色光的綠色發(fā)光層5G，在發(fā)藍(lán)色光的有機(jī)EL元件中設(shè)有發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層5B。本說明書中，所謂紅色發(fā)光、綠色發(fā)光、藍(lán)色發(fā)光，分別指發(fā)出峰值波長為600nm以上且小于750nm的光、峰值波長為500nm以上且小于600nm的光、峰值波長為400nm以上且小于500nm的光。陰極(一對(duì)電極中的另一個(gè)電極)7從發(fā)光層5上開始遍及所有有機(jī)EL元件3，而形成一面。即陰極7橫跨各有機(jī)EL元件3地形成，作為各有機(jī)EL元件3的共用電極而被設(shè)置。2)有機(jī)EL裝置的制造方法(準(zhǔn)備基板的工序)首先，準(zhǔn)備設(shè)置有顯示親液性的隔壁4和陽極6 ( —對(duì)電極中的一個(gè)電極)的基板 2。該基板2可以購買預(yù)先形成有隔壁4和陽極6的基板，也可以通過在基板2上形成隔壁 4和陽極6來準(zhǔn)備。< 基板 >基板優(yōu)選使用在制造有機(jī)EL裝置的工序中不發(fā)生化學(xué)變化的基板，例如可使用玻璃、塑料、高分子膜、和硅板，以及這些的層疊體等。為有源矩陣驅(qū)動(dòng)方式的顯示裝置時(shí)， 作為基板優(yōu)選使用預(yù)先形成有驅(qū)動(dòng)有機(jī)EL元件的電路的基板，例如可以使用預(yù)先形成 TFT(Thin Film Transistor)的基板。在透過一側(cè)電極和基板而從發(fā)光層放出放射光的構(gòu)成的裝置中，基板優(yōu)選可見光的光透射率高的基板。〈陽極〉在通過陽極從發(fā)光層發(fā)光的構(gòu)成的有機(jī)EL元件的情況下，陽極使用顯示出光透射性的電極。作為顯示出光透射性的電極，可以使用金屬氧化物、金屬硫化物和金屬等的薄膜，優(yōu)選使用電導(dǎo)率和光透射率高的物質(zhì)。具體而言，可使用由氧化銦、氧化鋅、氧化錫、銦錫化合物Gndium Tin Oxide 簡稱ΙΤ0)、銦鋅氧化物Qndium Zinc Oxide 簡稱ΙΖ0)、金、 鉬、銀及銅等形成的薄膜，其中優(yōu)選使用由ΙΤΟ、ΙΖ0、或氧化錫形成的薄膜。作為陽極的制作方法，可舉出真空蒸鍍法、濺射法、離子鍍法、鍍敷法等。另外，作為該陽極，也可以使用聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等有機(jī)的透明導(dǎo)電膜。陽極的膜厚根據(jù)所需的特性和工序的簡易度等進(jìn)行設(shè)計(jì)，例如為IOnm 10 μ m， 優(yōu)選為20nm 1 μ m，進(jìn)一步優(yōu)選為50nm 500nm。<絕緣膜>絕緣膜8通常由顯示親液性的部件構(gòu)成。例如由顯示疏液性的部件構(gòu)成絕緣膜時(shí)，形成空穴注入層9時(shí)，用于形成空穴注入層9的墨液被絕緣膜排斥并且干燥。因此在陽極6上，空穴注入層9的周緣部的膜厚變得不均勻，難以得到均勻的膜厚的空穴注入層。但是，通過顯示親液性的部件構(gòu)成絕緣膜8時(shí)，由于用于形成空穴注入層9的墨液在絕緣膜8 上浸潤擴(kuò)展，所以絕緣膜8難以影響空穴注入層9的膜厚，能得到均勻的膜厚的空穴注入層 9。絕緣膜8可以通過有機(jī)物或無機(jī)物構(gòu)成。作為有機(jī)物可舉出丙烯酸樹脂，酚醛樹脂，和聚酰亞胺樹脂等樹脂，作為無機(jī)物可舉出SiOx、SiNx等。
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形成由有機(jī)物構(gòu)成的絕緣膜時(shí)，例如在一面上將正片型或負(fù)片型的感光性樹脂涂布成膜，曝光規(guī)定的部位，進(jìn)行顯影。接著，將其固化，由此，得到在規(guī)定的部位形成有開口的絕緣膜8。作為感光性樹脂可以使用光致抗蝕劑。形成由無機(jī)物構(gòu)成的絕緣膜時(shí)，首先，通過等離子CVD法、濺射法等，在一面形成由無機(jī)物構(gòu)成的薄膜。接著，通過在該薄膜的規(guī)定的部位形成開口，得到在規(guī)定的部位形成有開口的絕緣膜8。開口例如可以通過光刻形成。通過形成該開口，陽極6露出。由此，能得到格子狀的絕緣膜8。絕緣膜8的厚度可以設(shè)定為至少能確保電絕緣性的值，例如為0. 1 μ m 5 μ m左 ^,iJt&^J 0. 5 μ m 2 μ m。使用上述材料時(shí)，只要沒有特別地實(shí)施疏液處理，通常，絕緣膜8顯示親液性。< 隔壁 >隔壁4可以與絕緣膜8同樣地形成。從工序的簡易度的觀點(diǎn)出發(fā)，隔壁4和絕緣膜8優(yōu)選使用感光性樹脂通過光刻來形成。隔壁4的厚度被設(shè)計(jì)為能夠大致收容對(duì)隔壁4之間供給的墨液的值，例如為 0. 5μπι~5μπι IxM, 1 μ m 2 μ m?；?上還設(shè)有布線等，通常該布線等被隔壁4被覆。因此隔壁4的行方向X的寬度設(shè)計(jì)為例如比布線等的寬度更寬，例如為5 μ m 50 μ m左右，優(yōu)選10 μ m 30 μ m。<空穴注入層>作為構(gòu)成空穴注入層的材料，可舉出氧化釩、氧化鉬、氧化釕、及氧化鋁等氧化物，或苯基胺系、星爆(Marburst)型胺系、酞菁系、無定形碳、聚苯胺、及聚噻吩衍生物等有機(jī)物。作為空穴注入層的成膜方法，可舉出例如由含有空穴注入材料的溶液的成膜的方法。作為用于由溶液的成膜中的溶劑，優(yōu)選使空穴注入材料溶解的溶劑，可舉出氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷等氯系溶劑，四氫呋喃等醚系溶劑，甲苯、二甲苯等芳香族烴系溶劑，丙酮、 甲基乙基酮等酮系溶劑，乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙基溶纖劑醋酸酯等酯系溶劑，和水。