專利名稱：檢查系統(tǒng)、模擬方法及系統(tǒng)、恰當(dāng)值的判定及確定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及以分別實(shí)施最終檢查和中間檢查為前提來判定在檢查中間品中使用的判定基準(zhǔn)值是否適當(dāng)?shù)姆椒?，所述最終檢查用于檢查經(jīng)由多個工序形成的最終形態(tài)品， 所述中間檢查用于檢查在最終的工序之前的工序中形成的中間品。另外，本發(fā)明涉及求出在檢查中間品中使用的判定基準(zhǔn)值的恰當(dāng)值的方法以及應(yīng)用該方法的部件安裝基板的檢查系統(tǒng)、利用判定基準(zhǔn)值模擬部件安裝基板的生產(chǎn)性成為何種程度的計算機(jī)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
一般而言，通過錫膏的印刷工序、部件安裝工序及回流(reflow)工序的各工序生產(chǎn)部件安裝基板。近年來的生產(chǎn)作業(yè)線具有導(dǎo)入了基板檢查系統(tǒng)的生產(chǎn)作業(yè)線，該基板檢查系統(tǒng)是指，針對每個工序配備檢查機(jī)，通過將各檢查機(jī)的檢查結(jié)果匯集到信息處理裝置中，能夠?qū)γ總€同一對象進(jìn)行對照來進(jìn)行確認(rèn)的基板檢查系統(tǒng)(例如參照專利文獻(xiàn)I)。在以往的基板檢查系統(tǒng)中，各檢查機(jī)分別基于設(shè)定在自身裝置中的檢查程序來對被檢查部位實(shí)施計測，并通過將所取得的計測值與登錄的判定基準(zhǔn)值進(jìn)行對照來判定良好 /不良。因此，存在在錫膏印刷工序或部件安裝工序的檢查機(jī)中判定為不良的部位在由最終的回流工序的檢查機(jī)進(jìn)行的最終檢查中判定為良好的情況以及產(chǎn)生與其相反的結(jié)果的情況。若中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的不匹配的頻度高，則實(shí)施中間檢查的優(yōu)點(diǎn)就變小，從而找不到為了檢查特意花費(fèi)成本的意義。特別地，在去除在中間檢查中檢測出不良的基板或者為了檢查而停止生產(chǎn)作業(yè)線的情況下，若在最終檢查中判定為良品的基板在中間檢查中被判定為不良的頻度變高，則不僅是成本，在處理時間上也產(chǎn)生很大的損失。與此相對，若中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的匹配的頻度高，則能夠在中間檢查的階段中高精度地判別能夠成為不良的產(chǎn)品，因而能夠提高生產(chǎn)效率。從而，希望調(diào)整在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值，使得盡量提高兩個檢查的結(jié)果的匹配性。關(guān)于上述課題，在專利文獻(xiàn)2及專利文獻(xiàn)3中記載有如下技術(shù)，該技術(shù)是指，基于中間檢查的計測值和中間檢查及最終檢查的各結(jié)果的關(guān)系來實(shí)施運(yùn)算處理，由此設(shè)定適當(dāng)?shù)呐卸ɑ鶞?zhǔn)值的技術(shù)。首先，在專利文獻(xiàn)2中記載有如下技術(shù)，該技術(shù)是指，一邊按幾個階段變更對在中間檢查中提取的特征量的判定基準(zhǔn)值(在專利文獻(xiàn)2中記載為“檢查基準(zhǔn)”)，一邊求出根據(jù)該判定基準(zhǔn)值進(jìn)行檢查時的合格率及不良率，并且，求出最終檢查中的合格率及不良率， 進(jìn)而根據(jù)這些值求出再檢查成本，并將再檢查成本最小時的判定基準(zhǔn)值的值設(shè)定為推薦值的技術(shù)(參照專利文獻(xiàn)2的第0067 0068段等)。并且，在專利文獻(xiàn)2中記載有如下技術(shù)，該技術(shù)是指，為了選擇適合于上述的判定基準(zhǔn)值的再設(shè)定的檢查項目，針對中間檢查中的多個檢查項目，分析通過計測處理求出的特征量的分布，由此求出在最終檢查中判定為良好的分組和判定為不良的分組的分離度， 并選擇該分離度成為最大的檢查項目作為再設(shè)定的候補(bǔ)的技術(shù)(參照專利文獻(xiàn)2的段落0057 0066 等)。在專利文獻(xiàn)3中記載有如下技術(shù)，該技術(shù)是指，將具有使用共用的判定基準(zhǔn)值的部位，且在最終檢查中得出了相同的判定結(jié)果(良好或不良)的多個基板作為對象，一邊變更判定基準(zhǔn)值，一邊反復(fù)執(zhí)行計算出在中間檢查的計測處理中進(jìn)行了與最終檢查不同的判定的基板的個數(shù)的處理，并選擇在計算出的基板的個數(shù)示出了特定的比率時的基準(zhǔn)值來作為最佳值的技術(shù)，該特定的比率是指，與預(yù)先設(shè)定的判定不匹配的發(fā)生頻度的容許值相對應(yīng)的比率。專利文獻(xiàn)I :日本專利第3966336號公報專利文獻(xiàn)2 :日本專利第4552749號公報專利文獻(xiàn)3 :日本特開2008-10666號公報在專利文獻(xiàn)2及專利文獻(xiàn)3記載的發(fā)明中，由于基于各檢查結(jié)果的關(guān)系來分析在實(shí)際的計測處理中求出的計測值，因而為了得到高信賴度的結(jié)果，需要除了準(zhǔn)備根據(jù)適當(dāng)?shù)呐卸ɑ鶞?zhǔn)值判定為良好的計測值之外，還需要準(zhǔn)備相當(dāng)個數(shù)的根據(jù)該判定基準(zhǔn)值判定為不良的計測值。但是，由于實(shí)際上不發(fā)生那么多的不良，因而難以收集足夠的個數(shù)的不良的樣本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明關(guān)注該點(diǎn)將提供如下技術(shù)作為課題，該技術(shù)是指，通過基于對中間品的計測值和對由該中間品形成的最終形態(tài)品的計測值的相關(guān)關(guān)系的運(yùn)算，即使在表示不良的實(shí)際的計測值少的情況下，也能夠高精度地判定中間檢查的判定基準(zhǔn)值是否適當(dāng)?shù)募夹g(shù)。另外，本發(fā)明將提供如下技術(shù)作為課題，該技術(shù)是指，通過同樣的運(yùn)算處理，對于在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值，確定能夠充分地確保與最終檢查結(jié)果的匹配性的數(shù)值。本發(fā)明的判定判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)姆椒?，基于最終檢查和中間檢查的關(guān)系來判定在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)，所述最終檢查用于檢查經(jīng)由多個工序形成的最終形態(tài)品，所述中間檢查用于檢查在最終的工序之前的工序中形成的中間品，判定判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)脑摲椒▽?shí)施包括下面的第一 第五步驟的處理。在第一步驟中，對多個中間品以及由這些中間品形成的最終形態(tài)品，分別實(shí)施用于得到檢查對象特征量的計測處理，并以將與同一物品相對應(yīng)的計測值分組為同一組的方式組合各計測值，以此設(shè)定多個樣本。在第二步驟中，利用多個樣本所表示的計測值的組合，來導(dǎo)出對中間品的計測值和對最終形態(tài)品的計測值的相關(guān)關(guān)系。