專利名稱:?jiǎn)尉t坩堝取出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種單晶爐坩堝取出裝置。
背景技術(shù):
單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅工藝過程的必備設(shè)備,而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料,是目前世界上最重要的單晶材料之一,它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料,也是光伏發(fā)電利用太陽能的主要功能材料。在硅單晶拉制前,需要利用坩堝取出機(jī)構(gòu)取出坩堝,一般的單晶爐坩堝取出機(jī)構(gòu), 都是采用人工拆裝式來實(shí)現(xiàn),如此勞動(dòng)強(qiáng)度大且不安全。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此,有必要提供一種省力、安全的單晶爐坩堝取出裝置。一種單晶爐坩堝取出裝置,包括懸吊部及安裝在懸吊部上的掛鉤,懸吊部包括起吊架、上支撐環(huán)、固定件、連接桿、下支撐環(huán)、底托、把手,起吊架上端與掛鉤固定連接,起吊架的下端固定在上支撐環(huán)上,連接桿的兩端分別從上支撐環(huán)、下支撐環(huán)上穿過,并通過固定件將連接桿與上支撐環(huán)、下支撐環(huán)相對(duì)的可旋轉(zhuǎn)的固定,把手的一端固定安裝在連接桿的從上支撐環(huán)穿出的端部,底托的一端固定安裝在連接桿的從下支撐環(huán)穿出的端部,其中把手的另一端與底托的另一端伸出方向相反,且把手、底托與上支撐環(huán)、下支撐環(huán)相互平行, 底托的另一端的指向下支撐環(huán)的軸線。利用本發(fā)明提供的單晶爐坩堝取出裝置對(duì)坩堝進(jìn)行取出操作時(shí),旋轉(zhuǎn)把手,底托隨著旋轉(zhuǎn),以使底托托住坩堝的底部,再利用與掛鉤連接機(jī)械設(shè)備把坩堝從爐體中取出,需要將放置在石墨托的坩堝釋放時(shí),只需相反方向旋轉(zhuǎn)把手,使底托隨著旋轉(zhuǎn),以使底托離開坩堝的底部,如此不需要工人手動(dòng)拆卸單晶爐坩堝取出裝置,就可使單晶爐坩堝取出裝置與坩堝的固定與分離,進(jìn)而減小了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度,且能保證工人的安全。
附圖1是一較佳實(shí)施方式的單晶爐坩堝取出裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖2是圖1中單晶爐坩堝取出裝置的另一角度的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖3是圖1中球頭柱塞的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖4是圖1中單晶爐坩堝取出裝置的應(yīng)用示意圖。圖中單晶爐坩堝取出裝置60、懸吊部62、起吊架621、上支撐環(huán)622、固定件623、 連接桿624、下支撐環(huán)625、底托626、把手627、球頭柱塞628、殼體6281、彈簧6282、滾珠 6283、定位座629、掛鉤63、中軸81、石墨托82、石墨坩堝83、石英坩堝84、坩堝升降機(jī)構(gòu)8具體實(shí)施例方式
如圖1及圖2所示的單晶爐坩堝取出裝置60包括懸吊部62及安裝在懸吊部62 上的掛鉤63。懸吊部62包括起吊架621、上支撐環(huán)622、固定件623、連接桿624、下支撐環(huán)625、 底托626、把手627、球頭柱塞628、定位座629。起吊架621上端與掛鉤63固定連接,起吊架621的下端固定在上支撐環(huán)625上。連接桿624的兩端分別從上支撐環(huán)622、下支撐環(huán)625上穿過,并通過固定件623 將連接桿6M與上支撐環(huán)622、下支撐環(huán)625相對(duì)的可旋轉(zhuǎn)的固定。在本實(shí)施方式中,固定件623為螺帽,連接桿6 上設(shè)置于螺帽配合的螺紋,上支撐環(huán)622、下支撐環(huán)625上對(duì)應(yīng)的設(shè)置有定位孔,連接桿6M的兩端分別對(duì)應(yīng)穿過上支撐環(huán)622、下支撐環(huán)625的定位孔后,通過螺帽與上支撐環(huán)622、下支撐環(huán)625在上支撐環(huán)622、下支撐環(huán)625的軸線方向上相對(duì)鎖定。把手627的一端固定安裝在連接桿624的從上支撐環(huán)622穿出的端部,底托6 的一端固定安裝在連接桿624的從下支撐環(huán)625穿出的端部,其中把手627的另一端與底托626的另一端伸出方向相反,且把手627、底托6 與上支撐環(huán)622、下支撐環(huán)625相互平行,底托626的另一端的指向下支撐環(huán)625的軸線。在本實(shí)施方式中,把手627、底托擬6為長(zhǎng)條形,把手627、底托擬6的一端都設(shè)置有固定孔,連接桿擬4的兩端分別對(duì)應(yīng)的穿過把手 627、底托626的固定孔,并通過螺帽鎖定。