專利名稱：分流式氣浴風(fēng)道的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種氣浴風(fēng)道，尤其涉及一種分流式氣浴風(fēng)道。
背景技術(shù)：
光刻機是高精密設(shè)備，內(nèi)部環(huán)境及部件的溫度對光刻精度的影響很大。光刻機內(nèi)部熱源很多，這些熱源產(chǎn)生的熱量會影響系統(tǒng)內(nèi)各部件及空間溫度的穩(wěn)定，必須加以控制。氣浴是光刻機溫度控制的主要手段之一，通過向工件臺、掩模臺、硅片傳輸?shù)葏^(qū)域及部件施加恒溫氣浴，達到空間及部件溫度的穩(wěn)定性和均勻性。氣浴風(fēng)道的設(shè)計就是將溫度受控的氣浴氣體輸送到需要氣浴的各個區(qū)域及部件。現(xiàn)有光刻機氣浴風(fēng)道的設(shè)計多采用在各個支路布置節(jié)流式閥門來實現(xiàn)各個支路氣浴流量可調(diào)的功能。圖I是一種傳統(tǒng)的支路節(jié)流式氣浴風(fēng)道的示意圖。請參考圖I。支 路節(jié)流式氣浴風(fēng)道包括入口 I、風(fēng)道外壁2、支路出口 3、法蘭4以及節(jié)流閥5。其中節(jié)流閥5的主要作用為增大局部阻力，限制氣浴氣體通過，進而實現(xiàn)支路流量可調(diào)。圖2A、圖2B以及圖3即為目前常用的兩種節(jié)流閥。具體而言，圖2A 圖2B是一種傳統(tǒng)的蝶閥的示意圖。請參考圖2A 圖2B。三通管6的兩個出風(fēng)口 7分別設(shè)置有蝶閥8，蝶閥8的一端通過法蘭10聯(lián)接在三通管6的出風(fēng)口端，蝶閥8的另一端聯(lián)接有金屬管。在此，蝶閥8由兩個半圓形風(fēng)門10組成，每個風(fēng)門10的轉(zhuǎn)軸12設(shè)置有軸承11，對應(yīng)每個風(fēng)門10設(shè)置有調(diào)節(jié)手柄9。上述三通管6的結(jié)構(gòu)在滿足對通風(fēng)管路進行分流要求的同時，可對各個支路風(fēng)量進行調(diào)節(jié)，并且結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠，現(xiàn)有光刻機的氣浴風(fēng)道設(shè)計中多采用這種技術(shù)。然而，在各個支路布置蝶閥的氣浴風(fēng)道，密閉性較差，且系統(tǒng)壓阻很大。另外，各個支路之間的壓力調(diào)節(jié)相互干擾，調(diào)節(jié)一個支路上的蝶閥，就會改變整個系統(tǒng)的壓阻，進而影響到整個系統(tǒng)的流量分配。圖3是一種傳統(tǒng)的流線型密閉風(fēng)量調(diào)節(jié)閥的示意圖。請參考圖3。流線型密閉風(fēng)量調(diào)節(jié)閥主要包括框架14、多個葉片15以及兩組連接桿件16。葉片15安裝在框架14內(nèi)，兩組連接桿件16分別設(shè)置于框架14的兩側(cè)，用于驅(qū)動葉片15。葉片15的橫截面呈流線型，在葉片15的一邊形成有齒槽，在葉片15的另一邊形成有齒尖，葉片15中部沿葉片長度方向形成有貫通的方形的軸孔。上述流線型密閉風(fēng)量調(diào)節(jié)閥容易實現(xiàn)葉片的靈活轉(zhuǎn)動，葉片嚙合處密封性好，能實現(xiàn)極低的漏風(fēng)率，并且可根據(jù)葉片的開合控制風(fēng)量大小。然而，此調(diào)節(jié)閥的原理與圖2A與圖2B所示的蝶閥一樣，都是通過改變支路上的壓阻來調(diào)節(jié)流量。采用這種流量調(diào)節(jié)方式的氣浴風(fēng)道，系統(tǒng)壓阻很大，且調(diào)節(jié)一個支路上的閥門，就會改變整個系統(tǒng)的壓阻，進而影響到其它支路的流量，導(dǎo)致流量調(diào)節(jié)過程繁瑣，且調(diào)節(jié)精度較差。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種分流式氣浴風(fēng)道，以改善現(xiàn)有技術(shù)的缺失。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的分流式氣浴風(fēng)道包括本體以及至少一個分流單元。本體具有至少一個支路出風(fēng)口。分流單元與支路出風(fēng)口一一對應(yīng)設(shè)置，本體的高度隨著分流單元依次減小。分流單元包括調(diào)節(jié)件與分流片，調(diào)節(jié)件可移動地設(shè)置于本體且連接于分流片，分流片平行于本體。在本發(fā)明的一實施例中，支路出風(fēng)口具有支路管壁，且分流片可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于支