在第三步驟中，在對中間品的計測值能夠分布的范圍內(nèi)設(shè)定多個運(yùn)算對象點(diǎn)，并針對每個運(yùn)算對象點(diǎn)實(shí)施第一運(yùn)算處理和第二運(yùn)算處理，在所述第一運(yùn)算處理中，基于在第二步驟中導(dǎo)出的相關(guān)關(guān)系，來確定與運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值相對應(yīng)的最終形態(tài)品的計測值的分布圖案，在所述第二運(yùn)算處理中，基于該分布圖案和在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的關(guān)系，來求出特定的最終形態(tài)品在最終檢查中判定為良好的概率以及判定為不良的概率中的至少一個概率，所述特定的最終形態(tài)品是指，由得出了該運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值的中間品形成的最終形態(tài)品。此外，設(shè)定運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍可以是與樣本的分布范圍相同的范圍，但也能夠設(shè)定為更大的范圍。另外，運(yùn)算對象點(diǎn)的設(shè)定間隔也不取決于樣本的密度，可以設(shè)定為用于確保之后的處理精度所需的間隔。在第四步驟中，基于在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值，來將設(shè)定了運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍，并針對每個范圍，利用針對包含在該范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過第二運(yùn)算處理計算出的概率，求出中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的匹配程度以及各檢查結(jié)果的不匹配程度。在第五步驟中，基于在第四步驟中求出的各范圍的匹配程度以及不匹配程度，來判斷在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值是否適當(dāng)。例如，能夠根據(jù)利用判定基準(zhǔn)值判定為良好的數(shù)值范圍和判定為不良的數(shù)值范圍的分離的程度，來判定判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)。 或者，在重視生產(chǎn)性的車間中，在第五步驟中，也可以計算規(guī)定個數(shù)的中間品在中間檢查中合格的比例(合格率)，并根據(jù)計算出的值是否表示用戶所希望的基準(zhǔn)以上的值， 來判定判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)。根據(jù)上述方法，在求出對中間品及最終形態(tài)品實(shí)際得到的計測值的相關(guān)關(guān)系之后，以不依據(jù)這些實(shí)際測定值的方式，求出中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的匹配程度以及兩者的不匹配程度。因此，即使在包含實(shí)際的計測值特別是表示不良的計測值的樣本的個數(shù)不充分，也能夠高精度地求出各檢查結(jié)果的匹配程度以及不匹配程度。從而，對于判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)呐卸ㄌ幚?，也能夠確保精度。在上述方法的優(yōu)選的一實(shí)施方式中，在第二步驟中，導(dǎo)出對中間品的計測值和對最終形態(tài)品的計測值的回歸直線。另外，在第三步驟的第一運(yùn)算處理中，通過在回歸直線的公式中應(yīng)用與運(yùn)算對象點(diǎn)相對應(yīng)的計測值來求出最終形態(tài)品的計測值的平均值，并且，通過利用特定的修正函數(shù)修正回歸直線的標(biāo)準(zhǔn)誤差，來計算最終形態(tài)品的計測值的偏差，所述特定的修正函數(shù)是指，以所述多個樣本所表示的對中間品的計測值的平均值與所述運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值之差越大就使所述偏差的值越小的方式發(fā)揮功能的修正函數(shù)。在求出了對中間品的計測值和對最終形態(tài)品的計測值的回歸直線時，一般而言， 能夠根據(jù)回歸直線的標(biāo)準(zhǔn)誤差，來針對每個前者的計測值求出后者的計測值的偏差。但是， 若考慮生產(chǎn)車間的實(shí)際情況，則能夠了解到對最終形態(tài)品的計測值的偏差隨著相對應(yīng)的中間品的計測值遠(yuǎn)離其計測值的平均值而變小。根據(jù)上述的實(shí)施方式，由于根據(jù)該分布的特性來修正回歸直線的標(biāo)準(zhǔn)誤差，因而能夠高精度地求出與各運(yùn)算對象點(diǎn)相對應(yīng)的最終形態(tài)品的計測值的偏差。在上述方法的其他的優(yōu)選的實(shí)施方式中，在第四步驟中，針對每個分割的范圍，計算針對包含在該范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過第二運(yùn)算處理計算出的概率的平均值，并基于該計算結(jié)果，針對每個中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的組合，計算該組合的發(fā)生概率。從而， 由于能夠針對每個分組計算出發(fā)生概率，因而能夠容易地進(jìn)行第五步驟的判定處理，這些分組是指，在雙方的檢查中都判定為良好的分組、在雙方的檢查中都判定為不良的分組、在中間檢查中判定為良好但在最終檢查中判定為不良的分組、在中間檢查在判定為不良但在最終檢查中判定為良好的分組。接著，在本發(fā)明的確定判定基準(zhǔn)值的恰當(dāng)值的方法中，在執(zhí)行了與上述同樣的第一 第三步驟之后，作為第四步驟，一邊變動在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值，一邊對每次的判定基準(zhǔn)值執(zhí)行特定處理，在該特定處理中，基于判定基準(zhǔn)值，來將設(shè)定了所述運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍，并針對每個范圍，利用針對包含在該范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的概率，求出中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的匹配程度以及各檢查結(jié)果的不匹配程度。另外，執(zhí)行第五步驟，在該第五步驟中，在第四步驟中針對每個判定基準(zhǔn)值求出了匹配程度以及不匹配程度時，基于這些程度來從各判定基準(zhǔn)值中選擇適當(dāng)?shù)闹?。根?jù)上述方法，即使在為了中間檢查而設(shè)定的當(dāng)初的判定基準(zhǔn)值為不適當(dāng)?shù)那闆r下，也能夠通過在經(jīng)過檢查存儲了某一程度的計測值的階段實(shí)施該方法，來確定判定基準(zhǔn)值的適當(dāng)?shù)闹?，并將判定基?zhǔn)值改寫為該值。另外，也能夠在進(jìn)行檢查之前決定用于中間檢查的判定基準(zhǔn)值的情況下，實(shí)施該方法。本發(fā)明的部件安裝基板的檢查系統(tǒng)，包括最終檢查用檢查機(jī)和中間檢查用檢查機(jī)，所述最終檢查用檢查機(jī)配備在用于生產(chǎn)部件安裝基板的多個工序中的回流工序中，所述中間檢查用檢查機(jī)配備在回流工序之前的至少一個工序中。并且，該檢查系統(tǒng)還包括計算機(jī)系統(tǒng)，計算機(jī)系統(tǒng)具有存儲單元，其以能確定檢查對象部位的同一性的狀態(tài)，保存由各檢查機(jī)為了檢查而實(shí)施的計測處理的結(jié)果以及檢查結(jié)果；判定基準(zhǔn)值處理單元，其分析針對能應(yīng)用相同的判定基準(zhǔn)值的多個檢查對象部位保存在所述存儲單元中的信息，來執(zhí)行對在對這些檢查對象部位的中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的處理。