專利名稱：有機(jī)電致發(fā)光元件、有機(jī)電致發(fā)光顯示屏及有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)EL元件和使用有機(jī)EL元件的圖像顯示裝置。
背景技術(shù)：
有機(jī)電致發(fā)光元件(以下為有機(jī)EL元件)通過(guò)在兩個(gè)對(duì)置電極之間形成由有機(jī)發(fā)光材料構(gòu)成的有機(jī)發(fā)光層且使電流在有機(jī)發(fā)光層中流動(dòng)而使其發(fā)光，但是要制作效率良好且具有可靠性的元件，有機(jī)層的膜厚很重要。另外，要使用該元件進(jìn)行彩色顯示，需要高精細(xì)地形成圖案。一般而言，作為用于顯示器的基板，使用的是經(jīng)形成圖案的感光性聚酰亞胺被以將子像素進(jìn)行分隔的方式形成隔壁狀的基板。此時(shí)，隔壁圖案以覆蓋作為陽(yáng)極而成膜的透明電極的邊緣部分的方式形成。其次，作為將用于注入空穴載流子的空穴注入層成膜的方法，有干式成膜法和濕式成膜法這2種，在使用濕式成膜法時(shí)，通常使用分散于水中的聚噻吩衍生物，但是水系油墨容易受到基底影響而非常難以均勻地涂敷。與此相對(duì)，利用蒸鍍的成膜能夠簡(jiǎn)便且均勻地整面涂敷。形成有機(jī)發(fā)光層的方法也同樣有干式成膜法和濕式成膜法這2種，在使用作為容易均勻成膜的干式成膜的真空蒸鍍法時(shí)，需要使用微細(xì)圖案的掩模形成圖案，因而非常難以解決大型基板圖案形成、微細(xì)圖案形成。因此，最近在嘗試將高分子材料溶解在溶劑中制成涂覆液，將該涂覆液用濕式成膜法形成薄膜的方法。使用高分子材料的涂覆液以濕式成膜法形成包含有機(jī)發(fā)光層的發(fā)光介質(zhì)層時(shí)的層構(gòu)成通常為從陽(yáng)極側(cè)層疊空穴輸送層、有機(jī)發(fā)光層的2層構(gòu)成。此時(shí)，為了制成彩色面板，可使用將具有紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)各種發(fā)光色的有機(jī)發(fā)光材料溶解或者穩(wěn)定地分散在溶劑中而成的有機(jī)發(fā)光油墨，對(duì)有機(jī)發(fā)光層分別涂布(參照專利文獻(xiàn)1、2)。在電極之間除了有機(jī)發(fā)光層以外還形成載流子注入層(也被稱為載流子輸送層)。所謂載流子注入層為在使電子從電極向有機(jī)發(fā)光層注入時(shí)用于控制電子注入量的層、或者在使空穴從另一方的電極向有機(jī)發(fā)光層注入時(shí)用于控制空穴注入量的層，是指被插入在電極與有機(jī)發(fā)光層之間的層。作為電子注入層，可使用羥基喹啉衍生物的金屬配合物等電子輸送性有機(jī)物，Ca、Ba等功函數(shù)較小的例如堿土類金屬等，或者還存在多層層疊具有上述功能的層的情況。作為空穴注入層，已知TPD(三亞苯胺系衍生物參照專利文獻(xiàn)3)、PEDOT :PSS(聚噻吩和聚苯乙烯磺酸的混合物參照專利文獻(xiàn)4)、或者無(wú)機(jī)材料中的空穴輸送材料(參照專利文獻(xiàn)5)。總之都插入在電極與發(fā)光層之間，從而以通過(guò)控制電子和空穴的注入量而提高發(fā)光效率的目的進(jìn)行插入。理想上，可通過(guò)對(duì)RGB的各個(gè)發(fā)光層使用不同的載流子注入層而發(fā)揮性能，但是由于在批量生產(chǎn)工藝中工序增加及難以形成高精細(xì)圖案，因此載流子輸送層通常形成RGB共同的整片狀膜。
圖5是表示常規(guī)有機(jī)EL元件的結(jié)構(gòu)的圖。在基板101上形成第一電極102，在第一電極上層疊空穴注入層104、有機(jī)發(fā)光層106、第二電極107。設(shè)置將像素(子像素)進(jìn)行分隔的隔壁103。在將子像素進(jìn)行分隔的基板上，將用于注入空穴載流子的空穴注入層整面地設(shè)置在還包含隔壁上在內(nèi)的發(fā)光區(qū)域時(shí)，存在如下問(wèn)題在隔壁上成膜而得的空穴注入層的層中，沿空穴注入層的膜面內(nèi)方向向像素的非發(fā)光區(qū)域流動(dòng)的漏電流向隔壁上的對(duì)電極流動(dòng)，從而在像素的發(fā)光區(qū)域中未流動(dòng)規(guī)定電流，發(fā)光強(qiáng)度降低。作為解決該問(wèn)題的方法，可考慮使形成于元件整面的載流子注入層進(jìn)一步薄膜化而提高面內(nèi)方向上的電阻。但是，因使用超薄膜而存在以往不會(huì)成為問(wèn)題的如下問(wèn)題對(duì)由基底電極膜的微小突起、塵埃產(chǎn)生的表面凹凸的覆蓋不充分，變得容易產(chǎn)生電極與對(duì)電極間的短路缺陷。通常用作電極的透明電極為了實(shí)現(xiàn)低電阻而多采用多結(jié)晶結(jié)構(gòu)，存在數(shù)nrn以上的微小突起、局部存在數(shù) 十rim以上的突起，因此所構(gòu)成的膜的膜厚變得越薄，短路缺陷越變得容易明顯存在。另外，即使對(duì)于在該注入層成膜后進(jìn)入的異物，也是變得越薄，貫穿膜而與電極接觸的概率變得越高，因此短路缺陷越變得容易明顯存在。因此，考慮到在設(shè)置用于注入空穴載流子的空穴注入層后設(shè)置隔壁的制造方法，但是在伴隨曝光和顯影的利用光刻法的圖案形成工序中，存在因顯影液而使空穴輸送層的膜厚減少、膜發(fā)生變質(zhì)等耐性降低、無(wú)法作為功能層而實(shí)現(xiàn)充分功能這樣的問(wèn)題。尤其是有機(jī)材料等耐性低，即使為無(wú)機(jī)材料，氧化鑰等也同樣耐性低。因?yàn)槿缟侠碛桑砸酝鶎?shí)際上不可能在隔壁前形成載流子注入性優(yōu)異的無(wú)機(jī)空穴注入層。另一方面，為了減少漏電流，還考慮到用膜厚減少小、膜變質(zhì)小的無(wú)機(jī)材料設(shè)置空穴注入層的制造方法，但是存在空穴注入性、空穴輸送性不充分，無(wú)法作為發(fā)光介質(zhì)層而實(shí)現(xiàn)充分功能這樣的問(wèn)題。專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2001-93668號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2001-155858號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :專利第2916098號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 :專利第2851185號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)5 :日本特開(kāi)平9-63771號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于提供一種有機(jī)EL元件和顯示裝置，其能夠抑制使發(fā)光效率降低的漏電流且防止因異物所致的缺陷，具備充分的空穴注入性、空穴輸送性，從而實(shí)現(xiàn)高效率、長(zhǎng)壽命、高亮度。