專利名稱：加熱器結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
加熱器結(jié)構(gòu)技術(shù)領(lǐng)域[0001 ] 本實(shí)用新型提供一種加熱器結(jié)構(gòu)，尤指一種用以加熱晶圓的加熱器結(jié)構(gòu)。
技術(shù)背景[0002]目前，在制作晶圓的制程當(dāng)中，必須將晶圓放置在加熱裝置上，以可對晶圓進(jìn)行加熱，如圖1與圖2所示，為一般較常使用的加熱器1，其主要是由一上板體11與一下板體12所組成，并在該上板體11與下板體12上均各設(shè)置有溝槽110與溝槽120，使加熱線可放置于其中，且在晶圓放置于加熱器1上后對加熱線導(dǎo)通電流，使加熱器1整體產(chǎn)生熱度以對晶圓進(jìn)行加熱的動(dòng)作，但是，在上板體11與下板體12結(jié)合時(shí)，必須準(zhǔn)確地調(diào)整至溝槽110 與溝槽120的相對位置，否則可能無法將加熱線放置于其中，相當(dāng)耗時(shí)費(fèi)工，并且由于上板體11與下板體12結(jié)合后，透過高溫?zé)Y(jié)的方式結(jié)合，無法再次分離，而溝槽110與溝槽120 位于內(nèi)部位置，因此如果上板體11與下板體12發(fā)生龜裂或二者之間產(chǎn)生空隙，則無法進(jìn)行修補(bǔ)或填補(bǔ)的動(dòng)作，必須將加熱器1整個(gè)丟棄，再者，上板體11與下板體12本身均具有一厚度，因此使加熱線所產(chǎn)生的熱度最后無法均勻的由上板體11與下板體12發(fā)散而出，導(dǎo)致晶圓無法均勻的受熱。實(shí)用新型內(nèi)容[0003]有鑒于此，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題在于提供一種增加基板體的整體強(qiáng)度， 以及使發(fā)熱程度更佳的加熱器結(jié)構(gòu)。[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種加熱器結(jié)構(gòu)，其包括有一基板體，其一表面上設(shè)有溝槽；一覆蓋體，嵌設(shè)于基板體的溝槽上，用以覆蓋該溝槽，且該覆蓋體的形態(tài)大小與溝槽相同；一發(fā)熱線體，設(shè)置于基板體的溝槽內(nèi)；其主要是將發(fā)熱線體設(shè)置于溝槽內(nèi)后，透過一覆蓋體覆蓋該溝槽，覆蓋體與溝槽的形態(tài)大小相同，且與溝槽緊密結(jié)合。[0005]進(jìn)一步，基板體為石英材質(zhì)所制成。[0006]進(jìn)一步，覆蓋體為石英材質(zhì)所制成。[0007]進(jìn)一步，中基板體的溝槽為一完整相通的形態(tài)。[0008]進(jìn)一步，覆蓋體載嵌設(shè)于基板體的溝槽上，通過高溫?zé)Y(jié)的方式使二者緊密結(jié)合。[0009]本實(shí)用新型達(dá)到的技術(shù)效果如下本實(shí)用新型是由一基板體、一覆蓋體與發(fā)熱線體所組成，將發(fā)熱線體設(shè)置于溝槽內(nèi)后，透過一覆蓋體覆蓋該溝槽，因此以保護(hù)發(fā)熱線體， 而其中的覆蓋體由于與溝槽的形態(tài)大小相同，因此除了可與溝槽結(jié)合更為緊密外，也同時(shí)達(dá)到增加基板體的整體強(qiáng)度，以及使發(fā)熱程度更佳平均的目的。


[0010]圖1為公知加熱器的立體外觀圖。[0011]圖2為公知加熱器的立體分解圖。[0012]圖3為本實(shí)用新型加熱器的立體外觀圖。[0013]圖4為本實(shí)用新型的立體分解圖。[0014]圖5為本實(shí)用新型的局部示意圖。[0015]圖6為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例圖。[0016]主要組件符號(hào)說明[0017]加熱器....1[0018]上板體....11[0019]溝槽......110[0020]下板體——12[0021]溝槽......120[0022]加熱器....2[0023]基板體....3[0024]溝槽......30[0025]覆蓋體....4[0026]發(fā)熱線體....5[0027]供電裝置....6 ο具體實(shí)施方式
[0028]為達(dá)成上述的功效與目的，以及所采用的手段、技術(shù)與構(gòu)造，以下通過圖式說明本實(shí)用新型進(jìn)行說明。[0029]請參閱圖3、圖4、圖5與圖6所示，為本實(shí)用新型的立體外觀圖、立體分解圖、局部示意圖與較佳實(shí)施例圖，由圖中可清楚看出，加熱器2主要包括有一基板體3，由石英材質(zhì)所制成，其一表面上設(shè)有溝槽30，且該溝槽30為一完整相通的狀態(tài)；一覆蓋體4，由石英材質(zhì)所制成，嵌設(shè)于基板體3的溝槽上30，用以覆蓋該溝槽30，且該覆蓋體4的形態(tài)大小與溝槽30相同；一發(fā)熱線體5，設(shè)置于基板體3的溝槽30內(nèi)；其主要是將發(fā)熱線體5設(shè)置于基板體3的溝槽30內(nèi)后，將覆蓋體4覆蓋于溝槽30上，借此以保護(hù)發(fā)熱線體5，并將發(fā)熱線體 5導(dǎo)接一供電裝置6，透過供電裝置6對發(fā)熱線體5導(dǎo)通電力使發(fā)熱線體5發(fā)熱，最后發(fā)散至基板體3上，使基板體3整體發(fā)出熱度，以達(dá)到對放置于加熱器2上的晶圓進(jìn)行加熱的目的。