在第一檢查系統(tǒng)中，判定基準(zhǔn)值確定單元包括以下的樣本設(shè)定單元、相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元、第一分析單元、第二分析單元、判定單元及輸出單元。樣本設(shè)定單元以將與同一部位相對應(yīng)的中間檢查中的計測值和最終檢查中的計測值分組為同一組的方式，組合對所述多個檢查對象部位的中間檢查中的計測值和最終檢查中的計測值，以此設(shè)定多個樣本。相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元利用多個樣本所表示的計測值的組合，來導(dǎo)出中間檢查中的計測值和最終檢查中的計測值的相關(guān)關(guān)系。第一分析單元在中間檢查中的計測值能夠分布的范圍內(nèi)設(shè)定多個運(yùn)算對象點(diǎn)，并針對每個運(yùn)算對象點(diǎn)實(shí)施第一運(yùn)算處理和第二運(yùn)算處理，在所述第一運(yùn)算處理中，基于由所述相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元導(dǎo)出的相關(guān)關(guān)系，來確定與運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值相對應(yīng)的最終檢查中的計測值的分布圖案，在所述第二運(yùn)算處理中，基于該分布圖案和在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的關(guān)系，來求出特定的檢查對象部位在最終檢查中判定為良好的概率以及判定為不良的概率中的至少一個概率，所述特定的檢查對象部位是指，得出了該運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值的檢查對象部位。第二分析單元基于在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值，來將設(shè)定了所述運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍，并針對每個范圍，利用針對包含在該范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過第二運(yùn)算處理計算出的概率，求出中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的匹配程度以及各檢查結(jié)果的不匹配程度。判定單元基于由第二分析單元求出的各范圍中的匹配程度以及不匹配程度，來判斷在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值是否適當(dāng)。輸出單元輸出判定單元的判定結(jié)果。根據(jù)上述的系統(tǒng)，能夠針對部件安裝基板的生產(chǎn)中的中間檢查，高精度地判定判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)。本發(fā)明的第二檢查系統(tǒng)的判定基準(zhǔn)值處理單元包括樣本設(shè)定單元、相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元、第一分析單元、第二分析單元、判定基準(zhǔn)值選擇單元及輸出單元。
樣本設(shè)定單元、相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元及第一分析單元的結(jié)構(gòu)與第一系統(tǒng)同樣。第二分析單元一邊變動用于中間檢查的判定基準(zhǔn)值，一邊對每次的判定基準(zhǔn)值執(zhí)行與第一系統(tǒng)的第二分析單元同樣的處理。判定基準(zhǔn)值選擇單元在由第二分析單元針對每個判定基準(zhǔn)值求出了匹配程度以及不匹配程度時，基于這些程度來從各判定基準(zhǔn)值中選擇適當(dāng)?shù)闹?；輸出單元輸出所選擇的判定基準(zhǔn)值。根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)的檢查系統(tǒng)，能夠高精度地確定適合于部件安裝基板的生產(chǎn)中的中間檢查的判定基準(zhǔn)值。在第二檢查系統(tǒng)的優(yōu)選的一實(shí)施方式中，輸出單元構(gòu)成為，向中間檢查用檢查機(jī)發(fā)送由基準(zhǔn)值選擇單元選擇的判定基準(zhǔn)值的單元。另外，在中間檢查用檢查機(jī)上設(shè)有為了中間檢查而登錄從輸出單元發(fā)送來的判定基準(zhǔn)值的單元。根據(jù)上述的實(shí)施方式，通過計算機(jī)系統(tǒng)的處理選擇適當(dāng)?shù)呐卸ɑ鶞?zhǔn)值，由此能夠在以后的中間檢查中使用所選擇的判定基準(zhǔn)值。本發(fā)明還能夠應(yīng)用在利用計算機(jī)實(shí)施模擬運(yùn)算的模擬方法中，該模擬運(yùn)算用于導(dǎo)出生產(chǎn)作業(yè)線上的各檢查結(jié)果，所述生產(chǎn)作業(yè)線實(shí)施最終檢查和中間檢查，所述最終檢查用于檢查經(jīng)由多個工序形成的最終形態(tài)品，所述中間檢查用于檢查在最終的工序之前的工序中形成的中間品。在該方法中，執(zhí)行與之前闡述的判定判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)姆椒ㄍ瑯拥牡谝徊襟E、第二步驟及第三步驟。其中，在第三步驟的第二運(yùn)算中，求出特定的最終形態(tài)品在最終檢查中判定為良好的概率以及判定為不良的概率雙方，所述特定的最終形態(tài)品是指，由得出了該運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值的中間品形成的最終形態(tài)品。并且，在該模擬方法中，執(zhí)行以下的第四、第五及第六步驟。在第四步驟中，接受作為在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的設(shè)定值的輸入，基于所輸入的值來將設(shè)定了運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍， 并利用針對包含在判定為不良的范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過第二運(yùn)算處理計算出的兩個種類的概率，來求出中間品判定為不良的概率，并且，將針對包含在判定為良好的范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過第二運(yùn)算處理計算出的兩個種類的概率，針對每個種類進(jìn)行處理，由此求出特定的最終品判定為良好的概率以及判定為不良的概率，所述特定的最終品是指，由在中間檢查中合格的中間品形成的最終品。在第五步驟中，利用在第四步驟中計算出的各概率，求出在生產(chǎn)作業(yè)線上生產(chǎn)的規(guī)定個數(shù)的中間品在中間檢查中的合格的比例或不合格的比例、在中間檢查中合格的中間品在最終檢查中的合格的比例或不合格的比例。在第六步驟中，顯示在第五步驟中計算出的各比例，以作為模擬運(yùn)算的結(jié)果。根據(jù)上述的模擬方法，利用用戶作為中間檢查的判定基準(zhǔn)值來輸入的值實(shí)施了中間檢查的情況下，能夠根據(jù)模擬運(yùn)算來求出并顯示表示以下內(nèi)容的信息，這些內(nèi)容是在中間檢查中發(fā)生何種程度的比例的合格的中間品或不合格的中間品；由在中間檢查中合格的中間品形成的最終形態(tài)品的何種程度的比例最終成為良品。