與為了解決上述課題而完成的制造方法相關(guān)的第I發(fā)明是一種有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法，其特征在于，所述有機(jī)電致發(fā)光顯示屏在基板上具有第一電極、與第一電極對(duì)置的第二電極、將第一電極進(jìn)行分隔的隔壁、以及夾持在第一電極和第二電極之間且至少包含有機(jī)發(fā)光層和形成于第一電極和有機(jī)發(fā)光層之間的載流子注入層的發(fā)光介質(zhì)層，所述制造方法具有如下工序使第一電極形成圖案的工序、在第一電極上形成由第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物混合而成的載流子注入層的工序、以及以覆蓋前述形成圖案的第一電極的端部且覆蓋前述載流子注入層的至少一部分的方式形成隔壁的工序。第2發(fā)明是根據(jù)第I發(fā)明所述有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法，其中，前述形成隔壁的工序具有如下工序?qū)⒏泄庑詷?shù)脂涂布在基板上，然后進(jìn)行曝光，然后進(jìn)行顯影和清洗，從而形成圖案。第3發(fā)明是根據(jù)第I或2發(fā)明所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法，其特征在于，前述第一金屬化合物為氧化鑰，前述第二金屬化合物為二氧化鑰、氧化銦、氧化鈦、氧化銥、氧化鉭、氧化鎳、氧化鶴、氧化fL、氧化錫、氧化鉛、氧化銀、氧化招、氧化銅、氧化猛、氧化鐠、氧化鉻、氧化秘、氧化韓、氧化鋇、氧化銫、氟化鋰、氟化鈉、硒化鋅、締化鋅、氮化鎵、氮化鎵銦、鎂銀、鋁鋰、銅鋰中的一種或者它們的混合物，利用干式成膜法形成。第4發(fā)明是根據(jù)第I 3發(fā)明所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法，其特征在于，第二金屬化合物的物質(zhì)量相對(duì)于前述第一金屬化合物即空穴輸送材料的物質(zhì)量和第二金屬化合物的物質(zhì)量的總和的比例為25% 75%。第5發(fā)明是根據(jù)第I 4的發(fā)明所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法，其特征在于，涂覆將有機(jī)發(fā)光材料溶解或者分散在溶劑中而得的有機(jī)發(fā)光油墨，形成有機(jī)發(fā)光層。進(jìn)而，與有機(jī)電致發(fā)光元件相關(guān)的第6發(fā)明是一種有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，在基板上具有第一電極、與第一電極對(duì)置的第二電極、將第一電極進(jìn)行分隔的隔壁、以及夾持在第一電極和第二電極之間且至少包含有機(jī)發(fā)光層和形成于第一電極和有機(jī)發(fā)光層之間的的載流子注入層的發(fā)光介質(zhì)層，其中具備在基板上形成圖案的多個(gè)第一電極、形成于前述第一電極上且由第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物混合而成的 載流子注入層、以及以覆蓋前述形成圖案的第一電極的端部且覆蓋載流子注入層的一部分的方式形成的隔壁。第7發(fā)明是根據(jù)第6發(fā)明所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，前述載流子注入層以覆蓋前述多個(gè)第一電極上及前述基板上的整面的方式連續(xù)形成，以覆蓋前述多個(gè)第一電極的端部且覆蓋前述載流子注入層的一部分的方式形成前述隔壁。第8發(fā)明是根據(jù)第6或7發(fā)明所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，使載流子注入層浸潰在用于顯影前述隔壁的顯影液中3小時(shí)時(shí)的膜厚減少率為10%以下。第9發(fā)明是根據(jù)第6 8發(fā)明所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，用前述隔壁覆蓋的載流子注入層的膜厚與未用前述隔壁覆蓋的載流子注入層的膜厚相同或者大于未用前述隔壁覆蓋的載流子注入層的膜厚。第10發(fā)明是根據(jù)第6 9發(fā)明所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，前述第一金屬化合為氧化鑰，前述第二金屬化合物為二氧化鑰、氧化銦、氧化鈦、氧化銥、氧化鉭、氧化鎳、氧化鎢、氧化釩、氧化錫、氧化鉛、氧化鈮、氧化鋁、氧化銅、氧化錳、氧化鐠、氧化鉻、氧化秘、氧化韓、氧化鋇、氧化銫、氟化鋰、氟化鈉、硒化鋅、締化鋅、氮化鎵、氮化鎵銦、鎂銀、招鋰、銅鋰中的任一種或者它們的混合物。第11發(fā)明是根據(jù)第6 10發(fā)明所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，第二金屬化合物相對(duì)于前述第一金屬化合物即空穴輸送材料的物質(zhì)量和第二金屬化合物的物質(zhì)量的和的比例為25% 75%。第12發(fā)明是根據(jù)第6 11發(fā)明所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，前述第一電極上的發(fā)光區(qū)域中載流子注入層的膜厚為20nm lOOnm。
第13發(fā)明為一種有機(jī)電致發(fā)光顯示屏，其特征在于，包含第6 10發(fā)明的有機(jī)電致發(fā)光元件。在用隔壁將像素進(jìn)行分隔前，將空穴注入層以覆蓋電極上的突起、異物的方式進(jìn)行成膜，并且由第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物的混合而形成前述空穴注入層，從而能夠沒(méi)有因隔壁形成所致的空穴注入層的膜厚減少、變質(zhì)，能夠抑制使發(fā)光效率降低的漏電流，并且能夠防止因異物所致的缺陷，具備充分的空穴注入性、空穴輸送性，從而得到高效率、長(zhǎng)壽命、高亮度的有機(jī)EL元件和顯示屏。


圖I是本發(fā)明有機(jī)EL元件的一例的說(shuō)明截面圖。
圖2是本發(fā)明有機(jī)EL元件的其他例的說(shuō)明截面圖。圖3是帶有TFT的基板的說(shuō)明截面圖。圖4是凸版印刷裝置的示意圖。圖5是以往有機(jī)EL元件的說(shuō)明截面圖。
具體實(shí)施例方式圖I示出作為本發(fā)明的I種方式的有機(jī)EL元件的示意圖。本發(fā)明的有機(jī)EL元件具有由在基板101上形成的第一電極102和以與第一電極102對(duì)置的方式形成的第二電極107夾持的層(發(fā)光介質(zhì)層108)。發(fā)光介質(zhì)層中至少包含有助于發(fā)光的有機(jī)發(fā)光層106和作為注入電子或者空穴的載流子注入層的載流子注入層104。應(yīng)予說(shuō)明，作為發(fā)光介質(zhì)層108，可以根據(jù)需要在陰極與發(fā)光層之間層疊電子注入層、空穴阻擋層(中間層)，在陽(yáng)極與發(fā)光層之間層疊空穴注入層、電子阻擋層(中間層)105等。進(jìn)而，本發(fā)明的有機(jī)EL元件具有將有機(jī)發(fā)光層106進(jìn)行分隔的隔壁104。通過(guò)將這種有機(jī)EL元件以像素(子像素)的形式進(jìn)行排列，能夠制成圖像顯示裝置。通過(guò)將構(gòu)成備像素的發(fā)光層104例如分別涂成RGB這3色，從而能夠制作全彩色的顯示屏。 