作為由溶液的成膜的方法，可舉出旋涂法、流延法、微凹版涂布法、凹版涂布法、棒涂法、輥涂法、繞線棒涂法、浸涂法、噴涂法、絲網(wǎng)印刷法、柔版印刷法(7 > # /印刷法)、 膠版印刷法、噴墨打印法等涂布法。在發(fā)紅色光的有機(jī)EL元件、發(fā)綠色光的有機(jī)EL元件、 發(fā)藍(lán)色光的有機(jī)EL元件這3種有機(jī)EL元件中，作為空穴注入層分別使用同樣材料構(gòu)成的薄膜時(shí)，不必在每列形成種類不同的空穴注入層，可以橫跨所有有機(jī)EL元件地形成一面空穴注入層。例如在不同種類的有機(jī)EL元件中共用的空穴注入層可以通過旋涂法形成一面?？昭ㄗ⑷雽拥哪ず窀鶕?jù)所需的特性和工序的簡易度等進(jìn)行適當(dāng)設(shè)計(jì)，例如為 Inm 1 μ m,優(yōu)選2nm 500nm,進(jìn)一步優(yōu)選5nm 200nmo<發(fā)光層>形成發(fā)光層5的工序包括向隔壁4間供給用于形成發(fā)光層5的墨液的墨液供給工序、以及將供給的墨液固化的工序。有機(jī)EL裝置1具備發(fā)紅色光的有機(jī)EL元件3、發(fā)綠色光的有機(jī)EL元件3、和發(fā)綠色光的有機(jī)EL元件3，因此必須在每列中選擇性地形成紅色發(fā)光層5R、綠色發(fā)光層5G、或藍(lán)色發(fā)光層5B。因此需要(i)在上述一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成紅色發(fā)光層的墨液
9(以下，有時(shí)稱為“紅墨液”。)的紅墨液供給工序，( )在上述一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成綠色發(fā)光層的墨液(以下，有時(shí)稱為“綠墨液”)的綠墨液供給工序，(iii)在上述一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成藍(lán)色發(fā)光層的墨液(以下，有時(shí)稱為“藍(lán)墨液”。)的藍(lán)墨液供給工序這樣3個(gè)工序?！霸谝粋€(gè)電極上”包括“與一個(gè)電極相接地在其上”、和“隔著與一個(gè)電極相接地設(shè)置的規(guī)定的部件而在其上”的意思，并非限定于“與一個(gè)電極相接地在其上”的意思。本實(shí)施方式中，在紅墨液供給工序，藍(lán)墨液供給工序，和綠墨液供給工序中，最后進(jìn)行紅墨液供給工序。另外，優(yōu)選藍(lán)墨液供給工序之后進(jìn)行上述綠墨液供給工序。即優(yōu)選按照藍(lán)墨液供給工序、綠墨液供給工序、紅墨液供給工序的順序供給墨液。使用親液性的隔壁4時(shí)，本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)如后述的現(xiàn)象，即在先前工序中形成的發(fā)光層中、和之后的工序中形成的發(fā)光層中，墨液的混色方式不同。即，在后的工序中涂布形成的發(fā)光層中，有時(shí)混入在先的工序中涂布的墨液，但是相反的是，在先前的工序中涂布形成的發(fā)光層中，不混入在后的工序中涂布的墨液。這就意味著，墨液的混色的組合受到墨液涂布順序的影響。進(jìn)而，基于該現(xiàn)象本發(fā)明人等發(fā)現(xiàn)，通過以規(guī)定的順序涂布墨液，能夠抑制墨液的混色在發(fā)光色中的明顯化。如本實(shí)施方式那樣按照藍(lán)墨液供給工序、綠墨液供給工序、紅墨液供給工序的順序供給各墨液的情況下，有時(shí)藍(lán)墨液和綠墨液的組合物會(huì)混入紅色發(fā)光層5R中，藍(lán)墨液的組合物混入綠色發(fā)光層5G中，但是可以避免綠墨液和紅墨液的組合物混入藍(lán)色發(fā)光層5B， 可以避免紅墨液的組合物混入綠色發(fā)光層5G中。例如即使在藍(lán)墨液中少量混入紅墨液時(shí)，由于紅墨液的組合物發(fā)光所以會(huì)發(fā)出泛白的光，但是，如本實(shí)施方式那樣，即使在紅墨液中少量混入藍(lán)墨液，由于藍(lán)墨液的組合物不會(huì)發(fā)出影響發(fā)光色程度的光，因此發(fā)出紅色光。該現(xiàn)象可以認(rèn)為是如下原因在發(fā)光波長長的發(fā)光材料和發(fā)光波長短的發(fā)光材料混合存在的狀態(tài)下，由于發(fā)光波長長的發(fā)光材料傾向于更容易發(fā)光，所以更明顯化。即可以認(rèn)為，傾向于易于發(fā)光的發(fā)光波長長的發(fā)光材料少量混入到發(fā)光波長短的發(fā)光材料中時(shí)，由混入造成的影響在發(fā)光色中顯現(xiàn)，但是相反的是， 在傾向于易于發(fā)光的發(fā)光波長長的發(fā)光材料中少量混入發(fā)光波長短的發(fā)光材料時(shí)，其影響幾乎不在發(fā)光色中顯現(xiàn)，產(chǎn)生了上述的現(xiàn)象。因此可以認(rèn)為，即使在發(fā)光波長長的發(fā)光層中少量混入發(fā)光波長短的發(fā)光層的構(gòu)成材料，墨液的混色也不會(huì)在發(fā)光色中顯現(xiàn)，相反，在發(fā)光波長短的發(fā)光層中少量混入發(fā)光波長長的發(fā)光層的構(gòu)成材料時(shí)，墨液的混色會(huì)在發(fā)光色中顯現(xiàn)。因此，為了得到發(fā)出所需的發(fā)光色的光的發(fā)光層，優(yōu)選避免使發(fā)光波長長的發(fā)光層的構(gòu)成材料混入發(fā)光波長短的發(fā)光層中。即優(yōu)選防止綠墨液，藍(lán)墨液中少量混入紅墨液，優(yōu)選防止藍(lán)墨液中少量混入綠墨液。如實(shí)施例所示，即使藍(lán)墨液和綠墨液的組合物混入到紅色發(fā)光層5R中，紅色發(fā)光層5R也是放射紅色光，即使藍(lán)墨液的組合物混入到綠色發(fā)光層5G中，綠色發(fā)光層5G也放射綠色光，不混入其他的墨液的藍(lán)色發(fā)光層5B當(dāng)然放射藍(lán)色光。然而以與本實(shí)施方式不同的順序涂布墨液時(shí)，墨液的混色在發(fā)光色中顯現(xiàn)，從有機(jī)EL元件3放射出比所需的色泛白的光。