定位座629固定在上支撐環(huán)622上且靠近把手627,球頭柱塞6 安裝在定位座 629上,把手627靠近連接桿6M端部的位置設(shè)置用于供球頭柱塞6 頂入的定位孔。在本實(shí)施方式中,定位座為“L”形;請(qǐng)同時(shí)參看圖3,球頭柱塞6 包括殼體6281、彈簧6282及滾珠6283,彈簧6282及滾珠6283安裝在殼體6281內(nèi),且滾珠6283的部分從殼體6281上的圓形口露出,其中滾珠6283的直徑大于圓形口的直徑。以下描述單晶爐坩堝取出裝置60取放坩堝的過程,請(qǐng)同時(shí)參看圖4,硅單晶作業(yè)過程中,坩堝升降機(jī)構(gòu)86帶動(dòng)中軸81上升,在石墨托82的作用下,石墨坩堝83和石英坩堝44 一起上升,當(dāng)?shù)竭_(dá)限位時(shí),通過坩堝取出機(jī)構(gòu)60將石墨坩堝83和石英坩堝84取出, 具體為旋轉(zhuǎn)把手627,底托6 隨著旋轉(zhuǎn),通過球頭柱塞6 定位,當(dāng)把手627與球頭柱塞 628成90度時(shí),可用于取出石墨坩堝83和石英坩堝84 ;當(dāng)把手627與球頭柱塞6 成0度時(shí),坩堝取出機(jī)構(gòu)60可從石墨坩堝63的外側(cè)取出。
權(quán)利要求
1.一種單晶爐坩堝取出裝置,其特征在于該單晶爐坩堝取出裝置包括懸吊部及安裝在懸吊部上的掛鉤,懸吊部包括起吊架、上支撐環(huán)、固定件、連接桿、下支撐環(huán)、底托、把手, 起吊架上端與掛鉤固定連接,起吊架的下端固定在上支撐環(huán)上,連接桿的兩端分別從上支撐環(huán)、下支撐環(huán)上穿過,并通過固定件將連接桿與上支撐環(huán)、下支撐環(huán)相對(duì)的可旋轉(zhuǎn)的固定,把手的一端固定安裝在連接桿的從上支撐環(huán)穿出的端部,底托的一端固定安裝在連接桿的從下支撐環(huán)穿出的端部,其中把手的另一端與底托的另一端伸出方向相反,且把手、底托與上支撐環(huán)、下支撐環(huán)相互平行,底托的另一端的指向下支撐環(huán)的軸線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐坩堝取出裝置,其特征在于定位座為“L”形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐坩堝取出裝置,其特征在于固定件為螺帽,連接桿上設(shè)置于螺帽配合的螺紋。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐坩堝取出裝置,其特征在于上支撐環(huán)、下支撐環(huán)上對(duì)應(yīng)的設(shè)置有定位孔,連接桿的兩端分別對(duì)應(yīng)穿過上支撐環(huán)、下支撐環(huán)的定位孔后,通過固定件與上支撐環(huán)、下支撐環(huán)在上支撐環(huán)、下支撐環(huán)的軸線方向上相對(duì)鎖定。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐坩堝取出裝置,其特征在于把手、底托為長(zhǎng)條形,把手、底托的一端都設(shè)置有固定孔,連接桿的兩端分別對(duì)應(yīng)的穿過把手、底托的固定孔,并通過固定件鎖定。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐坩堝取出裝置,其特征在于懸吊部還包括定位座、球頭柱塞,定位座固定在上支撐環(huán)上且靠近把手,球頭柱塞安裝在定位座上,把手靠近連接桿端部的位置設(shè)置用于供球頭柱塞頂入的定位孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單晶爐坩堝取出裝置,其特征在于球頭柱塞包括殼體、彈簧及滾珠,彈簧及滾珠安裝在殼體內(nèi),且球體的部分從殼體上的圓形口露出,其中球體的直徑大于圓形口的直徑。
全文摘要
一種單晶爐坩堝取出裝置,包括懸吊部及安裝在懸吊部上的掛鉤,懸吊部包括起吊架、上支撐環(huán)、固定件、連接桿、下支撐環(huán)、底托、把手,起吊架上端與掛鉤固定連接,起吊架的下端固定在上支撐環(huán)上,連接桿的兩端分別從上支撐環(huán)、下支撐環(huán)上穿過,并通過固定件將連接桿與上支撐環(huán)、下支撐環(huán)相對(duì)的可旋轉(zhuǎn)的固定,把手的一端固定安裝在連接桿的從上支撐環(huán)穿出的端部,底托的一端固定安裝在連接桿的從下支撐環(huán)穿出的端部,其中把手的另一端與底托的另一端伸出方向相反,且把手、底托與上支撐環(huán)、下支撐環(huán)相互平行,底托的另一端的指向下支撐環(huán)的軸線。
文檔編號(hào)C30B15/10GK102400208SQ20111036062
公開日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2011年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月15日
發(fā)明者吳學(xué)軍, 程旭兵 申請(qǐng)人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司