在本發(fā)明的有機(jī)EL元件中，上述載流子注入層104形成于第一電極102與有機(jī)發(fā)光層106之間，進(jìn)而，載流子注入層104的至少一部分被隔壁挾持。即，形成于基板與隔壁之間。通過(guò)制成這種構(gòu)成，形成于發(fā)光層106與第一電極104之間的載流子注入層僅露出未形成隔壁的發(fā)光區(qū)域即像素部分，因此不利于向?qū)﹄姌O的漏電流，從而能夠任意地設(shè)定膜厚。載流子注入層104由第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物混合而成，如圖I所示，能夠以覆蓋包含第一電極上和第一電極間上的基板上的整面即顯示區(qū)域的整面的方式連續(xù)形成，如圖2所示，也能夠以僅覆蓋第一電極上的方式形成圖案。如果至少使載流子注入層的端部被隔壁覆蓋，則不會(huì)發(fā)生因端部的凹凸所致的電場(chǎng)集中等引起的短路等不良狀況。作為第一金屬化合物即空穴輸送材料，其膜厚為IOOnm以下且可以選自可見(jiàn)光波長(zhǎng)區(qū)域的透射率為50%以上的過(guò)渡金屬，或者III-B屬的氧化物、氟化物、硼化物、氮化物，但是更優(yōu)選空穴注入性優(yōu)異的氧化鑰。作為第二金屬化合物，可舉出過(guò)渡金屬、III-B族元素或者它們的化合物，但是更優(yōu)選二氧化鑰、氧化銦、氧化鈦、氧化銥、氧化鉭、氧化鎳、氧化鎢、氧化釩、氧化錫、氧化鉛、氧化銀、氧化招、氧化銅、氧化猛、氧化鐠、氧化鉻、氧化秘、氧化韓、氧化鋇、氧化銫、氟化鋰、
氟化鈉、硒化鋅、碲化鋅、氮化鎵、氮化鎵銦、鎂銀、鋁鋰、銅鋰，這是因?yàn)樗鼈儗?duì)形成隔壁時(shí)所使用的水、顯影液的耐性高且還具有空穴注入性、空穴輸送性、電子注入性、電子輸送性。前述載流子注入層104的制造方法可以任意地選自如下方法將第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物在真空中進(jìn)行共蒸鍍的方法或者進(jìn)行濺射的方法、或者將由第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物構(gòu)成的混合靶進(jìn)行濺射的方法，但是從工藝穩(wěn)定性、簡(jiǎn)便性考慮，更優(yōu)選將混合靶進(jìn)行濺射的方法。
在本發(fā)明的構(gòu)成中，載流子注入層104由第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物形成，從而能夠大幅地抑制在使隔壁形成圖案時(shí)光刻法工序?qū)d流子注入層104表面給與的損害。載流子注入層的膜厚優(yōu)選為20nm lOOnm。若小于20nm，則容易產(chǎn)生短路缺陷，若達(dá)到IOOnm以上，則因高電阻而導(dǎo)致流至像素的電流減少。以下，按照制作工藝對(duì)本發(fā)明的構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。作為用于說(shuō)明本發(fā)明的有機(jī)EL顯示裝置的例子，對(duì)將第一電極102作為陰極、將第二電極107作為陽(yáng)極的有源矩陣驅(qū)動(dòng)型有機(jī)EL顯示裝置進(jìn)行敘述。此時(shí)，第一電極形成為用隔壁將每個(gè)像素進(jìn)行分隔而得的像素電極，第二電極成為形成于元件整面的對(duì)電極。另外，載流子注入層104成為空穴輸送性的空穴注入層。本發(fā)明并不限于此，例如可以為制成各電極分別正交的的條紋狀的無(wú)源矩陣驅(qū)動(dòng)型。另外，可以制成將第一電極側(cè)作為陽(yáng)極的相反結(jié)構(gòu)的有機(jī)EL元件。此時(shí)，載流子注入層成為電子輸送性的電子注入層。< 基板 >圖3表示能夠用于本發(fā)明的帶有隔壁的TFT基板的例子。用于本發(fā)明的有源矩陣驅(qū)動(dòng)型有機(jī)EL顯示裝置的基板(背板)308設(shè)置有薄膜晶體管(TFT)、有機(jī)EL顯示裝置的像素電極(第一電極102)及載流子注入層104，并且TFT與像素電極電連接。TFT、構(gòu)成于其上方的有源矩陣驅(qū)動(dòng)型有機(jī)EL顯示裝置由支撐體支撐。作為支撐體，只要為具有機(jī)械強(qiáng)度、絕緣性且尺寸穩(wěn)定性優(yōu)異的支撐體，就可以使用任何材料。例如，可使用玻璃、石英、聚丙烯、聚醚砜、聚碳酸酯、環(huán)烯聚合物、聚芳酯、聚酰胺、聚甲基丙烯酸甲酯、聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等的塑料膜、片；或者可使用使氧化硅、氧化鋁等金屬氧化物，氟化鋁、氟化鎂等金屬氟化物，氮化硅、氮化鋁等金屬氮化物，氮氧化硅等金屬氮氧化物，丙烯酸樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、硅樹(shù)脂、聚酯樹(shù)脂等的高分子樹(shù)脂膜在上述塑料膜、片上形成單層或者疊層而得的透光性基材；鋁、不銹鋼等的金屬箔、片、板，使鋁、銅、鎳、不銹鋼等的金屬膜在前述塑料膜、片上形成疊層而得的非透光性基材等。只要根據(jù)從哪個(gè)面進(jìn)行出光而選擇支撐體的透光性即可。為了避免水分向有機(jī)EL顯示裝置內(nèi)侵入，優(yōu)選對(duì)由這些材料構(gòu)成的支撐體形成無(wú)機(jī)膜或涂布氟樹(shù)脂而實(shí)施防濕處理、疏水性處理。尤其是為了避免水分向發(fā)光介質(zhì)層侵入，優(yōu)選減小支撐體中的含水率和氣體透過(guò)系數(shù)。設(shè)置于支撐體上的薄膜晶體管可使用公知的薄膜晶體管。具體而言，可主要舉出由形成有源/漏區(qū)域和溝槽區(qū)域的活性層、柵絕緣膜和柵電極構(gòu)成的薄膜晶體管。作為薄膜晶體管的結(jié)構(gòu)，沒(méi)有特別限定，例如可舉出交錯(cuò)型、反交錯(cuò)型、頂柵型、底柵型、共面型等。活性層311沒(méi)有特別限定，例如可利用非晶硅、多晶硅、微晶硅、硒化鎘等無(wú)機(jī)半導(dǎo)體材料或者噻吩低聚物、聚(對(duì)苯撐乙烯)等有機(jī)半導(dǎo)體材料形成。就這些活性層而言，例如可舉出利用等離子體CVD法層疊無(wú)定形硅而進(jìn)行離子摻雜的方法；使用SiH4氣體通過(guò)LPCVD法形成無(wú)定形硅、利用固相生長(zhǎng)法使無(wú)定形硅結(jié)晶化，得到多晶硅，然后通過(guò)離子注入法進(jìn)行離子摻雜的方法；使用Si2H6氣體通過(guò)LPCVD法形成無(wú)定形硅，或者使用SiH4氣體通過(guò)PECVD法形成無(wú)定形硅，利用準(zhǔn)分子激光器等激光器進(jìn)行退火，使無(wú)定形硅結(jié)晶化，得到多晶硅，然后利用離子摻雜法進(jìn)行離子摻雜的方法(低溫工藝)；利用減壓CVD法或者LPCVD法層疊多晶硅，在1000°C以上進(jìn)行熱氧化而形成柵絕緣膜，在其上形成n+多晶硅的柵電極8，然后利用離子注入法進(jìn)行離子摻雜的方法(高溫工藝)等。作為柵絕緣膜309，通常可使用用作柵絕緣膜的物質(zhì)，例如可使用對(duì)利用PECVD法、LPCVD法等形成的Si02、SiN, SiON、多晶硅膜進(jìn)行熱氧化而得的SiO2等。作為柵電極314，通常可使用用作柵電極的物質(zhì)，例如可舉出鋁、銅、銀、金等金屬；欽、組、鶴等聞溶點(diǎn)金屬；多晶娃；聞溶點(diǎn)金屬的娃化物；多晶娃娃化物(polycide);等。