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      組合坩堝的制作方法

      文檔序號(hào):8059592閱讀:248來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:組合坩堝的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種高溫爐用工裝,具體地說(shuō)是一種坩堝,特別是涉及一種用碳/ 碳復(fù)合材料制備的組合坩堝。
      背景技術(shù)
      目前,單晶爐拉制單晶硅棒時(shí),盛裝多晶硅塊等原料的石英坩堝放入位于堝托之上的坩堝內(nèi),在保護(hù)性氣氛中加熱熔化,調(diào)控到工藝溫度后,籽晶經(jīng)導(dǎo)流筒插入熔融多晶硅液中,坩堝放在堝托上由其下的堝托軸帶動(dòng)一同旋轉(zhuǎn),同時(shí),籽晶也逆向旋轉(zhuǎn)并向上提升, 使多晶硅液按籽晶的硅原子排列順序結(jié)晶凝固成單晶硅棒。在單晶硅棒拉制過程中,爐內(nèi)溫度高達(dá)1500°C左右,此時(shí),石英坩堝變軟,要靠外面的坩堝承托,拉晶后殘留的石英坩堝常緊貼坩堝內(nèi)壁。由于石英坩堝是一次性工裝,必須逐爐更換,當(dāng)坩堝為整體結(jié)構(gòu)時(shí),則石英坩堝去除較為困難,去除時(shí)甚至損壞坩堝。當(dāng)坩堝采用多瓣結(jié)構(gòu)時(shí),如石墨坩堝,因其力學(xué)性能較差,石墨坩堝在高溫環(huán)境中使用,要承托石英坩堝及原材料的重量,并處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài),在外力的作用下容易破裂,因此,目前單晶爐用石墨坩堝一般采用多瓣結(jié)構(gòu)。為提高了坩堝的力學(xué)性能,也有采用碳/碳復(fù)合材料制備多瓣結(jié)構(gòu)坩堝。坩堝采用多瓣結(jié)構(gòu)雖然能解決去除石英坩堝殘?bào)w的問題,但其多瓣結(jié)構(gòu)僅靠其底錐面與堝托的內(nèi)錐面配合而成為一體,多瓣結(jié)構(gòu)坩堝的圓度不佳,且在使用過程中,其圓度還有可能發(fā)生變化,影響拉晶環(huán)境的穩(wěn)定,整棒率和成晶率均受到影響,導(dǎo)致企業(yè)生產(chǎn)成本增加。
      發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種方便去除石英坩堝殘?bào)w且又保持坩堝圓度的組合坩堝。本實(shí)用新型是采用如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)其發(fā)明目的的,一種組合坩堝,它包括堝體, 所述的堝體由2瓣 4瓣堝碗組成,相鄰堝碗通過連接塊將其組合成整體坩堝,所述的連接塊為U形,相鄰堝碗的對(duì)應(yīng)處分別開設(shè)有一個(gè)L形槽,二個(gè)L形槽組合為可放置連接塊的U 形槽。本實(shí)用新型為防止連接塊脫出,所述堝碗與連接塊之間設(shè)有銷。由于采用上述技術(shù)方案,本實(shí)用新型較好的實(shí)現(xiàn)了發(fā)明目的,其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,減輕了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度,能有效地減輕去除石英堝殘?bào)w時(shí)對(duì)組合坩堝的損傷,延長(zhǎng)了組合坩堝的使用壽命。

      圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2本實(shí)用新型的連接方式示意圖;[0011]圖3是連接塊3的結(jié)構(gòu)示意圖。
      具體實(shí)施方式

      以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。實(shí)施例1 由圖1、圖2、圖3可知,一種組合坩堝,它包括堝體,所述的堝體由2瓣 4瓣堝碗 2組成(本實(shí)施例為2瓣),相鄰堝碗2通過連接塊3將其組合成整體坩堝,所述的連接塊3 為U形,相鄰堝碗2的對(duì)應(yīng)處分別開設(shè)有一個(gè)L形槽,二個(gè)L形槽組合為可放置連接塊3的 U形槽。所述組合坩堝組合、使用時(shí),多瓣結(jié)構(gòu)的堝碗2之間上部通過用連接塊3組合成整體坩堝,下部靠其底錐面與堝托1的內(nèi)錐面配合而成為一體。本實(shí)用新型使用時(shí),先將組合坩堝放于單晶爐內(nèi)的堝托1上,然后將石英坩堝放入組合坩堝之中,再將多晶硅等原材料放入石英坩堝內(nèi),在保護(hù)氣氛環(huán)境中將多晶硅等原材料加熱熔化進(jìn)行單晶硅棒的生產(chǎn)。當(dāng)單晶硅棒拉制完畢去除石英坩堝殘?bào)w時(shí),取下連接塊3即可將堝體分為2瓣,與石英坩堝殘?bào)w脫開。經(jīng)實(shí)踐試用,本實(shí)用新型操作方便,能有效地減輕去除石英堝殘?bào)w時(shí)對(duì)組合坩堝的損傷,延長(zhǎng)了組合坩堝的使用壽命,此外,組合坩堝的圓度好且穩(wěn)定,相對(duì)多瓣堝拉晶,其整棒率提高3 % 10 %。實(shí)施例2:本實(shí)施例為防止連接塊3脫出,堝碗2與連接塊3之間設(shè)有銷4。當(dāng)單晶硅棒拉制完畢去除石英坩堝殘?bào)w時(shí),先取下銷4,再取下連接塊3即可將堝體分為2瓣,與石英坩堝殘?bào)w脫開。余同實(shí)施例1。
      權(quán)利要求1.一種組合坩堝,它包括堝體,所述的堝體由2瓣 4瓣堝碗(2)組成,其特征是相鄰堝碗(2)通過連接塊(3)將其組合成整體坩堝,所述的連接塊(3)為U形,相鄰堝碗2的對(duì)應(yīng)處分別開設(shè)有一個(gè)L形槽,二個(gè)L形槽組合為可放置連接塊(3)的U形槽。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合坩堝,其特征是所述堝碗(2)與連接塊(3)之間設(shè)有銷(4)。
      專利摘要本實(shí)用新型公開了一種方便去除石英坩堝殘?bào)w且又保持坩堝圓度的碳/碳復(fù)合材料組合坩堝,它包括堝體,所述的堝體由2瓣~4瓣堝碗(2)組成,其特征是相鄰堝碗(2)上分別設(shè)有連接孔,連接塊(3)通過插入連接孔的連接銷(4)安裝在堝碗(2)上,通過連接銷(4)將相鄰堝碗(2)用連接塊(3)組合成整體坩堝,本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,操作方便,減輕了工人的勞動(dòng)強(qiáng)度,能有效地減輕去除石英堝殘?bào)w時(shí)對(duì)組合坩堝的損傷,延長(zhǎng)了組合坩堝的使用壽命。
      文檔編號(hào)C30B15/10GK202090098SQ20112018257
      公開日2011年12月28日 申請(qǐng)日期2011年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月1日
      發(fā)明者廖寄喬, 李軍, 王躍軍, 邰衛(wèi)平, 龔玉良 申請(qǐng)人:湖南金博復(fù)合材料科技有限公司
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