如上所述，由于墨液的混入的組合受到墨液的涂布順序的影響，因此本發(fā)明人等為了防止綠墨液，藍(lán)墨液中少量混入紅墨液，防止藍(lán)墨液中少量混入綠墨液，在紅墨液供給工序、藍(lán)墨液供給工序、綠墨液供給工序之中，將紅墨液供給工序最后進(jìn)行，優(yōu)選在藍(lán)墨液供給工序之后進(jìn)行上述綠墨液供給工序。參照?qǐng)D3說明涂布墨液時(shí)的墨液行為和發(fā)光層5的形成方法。圖3中，墨液行為的說明不需要一個(gè)電極6、絕緣膜8和空穴注入層9，因此未圖示。圖3是與在沿著列方向 Y垂直的切斷面上切斷圖1所示的有機(jī)EL裝置1的剖面圖對(duì)應(yīng)的圖。圖3中，通過在最右側(cè)的凹部中供給藍(lán)墨液形成藍(lán)色發(fā)光層5B，在中央的凹部中供給綠墨液來形成綠色發(fā)光層 5G，在最左側(cè)的凹部中供給紅墨液來形成紅色發(fā)光層5R。(藍(lán)墨液供給工序)如圖3(1)所示，用規(guī)定的涂布法將藍(lán)墨液供給到規(guī)定的凹部11中(圖中最右側(cè)的凹部11)。藍(lán)墨液隔開2列的凹部被供給。在規(guī)定的凹部中供給的藍(lán)墨液由于溶劑的蒸發(fā)而薄膜化，但是由于此時(shí)沿著隔壁4浸潤擴(kuò)展，所以藍(lán)墨液以一直擴(kuò)展到與隔著隔壁4而鄰接的凹部臨近的隔壁4的側(cè)面上的狀態(tài)下薄膜化(參照?qǐng)D乂2))。圖3(2)中最左側(cè)的隔壁4上也形成薄膜，但是這是由于藍(lán)墨液隔著2列的凹部而被供給的原因，在圖3中，最左側(cè)的凹部的左鄰的凹部中，也供給有藍(lán)墨液。(綠墨液供給工序)如圖3(3)所示，用規(guī)定的涂布法在規(guī)定的凹部11中供給綠墨液(圖中為中央的凹部11)。綠墨液隔開2列的凹部11來供給。供給的綠墨液在凹部11中，行方向X的一個(gè)端部在藍(lán)墨液薄膜化了的膜上重合涂布?？梢酝茰y(cè)，由于藍(lán)墨液薄膜化了的膜在綠墨液中再度溶解，所以膜上重合涂布的綠墨液的固體成分濃度提高，結(jié)果是其粘度提高。雖然綠墨液沿著藍(lán)墨液薄膜化的膜擴(kuò)展，但是隨著綠墨液擴(kuò)展其粘度提高，阻礙了綠墨液的擴(kuò)展，因此綠墨液不會(huì)在藍(lán)墨液薄膜化了的膜上浸潤擴(kuò)展，可以防止綠墨液混入供給了藍(lán)墨液的凹部11中。另外，凹部11中，行方向X的另一端部，由于綠墨液沿著隔壁4浸潤擴(kuò)展，綠墨液的薄膜形成至后述的供給紅墨液的凹部11(參照?qǐng)D3(4))。(紅墨液供給工序)如圖3(5)所示，用規(guī)定的涂布法，在規(guī)定的凹部11中供給紅墨液(圖中最左側(cè)的凹部)。紅墨液隔著2列的凹部11來供給。紅墨液由于溶劑蒸發(fā)而薄膜化。供給的紅墨液，在凹部11中的行方向X的一端部重合涂布在綠墨液薄膜化了的膜上?？梢酝茰y(cè)的是， 由于綠墨液薄膜化了的膜在紅墨液中再度溶解，因此紅墨液的固體成分濃度提高，結(jié)果是其粘度提高。因此紅墨液不會(huì)在綠墨液薄膜化了的膜上浸潤擴(kuò)展，可以防止紅墨液混入到供給有綠墨液凹部11中。凹部11中的行方向X的另一個(gè)端部，紅墨液重合涂布在藍(lán)墨液薄膜化了的膜上，因此與凹部11中的行方向X的一端部同樣地，可以防止紅墨液混入到供給有藍(lán)墨液的凹部11中(參照?qǐng)D3(6))。本實(shí)施方式中，墨液在空穴注入層9上浸潤擴(kuò)展，但是假如沒有空穴注入層9時(shí)， 墨液也會(huì)在隔壁4上浸潤擴(kuò)展，墨液的行為與上述同樣。(將墨液固化的工序)發(fā)光層通過將墨液固化得到。墨液的固化在常溫或加熱下通過進(jìn)行干燥來實(shí)現(xiàn)。 優(yōu)選在氮等惰性氣體中或真空氣氛中進(jìn)行干燥。墨液含有通過加熱或光照射發(fā)生聚合的材料時(shí)，優(yōu)選通過加熱或光照射將墨液固化。墨液的固化也可以在供給各種墨液時(shí)進(jìn)行，但是優(yōu)選在供給所有種類的墨液之后進(jìn)行。這是由于固化工序可以1次性地進(jìn)行。將墨液自然干燥時(shí)，作為固化工序，不需要特別的處理。根據(jù)以上說明，按照藍(lán)墨液供給工序、綠墨液供給工序、紅墨液供給工序的順序供給各墨液時(shí)，有時(shí)藍(lán)墨液和綠墨液的組合物混入到紅色發(fā)光層5R中，藍(lán)墨液的組合物混入到綠色發(fā)光層5G中，但是可以避免綠墨液和紅墨液的組合物混入到藍(lán)色發(fā)光層5B中，也可以避免紅墨液的組合物混入到綠色發(fā)光層5G中。由此，即使在不實(shí)施增加工序數(shù)的對(duì)隔壁的疏液性處理，而使用顯示親液性的隔壁時(shí)，也能得到藍(lán)色發(fā)光層5B為藍(lán)色發(fā)光，綠色發(fā)光層5G為綠色發(fā)光，紅色發(fā)光層5B為發(fā)紅色光的發(fā)光層5，可以不增加工序數(shù)地通過涂布法簡易地制作發(fā)出所需的色的光的有機(jī)EL元件3。通過上述工序，對(duì)于綠色發(fā)光層和藍(lán)色發(fā)光層而言，其一端部沿著隔壁延續(xù)至隔著隔壁而鄰接的紅色發(fā)光層上?！赐坎挤ā低ㄟ^規(guī)定的涂布法在規(guī)定的凹部11中供給各種墨液。作為涂布法，可舉出流延法、微凹版涂布法、凹版涂布法、棒涂法、輥涂法、繞線棒涂法、狹縫涂布法、毛細(xì)管涂布法、 噴涂法、噴嘴涂布法、凹版印刷法、絲網(wǎng)印刷法、柔版印刷法、膠版印刷法、反轉(zhuǎn)印刷法(反転印刷法)和噴墨打印法等，優(yōu)選噴嘴涂布法或有版印刷法，更優(yōu)選凸版印刷法，進(jìn)一步優(yōu)選柔版印刷法。〈墨液〉紅墨液、綠墨液、藍(lán)墨液的各種墨液通過將稱為各種發(fā)光層的材料溶解于溶劑中來制備。墨液中的成為發(fā)光層的材料的比例(以下，有時(shí)稱為固體成分濃度)通常為0. 1 重量％ 5重量％，優(yōu)選為0. 5重量％ 3重量％。