薄膜晶體管可以為單柵結(jié)構(gòu)、雙柵結(jié)構(gòu)、柵電極為3個(gè)以上的多柵結(jié)構(gòu)。另外，可以具有LDD結(jié)構(gòu)、偏置式結(jié)構(gòu)。進(jìn)而，可以在I個(gè)像素中配置2個(gè)以上的薄膜晶體管。本發(fā)明的顯示裝置需要以發(fā)揮作為有機(jī)EL顯示裝置開(kāi)關(guān)元件的作用的方式與薄膜晶體管進(jìn)行連接，晶體管的漏電極310與有機(jī)EL顯示裝置的像素電極進(jìn)行電連接。〈像素電極〉在基板上使像素電極102成膜，根據(jù)需要形成圖案。在本發(fā)明中，用隔壁將像素電極進(jìn)行分隔，成為與各像素對(duì)應(yīng)的像素電極。作為像素電極的材料，可使用如下任一種ITO(銦錫復(fù)合氧化物)、銦鋅復(fù)合氧化物、鋅鋁復(fù)合氧化物等金屬?gòu)?fù)合氧化物；金、白金等金屬材料；將分散在環(huán)氧樹(shù)脂、丙烯酸樹(shù)脂等中而得的微粒子分散膜對(duì)這些金屬氧化物、金屬材料的微粒子形成單層或疊層而得的材料。在將像素電極設(shè)為陽(yáng)極時(shí)，優(yōu)先選擇使用ITO等功函數(shù)高的材料。在從下方射出光的所謂底部發(fā)光結(jié)構(gòu)的情況下，需要選擇有透光性的材料。根據(jù)需要，為了降低像素電極的配線電阻，可以并設(shè)銅、鋁等金屬材料作為輔助電極。作為像素電極的形成方法，根據(jù)材料，可使用電阻加熱蒸鍍法、電子束蒸鍍法、反應(yīng)性蒸鍍法、離子鍍法、濺射法等干式成膜法；照相凹版印刷法、絲網(wǎng)印刷法等濕式成膜法等。作為像素電極的圖案形成方法，可根據(jù)材料、成膜方法，使用掩模蒸鍍法、光刻法、濕式蝕刻法、干式蝕刻法等已有的圖案形成法。在使用形成有TFT的物體作為基板時(shí)，以可與下層像素對(duì)應(yīng)而實(shí)現(xiàn)接通的方式形成。在為頂部發(fā)射結(jié)構(gòu)的情況下，為了反射來(lái)自發(fā)光層的光，優(yōu)選使用在像素電極上層疊鋁、銀等金屬材料而得的電極；在金屬材料上層疊ITO而得的電極。<載流子注入層>本發(fā)明的載流子注入層104以覆蓋第一電極的方式形成圖案，或者以覆蓋基板和第一電極整面的方式成膜。載流子注入層104由第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物混合而成，作為第一金屬化合物即空穴輸送材料，膜厚為IOOnm以下,且可以選自可見(jiàn)光波長(zhǎng)區(qū)域的透射率為50%以上的過(guò)渡金屬；或者III-B屬的氧化物、氟化物、硼化物、氮化物，但是更優(yōu)選空穴注入性優(yōu)異的氧化鑰(MoO3為主體的MoOx)。 作為第二金屬化合物，可舉出過(guò)渡金屬、III-B族元素或者它們的化合物，但是更優(yōu)選二氧化鑰、氧化銦、氧化鈦、氧化銥、氧化鉭、氧化鎳、氧化鎢、氧化釩、氧化錫、氧化鉛、氧化銀、氧化招、氧化銅、氧化猛、氧化鐠、氧化鉻、氧化秘、氧化韓、氧化鋇、氧化銫、氟化鋰、氟化鈉、硒化鋅、碲化鋅、氮化鎵、氮化鎵銦、鎂銀、鋁鋰、銅鋰，這是因?yàn)樗鼈儗?duì)在形成隔壁時(shí)所使用的水、顯影液的耐性高且還具有空穴注入性、空穴輸送性、電子注入性、電子輸送性，能夠?qū)⑺鼈冎械娜我环N或者幾種的混合物與第一金屬化合物混合，用作載流子注入層的材料。如后所述，第二金屬化合物選擇在隔壁形成工藝中尤其是在顯影液中為非溶解性且具有耐性的化合物。作為第一金屬化合物與第二金屬化合物的比例，第二金屬化合物相對(duì)于第一金屬化合物即空穴輸送材料的物質(zhì)量和第二金屬化合物的物質(zhì)量的總和的比例優(yōu)選為20mol% 75mol%。在不足20mol %時(shí)，第二金屬化合物的效果即對(duì)顯影液的耐性可能無(wú)法充分發(fā)揮，反之，若超過(guò)75%，則載流子注入特性變差，引起發(fā)光效率降低。應(yīng)予說(shuō)明，如上所述的膜組成例如可使用XPS算出。利用第二金屬化合物使本發(fā)明的載流子注入層發(fā)揮對(duì)顯影液的耐性，但是根據(jù)第二金屬化合物的比例，因顯影液而導(dǎo)致載流子注入層的月吳厚少許減少。載流子注入層的膜厚優(yōu)選為20nm lOOnm。若小于20nm，則容易產(chǎn)生短路缺陷，若達(dá)到IOOnm以上，則因高電阻而導(dǎo)致流至像素的電流減少。在此，本發(fā)明的載流子注入層的至少一部分被后述隔壁覆蓋，利用光刻法工序形成有隔壁的部分的載流子注入層的膜厚保持為載流子注入層形成時(shí)的膜厚。但是，根據(jù)載流子注入層中的第二金屬化合物的物質(zhì)量、所用顯影液的種類，未被隔壁覆蓋的部分的載流子注入層的膜厚有時(shí)因隔壁形成工序的顯像液而少許減少。因此，優(yōu)選根據(jù)載流子注入層中的第二金屬化合物的物質(zhì)量、所用顯影液的種類，以未形成有隔壁的部分即成為第一電極上的發(fā)光區(qū)域的部分中形成的載流子注入層的膜厚在隔壁形成工序后達(dá)到20nm IOOnm的方式，考慮到因隔壁形成工序所致的載流子注入層膜厚減少而形成載流子注入層。應(yīng)予說(shuō)明，如果載流子注入層中的第二金屬化合物的物質(zhì)量充足，則不會(huì)因顯影液而導(dǎo)致膜厚減少，因此無(wú)論是否形成隔壁，均可使載流子注入層的膜厚均勻。前述載流子注入層104的制造方法可以任意地選自如下方法將第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物在真空中進(jìn)行共蒸鍍的方法或者進(jìn)行濺射的方法、或者將由第一金屬化合物即空穴輸送材料與第二金屬化合物構(gòu)成的混合靶進(jìn)行濺射的方法中的任一種，但是從工藝穩(wěn)定性、簡(jiǎn)便性考慮，更優(yōu)選將混合靶進(jìn)行濺射的方法。另外，可以使掩模與基板密合、成膜而形成圖案，從而對(duì)每個(gè)像素電極形成圖案。< 隔壁 >本發(fā)明的隔壁103以將與像素對(duì)應(yīng)的發(fā)光區(qū)域進(jìn)行分隔的方式形成。優(yōu)選以覆蓋像素電極102端部的方式形成隔壁(參照?qǐng)D2)。在載流子注入層104形成于像素電極間和像素電極上的發(fā)光區(qū)域的整面、即基板上的顯示區(qū)域整面時(shí)，隔壁以覆蓋位于像素電極間的載流子注入層104和像素電極端部的方式形成。另外，在載流子注入層以僅覆蓋像素電極102的方式形成圖案的情況下，要使隔壁還覆蓋載流子注入層的端部。由此，能夠防止因發(fā)光層形成面的凹凸所致的短路。一般而言，有源矩陣驅(qū)動(dòng)型顯示裝置對(duì)各像素(子像素)形成像素電極102，各個(gè)像素要占有盡可能廣的面積，因此以覆蓋像素電極端部的方式形成的隔壁的最優(yōu)選形狀以用最短距離分開(kāi)各像素電極的格子狀作為基本形狀。另外，作為隔壁的截面形狀，也可以為正錐形、倒錐形、半圓形等。作為隔壁的形成方法，可使用以往公知的方法。具體而言，可以將聚酰亞胺等感光性樹(shù)脂材料用旋涂法、狹縫式涂覆法、浸涂法等在基板的整面成膜，使用掩模曝光隔壁的圖案，用TMAH(四甲基氫氧化銨)等堿性顯影液顯影，用超純水等進(jìn)行清洗、用水、氣刀等將非主要部分的樹(shù)脂刮去，在烘箱中進(jìn)行干燥，從而形成隔壁。