路管壁。在本發(fā)明的一實施例中，分流單元還包括轉(zhuǎn)軸與軸承，轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于支路管壁，軸承套合于轉(zhuǎn)軸。在本發(fā)明的一實施例中，本體還具有上壁面與下壁面，支路出風(fēng)口位于下壁面。在本發(fā)明的一實施例中，當(dāng)支路出風(fēng)口與分流單元的數(shù)目為多個時，上壁面為連續(xù)平面，下壁面隨著多個分流單元而逐漸向上壁面靠攏。 在本發(fā)明的一實施例中，當(dāng)支路出風(fēng)口與分流單元的數(shù)目為多個時，多個支路出風(fēng)口處于同一水平面，下壁面與各個分流片的連接處分別向下彎曲至所述水平面，上壁面的對應(yīng)部分也分別向下彎曲,且上壁面與下壁面的彎曲角度與彎曲長度相同。在本發(fā)明的一實施例中，本體具有弧形槽，調(diào)節(jié)件可移動地設(shè)置于弧形槽。綜上所述，在本發(fā)明的分流式氣浴風(fēng)道中，通過調(diào)節(jié)件可改變分流片的位置，以實現(xiàn)各個支路流量可調(diào)的目的。另外，由于在本發(fā)明中，此分流式氣浴風(fēng)道調(diào)節(jié)支路流量的原理為分流原理，而不是傳統(tǒng)的節(jié)流原理，在調(diào)節(jié)下一級支路流量時，系統(tǒng)的壓阻變化微弱，對上一級支路的壓力及流量沒有影響。因此，此分流式氣浴風(fēng)道在滿足各個支路流量可調(diào)的同時，解決了支路流量調(diào)節(jié)相互干擾的問題，減少了氣浴系統(tǒng)的壓阻，節(jié)約了能耗。


圖I是一種傳統(tǒng)的支路節(jié)流式氣浴風(fēng)道的示意圖；圖2A 圖2B是一種傳統(tǒng)的蝶閥的示意圖；圖3是一種傳統(tǒng)的流線型密閉風(fēng)量調(diào)節(jié)閥的示意圖；圖4是本發(fā)明一較佳實施例的分流式氣浴風(fēng)道的示意圖；圖5是圖4中分流單元的示意圖；圖6是本發(fā)明另一較佳實施例的分流式氣浴風(fēng)道的示意圖。
具體實施例方式以下將結(jié)合附圖對本發(fā)明的構(gòu)思、具體結(jié)構(gòu)及產(chǎn)生的技術(shù)效果作進一步說明，以充分地了解本發(fā)明的目的、特征和效果。圖4是本發(fā)明一較佳實施例的分流式氣浴風(fēng)道的示意圖。請參考圖4。本實施例提供的分流式氣浴風(fēng)道40可安裝于光刻機的整體框架內(nèi)，以將溫度受控的氣浴氣體輸送到需要氣浴的各個區(qū)域及部件。在此，分流式氣浴風(fēng)道40可包括本體400以及至少一個分流單元410。在此，分流單元410的數(shù)目可為多個，且本體400的高度隨著分流單元410依次減小。然而，本發(fā)明對此不作任何限制。在其它實施例中，其可根據(jù)實際需要而僅設(shè)置一個分流單元410。在本實施例中，本體400具有上壁面401、下壁面402、入風(fēng)口 403以及至少一個支路出風(fēng)口 404。在此，支路出風(fēng)口 404的數(shù)目可為多個。然而，本發(fā)明對此不作任何限制。在其它實施例中，其可根據(jù)實際需要而僅設(shè)置一個支路出風(fēng)口 404。另外，需要說明的是，此處僅是為方便對照附圖進行說明，故將本體400的壁面對稱地區(qū)分為上壁面401與下壁面402，其并非用以限制本發(fā)明。實際使用時，本體400可包括一體環(huán)繞形成的壁面。在本實施例中，入風(fēng)口 403可形成于上壁面401與下壁面402之間。支路出風(fēng)口404可位于下壁面402。然而，本發(fā)明對此不作任何限制。在其它實施例中，支路出風(fēng)口 404可位于上壁面401，或者，多個支路出風(fēng)口 404可部分位于上壁面401，部分位于下壁面402。在本實施例中，支路出風(fēng)口 404具有支路管壁，其可自本體400向下延伸設(shè)置，以導(dǎo)引氣浴氣體向下輸送。在此，支路管壁可通過法蘭420連接于本體400的其它部分。然而，本發(fā)明對此不作任何限制。在其它實施例中，支路管壁也可與本體400 —體設(shè)置。