本說明書中的固體成分濃度或溶劑的濃度是指，在涂布裝置中收容墨液的容器內(nèi)的濃度。作為溶劑，優(yōu)選將成為發(fā)光層的材料良好地溶解的溶劑，例如，可舉出氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷等氯系溶劑，四氫呋喃等醚系溶劑，甲苯、二甲苯、環(huán)己基苯等芳香族烴系溶劑，丙酮、甲基乙基酮等酮系溶劑，乙酸乙酯、乙酸丁酯，乙基溶纖劑乙酸脂等酯系溶劑等。 溶劑可以單獨(dú)使用1種類，也可以混合使用多種。為了形成平坦的發(fā)光層，溶劑優(yōu)選含有沸點(diǎn)為200°C以上的溶劑(以下，有時(shí)稱為高沸點(diǎn)溶劑。)，沸點(diǎn)為200°C以上的溶劑的相對(duì)于墨液的比例優(yōu)選為5重量％以上。由此， 通過含有高沸點(diǎn)溶劑，使墨液難以蒸發(fā)。由于墨液在供給至規(guī)定的凹部11為止的中途的工序發(fā)生蒸發(fā)，供給至規(guī)定的凹部11時(shí)的墨液的固體成分濃度比收容墨液的容器內(nèi)的墨液的固體成分濃度有所提高，結(jié)果是供給至規(guī)定的凹部11時(shí)的墨液的粘度也比容器內(nèi)的粘度有所提高。如果將粘度高的墨液供給于凹部11，則墨液難以潤濕擴(kuò)展，有時(shí)發(fā)光層的表面變得不平坦。特別是有版印刷法中，由于是在墨液附著在版上之后再將該墨液轉(zhuǎn)印，所以中途的過程中溶劑的蒸發(fā)量增多，供給至規(guī)定的凹部11時(shí)的墨液的粘度提高。因此，利用有版印刷法難以得到平坦的發(fā)光層，但是可以認(rèn)為，通過使用如上所述的沸點(diǎn)高、難以蒸發(fā)的溶劑，可以抑制中途的過程中的溶劑的蒸發(fā)，抑制墨液的粘度上升，所以能夠得到平坦的發(fā)光層。使用含高沸點(diǎn)溶劑的墨液時(shí)，由于使用了顯示親液性的隔壁4，粘度低的墨液沿著隔壁4潤濕擴(kuò)展，有可能發(fā)生墨液的混色，但是按照本實(shí)施方式，通過規(guī)定涂布順序可以防止墨液的混色在發(fā)光色中的明顯化。通過像這樣規(guī)定涂布順序，并且使用含有高沸點(diǎn)溶劑的墨液，不但可以防止墨液的混色對(duì)發(fā)光色的影響，還能得到平坦的膜厚的發(fā)光層。對(duì)于使用由樹脂等的彈性物質(zhì)構(gòu)成的版的柔版印刷法而言，由于版會(huì)吸收溶劑，固體成分濃度的上升顯著。因此使用顯示親液性的隔壁4時(shí)，不但難以形成平坦的膜厚的發(fā)光層而且難以防止混色的問題的顯現(xiàn)，但是利用本實(shí)施方式的涂布順序涂布墨液并且使用高沸點(diǎn)溶劑，也能夠得到所需的發(fā)光層。作為沸點(diǎn)為200°C以上的溶劑，可使用上述的環(huán)己基苯。沸點(diǎn)為200°C以上的溶劑相對(duì)于墨液的比例優(yōu)選為5重量％ 70重量％，進(jìn)一步優(yōu)選為10重量％ 50重量％。〈成為發(fā)光層的材料〉發(fā)光層通常主要是發(fā)出熒光和/或磷光的有機(jī)物，或由該有機(jī)物與補(bǔ)助其的摻雜物形成。摻雜物例如是用于提高發(fā)光效率、或改變發(fā)光波長而添加的。有機(jī)物可以是低分子化合物也可以是高分子化合物，發(fā)光層從在溶劑中的溶解性的觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選含有聚乙烯換算數(shù)均分子量為IO3 IO8的高分子化合物。作為發(fā)光層的構(gòu)成材料，例如可列舉以下的色素系材料、金屬絡(luò)合物系材料、高分子系材料、摻雜材料。(色素系材料)作為色素系材料，例如可列舉將甲環(huán)戊丙胺(cyclopentamine)衍生物、四苯基丁二烯衍生物化合物、三苯基胺衍生物、噁二唑衍生物、吡唑并喹啉(pyrazoloquinoline)衍生物、二苯乙烯基苯衍生物、二苯乙烯基亞芳基衍生物、吡咯衍生物、噻吩環(huán)化合物、吡啶環(huán)化合物、紫環(huán)酮(Perylone)衍生物、茈衍生物、寡聚噻吩衍生物、噁二唑二聚物、吡唑啉二聚物、喹吖酮衍生物、香豆素衍生物和等。(金屬絡(luò)合物系材料)作為金屬絡(luò)合物系的發(fā)光材料，例如可列舉將在中心金屬中具有Tb、Eu和Dy等稀土類金屬、或Al、Zn、Be、Ir和Pt等，在配體中具有噁二唑、噻二唑、苯基吡啶、苯基苯并咪唑、喹啉結(jié)構(gòu)等的金屬絡(luò)合物，例如可舉出將銥絡(luò)合物、鉬絡(luò)合物等具有來自三重激發(fā)態(tài)的發(fā)光的金屬絡(luò)合物、鋁喹啉醇絡(luò)合物、苯并喹啉醇鈹絡(luò)合物、苯并噁唑鋅絡(luò)合物、苯并噻唑鋅絡(luò)合物、偶氮甲基鋅絡(luò)合物、P卜啉鋅絡(luò)合物、菲咯啉銪絡(luò)合物等材料。(高分子系材料)作為高分子系的發(fā)光材料，可列舉聚對(duì)亞苯基乙烯(求^ /、=，7工二 l· > Ii 二 > > )衍生物、聚噻吩衍生物、聚對(duì)亞苯基衍生物、聚硅烷衍生物、聚乙炔衍生物、聚芴衍生物、聚乙烯咔唑衍生物、將上述色素系材料和金屬絡(luò)合物系發(fā)光材料高分子化而成的材料寸。上述發(fā)光性材料中，作為發(fā)藍(lán)光的材料，可以列舉二苯乙烯基亞芳基衍生物、噁二唑衍生物、以及它們的聚合物、聚乙烯基咔唑衍生物、聚對(duì)苯衍生物、聚芴衍生物等。其中， 優(yōu)選高分子材料的聚乙烯基咔唑衍生物、聚對(duì)苯撐衍生物或聚芴衍生物等。作為發(fā)綠光的材料，可以列舉喹吖酮衍生物、香豆素衍生物、以及它們的聚合物、 聚對(duì)苯乙烯衍生物、聚芴衍生物等。其中，優(yōu)選高分子材料的聚對(duì)苯乙烯衍生物、聚芴衍生物等。作為發(fā)紅光的材料，可以列舉香豆素衍生物、噻吩環(huán)化合物、以及它們的聚合物、 聚對(duì)苯乙烯衍生物、聚噻吩衍生物、聚芴衍生物等。其中，優(yōu)選高分子材料的聚對(duì)苯乙烯衍生物、聚噻吩衍生物、聚芴衍生物等。(摻雜材料)