感光性樹(shù)脂材料可以為正性抗蝕齊U，也可以為負(fù)性抗蝕劑，但優(yōu)選具有絕緣性。根據(jù)需要，還可以添加疏水劑或者照射等離子體、UV，在形成后賦予針對(duì)油墨的疏水性等。隔壁的優(yōu)選高度為0. Iiim IOii m，更優(yōu)選為0.5pm 2pm左右。若過(guò)高，則阻礙對(duì)電極的形成和密封，若過(guò)低，則未完全覆蓋像素電極的端部，或者在形成發(fā)光介質(zhì)層時(shí)與鄰接的像素混色。進(jìn)而，隔壁例如可以成為以2層結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)置的多段隔壁。此時(shí)，第一段隔壁以覆蓋第一電極端部的方式形成在TFT基板上，可以制成倒錐形、正錐形等形狀。作為所用材料，例如可舉出氧化硅、氧化錫、氧化鋁、氧化鈦等無(wú)機(jī)氧化物；氮化硅、氮化鈦、氮化鑰等無(wú)機(jī)氮化物；氮氧化硅等無(wú)機(jī)氮氧化膜之類的材料，但并不限于此。它們?cè)跓o(wú)機(jī)絕緣膜中特別優(yōu)選的是氮化硅、氧化硅、氧化鈦。這些材料可以用以濺射法、等離子體CVD法、電阻加熱蒸鍍法為代表的干式涂布法而形成。另外，可以用旋涂法、棒涂法、輥涂法、模涂覆法、凹版涂覆法等公知的涂布方法涂布含有無(wú)機(jī)絕緣材料的油墨，然后利用大氣干燥、加熱干燥等燒制工序除去溶劑，制成無(wú)機(jī)絕緣膜。然后，將感光性樹(shù)脂涂覆在無(wú)機(jī)絕緣膜上，進(jìn)行曝光、顯影，形成圖案。作為感光性樹(shù)脂，可使用正性抗蝕劑或者負(fù)性抗蝕劑中的任一種?？梢允褂檬惺鄣目刮g劑。作為形成圖案的工序，可舉出用光刻法得到規(guī)定圖案的方法。應(yīng)予說(shuō)明，在本發(fā)明中，并不限于上述方法，也可以使用其他方法。根據(jù)需要，可以對(duì)無(wú)機(jī)絕緣膜上實(shí)施等離子體照射或者UV照射等表面處理。因?yàn)橛醒趸璧雀鶕?jù)厚度而具有導(dǎo)電性的材料，所以為了確保絕緣性，第一段隔壁的膜厚優(yōu)選為50nm lOOOnm。進(jìn)而，只要為150nm以上，就可以很好地使用。形成第一段隔壁后，可以用上述方法形成由感光性樹(shù)脂構(gòu)成的第二段隔壁。在將隔壁制成多段隔壁的情況下，至少第一段隔壁以覆蓋第一電極端部的方式形成。另外，載流子注入層104例如在形成第一段隔壁后，以覆蓋TFT基板上的整面或者第一電板上和第一段隔壁的方式形成，然后，以覆蓋載流子注入層的至少一部分的方式形成第2段隔壁。進(jìn)而，提高載流子注入層104中第二金屬化合物的物質(zhì)量比，更高地設(shè)定載流子注入層104針對(duì)顯影液的耐性，從而在第一電極上或者在基板上的整面形成載流子注入層 后，即使由于形成多段隔壁而經(jīng)過(guò)多次光刻法工序，也能夠抑制載流子注入層因顯影液、超純水所致的變質(zhì)、膜厚減少之類的問(wèn)題，因此可以為多段隔壁，也可以在形成第一段隔壁之前在TFT基板上形成載流子注入層。根據(jù)本發(fā)明，能夠保持載流子注入層的表面狀態(tài)而免受該隔壁形成工序中的顯影液、超純水影響。氧化鑰為作為載流子注入層的優(yōu)異材料，但是由于在顯影液、超純水中可溶而在以單質(zhì)形成時(shí)，存在光刻法工序后膜厚極度減少這樣的問(wèn)題。在本發(fā)明中，使用在向載流子注入層的載流子注入性良好的材料中進(jìn)一步混合第二金屬化合物而得的載流子注入層，從而即使在隔壁形成前形成的情況下，也能夠抑制隔壁形成工序中的變質(zhì)、損傷。作為載流子注入層的特性，特別優(yōu)選對(duì)用于形成隔壁的顯影液的耐性高，具體而言，在使將載流子注入層成膜而得的基板浸潰在所用顯影液中3小時(shí)的情況下，浸潰前后的平均膜厚變化優(yōu)選為10%以下。若膜厚變化大于上述情況，則元件產(chǎn)生短路缺陷的可能性變大。在因隔壁形成工序而導(dǎo)致載流子注入層的膜厚減少時(shí)，隔壁形成后的載流子注入層104的膜厚在被隔壁覆蓋的部分與未被隔壁覆蓋的部分不同，膜厚減少的部分為未形成隔壁的部分，因此被隔壁覆蓋的載流子注入層的膜厚變厚。因此，在以浸潰前后的平均膜厚變化變化為10%以下的方式設(shè)定載流子注入層的第一金屬化合物和第二金屬化合物的組成時(shí)，被隔壁覆蓋的即隔壁下部的載流子注入層的膜厚與未形成隔壁的部分的載流子注入層的膜厚之差成為10%以下，考慮到因顯影液所致的膜厚減少，為了以膜厚在隔壁形成工序后達(dá)到所需膜厚的方式形成載流子注入層，作為載流子注入層，被隔壁覆蓋的部分的載流子注入層的膜厚具有所需膜厚的100% 110%的膜厚?！粗虚g層〉隔壁形成后，作為發(fā)光層與電極之間的層，能夠形成中間層。優(yōu)選將作為電子阻擋 層的中間層設(shè)置在有機(jī)發(fā)光層與載流子注入層之間。能夠提高有機(jī)EL元件的發(fā)光壽命。形成載流子注入層后，能夠?qū)⒅虚g層層疊在載流子注入層上。通常以覆蓋載流子注入層的方式形成中間層，但根據(jù)需要也可以通過(guò)形成圖案而形成中間層。作為中間層的材料，在有機(jī)材料中，可舉出聚乙烯基咔唑或其衍生物、側(cè)鏈或者主鏈中具有芳香族胺的聚芳烯衍生物、芳胺衍生物、三苯基二胺衍生物等含有芳香族胺的聚合物等。另夕卜，在無(wú)機(jī)材料中，可舉出含有Cu20、Cr203、Mn2O3、Ni O、CoO、Pr2O3、Ag20、Mo02、ZnO、TiO2, V2O5、Nb2O5、Ta2O5、MoO3、Wo3、MnO2等的過(guò)渡金屬氧化物及其氮化物、硫化物中的一種以上的無(wú)機(jī)化合物。應(yīng)予說(shuō)明，在本發(fā)明中，并不限于上述材料，也可以使用其他材料。中間層的有機(jī)材料可以溶解或者穩(wěn)定地分散在溶劑中，用作有機(jī)中間層油墨(有機(jī)中間層的液體材料)。作為溶解或者分散有機(jī)中間層的材料的溶劑，可使用甲苯、二甲苯、丙酮、苯甲醚、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮等中的單獨(dú)一種或者它們的混合溶劑。其中，從有機(jī)中間層材料的溶解性的觀點(diǎn)看，優(yōu)選使用甲苯、二甲苯、苯甲醚之類的芳香族有機(jī)溶劑。另外，根據(jù)需要可以向有機(jī)中間層油墨中添加表面活性劑、抗氧化劑、粘度調(diào)節(jié)劑、紫外線吸收劑等。作為這些中間層的材料，優(yōu)先選擇與載流子注入層相比功函數(shù)為同等以上的材料，進(jìn)而，更優(yōu)先選擇與機(jī)發(fā)光層16相比功函數(shù)為同等以下的材料。其理由為在從載流子注入層向有機(jī)發(fā)光層16注入載流子時(shí)，不形成不必要的注入障壁。另外，為了得到對(duì)來(lái)自有機(jī)發(fā)光層16的無(wú)法有助于發(fā)光的電荷進(jìn)行約束的效果，優(yōu)選采用帶隙為3. OeV以上的材料，更優(yōu)選采用帶隙為3. 5eV以上的材料。作為中間層的形成方法，根據(jù)材料，可使用電阻加熱蒸鍍法、電子束蒸鍍法、反應(yīng)性蒸鍍法、離子鍍法、濺射法等干式成膜法；或者噴墨印刷法、凸版印刷法、照相凹版印刷法、絲網(wǎng)印刷法等濕式成膜法等的現(xiàn)有成膜法。應(yīng)予說(shuō)明，在本發(fā)明中，并不限于上述方法，也可以使用其他方法。<有機(jī)發(fā)光層>中間層形成后，形成有機(jī)發(fā)光層106。