[0030]其中，如圖所示，覆蓋體4的形態(tài)大小與溝槽30相同，因此僅需將覆蓋體4直接放入溝槽30，即可以透過高溫?zé)Y(jié)方式將二者結(jié)合，相較于上述傳統(tǒng)的加熱器，必須準(zhǔn)確的調(diào)整至二溝槽之間的相對位置才可進(jìn)行結(jié)合，本實(shí)用新型更顯省時(shí)省力且加工步驟更為快速，且由于覆蓋體4的形態(tài)大小與溝槽30相同，在覆蓋體4結(jié)合于溝槽30上后，二者間的空隙相當(dāng)微小，使其在進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)后，覆蓋體4與溝槽30更可緊密的結(jié)合，再者，由于蓋體4與基板體3的結(jié)合部分乃為位于表面外露之處，如是覆蓋體4產(chǎn)生龜裂，或是蓋體4與基板體3之間因長久使用后產(chǎn)生空隙，則可直接對該局部處進(jìn)行修補(bǔ)或填補(bǔ)的動(dòng)作，而不需將加熱器2整個(gè)丟棄。[0031]而覆蓋體4的形態(tài)大小與溝槽30相同除了上述優(yōu)點(diǎn)外，另外值得一提的是，由于覆蓋體4乃是直接嵌設(shè)于溝槽30上，與基板體3結(jié)合成一體，因此更能加強(qiáng)加熱器2整體4的強(qiáng)度，并且加熱器2整體的厚度僅為基板體3的厚度，相較于公知加熱器是由上板體與下板體所結(jié)合的厚度，本實(shí)用新型在整體厚度較為輕薄的情況下，使發(fā)熱線體5所產(chǎn)生的熱能夠更均勻的由基板體3發(fā)散而出，因此放置于加熱器2上的晶圓也能更均勻地受熱，以達(dá)到最佳的施工質(zhì)量。[0032]綜上所述，公知加熱器是由二相同大小的上板體與下板體所組成，存在著無法均勻受熱、結(jié)合步驟繁瑣、無法進(jìn)行修補(bǔ)填補(bǔ)與整體強(qiáng)度不足等缺失，因此為了解決上述公知的種種缺失，本實(shí)用新型的加熱器2最主要的特點(diǎn)就在于覆蓋體4的形態(tài)大小與溝槽30相同，使其更能均勻受熱、省時(shí)省力且加工步驟更為快速、可進(jìn)行局部修補(bǔ)與填補(bǔ)，以及增加加熱器2整體的強(qiáng)度。[0033]以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，其包括有 一基板體，其一表面上設(shè)有溝槽；一覆蓋體，嵌設(shè)于基板體的溝槽上，用以覆蓋該溝槽，且該覆蓋體的型態(tài)大小與溝槽相同；一發(fā)熱線體，設(shè)置于基板體的溝槽內(nèi)；其主要是將發(fā)熱線體設(shè)置于溝槽內(nèi)后，透過一覆蓋體覆蓋該溝槽，覆蓋體與溝槽的型態(tài)大小相同，且與溝槽緊密結(jié)合。
2.如權(quán)利要求1所述的加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，基板體為石英材質(zhì)所制成。
3.如權(quán)利要求1所述的加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，覆蓋體為石英材質(zhì)所制成。
4.如權(quán)利要求1所述的加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，中基板體的溝槽為一完整相通的形態(tài)。
5.如權(quán)利要求1所述的加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，覆蓋體載嵌設(shè)于基板體的溝槽上，通過高溫?zé)Y(jié)的方式使二者緊密結(jié)合。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種加熱器結(jié)構(gòu)，其包括有一基板體，其一表面上設(shè)有溝槽；一覆蓋體，嵌設(shè)于基板體的溝槽上，用以覆蓋該溝槽，且該覆蓋體的型態(tài)大小與溝槽相同；一發(fā)熱線體，設(shè)置于基板體的溝槽內(nèi)；其主要是將發(fā)熱線體設(shè)置于溝槽內(nèi)后，透過一覆蓋體覆蓋該溝槽，覆蓋體與溝槽的型態(tài)大小相同，且與溝槽緊密結(jié)合。本實(shí)用新型將發(fā)熱線體設(shè)置于溝槽內(nèi)后，透過一覆蓋體覆蓋該溝槽，借此以保護(hù)發(fā)熱線體，而其中的覆蓋體由于與溝槽的型態(tài)大小相同，因此除了可與溝槽結(jié)合更為緊密外，也同時(shí)達(dá)到增加基板體的整體強(qiáng)度，以及使其發(fā)熱程度更佳平均的目的。
文檔編號(hào)H05B3/22GK202261853SQ20112037238
公開日2012年5月30日 申請日期2011年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月27日
發(fā)明者黃中虓 申請人:黃中虓