專利名稱：下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及單晶硅生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐。
技術(shù)背景多晶硅鑄錠爐是多晶硅料轉(zhuǎn)化為多晶硅錠工藝過程中的必備設(shè)備，而多晶硅錠經(jīng)工藝處理后又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。多晶硅錠作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的多晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽(yáng)能的主要功能材料。生產(chǎn)中，將達(dá)到一定純度要求的多晶硅裝入爐中，按工藝要求加熱熔化、定向長(zhǎng)晶、熱處理、冷卻出爐。多晶硅重熔長(zhǎng)晶的這樣一個(gè)核心環(huán)境，我們稱之為熱場(chǎng)，熱場(chǎng)不單為多晶硅熔化提供大量的熱能，在長(zhǎng)晶過程中又提供合理的溫度梯場(chǎng)以得到符合要求的多晶硅晶體。為了提高硅錠的生長(zhǎng)效果，多晶爐的下腔體設(shè)置保溫結(jié)構(gòu)，一般常見的多晶爐的下腔體保溫結(jié)構(gòu)，都是采用全水冷結(jié)構(gòu)，容易造成保溫效果差、安全系數(shù)低等現(xiàn)象
實(shí)用新型內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種保溫效果良好、安全系數(shù)高的下腔體保溫結(jié)構(gòu)。還有必要提供一種采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐。一種采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐，包括熱場(chǎng)、保溫氈、水道和下腔體，下腔體包括圓筒部和底部，圓筒部由內(nèi)圓筒和外圓筒焊接形成，且內(nèi)圓筒和外圓筒之間形成第一空間，底部同樣由內(nèi)層和外層焊接形成，且兩層之間形成第二空間，熱場(chǎng)安裝在下腔體內(nèi)，保溫氈鋪在下腔體里面，水道焊接于下腔體的圓筒部的第一空間內(nèi)。一種下腔體保溫結(jié)構(gòu)，包括水道和下腔體，下腔體包括圓筒部和底部，圓筒部由兩層圓筒焊接形成，且兩層圓筒之間形成第一空間，底部同樣由內(nèi)層和外層焊接形成，且兩層之間形成第二空間，水道焊接于下腔體的圓筒部的第一空間內(nèi)，下腔體的底部外層設(shè)置空氣進(jìn)氣口、空氣出氣口和測(cè)溫口，空氣進(jìn)氣口與第二空間相通，空氣出氣口與第二空間相
ο本實(shí)用新型提供的下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐，在長(zhǎng)晶過程中提供合理的溫度梯場(chǎng)，在下腔體的底部鋪保溫氈提高保溫效果，便于硅錠的生長(zhǎng)；如果硅錠在成長(zhǎng)過程中，發(fā)生泄漏，因下腔體的底部不通水，不會(huì)引起大的安全事故；如在測(cè)溫過程中發(fā)現(xiàn)溫度過高，可通過出氣口，排出氣體，保證爐體內(nèi)部溫度適合硅錠的生長(zhǎng)。由此可見，本實(shí)用新型的有益效果在于保溫效果好，便于硅錠的生長(zhǎng)；作業(yè)過程中減少安全隱患。

附圖1是本實(shí)用新型下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐剖面示意結(jié)構(gòu)圖；附圖2是本實(shí)用新型下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐之下腔體保溫結(jié)構(gòu)前視圖；附圖3是本實(shí)用新型下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐之下腔體保溫結(jié)構(gòu)剖面圖；附圖4是圖3中下腔體保溫結(jié)構(gòu)剖面圖局部放大圖。圖中熱場(chǎng)1、保溫氈2、水道3、下腔體4、圓筒部41、外圓筒411、內(nèi)圓筒412、第一空間 413、底部42、內(nèi)層421、外層422、第二空間423、空氣進(jìn)氣口 424、空氣出氣口 425、測(cè)溫口 42具體實(shí)施方式