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作為摻雜材料，例如可以列舉茈衍生物、香豆素衍生物、紅熒烯衍生物、喹吖酮衍生物、角鯊烯鐺(squaliIium)衍生物、嚇啉衍生物、苯乙烯類色素、丁省衍生物、吡唑啉酮衍生物、十環(huán)烯、吩噁嗪酮等。上述發(fā)光層的厚度通常為約2nm 200nm。(形成另一個(gè)電極的工序)本實(shí)施方式中，作為另一個(gè)電極形成陰極7。本實(shí)施方式中，通過絕緣膜8將各有機(jī)EL元件3互相電絕緣，因此陰極7從上方形成為一個(gè)面。即形成在各有機(jī)EL元件3中共用的陰極7。〈陰極〉作為陰極的材料，優(yōu)選功函數(shù)小、對(duì)發(fā)光層的電子注入容易、電導(dǎo)率高的材料。另外，從陽極側(cè)取光的有機(jī)EL元件中，為了使來自發(fā)光層的光在陰極反射到陽極側(cè)，作為陰極的材料優(yōu)選可見光反射率高的材料。在陰極中例如可以使用堿金屬、堿土類金屬、過渡金屬和周期表13族金屬等。作為陰極的材料，例如可使用鋰、鈉、鉀、銣、銫、鈹、鎂、鈣、鍶、鋇、 鋁、鈧、釩、鋅、釔、銦、鈰、釤、銪、鋱、鐿等金屬、上述金屬中的2種以上的合金、上述金屬中的1種以上與金、銀、鉬、銅、錳、鈦、鈷、鎳、鎢、錫中的1種以上形成的合金、或者石墨或石墨層間化合物等。作為合金的例子，可列舉鎂-銀合金、鎂-銦合金、鎂-鋁合金、銦-銀合金、鋰-鋁合金、鋰-鎂合金、鋰-銦合金、鈣-鋁合金等。作為陰極，可以使用由導(dǎo)電性金屬氧化物及導(dǎo)電性有機(jī)物等構(gòu)成的透明導(dǎo)電性電極。具體而言，作為導(dǎo)電性金屬氧化物，可以例舉氧化銦、氧化鋅、氧化錫、ΙΤ0、及ΙΖ0，作為導(dǎo)電性有機(jī)物，可以列舉聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物等。需要說明的是，陰極也可以是由層疊2層以上的層疊體構(gòu)成。陰極的膜厚考慮所需的特性和工序的簡易度等來適當(dāng)設(shè)計(jì)，例如為IOnm 10 μ m,優(yōu)選為20nm 1 μ m，進(jìn)一步為優(yōu)選50nm 500nm。陰極可以通過真空蒸鍍法、濺射法、熱壓合金屬薄膜的層壓法法等形成。以上說明的本實(shí)施方式的有機(jī)EL裝置1，具備將一個(gè)電極作為陽極，另一個(gè)電極作為陰極，且在陽極和發(fā)光層之間設(shè)有空穴注入層的構(gòu)成的有機(jī)EL元件，但是有機(jī)EL裝置中搭載的有機(jī)EL元件的層構(gòu)成不限于此。有機(jī)EL元件至少具有一對(duì)電極和在該電極間配置的發(fā)光層，陽極和發(fā)光層之間， 和/或發(fā)光層和陰極之間，可以具有與發(fā)光層不同的其他層。電極間不限于設(shè)有一層的發(fā)光層，也可以設(shè)有多個(gè)發(fā)光層。作為設(shè)置在陰極和發(fā)光層之間的層，可舉出電子注入層、電子傳輸層，空穴阻滯層等。陰極和發(fā)光層之間，僅設(shè)置一層時(shí)，該層稱為電子注入層。陰極和發(fā)光層之間設(shè)置電子注入層和電子傳輸層這兩個(gè)層時(shí)，將該多層中與陰極相接的層稱為電子注入層，將該電子注入層以外的層稱為電子輸送層。電子注入層具有改善來自陰極的電子注入效率的功能。電子輸送層具有改善來自陰極、電子注入層、或更靠近陰極的電子輸送層的電子注入的功能?？昭ㄗ铚泳哂凶璧K空穴的傳輸?shù)墓δ堋ｋ娮幼⑷雽?，?或電子傳輸層具有阻礙空穴的傳輸?shù)墓δ軙r(shí)，有時(shí)這些層兼作空穴阻滯層。關(guān)于具有阻礙空穴輸送的功能，例如可以制作僅流過空穴電流的元件，該電流值的減少即可確認(rèn)阻礙效果。作為設(shè)于陽極和發(fā)光層之間的層，可舉出空穴注入層、空穴傳輸層，電子阻滯層等。陽極和發(fā)光層之間，僅設(shè)有一層時(shí)，該層稱為空穴注入層。陽極和發(fā)光層之間設(shè)有空穴注入層和空穴傳輸層這兩層時(shí)，將該多層中與陽極相接的層稱為空穴注入層，將空穴注入層以外的層稱為空穴輸送層?？昭ㄗ⑷雽泳哂懈纳苼碜躁枠O的空穴注入效率的功能?？昭ㄝ斔蛯泳哂懈纳苼碜躁枠O、空穴注入層、或更靠近陽極的空穴輸送層的空穴注入的功能。電子阻滯層具有阻礙電子的傳輸?shù)墓δ堋．?dāng)空穴注入層和/或空穴傳輸層阻礙電子輸送的功能時(shí)，有時(shí)這些層兼作電子阻滯層。關(guān)于電子阻滯層具有阻礙電子輸送的功能，例如可以制作僅流過電子電流的元件，并以該電流值的減少即可確認(rèn)阻礙效果。
0156]本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件可采用的層構(gòu)成的--例如以下所示。0157]a)陽極/ζ發(fā)光層/陰極0158]b)陽極/丨空穴注入層/發(fā)光層/ζ陰極0159]C)陽極/丨空穴注入層/發(fā)光層/丨電子注入層/陰極0160]d)陽極/丨空穴注入層/發(fā)光層/丨電子傳輸層/陰極0161]e)陽極/丨空穴注入層/發(fā)光層/1電子傳輸層/電子注入層/陰極0162]f)陽極/丨空穴傳輸層/發(fā)光層/ζ陰極0163]g)陽極/1空穴傳輸層/發(fā)光層/丨電子注入層/陰極0164]h)陽極/1空穴傳輸層/發(fā)光層/丨電子傳輸層/陰極0165]i)陽極/1空穴傳輸層/發(fā)光層/丨電子傳輸層/電子注入層/陰極0166]j)陽極/1空穴注入層/空穴傳輸層/發(fā)光層/陰極0167]k)陽極/丨空穴注入層/空穴傳輸層/發(fā)光層/電子注入層/陰極0168]1)陽極/丨空穴注入層/空穴傳輸層/發(fā)光層/電子傳輸層/陰極0169]m)陽極/‘空穴注入層/空穴傳輸層/發(fā)光層/電子傳輸層/電子注入層/陰極0170]η)陽極/丨發(fā)光層/電子注入層丨Z陰極0171]ο)陽極/丨發(fā)光層/電子傳輸層丨Z陰極0172]P)陽極/丨發(fā)光層/電子傳輸層丨‘電子注入層/陰極0173](這里，符號(hào)“/”表示該符號(hào)“/'’兩側(cè)的2層相鄰層疊。下同。)0174]本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件可以具有2層以上的發(fā)光層，上述a) ρ)的層構(gòu)成中