用戶能夠通過確認(rèn)是否得到了顯示的信息與生產(chǎn)效率或成本的目標(biāo)相符合的結(jié)果，來判斷輸入的設(shè)定值作為判定基準(zhǔn)值是否適當(dāng)。上述的模擬方法能夠應(yīng)用于將基板生產(chǎn)作業(yè)線作為對象的模擬系統(tǒng)，所述基板生產(chǎn)作業(yè)線包括用于生產(chǎn)部件安裝基板的多個工序，并在其中的回流工序中配備有最終檢查用檢查機(jī)，在回流工序之前的至少一個工序中配備有中間檢查用檢查機(jī)。該系統(tǒng)具有存儲單元，其以能夠確定檢查對象部位的同一性的狀態(tài)，保存由各檢查機(jī)實(shí)施用于得到檢查對象特征量的計測處理來得出的各計測值，并且，保存在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值；輸入單元，其接受針對能夠應(yīng)用相同的判定基準(zhǔn)值的多個檢查對象部位在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的設(shè)定值的輸入；模擬運(yùn)算單元，其分析針對應(yīng)用了所輸入的判定基準(zhǔn)值的檢查對象部位保存在所述存儲單元中的信息，來執(zhí)行對這些檢查對象部位的模擬運(yùn)算；顯示單元，其顯示模擬運(yùn)算的結(jié)果。模擬運(yùn)算單元具有樣本設(shè)定單元，其以將與同一部位相對應(yīng)的計測值分組為同一組的方式，組合各檢查機(jī)對運(yùn)算對象的各檢查對象部位的計測值，以此設(shè)定多個樣本；相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元，其利用多個樣本所表示的計測值的組合，來導(dǎo)出中間檢查中的計測值和最終檢查中的計測值的相關(guān)關(guān)系；第一分析單元，其在通過用于中間檢查的計測處理得到的計測值能夠分布的范圍內(nèi)設(shè)定多個運(yùn)算對象點(diǎn)，并針對每個運(yùn)算對象點(diǎn)實(shí)施第一運(yùn)算處理和第二運(yùn)算處理，在所述第一運(yùn)算處理中，基于由相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元導(dǎo)出的相關(guān)關(guān)系，來確定與運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值相對應(yīng)的最終檢查的計測值的分布圖案，在所述第二運(yùn)算處理中，基于該分布圖案和保存在存儲單元中的在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的關(guān)系，來求出特定的檢查對象部位在最終檢查中判定為良好的概率以及判定為不良的概率， 所述特定的檢查對象部位是指，得出了該運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值的檢查對象部位；第二分析單元，其基于由輸入單元接受的判定基準(zhǔn)值的設(shè)定值，來將設(shè)定了運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍，并利用針對包含在判定為不良的范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過第二運(yùn)算處理計算出的兩個種類的概率，來求出在中間檢查中判定為不良的概率，并且，將針對包含在判定為所述良好的范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的兩個種類的概率，針對每個種類進(jìn)行處理，由此求出在中間檢查中合格的部位在最終檢查中判斷為良好的概率以及判定為不良的概率；第三分析單元，其利用由第二分析單元計算出的各概率，求出導(dǎo)入到配備有所述中間檢查用檢查機(jī)的工序中的基板在中間檢查中的合格的比例或不合格的比例、在中間檢查中合格的基板在最終檢查中的合格的比例或不合格的比例。顯示單元顯示由第三分析單元計算出的各比例，以作為模擬運(yùn)算的結(jié)果。若采用本發(fā)明，則即使在不能得到足夠的表示不良的計測值的樣本的情況下，也能夠高精度地實(shí)施以下的處理，這些處理是指，判定在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)奶幚?、確定適當(dāng)?shù)呐卸ɑ鶞?zhǔn)值的處理、利用作為中間檢查的判定基準(zhǔn)值來輸入的設(shè)定值來模擬各檢查結(jié)果的處理。


圖I是將檢查系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與部件安裝基板的生產(chǎn)作業(yè)線的結(jié)構(gòu)建立對應(yīng)來表示的框圖。圖2是示出了取得計測值的樣本的方法的圖。圖3是示出了計測值的分布的關(guān)系的曲線圖。圖4是示出了用于判定用于中間檢查的判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)奶幚淼母怕皂樞虻牧鞒虉D。
圖5是例示了計測值X和計測值Y的分布圖案的關(guān)系的曲線圖。圖6是將與任意的計測值Xn相對應(yīng)的計測值Y的分布分為判定為良好的范圍和判定為不良的范圍而示出的曲線圖。圖7是示出了用于確定用于中間檢查的判定基準(zhǔn)值的最佳值的處理的概略順序的流程圖。圖8是示出了表示判定基準(zhǔn)值的最佳值的確定結(jié)果的顯示畫面的一例的圖。圖9是示出了根據(jù)用于中間檢查的判定基準(zhǔn)值輸入來實(shí)施的模擬處理的順序的流程圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下10，20中間檢查用檢查機(jī)30最終檢查用檢查機(jī)101檢查程序管理裝置102檢查數(shù)據(jù)管理裝置X中間檢查的計測值Y最終檢查的計測值Xs用于中間檢查的判定基準(zhǔn)值Ys用于最終檢查的判定基準(zhǔn)值
具體實(shí)施例方式圖I將基板檢查系統(tǒng)的一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)與部件安裝基板的生產(chǎn)作業(yè)線的整體結(jié)構(gòu)建立對應(yīng)來表示。圖示的生產(chǎn)作業(yè)線包括錫膏印刷工序、部件安裝工序及回流工序。在錫膏印刷工序中設(shè)有錫膏印刷裝置11和錫膏印刷檢查機(jī)10，該錫膏印刷裝置11用于在基板上的各焊盤涂敷錫膏，該錫膏印刷檢查機(jī)10用于檢查該裝置11的處理結(jié)果。在部件安裝工序中設(shè)有貼片機(jī)21及部件檢查機(jī)20，該貼片機(jī)21用于將部件安裝在印刷了錫膏之后的基板上，該部件檢查機(jī)20用于檢查部件的安裝狀態(tài)。在回流工序中設(shè)有回流爐31及焊接檢查機(jī)30， 該回流爐31用于熔化安裝部件之后的基板的錫膏，該焊接檢查機(jī)30用于檢查回流之后的基板。如圖中的粗箭頭所示，通過將基板依次送入各裝置中進(jìn)行處理，來完成與規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)相對應(yīng)的部件安裝基板。檢查機(jī)10、20、30分別經(jīng)由LAN線路100相互連接。在LAN線路100上還連接有
檢查程序管理裝置101及檢查數(shù)據(jù)管理裝置102。本實(shí)施例的錫膏印刷檢查機(jī)10具有三維計測功能，利用該功能除了計測涂敷在基板的各焊盤上的錫膏的高度及體積之外，還計測錫膏的印刷范圍的位置及面積。并且，針對每個計測值，對該計測值與預(yù)先登錄的判定基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，由此判定該計測值的良好/ 不良。