請(qǐng)同時(shí)參看圖1、圖2、圖3與圖4，一種采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐，包括熱場(chǎng) 1、保溫氈2、水道3和下腔體4，下腔體4包括圓筒部41和底部42，圓筒部41由外圓筒411 和內(nèi)圓筒412兩層焊接形成，且外圓筒411和內(nèi)圓筒412之間形成第一空間413，底部42同樣由內(nèi)層421和外層422焊接形成，且內(nèi)層421和外層422之間形成第二空間423，熱場(chǎng)1 安裝在下腔體4內(nèi)，保溫氈2鋪在下腔體4底部42的內(nèi)層421內(nèi)表面上，水道3焊接于下腔體4的圓筒部41的第一空間413內(nèi)。請(qǐng)結(jié)合圖3與圖4，一種下腔體保溫結(jié)構(gòu)，包括水道3和下腔體4，下腔體4包括圓筒部41和底部42，圓筒部41由外圓筒411和內(nèi)圓筒412兩層焊接形成，且外圓筒411和內(nèi)圓筒412之間形成第一空間413，底部42同樣由內(nèi)層421和外層422焊接形成，且內(nèi)層421 和外層422之間形成第二空間423，水道3焊接于下腔體4的圓筒部41的第一空間413內(nèi)， 下腔體4的底部42外層422設(shè)置空氣進(jìn)氣口 424、空氣出氣口 425和測(cè)溫口 426，空氣進(jìn)氣口似4與第二空間423相通，空氣出氣口 425與第二空間423相通。本實(shí)用新型提供的下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐，在長(zhǎng)晶過程中提供合理的溫度梯場(chǎng)，在下腔體4的底部42鋪保溫氈提高保溫效果，便于硅錠的生長(zhǎng)；如果硅錠在成長(zhǎng)過程中，發(fā)生泄漏，因下腔體4的底部42不通水，不會(huì)引起大的安全事故；如在測(cè)溫過程中發(fā)現(xiàn)溫度過高，可通過空氣出氣口 425排出氣體，保證爐體內(nèi)部溫度適合硅錠的生長(zhǎng)。
權(quán)利要求1.一種下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐，包括熱場(chǎng)、保溫氈、水道和下腔體，其特征在于下腔體包括圓筒部和底部，圓筒部由內(nèi)圓筒和外圓筒焊接形成，且內(nèi)圓筒和外圓筒之間形成第一空間，底部同樣由內(nèi)層和外層焊接形成，且兩層之間形成第二空間，熱場(chǎng)安裝在下腔體內(nèi)，保溫氈鋪在下腔體里面；下腔體保溫結(jié)構(gòu)，包括水道和下腔體，下腔體包括圓筒部和底部，圓筒部由內(nèi)圓筒和外圓筒焊接形成，且內(nèi)圓筒和外圓筒之間形成第一空間，底部同樣由內(nèi)層和外層焊接形成，且兩層之間形成第二空間，水道焊接于下腔體的圓筒部的第一空間內(nèi)，下腔體的底部外層設(shè)置空氣進(jìn)氣口、空氣出氣口和測(cè)溫口，空氣進(jìn)氣口與第二空間相通，空氣出氣口與第二空間相通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐，其特征在于水道焊接于下腔體的圓筒部的內(nèi)圓筒后，再將內(nèi)圓筒與外圓筒焊接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐，其特征在于水道焊接于下腔體的圓筒部的外圓筒后，再將外圓筒與內(nèi)圓筒焊接。
專利摘要一種下腔體保溫結(jié)構(gòu)及采用下腔體保溫結(jié)構(gòu)的多晶爐，包括熱場(chǎng)、保溫氈、水道和下腔體，下腔體包括圓筒部和底部，圓筒部由內(nèi)圓筒和外圓筒焊接形成，且內(nèi)圓筒和外圓筒之間形成第一空間，底部同樣由內(nèi)層和外層焊接形成，且兩層之間形成第二空間，水道焊接于下腔體的圓筒部的第一空間內(nèi)，下腔體的底部外層設(shè)置空氣進(jìn)氣口、空氣出氣口和測(cè)溫口，空氣進(jìn)氣口與第二空間相通，空氣出氣口與第二空間相通。本實(shí)用新型的有益效果在于保溫效果好，便于硅錠的生長(zhǎng)；作業(yè)過程中減少安全隱患。
文檔編號(hào)C30B28/06GK202220221SQ20112029390
公開日2012年5月16日 申請(qǐng)日期2011年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月15日
發(fā)明者吳學(xué)軍, 周凱平 申請(qǐng)人:寧夏日晶新能源裝備股份有限公司