在本實施例中，上壁面401為連續(xù)平面，下壁面402隨著多個分流單元410而逐漸向上壁面401靠攏,從而使得本體400的高度隨著分流單元410依次減小。在本實施例中，分流單元410與支路出風(fēng)口 404—一對應(yīng)設(shè)置。關(guān)于分流單元410的具體結(jié)構(gòu)可參見圖5。圖5是圖4中分流單元的示意圖。請參考圖4與圖5。在本實施例中，分流單元410包括調(diào)節(jié)件411、分流片412、轉(zhuǎn)軸413以及軸承414。調(diào)節(jié)件411可移動地設(shè)置于本體400且連接于分流片412。分流片412平行于本體400，即平行于氣流方向安裝。轉(zhuǎn)軸413可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于支路出風(fēng)口 404的支路管壁4041，軸承414套合于轉(zhuǎn)軸413。具體而言，在本實施例中，本體400可具有弧形槽405 (其可位于上壁面401或下壁面402，或部分位于上壁面401，部分位于下壁面402)，調(diào)節(jié)件411則可移動地設(shè)置于弧形槽405。在此，調(diào)節(jié)件411可為調(diào)節(jié)手柄，以供使用者操作。分流片412的一端可連接于此調(diào)節(jié)件411，另一端則可轉(zhuǎn)動地連接于支路管壁4041。因此，當(dāng)使用者操作此調(diào)節(jié)件411在本體400的弧形槽405內(nèi)移動時，可帶動此分流片412作微小幅度的旋轉(zhuǎn)，以調(diào)節(jié)對應(yīng)支路出風(fēng)口 404內(nèi)的氣體流量。以下將結(jié)合圖5對分流式氣浴風(fēng)道40調(diào)節(jié)支路流量的原理作詳細說明。圖5中A為前端入風(fēng)口，B為后端出風(fēng)口，C為支路出風(fēng)口。分流單元410的分流片412的初始水平位置可由支路的流量確定。當(dāng)分流式氣浴風(fēng)道40內(nèi)氣浴氣體的流速保持不變時，A、B、C三處可滿足如下的等式
Hc Ha Hb
_2] q^'qT'q^其中Qa為前端入風(fēng)口氣浴流量，Qb為后端出風(fēng)口氣浴流量，Qc為支路出風(fēng)口氣浴流量，Ha為前端入風(fēng)口風(fēng)道高度，Hb為后端出風(fēng)口風(fēng)道高度，Hc為支路分流片水平高度。采用這種分流方式可以保證支路流量分配在規(guī)定范圍內(nèi)，再通過調(diào)節(jié)分流片412迎風(fēng)端的調(diào)節(jié)件411，可對支路流量進行精調(diào)。具體而言，將分流片412向上旋轉(zhuǎn)，支路出風(fēng)口氣浴流量Q。將增大；將分流片412向下旋轉(zhuǎn)，支路出風(fēng)口氣浴流量Q。將減小。由于分流片412對流量進行的是微調(diào)，需要旋轉(zhuǎn)的角度很小，局部阻力變化可以很小，從而可保證在調(diào)節(jié)支路出風(fēng)口 C的流量時，前端入風(fēng)口 A處的壓力及流量不變，消除了支路流量調(diào)節(jié)對上層各出風(fēng)口流量的干擾。圖6是本發(fā)明另一較佳實施例的分流式氣浴風(fēng)道的示意圖。請參考圖6。此實施例與上一實施例的差別僅在于本體600的外形，而分流單元則為相同，故在此對分流單元的結(jié)構(gòu)不再贅述。在本實施例中，由于受光刻機的整機空間的約束，分流式氣浴風(fēng)道60的本體600的外形可帶有彎曲結(jié)構(gòu)。具體而言，本體600的多個支路出風(fēng)口 604可處于同一水平面，而本體600的下壁面602與各個分流片612的連接處，即位于各個分流片612的后端出風(fēng)口處的下壁面602分別向下彎曲至支路出風(fēng)口 604所處的水平面。相應(yīng)地，本體600的上壁面601的對應(yīng)部分也分別向下彎曲。在此，上壁面601與下壁面602的彎曲角度與彎曲長度相同，以確保分流式氣浴風(fēng)道60的截面積保持不變。上壁面601與下壁面602的彎曲角度與彎曲長度則可以根據(jù)各個支路出風(fēng)口 604的位置具體設(shè)計，滿足不同的空間設(shè)計約束，故在此不作任何限制。綜上所述，本發(fā)明較佳實施例提供的分流式氣浴風(fēng)道中，通過調(diào)節(jié)件可改變分流 片的位置，以實現(xiàn)各個支路流量可調(diào)的目的。另外，由于在本發(fā)明中，此分流式氣浴風(fēng)道調(diào)節(jié)支路流量的原理為分流原理，而不是傳統(tǒng)的節(jié)流原理，在調(diào)節(jié)下一級支路流量時，系統(tǒng)的壓阻變化微弱，對上一級支路的壓力及流量沒有影響。