部件檢查機(jī)20通過二維圖像處理來檢測部件的圖像，并基于該檢測結(jié)果來判定部件的有無以及安裝錯誤的有無等。部件檢查機(jī)20還計測部件的位置偏離以及旋轉(zhuǎn)偏離， 并對這些計測值與預(yù)先登錄的判定基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，由此判定計測值的良好/不良。
焊接檢查機(jī)30具有照明裝置以及彩色照相機(jī)，該照明裝置分別從入射角為不同的方向照射多個顏色的光。若在照明裝置的照明狀態(tài)下拍攝檢查對象基板，則生成由與各照明光相對應(yīng)的顏色的分布圖案表示基板的焊接部位的傾斜狀態(tài)的圖像。在焊接檢查機(jī)30 中，利用該圖像計測各部件的每個電極的錫膏的位置、面積及焊腳的潤濕高度(下面簡稱為“焊腳高度”)。并且，針對每個計測值，對該計測值與預(yù)先登錄的判定基準(zhǔn)值進(jìn)行比較， 由此判定該計測值的良好/不良。此外，就焊腳高度的計測處理來說，在本實(shí)施例中，利用根據(jù)各顏色光的入射角度來推算與圖像中的顏色相對應(yīng)的錫膏的大致的傾斜角度的處理，根據(jù)圖像中的顏色的分布來確定近似于錫膏的焊腳的形狀的曲線。然后，對該曲線進(jìn)行積分，將得到的積分值作為焊腳高度。并且，在任意一個檢查機(jī)10、20、30中，都以部件為單位或按與部件相對應(yīng)的范圍，歸納每個計測值的判定結(jié)果來判定良好/不良之后，判定基板單位的良好/不良。并且， 生成包含各判定結(jié)果及計測結(jié)果的檢查結(jié)果信息，并將該檢查結(jié)果信息經(jīng)由LAN線路100 輸出至檢查數(shù)據(jù)管理裝置102。在檢查程序管理裝置101中登錄有數(shù)據(jù)庫，該數(shù)據(jù)庫是針對每個檢查機(jī)10、20、30 將檢查程序作為每個部件種類的庫數(shù)據(jù)(library data)歸納而成的數(shù)據(jù)庫?；陬A(yù)先設(shè)定的檢查基準(zhǔn)來生成檢查程序，該檢查程序中包含用于實(shí)施上述的各種計測處理的程序。另外，在檢查程序中還定義判定基準(zhǔn)值的值。在檢查機(jī)10、20、30中，在進(jìn)行檢查之前，輸入表示檢查對象基板的結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù) (例如CAD數(shù)據(jù))，并從檢查程序管理裝置101獲取與該輸入數(shù)據(jù)中所表示的各部件的部件種類信息適合的庫數(shù)據(jù)，來實(shí)施對各部件的位置信息與庫數(shù)據(jù)建立對應(yīng)關(guān)系的處理。由此， 對各檢查機(jī)10、20、30設(shè)定用于檢查檢查對象基板所需的環(huán)境。檢查數(shù)據(jù)管理裝置102保存由各檢查機(jī)10、20、30輸出的檢查結(jié)果信息。能夠針對每個檢查機(jī)10、20、30，并根據(jù)基板以及基板上的各個部件來讀出該檢查結(jié)果信息。并且， 就錫膏印刷檢查機(jī)10及焊接檢查機(jī)30來說，能夠針對部件的每個電極讀出計測結(jié)果及判
定結(jié)果。此外，檢查程序管理裝置101和檢查數(shù)據(jù)管理裝置102不需一定分別單獨(dú)設(shè)置，也可以使一個計算機(jī)具備各管理裝置101、102的功能。與此相反，也能使各管理裝置101、102 由多個計算機(jī)構(gòu)成。另外，為了對各管理裝置101、102進(jìn)行操作或使它們顯示處理結(jié)果，也能在系統(tǒng)內(nèi)追加終端裝直。并且，本實(shí)施例的檢查程序管理裝置101還設(shè)有以下的功能檢查在回流工序之前的工序的檢查機(jī)10、20中應(yīng)用的判定基準(zhǔn)值是否適當(dāng)?shù)墓δ?；在判定基?zhǔn)值不適當(dāng)?shù)那闆r下，將該判定基準(zhǔn)值修正為最佳值的功能。這些功能的目的是提高基于檢查機(jī)10、20的中間檢查結(jié)果和基于焊接檢查機(jī)30的最終檢查結(jié)果的匹配程度，因而將每個部件種類或所選擇的特定的部件種類作為對象實(shí)施這些功能。此外，中間檢查、最終檢查中的任意一個檢查中都實(shí)施對多個檢查項目的檢查，但上述的中間檢查中的判定基準(zhǔn)的判定處理對檢查項目的組合實(shí)施，檢查項目的組合是認(rèn)為在中間檢查和最終檢查之間計測值具有高的相關(guān)性的檢查項目的組合。下面，假設(shè)如下情況來作為具體例，對在檢查程序管理裝置101中實(shí)施的處理的概要進(jìn)行說明，該情況是指，選擇了錫膏印刷檢查機(jī)10對錫膏的體積的檢查和焊接檢查機(jī) 30對焊腳高度的檢查，并判定在前者的檢查中使用的判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)那闆r。首先，為了判定在中間檢查中的判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)，檢查程序管理裝置101從檢查數(shù)據(jù)管理裝置102取得多個由各檢查機(jī)10、30對處理對象部件進(jìn)行計測處理而取得的計測值(錫膏體積和焊腳高度)，并以將與相同部件的同一部位相對應(yīng)的計測值分組為同一組的方式組合各計測值來設(shè)定樣本。圖2示出了根據(jù)對引線(lead)部件的檢查結(jié)果來取得計測值的樣本的方法。在該例中，從印刷了錫膏之后的基板上的錫膏體積的計測值的集合中，讀出全部的與處理對象引線部件的各個電極相對應(yīng)的計測值。同樣地，對于回流之后的基板上的焊腳高度的計測值，也讀出全部的處理對象部件種類的部件的每個電極的計測值。并且，如圖中的Samp (樣本)1、Samp2所示，以將與同一部件的同一電極相對應(yīng)的計測值分組為同一組的方式組合各計測值。根據(jù)該方法，能夠根據(jù)對一個部件的檢查結(jié)果設(shè)定與電極數(shù)相應(yīng)的個數(shù)的樣本。并且，通過對多個同種類的部件實(shí)施同樣的處理，能夠得到相當(dāng)個數(shù)的樣本。其中，在因電極的位置的不同而所應(yīng)用的判定基準(zhǔn)值為不同的情況下，取得的樣本需要限定于應(yīng)用了關(guān)注的判定基準(zhǔn)值的電極。另外，為了提聞樣本所表不的兩個種類的計測值之間的相關(guān)關(guān)系的精度，希望從樣本中排除特定的計測值，該特定的計測值是指，在除了關(guān)注中的檢查項目以外的檢查項目中檢測出不良的部位的計測值。例如，在圖2的例子中，若在由箭頭Kl示出的部位檢測到錫膏的潤濕不良，在由箭頭K2示出的部位檢測到電極的彎曲不良，則希望從樣本中排除對這些部位的錫膏體積及焊腳高度的計測值的組合。圖3是示出了各樣本的分布狀態(tài)的曲線圖的例。該曲線圖是通過在X軸(橫軸)上設(shè)定錫膏體積，在Y軸(縱軸)上設(shè)定焊腳高度，來標(biāo)明各樣本的曲線圖。另外，X軸的Xs是在檢查錫膏體積中使用的判定基準(zhǔn)值，Y軸的Ys是在檢查焊腳高度中使用的判定基準(zhǔn)值。此外，判定基準(zhǔn)值Xs的值能夠變更，但判定基準(zhǔn)值Ys的值基于實(shí)際的焊腳的良好的高度而被固定于特定的值。在這里，基于判定基準(zhǔn)值Xs、Ys，將各計測值的組合分類為下述的四個分組G1、 G2、G3、G4。此外，在下面提及的最終檢查是焊腳高度的檢查，中間檢查是錫膏體積的檢查。Gl :在中間檢查中判定為不良，但在最終檢查中判定為良好G2 :在中間檢查、最終檢查中均判定為良好G3 :在中間檢查、最終檢查中均判定為不良G4 :在中間檢查中判定為良好，但在最終檢查中判定為不良下面，將各分組G1、G2、G3、G4的發(fā)生概率分別設(shè)定為PU P2、P3、P4。為了使中間檢查的判定基準(zhǔn)值Xs適當(dāng)，需要將Xs設(shè)定在特定的位置上，該特定的位置是指，使中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果匹配的程度(由分組G2的概率P2及分組G3的概率P3表示)變得足夠大，且使雙方的檢查結(jié)果不匹配的程度(由分組Gl的概率Pl及分組G4的概率P4表示)盡量變少的位置。在這里，在本實(shí)施例中，利用這些概率Pl P4通過下述的公式(I)，求出中間檢查中的計測值X由判定基準(zhǔn)值Xs劃分為良好和不良時的雙方的分離度S。