有機(jī)發(fā)光層為通過(guò)使電流流動(dòng)而發(fā)光的層，在由有機(jī)發(fā)光層106發(fā)出的顯示光為單色時(shí)，以覆蓋中間層105的方式形成，但要得到多色的顯示光，可根據(jù)需要進(jìn)行圖案形成，從而很好地加以利用。形成有機(jī)發(fā)光層106的有機(jī)發(fā)光材料例如可舉出使香豆素系、茈系、吡喃系、蒽酮系、葉啉系、喹吖啶酮系、N，N’ - 二烷基取代喹吖啶酮系、萘二甲酰亞胺系、N，N’ - 二芳基取代吡咯并吡咯系、銥配合物系等發(fā)光性色素分散在聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯基咔唑等高分子中而得的材料；聚芳烯系、聚芳撐乙烯系、聚烷基芴系高分子材料，但在本發(fā)明中并不限于此。在利用涂布法形成有機(jī)發(fā)光層時(shí)，可以使這些有機(jī)發(fā)光材料溶解或者穩(wěn)定地分散在溶劑中，使用有機(jī)發(fā)光油墨進(jìn)行涂布。作為溶解或者分散有機(jī)發(fā)光材料的溶劑，可舉出甲苯、二甲苯、丙酮、苯甲醚、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮等中的單獨(dú)一種或者它們的混合溶劑。其中，從有機(jī)發(fā)光材料的溶解性的方面看，優(yōu)選甲苯、二甲苯、苯甲醚之類的芳香族有機(jī)溶劑。另外，根據(jù)需要，可以向有機(jī)發(fā)光油墨中添加表面活性劑、抗氧化劑、粘度調(diào)節(jié)齊U、紫外線吸收劑等?？墒褂萌缦碌头肿酉蛋l(fā)光材料加入上述高分子材料中，即9，10- 二芳基蒽衍生物、芘、暈苯、茈、紅熒烯、1，1，4，4_四苯基丁二烯、三(8-喹啉)鋁配合物、三(4-甲基-8-喹啉)鋁配合物、雙(8-喹啉)鋅配合物、三(4-甲基-5-三氟甲基-8-喹啉)鋁配合物、三 (4-甲基-5-氰基-8-喹啉)鋁配合物、雙(2-甲基-5-三氟甲基-8-羥基喹啉)[4- (4-氰基苯基)苯酚]鋁配合物、雙(2-甲基-5-氰基-8-羥基喹啉)[4-(4-氰基苯基)苯酚]鋁配合物、三(8-羥基喹啉)鈧配合物、雙[8-(對(duì)甲苯磺?；?氨基喹啉]鋅配合物及鎘配合物、I，2，3，4-四苯基環(huán)戊二烯、聚-2，5- 二庚基氧基-對(duì)苯撐乙烯等?！窗l(fā)光介質(zhì)層的形成方法〉作為有機(jī)發(fā)光層106的形成法，根據(jù)需要可使用電阻加熱蒸鍍法、電子束蒸鍍法、反應(yīng)性蒸鍍法、離子鍍法、濺射法等干式成膜法；噴墨法、凸版印刷法、照相凹版印刷法、絲網(wǎng)印刷法等涂布法之類的現(xiàn)有成膜法，在用涂布法形成發(fā)光介質(zhì)層時(shí)，尤其是在使用使有機(jī)發(fā)光材料溶解或者穩(wěn)定地分散在溶劑中而得的機(jī)發(fā)光油墨，將發(fā)光層涂成各發(fā)光色時(shí)，優(yōu)選能夠在隔壁間轉(zhuǎn)印油墨而形成圖案的凸版印刷法。圖4中示出將由有機(jī)發(fā)光材料構(gòu)成的有機(jī)發(fā)光油墨圖案印刷在形成有像素電極、空穴注入層、中間層的被印刷基板602上時(shí)的凸版印刷裝置600的示意圖。本制造裝置具有印版滾筒608，印版滾筒608裝載有油墨槽603、油墨腔604、網(wǎng)紋輥605及設(shè)有凸版的印版607。油墨槽603容納用溶劑稀釋的有機(jī)發(fā)光油墨，有機(jī)發(fā)光油墨從油墨槽送入油墨腔604中。網(wǎng)紋輥605與油墨腔604的油墨供給部連接，被指示成可旋轉(zhuǎn)。與網(wǎng)紋輥605的旋轉(zhuǎn)相伴，供給至網(wǎng)紋輥表面的有機(jī)發(fā)光油墨的油墨層609形成均勻的膜厚。該油墨層的油墨接近網(wǎng)紋輥，轉(zhuǎn)移至安裝在被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的印版滾筒608上的印版607的凸部。平臺(tái)601上設(shè)置有被印刷基板602，位于印版607凸部的油墨被印刷于被印刷基板602上，根據(jù)需要，經(jīng)過(guò)干燥工序，在被印刷基板上形成有機(jī)發(fā)光層。向網(wǎng)紋輥供給油墨的方法并不限于油墨腔，可以為模涂覆法、狹縫式涂覆法等涂覆法。另外，為了使供給至網(wǎng)紋輥表面的油墨均勻，優(yōu)選使用刮刀輥、刮刀片等調(diào)節(jié)器606，但是在使用模涂覆法作為油墨供給方法時(shí)，可以不設(shè)置調(diào)節(jié)器606。對(duì)于將其他發(fā)光介質(zhì)層進(jìn)行油墨化而進(jìn)行涂覆的情況，也可以同樣用上述形成法形成。<電子注入層>在形成有機(jī)發(fā)光層106后，可以形成空穴阻擋層、電子注入層等。這些功能層可以根據(jù)有機(jī)EL顯示屏的大小等而任意選擇。作為用于空穴阻擋層和電子注入層的材料，只要是通常用作電子輸送材料的材料即可，可以使用三唑系、P惡唑系、惡二唑系、噻咯(Si IOIe)系、硼系等低分子系材料；氟化鋰、氧化鋰等堿金屬、堿土類金屬的鹽、氧化物等，利用真空蒸鍍法成膜。另外，可以將這些電子輸送性材料及這些電子輸送材料溶解在聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯咔唑等高分子中，溶解或者分散在甲苯、二甲苯、丙酮、甲基乙基酮、甲基異丁基酮、環(huán)己酮、甲醇、乙醇、異丙醇、乙酸乙酯、乙酸丁酯、水等的單獨(dú)或者混合溶劑中，形成電子注入涂布液，利用印刷法成膜。〈對(duì)電極〉然后，形成對(duì)電極107。在將對(duì)電極作為陰極時(shí)，使用向發(fā)光層106的電子注入效率高、功函數(shù)低的物質(zhì)。具體而言，可以使用Mg、Al、Yb等金屬單質(zhì)，或者可以使用在與發(fā)光介質(zhì)層相接的界面夾持Inm左右的Li、Na的氧化物、氟化物等的化合物且層疊使用穩(wěn)定性、導(dǎo)電性高的Al、Cu?；蛘?，為了兼顧電子注入效率與穩(wěn)定性，可以使用I種以上的功函數(shù)低的Li、Mg、Ca、Ba、Sr、La、Ce、Er、Eu、Sc、Y、Yb等金屬與穩(wěn)定的Ag、Al、Cu等金屬元素的合
金體系。具體而言，可使用MgAg、AlLi、CuLi等合金。對(duì)電極107的形成方法根據(jù)材料可以使用電阻加熱蒸鍍法、電子束蒸鍍法、反應(yīng)性蒸鍍法、離子鍍法、濺射法。<密封體>作為有機(jī)EL顯示裝置，能夠通過(guò)將發(fā)光材料夾持在電極間、使電流流動(dòng)而使之發(fā)光，但是有機(jī)發(fā)光材料因大氣中的水分、氧而容易發(fā)生劣化，因此，通常設(shè)置用于與外部隔絕的密封體。密封體例如可以在密封材上設(shè)置樹(shù)脂層而進(jìn)行制作。作為密封材，需要為水分、氧的透過(guò)性低的基材。另外，作為材料的一例，可舉出氧化鋁、氮化硅、氮化硼等陶瓷；無(wú)堿玻璃、堿性玻璃等玻璃；石英；耐濕性膜等。作為耐濕性膜的例子，有利用CVD法在塑料基材的兩面形成SiOx而得的膜、透過(guò)性小的膜、具有吸水性的膜，或者涂布有吸水劑的聚合物膜等，耐濕性膜的水蒸氣透過(guò)率優(yōu)選為10_6g/m2/天以下。