專利名稱：一種直拉單晶爐爐底板的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體材料制備設備，尤其涉及一種直拉單晶爐爐底板。
背景技術：
現(xiàn)有的爐底板由圓形爐底板本體以及由爐底板本體的邊沿向垂直方向延伸出的密封部組成，現(xiàn)有設計存在如下問題，由于爐底板上需放置一定重量的器械，將密封部與機械設備卡合后，爐底板本體與機械設備之間接觸面偏小，局部壓強過大，一方面可能壓壞爐底板本體，甚至會對與之接觸的機械設備造成損害，使得其使用壽命降低，亟需改進。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種可以提高設備使用壽命的直拉單晶爐爐底板。為解決上述技術問題，本實用新型提出一種直拉單晶爐爐底板，包括柱狀的爐底板本體，所述爐底板本體邊沿向垂直方向延伸，形成一圈密封部，所述爐底板本體邊沿向水平方向延伸，形成一圈下表面平整的支撐部。通過如上技術方案的提出，本實用新型具有如下有益效果本實用新型中的密封部卡入機械設備出口或入口之后，其支撐部與機械設備出口或入口的周邊沿接觸，起到支撐作用，其作用面積遠大于為改進時，使得爐底板與接卸設備在接觸面積內(nèi)的壓強偏小，這樣就起到了很好的保護爐底板以及機械設備的作用，使得產(chǎn)品的使用壽命增加。

下面根據(jù)附圖和實施例對本實用新型作進一步詳細說明圖1為本實用新型實施例1提出的一種直拉單晶爐爐底板示意圖；圖中1、支撐部；2、密封部；3、爐底板本體。
具體實施方式
實施例1本實施例提出一種直拉單晶爐爐底板，包括柱狀的爐底板本體3，爐底板本體3邊沿向垂直方向延伸，形成一圈密封部2，密封部2用于卡入機械設備需要蓋住的入口或出口，以防止其挪動，同時，還可以起到密封作用，爐底板本體3邊沿向水平方向延伸，形成一圈下表面平整的支撐部1，當密封部2卡入機械設備出口或入口之后，其支撐部1與機械設備出口或入口的周邊沿接觸，起到支撐作用，其作用面積遠大于為改進時，使得爐底板與接卸設備在接觸面積內(nèi)的壓強偏小，這樣就起到了很好的保護爐底板以及機械設備的作用， 使得產(chǎn)品的使用壽命增加。本實用新型并不局限于此實施方式，以本實用新型思想為基礎的相關實現(xiàn)總成均在本實用新型的保護范圍內(nèi)。
權利要求1. 一種直拉單晶爐爐底板，包括柱狀的爐底板本體(3)，所述爐底板本體(3)邊沿向垂直方向延伸，形成一圈密封部O)，其特征在于，所述爐底板本體(3)邊沿向水平方向延伸， 形成一圈下表面平整的支撐部(1)。
專利摘要本實用新型提出一種直拉單晶爐爐底板，包括柱狀的爐底板本體，所述爐底板本體邊沿向垂直方向延伸，形成一圈密封部，所述爐底板本體邊沿向水平方向延伸，形成一圈下表面平整的支撐部。本實用新型中的密封部卡入機械設備出口或入口之后，其支撐部與機械設備出口或入口的周邊沿接觸，起到支撐作用，其作用面積遠大于為改進時，使得爐底板與接卸設備在接觸面積內(nèi)的壓強偏小，這樣就起到了很好的保護爐底板以及機械設備的作用，使得產(chǎn)品的使用壽命增加。
文檔編號C30B15/00GK202181363SQ201120260319
公開日2012年4月4日 申請日期2011年7月21日 優(yōu)先權日2011年7月21日
發(fā)明者劉宏, 張建中, 林平 申請人:天長市百盛半導體科技有限公司