權(quán)利要求
1.一種判定判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)姆椒ǎ谧罱K檢查和中間檢查的關(guān)系來判定在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)，所述最終檢查用于檢查經(jīng)由多個工序形成的最終形態(tài)品，所述中間檢查用于檢查在最終的工序之前的工序中形成的中間品，其特征在于，該方法包括第一步驟，對多個中間品以及由這些中間品形成的最終形態(tài)品，分別實(shí)施用于得到檢查對象特征量的計測處理，并以將與同一物品相對應(yīng)的計測值分組為同一組的方式組合各計測值，以此設(shè)定多個樣本；第二步驟，利用所述多個樣本所表示的計測值的組合，來導(dǎo)出對所述中間品的計測值和對最終形態(tài)品的計測值之間的相關(guān)關(guān)系；第三步驟，在對中間品的計測值能夠分布的范圍內(nèi)設(shè)定多個運(yùn)算對象點(diǎn)，并針對每個運(yùn)算對象點(diǎn)實(shí)施第一運(yùn)算處理和第二運(yùn)算處理，在所述第一運(yùn)算處理中，基于在所述第二步驟中導(dǎo)出的相關(guān)關(guān)系，來確定與運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值相對應(yīng)的最終形態(tài)品的計測值的分布圖案，在所述第二運(yùn)算處理中，基于該分布圖案和在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的關(guān)系，來求出特定的最終形態(tài)品在最終檢查中判定為良好的概率以及判定為不良的概率中的至少一個概率，所述特定的最終形態(tài)品是指，由得出了該運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值的中間品形成的最終形態(tài)品；第四步驟，基于在所述中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值，來將設(shè)定了所述運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍，并針對每個范圍，利用針對包含在該范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的概率，求出中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的匹配程度以及不匹配程度；第五步驟，基于在第四步驟中求出的各范圍的匹配程度以及不匹配程度，來判斷在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值是否適當(dāng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I記載的判定判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)姆椒ǎ涮卣髟谟?，在所述第二步驟中，導(dǎo)出對所述中間品的計測值和對最終形態(tài)品的計測值的回歸直線.在所述第三步驟的所述第一運(yùn)算處理中，通過在所述回歸直線的公式中應(yīng)用與運(yùn)算對象點(diǎn)相對應(yīng)的計測值來求出最終形態(tài)品的計測值的平均值，并且，通過利用特定的修正函數(shù)修正所述回歸直線的標(biāo)準(zhǔn)誤差，來計算最終形態(tài)品的計測值的偏差，所述特定的修正函數(shù)是指，以所述多個樣本所表示的對中間品的計測值的平均值與所述運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值之差越大就使所述偏差的值越小的方式發(fā)揮功能的修正函數(shù)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I記載的判定判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)姆椒?，其特征在于，在所述第四步驟中，針對每個分割的范圍，計算針對包含在該范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的概率的平均值，并基于計算結(jié)果，針對每個中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的組合，計算該組合的發(fā)生概率。
4.一種確定判定基準(zhǔn)值的恰當(dāng)值的方法，基于最終檢查和中間檢查的關(guān)系來導(dǎo)出在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的恰當(dāng)值，所述最終檢查用于檢查經(jīng)由多個工序形成的最終形態(tài)品，所述中間檢查用于檢查在最終的工序之前的工序中形成的中間品，其特征在于，該方法包括第一步驟，分別對多個中間品以及由這些中間品形成的最終形態(tài)品，實(shí)施用于得到檢查對象特征量的計測處理，并以將與同一物品相對應(yīng)的計測值分組為同一組的方式組合各計測值，以此設(shè)定多個樣本；第二步驟，利用所述多個樣本所表示的計測值的組合，來導(dǎo)出對所述中間品的計測值和對最終形態(tài)品的計測值的相關(guān)關(guān)系；第三步驟，在中間品的計測值能夠分布的范圍內(nèi)設(shè)定多個運(yùn)算對象點(diǎn)，并針對每個運(yùn)算對象點(diǎn)實(shí)施第一運(yùn)算處理和第二運(yùn)算處理，在所述第一運(yùn)算處理中，基于在所述第二步驟中導(dǎo)出的相關(guān)關(guān)系，來確定與運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值相對應(yīng)的最終形態(tài)品的計測值的分布圖案，在所述第二運(yùn)算處理中，基于該分布圖案和在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的關(guān)系，來求出特定的最終形態(tài)品在最終檢查中判定為良好的概率以及判定為不良的概率中的至少一個概率，所述特定的最終形態(tài)品是指，由得出了該運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值的中間品形成的最終形態(tài)品；第四步驟，一邊變動在所述中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值，一邊對每次的判定基準(zhǔn)值執(zhí)行特定處理，在該特定處理中，基于判定基準(zhǔn)值，來將設(shè)定了所述運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍，并針對每個范圍，利用針對包含在該范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的概率，求出中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的匹配程度以及不匹配程度；第五步驟，在所述第四步驟中針對每個判定基準(zhǔn)值求出了匹配程度以及不匹配程度時，基于這些程度來從各判定基準(zhǔn)值中選擇適當(dāng)?shù)闹怠?br> 5.