專利名稱:直拉式單晶爐中石墨坩堝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種直拉式單晶爐中石墨坩堝,適用于直拉硅單晶棒的制造,主要應(yīng)用于大直徑硅但晶棒的生產(chǎn),屬于石墨坩堝技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù):
目前隨著科學(xué)技術(shù)、人類文明的發(fā)展。人類對(duì)能源的應(yīng)用和使用量越來(lái)越大。因?yàn)榈厍蛏系母鞣N自然資源是有限的,所有人類正在努力地尋找各種新的能源來(lái)代替石油、 天然氣、煤等自然資源。單晶硅太陽(yáng)能電池是目前制備工藝較成熟、光電轉(zhuǎn)換效率較高的綠色、環(huán)保、清潔的新能源。同時(shí)也是取之不盡、用之不完的自然資源。然而在直拉法制作太陽(yáng)能電池用的單晶硅時(shí)需要用高純等靜壓細(xì)結(jié)構(gòu)的石墨作加熱、保溫、支撐等材料,如加熱材料的加熱器、支撐材料的石墨坩堝,亦簡(jiǎn)稱為三瓣堝。然而目前用于制作石墨坩堝的高純等靜壓細(xì)結(jié)構(gòu)石墨較稀缺,其高純等靜壓細(xì)結(jié)構(gòu)石墨制備技術(shù)目前只掌握在少數(shù)幾個(gè)西方發(fā)達(dá)國(guó)家手中。所以延長(zhǎng)石墨件特別是三瓣堝的使用壽命對(duì)于緩解石墨的短缺具有重要意義。石墨坩堝系采用天然鱗片石墨、臘石、碳化硅等原料制成的高級(jí)耐火器皿,具有良好的熱導(dǎo)性和耐高溫性,在高溫使用過(guò)程中,熱膨脹系數(shù)小,對(duì)急熱、急冷具有一定抗應(yīng)變性能。對(duì)酸,堿性溶液的抗腐蝕性較強(qiáng),具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性。如圖1所示,石墨坩堝包括三瓣塊體,三瓣塊體在接口處連接起來(lái),組成石墨坩堝,故石墨坩堝,也成為三瓣堝,石墨坩堝內(nèi)壁的三瓣塊體的連接處的彎曲部稱為“R”部。石墨坩堝傳統(tǒng)的使用方法是石英鍋放置于石墨坩堝中,與其緊密相貼,以22寸的石英鍋為例,晶料一般重量為120KG。晶料的溶化溫度為1420度,轉(zhuǎn)速為每分鐘2-8轉(zhuǎn),二鍋在熱場(chǎng)中同速旋轉(zhuǎn),料在石英鍋中溶化,受力的主要部位在石墨坩堝(三瓣鍋)R型區(qū),當(dāng) R型部位的壁厚小于是1厘米時(shí),就需要更換新的坩堝,一般正常使用壽命為20-30爐。中國(guó)專利CN201317827Y公開了一種直拉單晶爐用石墨坩堝,在石墨坩堝三瓣接口處的“R”部覆蓋有石墨紙,以延長(zhǎng)石墨坩堝的使用壽命,但采用石墨紙容易脫落,使用效果不好。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種使用壽命長(zhǎng)的直拉式單晶爐中石墨坩堝。實(shí)現(xiàn)上述目的的技術(shù)方案是一種直拉式單晶爐中石墨坩堝,包括石墨坩堝本體, 石墨坩堝本體包括三瓣塊體,石墨坩堝本體內(nèi)壁的三瓣塊體的接口處的彎曲部為“R”部,石墨坩堝本體內(nèi)壁位于三瓣塊體的接口處“R”部的位置具有石墨涂層,該石墨涂層由石墨粉和乙醇均勻混合而成,且石墨粉與乙醇的重量比為1 :2. (Γ3.0。石墨涂層的厚度為0. 3^0. 5mm。采用上述技術(shù)方案后,石墨坩堝本體內(nèi)壁位于三瓣塊體的接口處“R”部的位置具有石墨涂層,從而增強(qiáng)了 “R”部的耐磨性,使得石墨坩堝的使用壽命從2(Γ30爐提高到50^70爐。同時(shí)石墨涂層由石墨粉和乙醇均勻混合而成,成本低廉,不會(huì)脫落,使用效果好。
圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。實(shí)施例一
如圖1所示,一種直拉式單晶爐中石墨坩堝,包括石墨坩堝本體1,石墨坩堝本體1包括三瓣塊體,石墨坩堝本體內(nèi)壁的三瓣塊體的接口處的彎曲部為“R”部,石墨坩堝本體內(nèi)壁位于三瓣塊體的接口處“R”部的位置具有石墨涂層2,該石墨涂層2由石墨粉和乙醇均勻混合而成,且石墨粉與乙醇的重量比為1 :2. 25。石墨涂層2的厚度為0. 4mm。實(shí)施例二
如圖1所示,一種直拉式單晶爐中石墨坩堝,包括石墨坩堝本體1,石墨坩堝本體1包括三瓣塊體,石墨坩堝本體內(nèi)壁的三瓣塊體的接口處的彎曲部為“R”部,石墨坩堝本體內(nèi)壁位于三瓣塊體的接口處“R”部的位置具有石墨涂層2,該石墨涂層2由石墨粉和乙醇均勻混合而成,且石墨粉與乙醇的重量比為1 :2. 1。石墨涂層2的厚度為0. 31mm。實(shí)施例三
如圖1所示,一種直拉式單晶爐中石墨坩堝,包括石墨坩堝本體1,石墨坩堝本體1包括三瓣塊體,石墨坩堝本體內(nèi)壁的三瓣塊體的接口處的彎曲部為“R”部,石墨坩堝本體內(nèi)壁位于三瓣塊體的接口處“R”部的位置具有石墨涂層2,該石墨涂層2由石墨粉和乙醇均勻混合而成,且石墨粉與乙醇的重量比為1 :2. 9。石墨涂層2的厚度為0. 49謹(jǐn)。
在石墨坩堝本體內(nèi)壁位于三瓣塊體的接口處“R”部的位置設(shè)置石墨涂層的工藝步驟如
下
1、選取高純度等晶石墨細(xì)料,顆粒均勻;
2、在粉料中,按1:2.25的比例,緩慢加入無(wú)水乙醇,邊加邊攪,直到均勻;
3、使用前應(yīng)該再次仔細(xì)攪拌均勻,坩堝冷卻至室溫時(shí),用細(xì)毛刷蘸漿料在坩堝內(nèi)壁R 型部位均勻地刷二至三遍,一遍干后即刷第二遍,涂層厚度0. 3-0. 5毫米。4、現(xiàn)用現(xiàn)配。本發(fā)明采用的乙醇是高純度乙醇,純度在99. 9%以上,電阻值在200千歐以上。石墨粉為等靜壓高純石墨粉,純度99. 99%,灰份小于10PPM,微量元素小于10PPM。
權(quán)利要求
1.一種直拉式單晶爐中石墨坩堝,包括石墨坩堝本體(1 ),所述石墨坩堝本體(1)包括三瓣塊體,石墨坩堝本體內(nèi)壁的三瓣塊體的接口處的彎曲部為“R”部,其特征在于石墨坩堝本體內(nèi)壁位于三瓣塊體的接口處“R”部的位置具有石墨涂層(2),該石墨涂層(2)由石墨粉和乙醇均勻混合而成,且石墨粉與乙醇的重量比為1 :2. (Γ3.0。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉式單晶爐中石墨坩堝,其特征在于所述石墨涂層(2)的厚度為 0. 3^0. 5mm。
全文摘要
一種直拉式單晶爐中石墨坩堝,包括石墨坩堝本體(1),所述石墨坩堝本體(1)包括三瓣塊體,石墨坩堝本體內(nèi)壁的三瓣塊體的接口處的彎曲部為“R”部,石墨坩堝本體內(nèi)壁位于三瓣塊體的接口處“R”部的位置具有石墨涂層(2),該石墨涂層(2)由石墨粉和乙醇均勻混合而成,且石墨粉與乙醇的重量比為12.0~3.0。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是使用壽命長(zhǎng),成本低廉,操作工藝簡(jiǎn)單、方便、效果好。
文檔編號(hào)C30B15/10GK102168301SQ201110148718
公開日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2011年6月3日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月3日
發(fā)明者柳小波, 蔣珍琦 申請(qǐng)人:常州江南電力環(huán)境工程有限公司