專利名稱:寶石爐的制作方法
技術領域:
本實用新型屬于物質生長爐技術領域,具體涉及一種寶石爐。
背景技術:
LED用藍寶石晶體材料化學式為a-Al2O3,屬六方晶體,在室溫下密度為3. 98g/cm3,屬于熔點很高的難熔氧化物晶體。Al2O3晶體具有寬的透光范圍,從真空紫外、可見光、遠紅外,一直到中紅外均具有較高的光透過性,具有高機械強度,高溫耐熔性,膨脹系數小,導熱率大,良好的化學穩(wěn)定性,耐輻射性及低摩擦系數等綜合性能,是優(yōu)良的激光基質材料及各種光學元件和紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術、高強度激光的窗口材料,在微電子學、光學、量子電子學、計算機、照明設施、發(fā)光二極管以及其他科學技術領域得到廣泛應用。制備LED用藍寶石晶體有多種方法,微拉旋轉泡生法因其能綜合泡生法和微拉法的優(yōu)點,因此優(yōu)先在工業(yè)上應用。該方法是晶體在寶石爐(單晶爐)內完成晶體長晶制備過程。
實用新型內容本實用新型提供一種寶石爐,用于生產高純度單晶體,其引晶率高,可以生產大尺寸的晶體,生廣的晶體品質聞,純度聞,無氣泡廣生。本實用新型具體采用如下技術方案一種寶石爐,包括機架,機架上設置爐體,爐體上設置爐蓋、主軸,其特征是,爐體上部與真空系統(tǒng)組件連接,主軸上設有擺動稱重組件,主軸與主軸升降組件連接,爐蓋與爐蓋升降組件連接,立柱升降組件設置在立柱上,立柱下方設置立柱擺動組件。進一步,機架上還設有進出水組件,為爐體進行冷卻;機架上還設有電氣控制裝置,用于控制寶石爐的各項操作。與現(xiàn)有技術相比,本實用新型引晶成功率聞,可以生廣大尺寸的晶體,生廣的晶體品質聞,純度聞,無氣泡廣生。
圖I是本實用新型的結構示意圖。圖中,I-電氣控制裝置,2-主軸,3-擺動稱重組件,4-立柱升降組件,5-立柱,6-立柱擺動組件,7-爐蓋升降組件,8-進出水組件,9-爐體,10-真空系統(tǒng)組件,11-機架,
12-爐蓋。
具體實施方式
如圖I所示,一種寶石爐,包括機架11,機架11上設置爐體9,爐體9上設置爐蓋12、主軸2,爐體9上部與真空系統(tǒng)組件10連接,主軸2上設有擺動稱重組件3,主軸2與主軸升降組件4連接,爐蓋12與爐蓋升降組件7連接,立柱升降組件4設置在立柱5上,立柱5下方設置立柱擺動組件6。
權利要求1.一種寶石爐,包括機架,機架上設置爐體,爐體上設置爐蓋、主軸,其特征是,爐體上部與真空系統(tǒng)組件連接,主軸上設有擺動稱重組件,主軸與主軸升降組件連接,爐蓋與爐蓋升降組件連接,立柱升降組件設置在立柱上,立柱下方設置立柱擺動組件。
2.根據權利要求I所述的寶石爐,其特征是,機架上還設有進出水組件和電氣控制裝置。
專利摘要一種寶石爐,屬于物質生長爐技術領域,包括機架,機架上設置爐體,爐體上設置爐蓋、主軸,其特征是,爐體上部與真空系統(tǒng)組件連接,主軸上設有擺動稱重組件,主軸與主軸升降組件連接,爐蓋與爐蓋升降組件連接,立柱升降組件設置在立柱上,立柱下方設置立柱擺動組件。本實用新型引晶成功率高,可以生產大尺寸的晶體,生產的晶體品質高,純度高,無氣泡產生。
文檔編號C30B29/20GK202430322SQ201120534240
公開日2012年9月12日 申請日期2011年12月20日 優(yōu)先權日2011年12月20日
發(fā)明者于愛東, 周磊, 李瑞蓮, 沈春艷, 陳衛(wèi)國 申請人:山東紫晶光電新材料有限公司