的任意1個(gè)，將被陽極與陰極挾持而成的層疊體設(shè)為“重復(fù)單元A”時(shí)，作為具有2層的發(fā)光層的有機(jī)EL元件的構(gòu)成，可以舉出以下的q)示出的層構(gòu)成。所具有的2個(gè)(結(jié)構(gòu)單位A) 的層構(gòu)成可以互相相同也可以不同。q)陽極/(結(jié)構(gòu)單位A)/電荷發(fā)生層/(結(jié)構(gòu)單位A)/陰極將“(結(jié)構(gòu)單位A)/電荷發(fā)生層”設(shè)為“結(jié)構(gòu)單位B”時(shí)，作為具有3層以上的發(fā)光層的有機(jī)EL元件的構(gòu)成，可舉出以下的ρ)所示的層構(gòu)成。r)陽極/(結(jié)構(gòu)單位B) χ/(結(jié)構(gòu)單位A)/陰極符號(hào)“X”表示2以上的整數(shù)，(重復(fù)單元B) χ表示重復(fù)單元B進(jìn)行χ段層疊而成的層疊體。所具有的多個(gè)(結(jié)構(gòu)單位B)的層構(gòu)成可以互相相同也可以不同。電荷注入層是指通過施加電場(chǎng)而產(chǎn)生空穴和電子的層。作為電荷產(chǎn)生層可以舉出例如由氧化釩、銦錫氧化物andium Tin Oxide 簡稱
15ΙΤ0)、氧化鉬等形成的薄膜。有機(jī)EL元件可以被用于密封的密封膜或密封板等密封部件所被覆。將有機(jī)EL元件設(shè)置于基板時(shí)，通?？梢匀绫緦?shí)施方式那樣在基板側(cè)配置陽極，但是也可以在基板側(cè)配置陰極。即在a) P)的形態(tài)中，可以從左側(cè)按順序地在基板上層疊各層，也可以反過來， 從右側(cè)按順序在基板上層疊各層。對(duì)于層疊的層的順序、層數(shù)、和各層的厚度，可以根據(jù)元件特性和工序的簡易度等進(jìn)行適宜設(shè)計(jì)。以下，對(duì)構(gòu)成有機(jī)EL元件的各層的材料和形成方法更具體地說明。對(duì)于陽極、空穴注入層、發(fā)光層、陰極，由于以上已經(jīng)敘述的，因此省略重復(fù)的說明。〈空穴傳輸層〉作為構(gòu)成空穴傳輸層的空穴傳輸材料，可舉出聚乙烯咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在側(cè)鏈或主鏈上有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物、聚吡唑啉衍生物、芳基胺衍生物、芪(stilbene)衍生物、三苯基二胺衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚吡咯或其衍生物、聚(對(duì)亞苯基乙烯)或其衍生物、或是聚(2，5_噻吩乙炔)(poly(2，5-thienylenevinylene))或其衍生物等。其中作為空穴傳輸材料，優(yōu)選聚乙烯咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在側(cè)鏈或主鏈上有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物、聚苯胺或其衍生物、聚噻吩或其衍生物、聚芳基胺或其衍生物、聚(對(duì)亞苯基乙烯)或其衍生物、或是聚(2，5-噻吩乙炔)或其衍生物等高分子空穴傳輸材料，更優(yōu)選聚乙烯咔唑或其衍生物、聚硅烷或其衍生物、在側(cè)鏈或主鏈上有芳香族胺的聚硅氧烷衍生物。在為低分子的空穴傳輸材料時(shí)，優(yōu)選使其分散在高分子粘結(jié)劑中使用。作為空穴傳輸層的成膜方法，沒有特別地限制，但對(duì)于在低分子的空穴傳輸材料而言，可舉出由含有高分子粘結(jié)劑和空穴傳輸材料的混合液的成膜，對(duì)于高分子的空穴傳輸材料而言，可舉出由含有空穴傳輸材料的溶液的成膜。作為由溶液的成膜中使用的溶劑，只要是使空穴傳輸材料溶解的溶劑則沒有特別地限制，可舉出氯仿、二氯甲烷、二氯乙烷等氯系溶劑，四氫呋喃等醚系溶劑，甲苯、二甲苯等芳香族烴系溶劑，丙酮、甲基乙基酮等酮系溶劑，乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙基溶纖劑醋酸酯等酯系溶劑等。作為由溶液的成膜方法，可舉出與前述的空穴中注入層的成膜法同樣的涂布法。作為混合的高分子粘結(jié)劑，優(yōu)選幾乎不阻礙電荷傳輸?shù)恼辰Y(jié)劑，另外可優(yōu)選使用對(duì)可見光吸收弱的粘結(jié)劑，可舉出例如聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯、聚氯乙烯、聚硅氧烷等。空穴傳輸層的膜厚根據(jù)所需的特性和工序的簡易度等來適宜設(shè)計(jì)，例如為Inm Iym,優(yōu)選2nm 500nm,進(jìn)一步優(yōu)選5nm 200nmo〈電子傳輸層〉作為構(gòu)成電子傳輸層的電子傳輸材料，可舉出噁二唑衍生物、蒽醌二甲烷或其衍生物、苯醌或其衍生物、萘醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、四氰基蒽醌二甲烷或其衍生物、 芴酮衍生物、二苯基二氰基乙烯或其衍生物、二苯醌衍生物、或8-羥基喹啉或其衍生物的金屬絡(luò)合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物等。其中，作為電子傳輸材料，優(yōu)選噁二唑衍生物、苯醌或其衍生物、蒽醌或其衍生物、或8-羥基喹啉或其衍生物的金屬絡(luò)合物、聚喹啉或其衍生物、聚喹喔啉或其衍生物、聚芴或其衍生物，進(jìn)一步優(yōu)選以2-(4-聯(lián)苯基)-5-(4-叔丁基苯基)-1，3，4_噁二唑、苯醌、蒽醌、三(8-羥基喹啉)鋁、聚喹啉。