射頻信號(hào)相位可調(diào)節(jié)的射頻電源的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種射頻信號(hào)相位可調(diào)節(jié)的射頻電源，所述射頻電源包括射頻信號(hào)發(fā)生器、射頻功率放大電路、供電線路和射頻功率檢測(cè)器；所述射頻信號(hào)發(fā)生器包括相位調(diào)節(jié)電路，所述相位調(diào)節(jié)電路用于調(diào)節(jié)外輸入射頻信號(hào)的相位。由于本發(fā)明在射頻信號(hào)發(fā)生器內(nèi)嵌入有相位調(diào)節(jié)電路，因此能夠調(diào)節(jié)同步接入的射頻信號(hào)的相位，消除本射頻電源與提供射頻信號(hào)的射頻電源之間的信號(hào)相位差，避免串?dāng)_，提高工藝穩(wěn)定性。
【專利說(shuō)明】射頻信號(hào)相位可調(diào)節(jié)的射頻電源
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及射頻電源，尤其是涉及一種射頻信號(hào)相位可調(diào)節(jié)的射頻電源。
【背景技術(shù)】
[0002]射頻電源是用于產(chǎn)生射頻功率信號(hào)的裝置，屬于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的核心部件，所有產(chǎn)生等離子體進(jìn)行材料處理的設(shè)備都需要射頻電源提供能量。在集成電路、太陽(yáng)能電池和LED (Light Emitting Diode，發(fā)光二極管)的工藝制造設(shè)備，例如刻蝕機(jī)、PVD (PhysicalVapor Deposition,物理氣相沉積)、PECVD(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)、ALD (AtomicLayer Deposition,原子層沉積)等設(shè)備,均裝備有不同功率規(guī)格的射頻電源。
[0003]射頻電源一般由射頻信號(hào)發(fā)生器、射頻功率放大電路、供電線路和射頻功率檢測(cè)器組成。其中，射頻信號(hào)發(fā)生器用于產(chǎn)生和/或調(diào)理射頻信號(hào)，射頻功率放大電路將來(lái)自射頻信號(hào)發(fā)生器的射頻信號(hào)進(jìn)行功率放大，射頻功率檢測(cè)器測(cè)量來(lái)自射頻功率放大電路的射頻功率信號(hào)并且輸出射頻功率信號(hào)，供電線路向各部件提供電力。
[0004]在產(chǎn)生等離子體進(jìn)行材料處理的工藝中，存在等離子體放電過(guò)程，而等離子體放電的形式包括容性放電和感性放電。采用感性放電方式的半導(dǎo)體工藝設(shè)備，例如刻蝕機(jī)，可連接2臺(tái)射頻電源。其中，一臺(tái)射頻電源獨(dú)立控制離子通量、中性粒子通量，另一臺(tái)則射頻電源獨(dú)立控制離子能量。然而，2臺(tái)射頻電源的輸出射頻功率信號(hào)波形因自身的器件差異必然會(huì)存在一定的相位差，從而產(chǎn)生串?dāng)_，造成腔室內(nèi)的等離子體不穩(wěn)定，進(jìn)而影響工藝過(guò)程，對(duì)晶圓產(chǎn)生不可修復(fù)的損傷，使得加工線寬無(wú)法保證。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)采用的方案是從射頻電源的射頻信號(hào)發(fā)生器引出一路射頻信號(hào)至面板接口形成射頻信號(hào)同步輸出端，在面板上還設(shè)有射頻信號(hào)同步輸入端，并且在射頻信號(hào)發(fā)生器中設(shè)置與射頻信號(hào)同步輸入端相連的外部信號(hào)輸入線路和多路選擇開(kāi)關(guān)。當(dāng)判斷外部信號(hào)輸入線路已接入時(shí)，多路選擇開(kāi)關(guān)選擇啟用外部信號(hào)而放棄自身產(chǎn)生的射頻信號(hào)；反之，當(dāng)判斷外部信號(hào)輸入線路懸空時(shí)，多路選擇開(kāi)關(guān)選擇啟用自身產(chǎn)生的射頻信號(hào)。通常，在半導(dǎo)體工藝設(shè)備中的兩臺(tái)射頻電源之間的相位同步是利用同軸電纜，將一臺(tái)射頻電源的射頻信號(hào)同步輸出端與另一臺(tái)射頻電源的射頻信號(hào)同步輸入端相連接，從而使得兩臺(tái)射頻電源利用同一個(gè)射頻信號(hào)，期望能夠消除相位差，避免串?dāng)_；但是，即使兩臺(tái)射頻電源都處于同一機(jī)柜(或機(jī)臺(tái))，連接這兩臺(tái)射頻電源的同軸電纜的長(zhǎng)度也至少幾十厘米。由于半導(dǎo)體工藝設(shè)備中常用的射頻頻率為13.56MHz，也就是說(shuō)在真空中波長(zhǎng)僅為22.12米，而在同軸電纜中的波長(zhǎng)則更短，一般只有16米左右，劃分360度，即4.4厘米就相差I(lǐng)度，因此幾十厘米的同軸電纜也會(huì)引起較大的相位差，在某些情況下，這一相位差很可能會(huì)引發(fā)等離子體振蕩，輝光不穩(wěn)定，工藝無(wú)法正常進(jìn)行，最終導(dǎo)致加工失敗。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明需要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種射頻信號(hào)相位可調(diào)節(jié)的射頻電源，該射頻電源能夠調(diào)節(jié)同步接入的射頻信號(hào)的相位，消除本射頻電源與提供射頻信號(hào)的射頻電源之間的信號(hào)相位差，避免串?dāng)_，提高工藝穩(wěn)定性。
