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      一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置的制作方法

      文檔序號:8061681閱讀:145來源:國知局
      專利名稱:一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置的制作方法
      技術領域
      本實用新型涉及一種夾取裝置,尤其是涉及一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置。
      背景技術
      現(xiàn)如今,從單晶爐中取出石墨坩堝時,通常均采用傳統(tǒng)的提取方法,具體是先將石墨坩堝冷卻一段時間后,再手戴耐高溫手套將石墨坩堝從單晶爐中取出。實際使用過程中, 采用上述傳統(tǒng)方法從單晶爐中取出石墨坩堝時,均需要前期先將石墨坩堝冷卻一段時間后才能進行提取,并且提取過程中所需的時間較長,提取操作不便,因而較大程度上降低了硅材料的生產(chǎn)效率;同時實際提取過程中,由于采用手戴耐高溫手套的方式進行提取,因而不可避免會出現(xiàn)手部燙傷等現(xiàn)象,所存在的不安全系數(shù)較多。

      實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術問題在于針對上述現(xiàn)有技術中的不足,提供一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其結(jié)構設計合理、安裝緊湊、加工制作及安裝方便且使用操作簡便、使用效果好,能有效解決傳統(tǒng)石墨坩堝提取方法存在的提取操作不便、需石墨坩堝冷卻一段時間后才能進行提取、實際提取時所存在的不安全系數(shù)較多等實際問題。為解決上述技術問題,本實用新型采用的技術方案是一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于包括支撐立柱、安裝在所述支撐立柱上部的把手、安裝在所述支撐立柱底部的底座、通過連接組件一安裝在所述支撐立柱中部外側(cè)的多邊形可伸縮性托架和布設在所述多邊形可伸縮性托架下方的多個夾爪,多個所述夾爪組成一個用于夾取坩堝的夾取機構,且所述夾取機構的內(nèi)部結(jié)構和尺寸均與所述坩堝的結(jié)構和尺寸一致。上述一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征是所述支撐立柱包括呈豎直向布設的中套筒、同軸套裝在中套筒上部的上支柱和同軸套裝在中套筒下部的下支柱,所述上支柱頂部固定在把手上,且下支柱底部固定在所述底座上。上述一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征是所述把手為呈水平向布設的水平把手,且所述支撐立柱頂部固定在所述水平把手的中部下方;所述底座為三角形支板。上述一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征是所述多邊形可伸縮性托架為由多個水平套筒和多根分別接在相鄰兩個所述水平套筒之間的水平連桿,所述水平連桿和水平套筒的數(shù)量相同,所述水平連桿的左右端部分別設置有插裝入水平套筒內(nèi)的插裝頭。上述一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征是所述連接組件一的數(shù)量與所述水平套筒的數(shù)量相同,且每一個水平套筒與所述支撐立柱之間均通過一個所述連接組件一進行固定連接;所述連接組件一包括上連桿和下連桿,上連桿和下連桿的內(nèi)端部分別固定在中套筒的上下部,且上連桿和下連桿的外端部分別固定在水平套筒的中部上下兩側(cè)。上述一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征是所述夾爪為弧形夾爪,所述弧形夾爪的數(shù)量與水平套筒的數(shù)量相同,多個所述弧形夾爪分別安裝在多個水平套筒下方,且多個所述水平套筒沿圓周方向進行布設,多個所述水平套筒內(nèi)部形成一個用于夾取坩堝的圓柱形夾取腔。