作為電子傳輸層的成膜法沒有特別地限制，但對(duì)于低分子的電子傳輸材料而言， 可舉出由粉末的真空蒸鍍法、或者由溶液或熔融狀態(tài)的成膜，對(duì)于高分子的電子傳輸材料而言，可舉出由溶液或者熔融狀態(tài)的成膜。由溶液或者熔融狀態(tài)的成膜時(shí)，可以并用高分子粘結(jié)劑。作為由溶液對(duì)電子傳輸層成膜的方法，可舉出與由前述的溶液成膜空穴傳輸層的方法相同的成膜法。電子傳輸層的膜厚根據(jù)所需的特性和工序的簡易度等來適宜設(shè)計(jì)，例如為Inm Iym,優(yōu)選2nm 500nm,進(jìn)一步優(yōu)選5nm 200nmo〈電子注入層〉作為構(gòu)成電子注入層的材料，根據(jù)發(fā)光層的種類而適當(dāng)選擇最適的材料，可舉出 堿金屬、堿土類金屬、含有堿金屬和堿土類金屬中的1種以上的合金、堿金屬或堿土類金屬的氧化物、商化物、碳酸鹽、或者這些物質(zhì)的混合物等。作為堿金屬、堿金屬的氧化物、鹵化物、以及碳酸鹽的例子，可舉出鋰、鈉、鉀、銣、銫、氧化鋰、氟化鋰、氧化鈉、氟化鈉、氧化鉀、 氟化鉀、氧化銣、氟化銣、氧化銫、氟化銫、碳酸鋰等。另外，作為堿土類金屬、堿土類金屬的氧化物、鹵化物、碳酸鹽的例子，可舉出鎂、鈣、鋇、鍶、氧化鎂、氟化鎂、氧化鈣、氟化鈣、氧化鋇、氟化鋇、氧化鍶、氟化鍶、碳酸鎂等。電子注入層可以由層疊2層以上而成的層疊體構(gòu)成，可舉出例如LiF/Ca等。電子注入層通過蒸鍍法、濺射法、印刷法等來形成。作為電子注入層的膜厚，優(yōu)選Inm Ιμπι左右。以上說明的有機(jī)EL裝置可以適用于顯示裝置。作為具備有機(jī)EL元件的顯示裝置， 可舉出片段顯示裝置、點(diǎn)陣顯示裝置等。實(shí)施例按照藍(lán)墨液、綠墨液、紅墨液(B、G、R)的順序涂布各墨液，制作3種有機(jī)EL元件。(基板的準(zhǔn)備和陽極的形成)首先，準(zhǔn)備在200mm(縱)X200mm(橫)X0.7mm(厚度)的透明玻璃板上形成有 TFT陣列和多個(gè)陽極(一個(gè)電極)的基板。多個(gè)陽極以矩陣狀配列，其形狀為板狀，尺寸為行方向X的寬度為60 μ m，列方向Y的寬度為180 μ m，厚度為150nm。在陽極中使用了 ITO薄膜。(絕緣膜的形成)接下來，將正型光致抗蝕劑(東麗公司制，商品名“SL-1904”)在基板整面上涂布， 通過光刻形成了在陽極上形成有開口的格子狀的絕緣膜。絕緣膜的膜厚為1.8μπι，開口為行方向X的寬度為陽μ m,列方向Y的寬度為175 μ m。(隔壁的形成)接著，將正型光致抗蝕劑(東麗公司制，商品名“SL-1904”)在基板整面上涂布，利用光刻法形成長條形狀的隔壁。形成的隔壁為高度為2 μ m，行方向X的寬度為33 μ m，相鄰的隔壁的間隔為41. 5 μ m，行方向X的間隔(重復(fù))為74. 5(33+41. 5) μ m。使用上述的光致抗蝕劑通過通常的光刻法形成隔壁時(shí)，只要不特別實(shí)施疏液處理，所形成的隔壁通常顯示親液性。
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(空穴注入層的形成)接下來，用0. 2 μ m膜濾器過濾聚(3，4-乙烯二氧噻吩)/聚苯乙烯磺酸(Bayer公司制，商品名“BaytronP AI4083”)的混懸液。通過旋涂將該濾過液在基板上涂布。隨后， 200°C進(jìn)行20分鐘加熱處理，形成膜厚為SOnm的空穴注入層。(發(fā)光層的形成)準(zhǔn)備具有與上述隔壁對(duì)應(yīng)的長條狀的多根凸部的柔版印刷版(材質(zhì)聚酯系樹脂)。各凸部沿著版體的周方向延伸，互相在中心軸線方向上隔開等間隔地配置。凸部的高度為100 μ m，寬度為35 μ m，重復(fù)間隔(間隔)% 223. 5 (74. 5X3) μ m。作為有機(jī)發(fā)光材料，將紅、綠、藍(lán)的3色的高分子發(fā)光材料(薩美迅公司制，商品名 “RP158(紅)”、“GP1300(綠)”、“BP361 (藍(lán))”)分別溶解于苯甲醚/環(huán)己基苯=1/1 (重量比)的混合溶劑中，準(zhǔn)備了 3種墨液(各墨液的固體成分濃度2重量％ )。將準(zhǔn)備的墨液按照藍(lán)墨液、綠墨液、紅墨液(B、G、R)的順序利用柔版印刷法進(jìn)行涂布。首先，使用具有上述凸部的柔版印刷版，在應(yīng)該形成藍(lán)色發(fā)光層的凹部中印刷藍(lán)墨液，進(jìn)而，將其干燥，形成藍(lán)色發(fā)光層。接下來，與藍(lán)墨液同樣地印刷綠墨液，再使其干燥，形成綠色發(fā)光層。然后與綠墨液同樣地印刷紅墨液，再使其干燥，形成紅色發(fā)光層。各色的發(fā)光層5R、5G、5B的厚度分別為60nm，為大致相同的厚度。印刷機(jī)使用了日本寫真印刷(株)制的“才 > 夕'7卜α — ■？一 SDR-0023 (商品名)，版鼓直徑80mm”。印刷速度設(shè)為50mm/秒，將版和基板接觸的狀態(tài)設(shè)為印刷按壓量 Oym,以從該位置將版按壓50 μ m的狀態(tài)(印刷按壓量=50 μ m)進(jìn)行印刷。用光學(xué)顯微鏡(尼康公司制，商品名“才f 7才卜88”，物鏡倍率50倍)觀察各發(fā)光層的形狀，觀測(cè)到藍(lán)墨液、綠墨液、紅墨液都擴(kuò)展至隔壁上，如圖3(5)所示的膜形狀。(陰極的形成)接下來，在發(fā)光層上蒸鍍100 A的厚度的鈣作為另一個(gè)電極(陰極)，進(jìn)而，作為氧化保護(hù)層，蒸鍍2000 A的厚度的鋁。由此，制作了底部發(fā)光型的有機(jī)EL元件。使得到的各有機(jī)EL元件發(fā)光，從形成了分別用紅墨液，綠墨液，藍(lán)墨液的發(fā)光層的有機(jī)EL元件，分別得到紅色、綠色、藍(lán)色的發(fā)光，未觀測(cè)到混色。[比較例]按照藍(lán)墨液、綠墨液、紅墨液(R、G、B)的順序涂布各墨液，制作了 3種有機(jī)EL元件。除了將墨液的涂布順序設(shè)定為紅墨液、綠墨液、藍(lán)墨液之外，與實(shí)施例同樣地制作有機(jī)EL元件。使制作的有機(jī)EL元件發(fā)光，使用藍(lán)墨液形成發(fā)光層的有機(jī)EL元件為白色發(fā)光?？梢哉J(rèn)為這是因?yàn)?，使用藍(lán)墨液形成的發(fā)光層中混入了紅墨液的組合物而產(chǎn)生紅色發(fā)光，作為得到紅色發(fā)光和藍(lán)色發(fā)光的結(jié)果，觀測(cè)到白色發(fā)光。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性根據(jù)本發(fā)明，可以使用顯示親液性的隔壁，避免混色的問題明顯化，且利用很少的工序制作所需的有機(jī)EL元件，能夠簡易地制造有機(jī)EL裝置。
