專利名稱：一種防卡料直拉復(fù)投筒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及用于生產(chǎn)直拉硅單晶的多晶料復(fù)投裝置，特別涉及一種防卡料直拉復(fù)投筒。
背景技術(shù)：
直拉硅單晶的制備過程中進(jìn)行復(fù)投料，可以提高對石英坩堝的利用，降低單位質(zhì)量硅單晶的耗電量，大大降低硅單晶的生產(chǎn)成本。但是由于目前生產(chǎn)中所使用復(fù)投裝置，復(fù)投筒內(nèi)與底部的封底錐臺相連接是剛性的承力桿或拉桿，有的復(fù)投筒內(nèi)部甚至有剛性的支架，這樣很容易導(dǎo)致裝入復(fù)投筒內(nèi)的多晶料塊在筒內(nèi)架料，造成復(fù)投過程中的多晶料不能順利地投入到石英坩堝中，這樣不僅無法完成復(fù)投來降低成本，反而會增加直拉單晶的生產(chǎn)成本。
發(fā)明內(nèi)容鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種防卡料直拉復(fù)投筒，為達(dá)到以上目的，本實用新型將剛性的拉桿或承力桿換成柔性的鋼絲繩，由于鋼絲繩可以移動，使之在生產(chǎn)過程中能夠順利進(jìn)行復(fù)投料，防止架料事故的發(fā)生。本實用新型采取的技術(shù)方案是一種防卡料直拉復(fù)投筒，其特征在于包括投料筒、限位盤、鋼絲繩和封底錐臺，限位盤焊接在投料筒的頂部，限位盤中心位置上設(shè)有限位孔，鋼絲繩下端與封底錐臺固定連接，鋼絲繩上端由限位盤上的限位孔穿出，通過連接器與晶體升降的鋼絲繩相連接。本實用新型所產(chǎn)生的有益效果是解決了傳統(tǒng)復(fù)投筒在復(fù)投過程中容易出現(xiàn)多晶料塊架料問題，從而保證復(fù)投料的順利進(jìn)行，避免了由于架料問題導(dǎo)致生產(chǎn)成本的提高。

圖1為本實用新型主視圖。圖2為本實用新型俯視圖。圖3為本實用新型連接器示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明參照圖1、圖2和圖3，防卡料直拉復(fù)投筒，包括投料筒1、限位盤2、鋼絲繩3和封底錐臺4，限位盤2焊接在投料筒1的頂部，限位盤2中心位置上設(shè)有限位孔6，鋼絲繩3下端與封底錐臺4固定連接，鋼絲繩3上端由限位盤2上的限位孔6穿出，通過連接器8與晶體升降的鋼絲繩相連接。本復(fù)投筒的限位盤2設(shè)為兩個半圓盤，分別為左半圓盤21和右半圓盤22，限位孔 6的兩個半圓孔分別設(shè)在左右半圓盤上，左半圓盤21焊接固定在投料筒1頂部的左邊，左半圓盤21上焊接有固定鋼條7，右半圓盤22通過固定鋼條7用螺釘固定在投料筒1頂部的右邊。封底錐臺通過鋼絲繩的拉伸作用而起到密封作用，防止多晶硅在未投料時便泄露。限位盤由兩個半圓鋼盤組成，左半圓盤焊接在投料筒上，其上又焊接有兩個固定鋼條， 當(dāng)多晶料裝好后，將右半圓盤置于投料筒頂部，之后將兩個固定螺絲穿過固定鋼條擰緊，這樣可以將整個限位盤固定在投料筒上。使用時，首先將投料筒放于封底錐臺上部，鋼絲繩通過下端焊接在鋼絲繩頂端的螺栓，再加上螺母與封底錐臺連接。將鋼絲繩上端從限位盤上的限位孔中穿過，之后將多晶塊料放入投料筒中，最后將右半圓盤與左半圓盤對齊(左右半圓盤上的兩個半圓孔對齊)固定好。再將鋼絲繩的上端與晶體升降的鋼絲繩通過連接器連接，關(guān)閉副室爐門，抽真空，下降晶體升降的鋼絲繩，當(dāng)法蘭5與爐膛內(nèi)的翻板閥口相接觸后，繼續(xù)降低晶體升降的鋼絲繩，此時，封底錐臺開始與投料筒分離，多晶料開始從投料筒底部露出。最后多晶料被順利投送到石英坩堝中。
權(quán)利要求1.一種防卡料直拉復(fù)投筒，其特征在于包括投料筒(1)、限位盤(2)、鋼絲繩(3)和封底錐臺(4)，限位盤(2)焊接在投料筒(1)的頂部，限位盤(2)中心位置上設(shè)有限位孔(6)， 鋼絲繩(3)下端與封底錐臺(4)固定連接，鋼絲繩(3)上端由限位盤(2)上的限位孔(6)穿出，通過連接器(8)與晶體升降的鋼絲繩相連接。
2.如權(quán)利要求1所述的一種防卡料直拉復(fù)投筒，其特征在于所述限位盤(2)設(shè)為兩個半圓盤，分別為左半圓盤(21)和右半圓盤(22)，所述限位孔(6)的兩個半圓孔分別設(shè)在左右半圓盤上，左半圓盤(21)焊接固定在投料筒(1)頂部的左邊，左半圓盤(21)上焊接有固定鋼條(7)，右半圓盤(22)通過固定鋼條(7)用螺釘固定在投料筒(1)頂部的右邊。
專利摘要本實用新型涉及用于生產(chǎn)直拉硅單晶的一種防卡料直拉復(fù)投筒。本復(fù)投筒包括投料筒、限位盤、鋼絲繩和封底錐臺，限位盤焊接在投料筒的頂部，限位盤中心位置上設(shè)有限位孔，鋼絲繩下端與封底錐臺固定連接，鋼絲繩上端由限位盤上的限位孔穿出，通過連接器與晶體升降的鋼絲繩相連接。本實用新型所產(chǎn)生的有益效果是解決了傳統(tǒng)復(fù)投筒在復(fù)投過程中容易出現(xiàn)多晶料塊架料問題，從而保證復(fù)投料的順利進(jìn)行，避免了由于架料問題導(dǎo)致生產(chǎn)成本的提高。
文檔編號C30B15/02GK202265625SQ20112038695
公開日2012年6月6日 申請日期2011年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月12日
發(fā)明者孫昊, 宋都明, 康冬輝, 李建弘, 菅瑞娟 申請人:天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司