上述一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征是多個所述水平套筒的結(jié)構和尺寸均相同,多根所述水平連桿的結(jié)構和尺寸均相同,且多個所述弧形夾爪的結(jié)構和尺寸均相同。上述一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征是所述弧形夾爪、水平套筒和水平連桿的數(shù)量均為3個,且所述多邊形可伸縮性托架為六邊形托架。上述一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征是多個所述弧形夾爪均通過連接組件二固定在所述底座上,所述連接組件二的數(shù)量與弧形夾爪的數(shù)量相同;所述連接組件二包括左連桿和右連桿,所述左連桿和右連桿的外端部分別固定在弧形夾爪的左右兩側(cè),且左連桿和右連桿的內(nèi)端部均固定在所述底座上。上述一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征是所述弧形夾爪包括弧形桿一、布設在所述弧形桿一正下方的弧形桿二、安裝在所述弧形桿一和弧形桿二中部之間的中連桿以及分別安裝在所述弧形桿一和弧形桿二的左右兩側(cè)的左側(cè)桿和右側(cè)桿,所述左側(cè)桿上部與水平套筒的左端部之間通過左側(cè)連桿進行連接,且所述右側(cè)桿上部與水平套筒的右端部之間通過右側(cè)連桿進行連接。本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有以下優(yōu)點1、結(jié)構設計合理、加工制作及安裝方便且投入成本較低。2、結(jié)構簡單、安裝緊湊且體積小、重量輕,便于移動。3、使用操作簡便,采用本實用新型提取石墨坩堝時,只需通過把手將夾取機構向下推送并緊扣住需夾取的石墨坩堝上,之后通過把手將本實用新型連同石墨坩堝一道自單晶爐中取出即可。4、實際夾取時,無需等到石墨坩堝冷卻一段時間后再進行夾取,因而提高了硅材料的生產(chǎn)效率,同時盡早將石墨坩堝自單晶爐內(nèi)取出后,能有效加快石墨坩堝的冷卻時間。5、使用效果好,經(jīng)濟實用,能簡單、方便且快速地將石墨坩堝從單晶爐中取出,且安全系數(shù)高,不會出現(xiàn)手部燙傷等現(xiàn)象應用,在縮短石墨坩堝冷卻時間的同時,也能降低人員操作的風險,提高了生產(chǎn)效率。綜上所述,本實用新型結(jié)構設計合理、安裝緊湊、加工制作及安裝方便且使用操作簡便、使用效果好,能有效解決傳統(tǒng)石墨坩堝提取方法存在的提取操作不便、需石墨坩堝冷卻一段時間后才能進行提取、實際提取時所存在的不安全系數(shù)較多等實際問題。下面通過附圖和實施例,對本實用新型的技術方案做進一步的詳細描述。

      圖1為本實用新型的結(jié)構示意圖。圖2為本實用新型的使用狀態(tài)圖。附圖標記說明[0025]1-把手;4-三角形底座7-水平連桿;9-2-右連桿;11-下支柱;
      2-上支柱; 5-三角形支板 8-弧形夾爪; 10-1-上連桿; 12-坩堝。
      3-中套筒; 6-水平套筒;
      9-1-左連桿;
      10-2-下連桿
      具體實施方式
      如圖1、圖2所示,本實用新型包括支撐立柱、安裝在所述支撐立柱上部的把手1、 安裝在所述支撐立柱底部的底座、通過連接組件一安裝在所述支撐立柱中部外側(cè)的多邊形可伸縮性托架和布設在所述多邊形可伸縮性托架下方的多個夾爪,多個所述夾爪組成一個用于夾取坩堝12的夾取機構,且所述夾取機構的內(nèi)部結(jié)構和尺寸均與所述坩堝12的結(jié)構和尺寸一致。本實施例中,所述支撐立柱包括呈豎直向布設的中套筒3、同軸套裝在中套筒3上部的上支柱2和同軸套裝在中套筒3下部的下支柱11,所述上支柱2頂部固定在把手1上, 且下支柱11底部固定在所述底座上。實際安裝布設時,所述把手1為呈水平向布設的水平把手,且所述支撐立柱頂部固定在所述水平把手的中部下方。所述底座為三角形支板5。