因此，此分流式氣浴風(fēng)道在滿足各個支路流量可調(diào)的同時，解決了支路流量調(diào)節(jié)相互干擾的問題，減少了氣浴系統(tǒng)的壓阻，節(jié)約了能耗。以上詳細描述了本發(fā)明的較佳具體實施例。應(yīng)當(dāng)理解，本領(lǐng)域的普通技術(shù)無需創(chuàng)造性勞動就可以根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)思做出諸多修改和變化。因此，凡本技術(shù)領(lǐng)域中技術(shù)人員依本發(fā)明的構(gòu)思在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過邏輯分析、推理或者有限的實驗可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在由權(quán)利要求書所確定的保護范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種分流式氣浴風(fēng)道，其特征在于，包括 本體，具有至少一個支路出風(fēng)口 ；以及 至少一個分流單元，與所述至少一個支路出風(fēng)口一一對應(yīng)設(shè)置，所述本體的高度隨著所述分流單元依次減小，所述分流單元包括調(diào)節(jié)件與分流片，所述調(diào)節(jié)件可移動地設(shè)置于所述本體且連接于所述分流片，所述分流片平行于所述本體。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的分流式氣浴風(fēng)道，其特征在于，所述支路出風(fēng)口具有支路管壁，所述分流片可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于所述支路管壁。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分流式氣浴風(fēng)道，其特征在于，所述分流單元還包括轉(zhuǎn)軸與軸承，所述轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動地設(shè)置于所述支路管壁，所述軸承套合于所述轉(zhuǎn)軸。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的分流式氣浴風(fēng)道，其特征在于，所述本體還具有上壁面與下壁面，所述支路出風(fēng)口位于所述下壁面。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分流式氣浴風(fēng)道，其特征在于，當(dāng)所述支路出風(fēng)口與所述分流單元的數(shù)目為多個時，所述上壁面為連續(xù)平面，所述下壁面隨著所述多個分流單元而逐漸向所述上壁面靠攏。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分流式氣浴風(fēng)道，其特征在于，當(dāng)所述支路出風(fēng)口與所述分流單元的數(shù)目為多個時，所述多個支路出風(fēng)口處于同一水平面，所述下壁面與各個所述分流片的連接處分別向下彎曲至所述水平面，所述上壁面的對應(yīng)部分也分別向下彎曲，且所述上壁面與所述下壁面的彎曲角度與彎曲長度相同。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的分流式氣浴風(fēng)道，其特征在于，所述本體具有弧形槽，所述調(diào)節(jié)件可移動地設(shè)置于所述弧形槽。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種分流式氣浴風(fēng)道，包括本體以及至少一個分流單元。本體具有至少一個支路出風(fēng)口。分流單元與支路出風(fēng)口一一對應(yīng)設(shè)置，本體的高度隨著分流單元依次減小。分流單元包括調(diào)節(jié)件與分流片，調(diào)節(jié)件可移動地設(shè)置于本體且連接于分流片，分流片平行于本體。此分流式氣浴風(fēng)道在滿足各個支路流量可調(diào)的同時，解決了支路流量調(diào)節(jié)相互干擾的問題，減少了氣浴系統(tǒng)的壓阻，節(jié)約了能耗。
文檔編號H05K7/20GK102841508SQ201110172218
公開日2012年12月26日 申請日期2011年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月23日
發(fā)明者張洪博, 聶宏飛 申請人:上海微電子裝備有限公司