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，所述有機(jī)電致發(fā)光裝置具備基板、設(shè)于該基板上的多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件以及劃分多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件的隔壁，所述多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件包含通過涂布法形成的發(fā)光層以及隔著該發(fā)光層而配置的一對(duì)電極來構(gòu)成，作為所述發(fā)光層，具有發(fā)紅色光的紅色發(fā)光層、發(fā)綠色光的綠色發(fā)光層或發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層， 所述制造方法包括準(zhǔn)備設(shè)有顯示親液性的隔壁和所述一對(duì)電極中的一個(gè)電極的基板的工序； 在用于形成紅色發(fā)光層的一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成紅色發(fā)光層的墨液的紅墨液供給工序；在用于形成綠色發(fā)光層的一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成綠色發(fā)光層的墨液的綠墨液供給工序；在用于形成藍(lán)色發(fā)光層的一個(gè)電極上通過涂布法供給用于形成藍(lán)色發(fā)光層的墨液的藍(lán)墨液供給工序；將供給的墨液固化的工序；以及形成所述一對(duì)電極中的另一個(gè)電極的工序，其中，紅墨液供給工序、藍(lán)墨液供給工序和綠墨液供給工序中，最后進(jìn)行紅墨液供給工序。
2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，在所述藍(lán)墨液供給工序之后進(jìn)行所述綠墨液供給工序。
3.如權(quán)利要求1或2所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，所述涂布法為噴嘴涂布法或有版印刷法。
4.如權(quán)利要求1 3中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于，所述涂布法為凸版印刷法。
5.如權(quán)利要求1 4中的任一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置的制造方法，其特征在于， 所述墨液含有沸點(diǎn)為200°C以上的溶劑，沸點(diǎn)為200°C以上的溶劑相對(duì)于墨液的比例為5重量％以上。
6.一種有機(jī)電致發(fā)光裝置，其特征在于，其是包括基板、設(shè)于該基板上的多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件以及劃分該多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件的隔壁而構(gòu)成的有機(jī)電致發(fā)光裝置，所述多個(gè)有機(jī)電致發(fā)光元件包括通過涂布法形成的發(fā)光層以及隔著該發(fā)光層而配置的一對(duì)電極而構(gòu)成，作為發(fā)光層，具備發(fā)紅色光的紅色發(fā)光層、發(fā)綠色光的綠色發(fā)光層、或發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層， 所述隔壁顯示親液性，綠色發(fā)光層和/或藍(lán)色發(fā)光層的一個(gè)端部沿著隔壁延續(xù)至隔著隔壁而鄰接的紅色發(fā)光層上。
7.—種顯示裝置，其特征在于，具備權(quán)利要求6所述的有機(jī)電致發(fā)光裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機(jī)EL元件的制造方法，所述有機(jī)EL元件具備基板、設(shè)于該基板上的多個(gè)有機(jī)EL元件、以及劃分多個(gè)有機(jī)EL元件的隔壁，上述多個(gè)有機(jī)EL元件含有通過涂布法形成的發(fā)光層以及一對(duì)電極來構(gòu)成，作為上述發(fā)光層，具有紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層、發(fā)藍(lán)色光的藍(lán)色發(fā)光層，該制造方法的特征在于，包括準(zhǔn)備設(shè)有顯示親液性的隔壁和上述一對(duì)電極中的一個(gè)電極的基板的工序、供給各種墨液的墨液供給工序、將供給的墨液固化的工序、形成上述一對(duì)電極中的另一個(gè)電極的工序，其中墨液供給工序中，最后進(jìn)行紅墨液供給工序。
文檔編號(hào)H05B33/10GK102342182SQ201080010278
公開日2012年2月1日 申請(qǐng)日期2010年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2009年3月4日
發(fā)明者六原行一 申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社