實際使用時,所述多邊形可伸縮性托架為由多個水平套筒6和多根分別接在相鄰兩個所述水平套筒6之間的水平連桿7,所述水平連桿7和水平套筒6的數(shù)量相同,所述水平連桿7的左右端部分別設置有插裝入水平套筒6內(nèi)的插裝頭。本實施例中,所述連接組件一的數(shù)量與所述水平套筒6的數(shù)量相同,且每一個水平套筒6與所述支撐立柱之間均通過一個所述連接組件一進行固定連接。所述連接組件一包括上連桿10-1和下連桿10-2,上連桿10-1和下連桿10-2的內(nèi)端部分別固定在中套筒3 的上下部,且上連桿10-1和下連桿10-2的外端部分別固定在水平套筒6的中部上下兩側(cè)。實際使用時,所述夾爪為弧形夾爪8,所述弧形夾爪8的數(shù)量與水平套筒6的數(shù)量相同,多個所述弧形夾爪8分別安裝在多個水平套筒6下方,且多個所述水平套筒6沿圓周方向進行布設,多個所述水平套筒6內(nèi)部形成一個用于夾取坩堝12的圓柱形夾取腔。本實施例中,多個所述水平套筒6的結(jié)構和尺寸均相同,多根所述水平連桿7的結(jié)構和尺寸均相同,且多個所述弧形夾爪8的結(jié)構和尺寸均相同。所述弧形夾爪8、水平套筒 6和水平連桿7的數(shù)量均為3個,且所述多邊形可伸縮性托架為六邊形托架。實際布設安裝時,多個所述弧形夾爪8均通過連接組件二固定在所述底座上,所述連接組件二的數(shù)量與弧形夾爪8的數(shù)量相同。所述連接組件二包括左連桿9-1和右連桿 9-2,所述左連桿9-1和右連桿9-2的外端部分別固定在弧形夾爪8的左右兩側(cè),且左連桿 9-1和右連桿9-2的內(nèi)端部均固定在所述底座上。本實施例中,所述弧形夾爪8包括弧形桿一、布設在所述弧形桿一正下方的弧形桿二、安裝在所述弧形桿一和弧形桿二中部之間的中連桿以及分別安裝在所述弧形桿一和弧形桿二的左右兩側(cè)的左側(cè)桿和右側(cè)桿,所述左側(cè)桿上部與水平套筒6的左端部之間通過左側(cè)連桿進行連接,且所述右側(cè)桿上部與水平套筒6的右端部之間通過右側(cè)連桿進行連接。[0039]實際加工制作時,所述左側(cè)桿和所述左側(cè)連桿布設在同一直線上且二者加工制作為一體,所述右側(cè)桿和所述右側(cè)連桿布設在同一直線上且二者加工制作為一體。以上所述,僅是本實用新型的較佳實施例,并非對本實用新型作任何限制,凡是根據(jù)本實用新型技術實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構變化,均仍屬于本實用新型技術方案的保護范圍內(nèi)。
      權利要求1.一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于包括支撐立柱、安裝在所述支撐立柱上部的把手(1)、安裝在所述支撐立柱底部的底座、通過連接組件一安裝在所述支撐立柱中部外側(cè)的多邊形可伸縮性托架和布設在所述多邊形可伸縮性托架下方的多個夾爪,多個所述夾爪組成一個用于夾取坩堝(12)的夾取機構,且所述夾取機構的內(nèi)部結(jié)構和尺寸均與所述坩堝(12)的結(jié)構和尺寸一致。
      2.按照權利要求1所述的一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于 所述支撐立柱包括呈豎直向布設的中套筒(3)、同軸套裝在中套筒C3)上部的上支柱(2)和同軸套裝在中套筒C3)下部的下支柱(11),所述上支柱( 頂部固定在把手(1)上,且下支柱(11)底部固定在所述底座上。
      3.按照權利要求1或2所述的一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于所述把手(1)為呈水平向布設的水平把手,且所述支撐立柱頂部固定在所述水平把手的中部下方;所述底座為三角形支板(5)。
      4.按照權利要求2所述的一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于 所述多邊形可伸縮性托架為由多個水平套筒(6)和多根分別接在相鄰兩個所述水平套筒 (6)之間的水平連桿(7),所述水平連桿(7)和水平套筒(6)的數(shù)量相同,所述水平連桿(7) 的左右端部分別設置有插裝入水平套筒(6)內(nèi)的插裝頭。