一種部件安裝基板的檢查系統(tǒng)，包括最終檢查用檢查機(jī)和中間檢查用檢查機(jī)，所述最終檢查用檢查機(jī)配備在用于生產(chǎn)部件安裝基板的多個工序中的回流工序中，所述中間檢查用檢查機(jī)配備在回流工序之前的至少一個工序中，其特征在于，部件安裝基板的該檢查系統(tǒng)還包括計算機(jī)系統(tǒng)，該計算機(jī)系統(tǒng)具有存儲單元，其以能確定檢查對象部位的同一性的狀態(tài)，保存由各檢查機(jī)為了檢查而實(shí)施的計測處理的結(jié)果以及檢查結(jié)果，判定基準(zhǔn)值處理單元，其分析針對能應(yīng)用相同的判定基準(zhǔn)值的多個檢查對象部位保存在所述存儲單元中的信息，來執(zhí)行與在對這些檢查對象部位的中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值相關(guān)的處理；所述判定基準(zhǔn)值處理單元具有樣本設(shè)定單元，其以將與同一部位相對應(yīng)的中間檢查中的計測值和最終檢查中的計測值分組為同一組的方式，組合對所述多個檢查對象部位的中間檢查中的計測值和最終檢查中的計測值，以此設(shè)定多個樣本；相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元，其利用所述多個樣本所表示的計測值的組合，來導(dǎo)出中間檢查中的計測值和最終檢查中的計測值的相關(guān)關(guān)系；第一分析單元，其在所述中間檢查的計測值能夠分布的范圍內(nèi)設(shè)定多個運(yùn)算對象點(diǎn)， 并針對每個運(yùn)算對象點(diǎn)實(shí)施第一運(yùn)算處理和第二運(yùn)算處理，在所述第一運(yùn)算處理中，基于由所述相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元導(dǎo)出的相關(guān)關(guān)系，來確定與運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值相對應(yīng)的最終檢查中的計測值的分布圖案，在所述第二運(yùn)算處理中，基于該分布圖案和在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的關(guān)系，來求出特定的檢查對象部位在最終檢查中判定為良好的概率以及判定為不良的概率中的至少一個概率，所述特定的檢查對象部位是指，得出了該運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值的檢查對象部位；第二分析單元，其基于在所述中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值，來將設(shè)定了所述運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍，并針對每個范圍，利用針對包含在該范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的概率，求出中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的匹配程度以及不匹配程度；判定單元，其基于由第二分析單元求出的各范圍中的匹配程度以及不匹配程度，來判斷在中間檢查使用的判定基準(zhǔn)值是否適當(dāng)；輸出單元，其輸出判定單元的判定結(jié)果。
6.一種部件安裝基板的檢查系統(tǒng)，包括最終檢查用檢查機(jī)和中間檢查用檢查機(jī)，所述最終檢查用檢查機(jī)配備在用于生產(chǎn)部件安裝基板的多個工序中的回流工序中，所述中間檢查用檢查機(jī)配備在回流工序之前的至少一個工序中，其特征在于，該檢查系統(tǒng)還包括計算機(jī)系統(tǒng)，該計算機(jī)系統(tǒng)具有存儲單元，其以能確定檢查對象部位的同一性的狀態(tài)，保存由各檢查機(jī)為了檢查而實(shí)施的計測處理的結(jié)果以及檢查結(jié)果，判定基準(zhǔn)值處理單元，其分析針對能應(yīng)用相同的判定基準(zhǔn)值的多個檢查對象部位保存在所述存儲單元中的信息，來執(zhí)行與在對這些檢查對象部位的中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值相關(guān)的處理；所述判定基準(zhǔn)值處理單元具有樣本設(shè)定單元，其以將與同一部位相對應(yīng)的中間檢查的計測值和最終檢查的計測值分組為同一組的方式，組合對各檢查對象部位的中間檢查中的計測值和最終檢查中的計測值，以此設(shè)定多個樣本；相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元，其利用所述多個樣本所表示的計測值的組合，來導(dǎo)出中間檢查中的計測值和最終檢查中的計測值的相關(guān)關(guān)系；第一分析單元，其在所述中間檢查的計測值能夠分布的范圍內(nèi)設(shè)定多個運(yùn)算對象點(diǎn)， 并針對每個運(yùn)算對象點(diǎn)實(shí)施第一運(yùn)算處理和第二運(yùn)算處理，在所述第一運(yùn)算處理中，基于由所述相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元導(dǎo)出的相關(guān)關(guān)系，來確定與運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值相對應(yīng)的最終檢查中的計測值的分布圖案，在所述第二運(yùn)算處理中，基于該分布圖案和在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的關(guān)系，來求出特定的檢查對象部位在最終檢查中判定為良好的概率以及判定為不良的概率中的至少一個概率，所述特定的檢查對象部位是指，得出了該運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值的檢查對象部位；第二分析單元，其一邊變動在所述中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值，一邊對每次的判定基準(zhǔn)值執(zhí)行特定處理，在該特定處理中，基于判定基準(zhǔn)值，來將設(shè)定了所述運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍，并針對每個范圍，利用針對包含在該范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的概率，求出中間檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果的匹配程度以及不匹配程度；判定基準(zhǔn)值選擇單元，其在由第二分析單元針對每個判定基準(zhǔn)值求出了匹配程度以及不匹配程度時，基于這些程度來從各判定基準(zhǔn)值中選擇適當(dāng)?shù)闹?；輸出單元，其輸出由判定基?zhǔn)值選擇單元選擇的判定基準(zhǔn)值。
7.根據(jù)權(quán)利要求6記載的部件安裝基板的檢查系統(tǒng)，其特征在于，所述輸出單元構(gòu)成為，向所述中間檢查用檢查機(jī)發(fā)送由所述基準(zhǔn)值選擇單元選擇的判定基準(zhǔn)值的單元，在中間檢查用檢查機(jī)上設(shè)有為了中間檢查而登錄從輸出單元發(fā)送來的判定基準(zhǔn)值的單元。