作為樹(shù)脂層的材料的一例，可舉出由環(huán)氧系樹(shù)脂、丙烯酸系樹(shù)脂、硅樹(shù)脂等構(gòu)成的光固化型粘接性樹(shù)脂；熱固化型粘接性樹(shù)脂；二液固化型粘接性樹(shù)脂；乙烯-丙烯酸乙酯(EEA)聚合物等丙烯酸系樹(shù)脂；乙烯-乙酸乙烯共聚物(EVA)等乙烯系樹(shù)脂；聚酰胺、合成橡膠等熱塑性樹(shù)脂；聚乙烯、聚丙烯的酸改性物等熱塑性粘接性樹(shù)脂。作為在密封材上形成樹(shù)脂層的方法的一例，可舉出溶劑溶液法、擠出層壓法、熔融.熱熔法、壓延法、噴嘴涂布法、絲網(wǎng)印刷法、真空層疊法、熱輥層疊法等。根據(jù)需要，還可含有具有吸濕性、吸氧性的材料。形成于密封材上的樹(shù)脂層的厚度可根據(jù)密封的有機(jī)EL元件的大小、形狀而任意確定，但是優(yōu)選5 y m 500 y m左右。應(yīng)予說(shuō)明，雖然在此在密封材上形成樹(shù)脂層，但是也可以直接形成于有機(jī)EL顯示裝置側(cè)。最后，在密封室內(nèi)進(jìn)行有機(jī)EL顯示裝置與密封體的貼合。將密封體制成密封材與樹(shù)脂層的2層結(jié)構(gòu)，在樹(shù)脂層中使用熱塑性樹(shù)脂時(shí)，優(yōu)選僅用經(jīng)加熱的輥進(jìn)行壓合。在使用熱固化型粘接樹(shù)脂時(shí)，在用經(jīng)加熱的輥進(jìn)行壓合后，優(yōu)選進(jìn)一步在固化溫度下進(jìn)行加熱固化。在使用光固化性粘接樹(shù)脂時(shí)，在用輥進(jìn)行壓合后，可進(jìn)一步通過(guò)照射光而進(jìn)行固化。實(shí)施例[實(shí)施例I]以下對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。
作為基板，使用具備設(shè)置于支撐體上且作為開(kāi)關(guān)而發(fā)揮作用的薄膜晶體管及形成于其上方的像素電極的有源矩陣基板?；宄叽鐬?00mmX 200mm，其中，在中央配置對(duì)角為5英寸、像素?cái)?shù)為320X240的顯示器。在基板端形成輸出電極和接觸部。將該基板設(shè)置于設(shè)置有靶的濺射成膜裝置中，以不成膜于輸出電極、接觸部的方式形成掩模，在顯示區(qū)域上將載流子注入層進(jìn)行成膜。此時(shí)，使用鈦的濃度為25重量％ (40mol%)的鑰與鈦的混合靶。濺射條件為壓力IPa、電力lkW，且氧相對(duì)于氬氣的流量比為30%。將膜厚設(shè)為50nm。用XPS測(cè)定已成膜的膜的組成，結(jié)果氧化鈦相對(duì)于膜整體的物質(zhì)量的比例為27mol %。然后，以覆蓋設(shè)置于該基板上的像素電極的端部而將像素進(jìn)行分隔的形狀形成隔壁。就隔壁的形成而言，將日本ZEON公司制造的正性抗蝕劑ZWD6216-6用旋涂法以2 y m的厚度形成在基板整面，然后利用掩模對(duì)隔壁圖案進(jìn)行曝光，利用東京應(yīng)化制造的NMD3(TMAH為2. 38% )顯影液進(jìn)行顯影后，利用超純水清洗顯影液。為了使水干燥，用烘箱在100°C下 加熱。這樣，利用光刻法形成寬度為40 iim的隔壁。由此，劃分出子像素?cái)?shù)為960X240點(diǎn)、間距為0. 12謹(jǐn)X0. 36謹(jǐn)?shù)南袼貐^(qū)域。在多處測(cè)定光刻法后的載流子輸送層的膜厚,結(jié)果為40nm 45nm。然后，使用將作為中間層材料的聚乙烯咔唑衍生物以濃度達(dá)到0. 5%的方式溶解在甲苯中而得的油墨，將該基板安置在印刷機(jī)中，在被絕緣層夾持的像素電極的正上方與其線形圖案配合地用凸版印刷法進(jìn)行印刷。此時(shí)，使用300條線/英寸的網(wǎng)紋輥和感光性樹(shù)脂印版。印刷、干燥后的中間層的膜厚成為10nm。然后，使用將作為有機(jī)發(fā)光材料的聚苯撐乙烯衍生物以濃度達(dá)到I %的方式溶解在甲苯中而得的有機(jī)發(fā)光油墨，將該基板安置在印刷機(jī)中，在被絕緣層夾持的像素電極的正上方與其線形圖案配合地將有機(jī)發(fā)光層用凸版印刷法進(jìn)行印刷。此時(shí)，使用150條線/英寸的網(wǎng)紋輥和與像素間距對(duì)應(yīng)的感光性樹(shù)脂印版。印刷、干燥后的有機(jī)發(fā)光層的膜厚成為80nm。將該工序重復(fù)總計(jì)3次，在各像素中形成與R(紅)、G(綠)、B (藍(lán))發(fā)光色對(duì)應(yīng)的有機(jī)發(fā)光層。然后，用真空蒸鍍法將鈣以厚度IOnm成膜作為電子注入層，然后，形成膜厚為150nm的鋁膜作為對(duì)電極。然后，將作為密封材的玻璃板以覆蓋整個(gè)發(fā)光區(qū)域的方式進(jìn)行載置，在約90°C下將粘接劑熱固化I小時(shí)進(jìn)行密封。驅(qū)動(dòng)由此得到的有源矩陣驅(qū)動(dòng)型有機(jī)EL顯示裝置，結(jié)果能夠良好地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。[實(shí)施例2]在實(shí)施例I的靶中，使用鈦濃度為35重量％ (52mol% )的鑰與鈦的混合靶，除此以外，與實(shí)施例I相同地進(jìn)行制作。用XPS測(cè)定已成膜的載流子輸送層的膜組成，結(jié)果氧化鈦相對(duì)于膜整體物質(zhì)量的比例為35mol%。在多處測(cè)定光刻法后的載流子輸送層的膜厚,結(jié)果為45nm 50nm。驅(qū)動(dòng)這樣得到的有源矩陣驅(qū)動(dòng)型有機(jī)EL顯示裝置，結(jié)果能夠良好地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。[實(shí)施例3]在實(shí)施例I的靶中，使用鈦的濃度為50重量％ (67mol% )的鑰與鈦的混合靶，除此以外，與實(shí)施例I相同地進(jìn)行制作。利用XPS測(cè)定已成膜的載流子輸送層的膜組成，結(jié)果氧化鈦相對(duì)于膜整體物質(zhì)量的比例為52mol %。在多處測(cè)定光刻法后的載流子輸送層的膜厚，結(jié)果為50nm。驅(qū)動(dòng)這樣得到的有源矩陣驅(qū)動(dòng)型有機(jī)EL顯示裝置，結(jié)果能良好地進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。[比較例I]在實(shí)施例I的靶中，使用鑰祀，除此以外，與實(shí)施例I相同地進(jìn)行制作。
