專利名稱：一種單晶爐加料裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種單晶爐加料裝置，尤其是涉及一種給單晶爐石英坩堝加料的單晶爐加料裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)如今，大多數(shù)的單晶爐都采用一次性向石英坩堝投料的方法，而很多時(shí)候石英坩堝都未能加滿，而單晶爐生產(chǎn)需要很多的熱能，這無(wú)疑造成了很多能源浪費(fèi)。而單晶爐多數(shù)是通過(guò)直拉單晶爐生產(chǎn)的，在生產(chǎn)過(guò)程中，通常是生產(chǎn)一爐后，等單晶爐的溫度冷卻后，適宜于人操作時(shí)，再進(jìn)行裝料工作，這樣不僅浪費(fèi)了時(shí)間，而且單晶爐的熱場(chǎng)系統(tǒng)要反復(fù)冷卻加熱，嚴(yán)重影響了熱場(chǎng)系統(tǒng)的使用壽命，大大增加了單晶硅生產(chǎn)企業(yè)的成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明主要是解決上述現(xiàn)有技術(shù)所存在的技術(shù)問(wèn)題，提供了一種更為便捷、精確地給單晶爐加料的單晶爐加料裝置。本發(fā)明的上述技術(shù)問(wèn)題主要是通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決的
一種單晶爐加料裝置，包括真空泵、加料器、加料連接筒、漏斗、內(nèi)管、內(nèi)管支撐件、夕卜管、外管支撐、轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)和線性移動(dòng)導(dǎo)軌，所述的加料器上部通過(guò)真空管與真空泵連接，力口料連接筒上下兩端各設(shè)有一個(gè)真空密封連接法蘭，加料連接筒上端通過(guò)真空密封連接法蘭與加料器連接，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)設(shè)于加料連接筒上側(cè)且與線性移動(dòng)導(dǎo)軌同軸驅(qū)動(dòng)，漏斗上端固定于加料連接筒上部?jī)?nèi)側(cè)，漏斗下端與內(nèi)管連接，內(nèi)管支撐件一端固定于加料連接筒上部?jī)?nèi)偵U，內(nèi)管支撐件另一端固定于內(nèi)管上部外側(cè)，外管支撐件一端與線性移動(dòng)導(dǎo)軌連接，另一端固定于外管上部外側(cè)，所述的外管套接與內(nèi)管外側(cè)。所述的線性移動(dòng)導(dǎo)軌外側(cè)設(shè)有螺紋。所述的外管支撐件與線性移動(dòng)導(dǎo)軌連接的一端內(nèi)側(cè)設(shè)有內(nèi)螺紋。所述的外管支撐件與線性移動(dòng)導(dǎo)軌螺接。本發(fā)明的有益效果在于通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)和線性移動(dòng)導(dǎo)軌的控制，使加料更為精確、便捷，為不同型號(hào)、大小的單晶爐石英坩堝進(jìn)行加料，避免能源浪費(fèi)。


圖I是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意 圖2是本發(fā)明加料連接筒的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面通過(guò)實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)發(fā)明的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說(shuō)明。實(shí)施例I
如圖I所示，一種單晶爐加料裝置，包括真空泵I、加料器2、加料連接筒3、漏斗4、內(nèi)管
5、內(nèi)管支撐件6、外管7、外管支撐件8、轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)9和線性移動(dòng)導(dǎo)軌10，所述的加料器2上部通過(guò)真空管與真空泵I連接，加料連接筒3上下兩端各設(shè)有一個(gè)真空密封法蘭，加料連接筒3上端通過(guò)真空密封法蘭11與加料器2連接，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)9設(shè)于加料連接筒3上側(cè)且與線性移動(dòng)導(dǎo)軌10同軸驅(qū)動(dòng)，漏斗4上端固定于加料連接筒3上部?jī)?nèi)側(cè)，漏斗4下端與內(nèi)管5連接，內(nèi)管支撐件6 —端固定于加料連接筒3上部?jī)?nèi)側(cè)，內(nèi)管支撐件6另一端固定于內(nèi)管5上部外側(cè)，外管支撐件8 —端與線性移動(dòng)導(dǎo)軌10連接，另一端固定于外管7上部外側(cè)，所述的外管7套接與內(nèi)管5外側(cè)，所述的線性移動(dòng)導(dǎo)軌10外側(cè)設(shè)有螺紋，所述的外管支撐件8與線性移動(dòng)導(dǎo)軌10連接的一端內(nèi)側(cè)設(shè)有內(nèi)螺紋，所述的外管支撐件8與線性移動(dòng)導(dǎo)軌10螺 接，加料連接筒3下端設(shè)有真空密封法蘭12。通過(guò)線性移動(dòng)導(dǎo)軌10，將外管7伸入至爐腔內(nèi)，進(jìn)行加料操作。
權(quán)利要求
1.一種單晶爐加料裝置，其特征在于包括真空泵、加料器、加料連接筒、漏斗、內(nèi)管、內(nèi)管支撐件、外管、外管支撐、轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)和線性移動(dòng)導(dǎo)軌，所述的加料器上部通過(guò)真空管與真空泵連接，加料連接筒上下兩端各設(shè)有一個(gè)真空密封連接法蘭，加料連接筒上端通過(guò)真空密封連接法蘭與加料器連接，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)設(shè)于加料連接筒上側(cè)且與線性移動(dòng)導(dǎo)軌同軸驅(qū)動(dòng)，漏斗上端固定于加料連接筒上部?jī)?nèi)側(cè)，漏斗下端與內(nèi)管連接，內(nèi)管支撐件一端固定于加料連接筒上部?jī)?nèi)側(cè)，內(nèi)管支撐件另一端固定于內(nèi)管上部外側(cè)，外管支撐件一端與線性移動(dòng)導(dǎo)軌連接，另一端固定于外管上部外側(cè)，所述的外管套接與內(nèi)管外側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐加料裝置，其特征在于所述的線性移動(dòng)導(dǎo)軌外側(cè)設(shè)有螺紋。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐加料裝置，其特征在于所述的外管支撐件與線性移動(dòng)導(dǎo)軌連接的一端內(nèi)側(cè)設(shè)有內(nèi)螺紋。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐加料裝置，其特征在于所述的外管支撐件與線性移動(dòng)導(dǎo)軌螺接。
全文摘要
一種單晶爐加料裝置，包括真空泵、加料器、加料連接筒、漏斗、內(nèi)管、內(nèi)管支撐件、外管、外管支撐、轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)和線性移動(dòng)導(dǎo)軌，所述的加料器上部通過(guò)真空管與真空泵連接，加料連接筒上下兩端各設(shè)有一個(gè)真空密封連接法蘭，加料連接筒上端通過(guò)真空密封連接法蘭與加料器連接，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)設(shè)于加料連接筒上側(cè)且與線性移動(dòng)導(dǎo)軌同軸驅(qū)動(dòng)，漏斗上端固定于加料連接筒上部?jī)?nèi)側(cè)，漏斗下端與內(nèi)管連接。本發(fā)明的有益效果在于通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)和線性移動(dòng)導(dǎo)軌的控制，使加料更為精確、便捷，為不同型號(hào)、大小的單晶爐石英坩堝進(jìn)行加料，避免能源浪費(fèi)。
文檔編號(hào)C30B35/00GK102618919SQ20121006503
公開(kāi)日2012年8月1日 申請(qǐng)日期2012年3月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月13日
發(fā)明者張松華, 雷世友 申請(qǐng)人:杭州奔博科技有限公司