8.—種生產(chǎn)車間的模擬方法，利用計算機(jī)實(shí)施模擬運(yùn)算，該模擬運(yùn)算用于導(dǎo)出生產(chǎn)作業(yè)線上的各檢查結(jié)果，所述生產(chǎn)作業(yè)線實(shí)施最終檢查和中間檢查，所述最終檢查用于檢查經(jīng)由多個工序形成的最終形態(tài)品，所述中間檢查用于檢查在最終的工序之前的工序中形成的中間品，其特征在于，使所述計算機(jī)執(zhí)行如下步驟第一步驟，通過分別對多個中間品以及由這些中間品形成的最終形態(tài)品，實(shí)施用于得到檢查對象特征量的計測處理來得到各計測值，并以將與同一物品相對應(yīng)的計測值分為同一組的方式組合所述各計測值，以此設(shè)定多個樣本；第二步驟，利用所述多個樣本所表示的計測值的組合，來導(dǎo)出對所述中間品的計測值和對最終形態(tài)品的計測值的相關(guān)關(guān)系；第三步驟，在對中間品的計測值能夠分布的范圍內(nèi)設(shè)定多個運(yùn)算對象點(diǎn)，并針對每個運(yùn)算對象點(diǎn)實(shí)施第一運(yùn)算處理和第二運(yùn)算處理，在所述第一運(yùn)算處理中，基于在所述第二步驟中導(dǎo)出的相關(guān)關(guān)系，來確定與運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值相對應(yīng)的最終形態(tài)品的計測值的分布圖案，在所述第二運(yùn)算處理中，基于該分布圖案和在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的關(guān)系，來求出特定的最終形態(tài)品在最終檢查中判定為良好的概率以及判定為不良的概率，所述特定的最終形態(tài)品是指，由得出了該運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值的中間品形成的最終形態(tài)品；第四步驟，接受作為在所述中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的設(shè)定值的輸入，由此基于所輸入的值來將設(shè)定了所述運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍，并利用針對包含在判定為不良的范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的兩個種類的概率，來求出中間品判定為不良的概率，并且，將針對包含在判定為所述良好的范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的兩個種類的概率，針對每個種類進(jìn)行處理，由此求出特定的最終品判定為良好的概率以及判定為不良的概率，所述特定的最終品是指，由在中間檢查中合格的中間品形成的最終品；第五步驟，利用在所述第四步驟中計算出的各概率，求出在生產(chǎn)作業(yè)線上生產(chǎn)的規(guī)定個數(shù)的中間品在中間檢查中的合格的比例或不合格的比例、在中間檢查中合格的中間品在最終檢查中的合格的比例或不合格的比例；第六步驟，顯示在所述第五步驟中計算出的各比例，以作為模擬運(yùn)算的結(jié)果。
9.一種用于部件安裝基板的生產(chǎn)作業(yè)線的模擬系統(tǒng)，其是計算機(jī)系統(tǒng)，將基板生產(chǎn)作業(yè)線作為對象，執(zhí)行用于導(dǎo)出該生產(chǎn)作業(yè)線上的各檢查結(jié)果的模擬運(yùn)算并顯示結(jié)果，所述基板生產(chǎn)作業(yè)線包括用于生產(chǎn)部件安裝基板的多個工序，并在其中的回流工序中配備有最終檢查用檢查機(jī)，在回流工序之前的至少一個工序中配備有中間檢查用檢查機(jī)，其特性在于，該模擬系統(tǒng)具有存儲單元，其以能夠確定檢查對象部位的同一性的狀態(tài)，保存由各檢查機(jī)實(shí)施用于得到檢查對象特征量的計測處理來得出的各計測值，并且，保存在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值，輸入單元，其接受針對能夠應(yīng)用相同的判定基準(zhǔn)值的多個檢查對象部位在中間檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的設(shè)定值的輸入，模擬運(yùn)算單元，其分析針對應(yīng)用了所輸入的判定基準(zhǔn)值的檢查對象部位保存在所述存儲單元中的信息，來執(zhí)行對這些檢查對象部位的模擬運(yùn)算，顯示單元，其顯示模擬運(yùn)算的結(jié)果；所述模擬運(yùn)算單元具有樣本設(shè)定單元，其以將與同一部位相對應(yīng)的計測值分組為同一組的方式，組合各檢查機(jī)對運(yùn)算對象的各檢查對象部位的計測值，以此設(shè)定多個樣本，相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元，其利用所述多個樣本所表示的計測值的組合，來導(dǎo)出中間檢查中的計測值和最終檢查中的計測值的相關(guān)關(guān)系，第一分析單元，其在通過用于所述中間檢查的計測處理得到的計測值能夠分布的范圍內(nèi)設(shè)定多個運(yùn)算對象點(diǎn)，并針對每個運(yùn)算對象點(diǎn)實(shí)施第一運(yùn)算處理和第二運(yùn)算處理，在所述第一運(yùn)算處理中，基于由所述相關(guān)關(guān)系導(dǎo)出單元導(dǎo)出的相關(guān)關(guān)系，來確定與運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值相對應(yīng)的最終檢查的計測值的分布圖案，在所述第二運(yùn)算處理中，基于該分布圖案和保存在所述存儲單元中的在最終檢查中使用的判定基準(zhǔn)值的關(guān)系，來求出特定的檢查對象部位在最終檢查中判定為良好的概率以及判定為不良的概率，所述特定的檢查對象部位是指，得出了該運(yùn)算對象點(diǎn)所表示的計測值的檢查對象部位，第二分析單元，其基于由所述輸入單元接受的判定基準(zhǔn)值的設(shè)定值，來將設(shè)定了所述運(yùn)算對象點(diǎn)的范圍分割成判定為良好的范圍和判定為不良的范圍，并利用針對包含在判定為不良的范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的兩個種類的概率，來求出在中間檢查中判定為不良的概率，并且，將針對包含在判定為所述良好的范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)通過所述第二運(yùn)算處理計算出的兩個種類的概率，針對每個種類進(jìn)行處理，由此求出在中間檢查中合格的部位在最終檢查中判斷為良好的概率以及判定為不良的概率，第三分析單元，其利用由所述第二分析單元計算出的各概率，求出導(dǎo)入到配備有所述中間檢查用檢查機(jī)的工序中的基板在中間檢查中的合格的比例或不合格的比例、在中間檢查中合格的基板在最終檢查中的合格的比例或不合格的比例；所述顯示單元顯示由所述第三分析單元計算出的各比例，以作為模擬運(yùn)算的結(jié)果。
全文摘要
本發(fā)明提供檢查系統(tǒng)、模擬方法及系統(tǒng)、恰當(dāng)值的判定及確定方法，在表示不良的實(shí)際的計測值少時，也實(shí)施判定中間檢查的判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)?shù)奶幚砑按_定判定基準(zhǔn)值的恰當(dāng)值的處理。導(dǎo)出中間檢查的對象的計測值和最終檢查的對象的計測值的相關(guān)關(guān)系之后，基于相關(guān)關(guān)系，針對每個設(shè)在軸上的運(yùn)算對象點(diǎn)，確定對于該點(diǎn)表示的計測值的計測值的分布圖案，計算分布中的根據(jù)最終檢查的判定基準(zhǔn)值判定為良好的范圍以及判定為不良的范圍的概率。分別對根據(jù)中間檢查的判定基準(zhǔn)值判定為計測值不良的范圍以及判定為良好的范圍，利用針對包含在范圍內(nèi)的運(yùn)算對象點(diǎn)求出的概率，求出各檢查結(jié)果的匹配程度以及不匹配程度，基于雙方的程度來判定判定基準(zhǔn)值是否恰當(dāng)。
文檔編號H05K3/34GK102612314SQ20111034293
公開日2012年7月25日 申請日期2011年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月18日
發(fā)明者中島克起, 森弘之, 田崎博 申請人:歐姆龍株式會社