專利名稱：一種集熱式拉晶爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種拉晶爐，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
拉晶爐是將半導(dǎo)體粉末冶煉成半導(dǎo)體晶棒的裝置，在現(xiàn)有技術(shù)中，每個(gè)拉晶爐具有一個(gè)爐腔，所述的爐腔是這樣的它是由多個(gè)圓環(huán)形的耐火磚疊放而成的，中間的孔是爐腔孔，所述各個(gè)耐火磚的爐腔孔上下位置照應(yīng)的，在相鄰的耐火磚爐腔孔周圍之間縫隙中具有電阻絲，這樣的拉晶爐具有熱效率低、浪費(fèi)能源的缺點(diǎn)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是針對(duì)上述缺點(diǎn)，提供一種熱效率利用高、節(jié)省能源的集熱式拉晶爐。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種集熱式拉晶爐，它包括有多個(gè)耐火磚疊放而成的爐體，在相鄰的耐火磚爐腔孔周圍之間縫隙中具有電阻絲，其特征是所述的耐火磚周圍具有多個(gè)爐腔孔，在所述的耐火磚外圍具有爐腔外套。進(jìn)一步的講，所述的耐火磚中間具有一個(gè)大孔，在所述的大孔周圍的耐火磚上有爐腔內(nèi)套。本實(shí)用新型的有益效果是這樣結(jié)構(gòu)的集熱式拉晶爐具有熱效率利用高、節(jié)省能源的優(yōu)點(diǎn)。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、耐火磚2、爐腔孔 3、爐腔外套 4、大孔 5、爐腔內(nèi)套。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。如圖1所示，一種集熱式拉晶爐，它包括有多個(gè)耐火磚1疊放而成的爐體，在相鄰的耐火磚爐腔孔周圍之間縫隙中具有電阻絲，其特征是所述的耐火磚1周圍具有多個(gè)爐腔孔2，在所述的耐火磚1外圍具有爐腔外套3。進(jìn)一步的講，所述的耐火磚1中間具有一個(gè)大孔4，在所述的大孔4周圍的耐火磚上有爐腔內(nèi)套5。這樣的拉晶爐可以節(jié)能20%以上。
權(quán)利要求1.一種集熱式拉晶爐，它包括有多個(gè)耐火磚疊放而成的爐體，在相鄰的耐火磚爐腔孔周圍之間縫隙中具有電阻絲，其特征是所述的耐火磚周圍具有多個(gè)爐腔孔，在所述的耐火磚外圍具有爐腔外套。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拉晶爐，其特征是所述的耐火磚中間具有一個(gè)大孔，在所述的大孔周圍的耐火磚上有爐腔內(nèi)套。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種集熱式拉晶爐，它包括有多個(gè)耐火磚疊放而成的爐體，在相鄰的耐火磚爐腔孔周圍之間縫隙中具有電阻絲，所述的耐火磚周圍具有多個(gè)爐腔孔，在所述的耐火磚外圍具有爐腔外套，所述的耐火磚中間具有一個(gè)大孔，在所述的大孔周圍的耐火磚上有爐腔內(nèi)套，這樣結(jié)構(gòu)的集熱式拉晶爐具有熱效率利用高、節(jié)省能源的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C30B15/00GK202247024SQ20112028850
公開(kāi)日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2011年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月10日
發(fā)明者劉寶成 申請(qǐng)人:河南恒昌電子有限公司