      5.按照權利要求4所述的一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于所述連接組件一的數(shù)量與所述水平套筒(6)的數(shù)量相同,且每一個水平套筒(6)與所述支撐立柱之間均通過一個所述連接組件一進行固定連接;所述連接組件一包括上連桿 (10-1)和下連桿(10-2),上連桿(10-1)和下連桿(10- 的內(nèi)端部分別固定在中套筒(3) 的上下部,且上連桿(10-1)和下連桿(10- 的外端部分別固定在水平套筒(6)的中部上下兩側(cè)。
      6.按照權利要求4所述的一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于 所述夾爪為弧形夾爪(8),所述弧形夾爪(8)的數(shù)量與水平套筒(6)的數(shù)量相同,多個所述弧形夾爪(8)分別安裝在多個水平套筒(6)下方,且多個所述水平套筒(6)沿圓周方向進行布設,多個所述水平套筒(6)內(nèi)部形成一個用于夾取坩堝(1 的圓柱形夾取腔。
      7.按照權利要求4所述的一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于 多個所述水平套筒(6)的結(jié)構和尺寸均相同,多根所述水平連桿(7)的結(jié)構和尺寸均相同, 且多個所述弧形夾爪(8)的結(jié)構和尺寸均相同。
      8.按照權利要求4所述的一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于 所述弧形夾爪(8)、水平套筒(6)和水平連桿(7)的數(shù)量均為3個,且所述多邊形可伸縮性托架為六邊形托架。
      9.按照權利要求6所述的一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于 多個所述弧形夾爪(8)均通過連接組件二固定在所述底座上,所述連接組件二的數(shù)量與弧形夾爪(8)的數(shù)量相同;所述連接組件二包括左連桿(9-1)和右連桿(9-2),所述左連桿 (9-1)和右連桿(9- 的外端部分別固定在弧形夾爪(8)的左右兩側(cè),且左連桿(9-1)和右連桿(9-2)的內(nèi)端部均固定在所述底座上。
      10.按照權利要求6所述的一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,其特征在于 所述弧形夾爪(8)包括弧形桿一、布設在所述弧形桿一正下方的弧形桿二、安裝在所述弧形桿一和弧形桿二中部之間的中連桿以及分別安裝在所述弧形桿一和弧形桿二的左右兩側(cè)的左側(cè)桿和右側(cè)桿,所述左側(cè)桿上部與水平套筒(6)的左端部之間通過左側(cè)連桿進行連接,且所述右側(cè)桿上部與水平套筒(6)的右端部之間通過右側(cè)連桿進行連接。
      專利摘要本實用新型公開了一種直拉法生產(chǎn)單晶硅用石墨坩堝夾取裝置,包括支撐立柱、安裝在支撐立柱上部的把手、安裝在所述支撐立柱底部的底座、通過連接組件一安裝在所述支撐立柱中部外側(cè)的多邊形可伸縮性托架和布設在所述多邊形可伸縮性托架下方的多個夾爪,多個所述夾爪組成一個用于夾取坩堝的夾取機構,且夾取機構的內(nèi)部結(jié)構和尺寸均與所述坩堝的結(jié)構和尺寸一致。本實用新型結(jié)構設計合理、安裝緊湊、加工制作及安裝方便且使用操作簡便、使用效果好,能有效解決傳統(tǒng)石墨坩堝提取方法存在的提取操作不便、需石墨坩堝冷卻一段時間后才能進行提取、實際提取時所存在的不安全系數(shù)較多等實際問題。
      文檔編號C30B15/00GK202131393SQ20112024700
      公開日2012年2月1日 申請日期2011年7月13日 優(yōu)先權日2011年7月13日
      發(fā)明者國峰, 成文輝 申請人:西安華晶電子技術股份有限公司
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