在多處測(cè)定光刻法后的體輸送層的膜厚，結(jié)果為Onm 5nm，基本沒(méi)有膜。驅(qū)動(dòng)這樣得到的有源矩陣驅(qū)動(dòng)型有機(jī)EL顯示裝置，結(jié)果在由于短路所致暗點(diǎn)(減點(diǎn))而無(wú)法測(cè)定的區(qū)域、勉強(qiáng)算是發(fā)光的像素中，發(fā)光效率明顯下降。[比較例2]在實(shí)施例I的靶中，使用鈦濃度為17重量％ (30mol% )的鑰與鈦的混合靶，除此以外，與實(shí)施例I相同地進(jìn)行制作。用XPS測(cè)定已成膜的載流子輸送層的膜組成，結(jié)果氧化鈦相對(duì)于膜整體物質(zhì)量的比例為16mol%。在多處測(cè)定光刻法后的載流子輸送層的膜厚,結(jié)果為IOnm 18nm。驅(qū)動(dòng)這樣得到的有源矩陣驅(qū)動(dòng)型有機(jī)EL顯示裝置，結(jié)果在由于短路所致滅點(diǎn)而無(wú)法測(cè)定的區(qū)域多且發(fā)光的像素中，發(fā)光效率明顯下降。[比較例3]在實(shí)施例I的靶中，使用鈦濃度為75重量％ (85mol% )的鑰與鈦的混合靶，除此以外，與實(shí)施例I相同地進(jìn)行制作。用XPS測(cè)定已成膜的載流子輸送層的膜組成，結(jié)果氧化鈦相對(duì)于膜整體物質(zhì)量的比例為77mol%。在多處測(cè)定光刻法后的載流子輸送層的膜厚，結(jié)果為50nm。驅(qū)動(dòng)這樣得到的有源矩陣驅(qū)動(dòng)型有機(jī)EL顯示裝置，雖然沒(méi)有因短路所致的滅點(diǎn)，但是像素的發(fā)光效率顯著地下降。符號(hào)說(shuō)明101:支撐體(基板)102 :像素電極(第一電極)103:隔壁104:載流子注入層106 :有機(jī)發(fā)光層107 :對(duì)電極(第二電極)108 :發(fā)光介質(zhì)層302 :像素電極和載流子注入層308:帶有TFT的基板309 :柵絕緣膜310:漏電極311 :活性層312:源電極313 :掃描線314:柵電極600:凸版印刷裝置
601 :平臺(tái)602 :被印刷基板603 :油墨槽604:油墨腔605:網(wǎng)紋輥606 :調(diào)節(jié)器607:凸版608:印版滾筒
609:油墨層
權(quán)利要求
1.一種有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法，其特征在于，所述有機(jī)電致發(fā)光顯示屏在基板上具有第一電極、與第一電極相對(duì)的第二電極、將第一電極進(jìn)行分隔的隔壁、夾持于第一電極和第二電極之間且至少包含有機(jī)發(fā)光層和形成于第一電極和有機(jī)發(fā)光層之間的載流子注入層的發(fā)光介質(zhì)層，所述制造方法具有如下エ序 將第一電極形成圖案的エ序， 在第一電極上形成由第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物混合而成的載流子注入層的エ序，及 以覆蓋所述形成圖案的第一電極的端部、覆蓋所述載流子注入層的至少一部分的方式形成隔壁的エ序。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法，其特征在于，所述形成隔壁的エ序具有如下エ序?qū)⒏泄庑詷?shù)脂涂布在基板上，然后進(jìn)行曝光，然后進(jìn)行顯影和清洗，從而形成圖案。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法，其特征在于，所述第一金屬化合物為氧化鑰； 所述第二金屬化合物是ニ氧化鑰、氧化銦、氧化鈦、氧化銥、氧化鉭、氧化鎳、氧化鎢、氧化fL、氧化錫、氧化鉛、氧化銀、氧化招、氧化銅、氧化猛、氧化鐠、氧化鉻、氧化秘、氧化 丐、氧化鋇、氧化銫、氟化鋰、氟化鈉、硒化鋅、締化鋅、氮化鎵、氮化鎵銦、鎂銀、招鋰、銅鋰中的任一種或者它們的混合物； 利用干式成膜法形成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法，其特征在干，第二金屬化合物的物質(zhì)量相對(duì)于所述第一金屬化合物即空穴輸送材料的物質(zhì)量和第二金屬化合物的物質(zhì)量的總和的比例為20mol% 75mol%。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光顯示屏的制造方法，其特征在干，涂覆將有機(jī)發(fā)光材料溶解或者分散在溶劑中而得的有機(jī)發(fā)光油墨，形成有機(jī)發(fā)光層。
6.—種有機(jī)電致發(fā)光兀件,其特征在于,在基板上具有第一電極、與第一電極相對(duì)的第ニ電極、將第一電極進(jìn)行分隔的隔壁、夾持于第一電極和第二電極之間且至少包含有機(jī)發(fā)光層和形成于第一電極和有機(jī)發(fā)光層之間的載流子注入層的發(fā)光介質(zhì)層，其中，具備 在基板上形成圖案的多個(gè)第一電極， 形成于所述第一電極上且由第一金屬化合物即空穴輸送材料和第二金屬化合物混合而成的載流子注入層，及 以覆蓋所述形成圖案的第一電極的端部、且覆蓋載流子注入層的一部分的方式形成的隔壁。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在干，以覆蓋所述多個(gè)第一電極上和所述基板上的整面的方式連續(xù)形成所述載流子注入層； 以覆蓋所述多個(gè)第一電極的端部、且覆蓋所述載流子注入層的一部分的方式形成所述隔壁。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在干，使載流子注入層浸潰在用于顯影所述隔壁的顯影液中3小時(shí)時(shí)的膜厚減少率為10%以下。
9.根據(jù)6 8中任一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光元件，其特征在于，用所述隔壁覆蓋的載流子注入層的膜厚與未用所述隔壁覆蓋的載流子注入層的膜厚相同或者大于未用所述隔壁覆蓋的載流子注入層的膜厚。
10.根據(jù)權(quán)利要求6 9中任一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光兀件,其特征在于,所述第一金屬化合物為氧化鑰； 所述第二金屬化合物為ニ氧化鑰、氧化銦、氧化鈦、氧化銥、氧化鉭、氧化鎳、氧化鎢、氧化fL、氧化錫、氧化鉛、氧化銀、氧化招、氧化銅、氧化猛、氧化鐠、氧化鉻、氧化秘、氧化·丐、氧化鋇、氧化銫、氟化鋰、氟化鈉、硒化鋅、締化鋅、氮化鎵、氮化鎵銦、鎂銀、招鋰、銅鋰中的任ー種或者它們的混合物。
11.根據(jù)權(quán)利要求6 10中任一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光兀件,其特征在于,第二金屬化合物相對(duì)于所述第一金屬化合物即空穴輸送材料的物質(zhì)量和第二金屬化合物的物質(zhì)量的總和的比例為20mol% 75mol%。
12.根據(jù)權(quán)利要求6 11中任一項(xiàng)所述的有機(jī)電致發(fā)光兀件,其特征在于,所述第一電極上的發(fā)光區(qū)域中的載流子注入層的膜厚為20nm lOOnm。
13.—種有機(jī)電致發(fā)光顯不屏,其特征在于,包含權(quán)利要求6 12中任一項(xiàng)的有機(jī)電致發(fā)光元件。
全文摘要
本發(fā)明的目的在于提供一種有機(jī)EL顯示器及其制造方法，其通過(guò)在有機(jī)EL顯示屏中使用帶有隔壁的基板而實(shí)現(xiàn)發(fā)光效率下降的改善、短路缺陷的減少。在用隔壁將像素進(jìn)行分隔前將空穴注入層以覆蓋電極上的突起、異物的方式成膜，然后形成隔壁，然后，以空穴注入層不因電流泄漏而引起效率降低的方式形成薄膜，從而能夠得到防止因異物所致的缺陷并且能夠維持效率的顯示屏。
文檔編號(hào)H05B33/10GK102687302SQ20108004333
公開(kāi)日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2010年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月30日
發(fā)明者北爪榮一, 正田亮 申請(qǐng)人:凸版印刷株式會(huì)社