[0007]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種射頻信號(hào)相位可調(diào)節(jié)的射頻電源，所述射頻電源包括射頻信號(hào)發(fā)生器、射頻功率放大電路、供電線路和射頻功率檢測(cè)器；所述射頻信號(hào)發(fā)生器包括相位調(diào)節(jié)電路，所述相位調(diào)節(jié)電路用于調(diào)節(jié)外輸入射頻信號(hào)的相位。
[0008]進(jìn)一步地，本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述射頻信號(hào)發(fā)生器還包括外部信號(hào)輸入接口、信號(hào)選擇電路、信號(hào)發(fā)生器、射頻信號(hào)輸出接口和信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路，所述外部信號(hào)輸入接口與所述信號(hào)選擇電路相連；
[0009]其中，所述外部信號(hào)輸入接口用于接收來(lái)自其他信號(hào)源或射頻電源的外部輸入信號(hào);
[0010]所述信號(hào)選擇電路用于判斷是否有外部輸入信號(hào)；當(dāng)所述信號(hào)選擇電路判斷出有外部輸入信號(hào)，則將外部輸入信號(hào)發(fā)送至所述相位調(diào)節(jié)電路；當(dāng)所述信號(hào)選擇電路判斷出沒(méi)有外部輸入信號(hào)，則使能所述信號(hào)發(fā)生器，啟動(dòng)所述信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生頻率信號(hào)，并將所述頻率信號(hào)輸送至所述射頻信號(hào)輸出接口以及所述信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路；
[0011]所述相位調(diào)節(jié)電路用于調(diào)節(jié)外輸入射頻信號(hào)的相位，并且將已調(diào)節(jié)相位的射頻信號(hào)輸送至所述信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路；
[0012]所述信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路將接收到的射頻信號(hào)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)放大，輸出可推動(dòng)所述射頻功率放大電路工作的射頻信號(hào)。
[0013]進(jìn)一步地，本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述相位調(diào)節(jié)電路包括電位器Rl和可變電容器Cl，所述電位器Rl的一端接入外部輸入信號(hào)，所述電位器Rl的另一端與所述可變電容器Cl的一端相連，所述可變電容器Cl的另一端接地；所述電位器Rl和所述可變電容器Cl連接端輸出已調(diào)節(jié)相位差的射頻信號(hào)。
[0014]進(jìn)一步地，本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述電位器Rl的最大阻值范圍為100 Ω?100K Ω，所述可變電容器Cl的最大容值范圍為IOpF?lOOOpF。
[0015]進(jìn)一步地，本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述相位調(diào)節(jié)電路包括電感L1、可變電容器Cl、可變電容器C2和電位器Rl，所述電位器Rl的一端接入外部輸入信號(hào)，所述電位器Rl另一端與所述可變電容器Cl的一端相連，所述可變電容器Cl的另一端接地；所述電感LI的一端與所述電位器Rl和所述可變電容器Cl的連接端相連，所述電感LI的另一端與所述可變電容器C2的一端相連，所述可變電容器C2的另一端接地；所述電感LI和所述可變電容器C2連接端輸出已調(diào)節(jié)相位差的射頻信號(hào)。
[0016]進(jìn)一步地，本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述電感LI取值為I μ H?10 μ H，所述電位器Rl的最大阻值范圍為100 Ω?100Κ Ω，所述可變電容器Cl的最大容值范圍為IOpF?lOOOpF，所述可變電容器C2的最大容值范圍為IOpF?1000pF。
[0017]進(jìn)一步地，本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述相位調(diào)節(jié)電路包括電感L1、固定電容器C3、可變電容器C2和電位器Rl，所述電位器Rl的一端接入外部輸入信號(hào)，所述電位器Rl另一端與所述固定電容器C3的一端相連，所述固定電容器C3的另一端接地；所述電感LI的一端與所述電位器Rl和所述固定電容器C3的連接端相連，所述電感LI的另一端與所述可變電容器C2的一端相連，所述可變電容器C2的另一端接地；所述電感LI和所述可變電容器C2連接端輸出已調(diào)節(jié)相位差的射頻信號(hào)。[0018]進(jìn)一步地，本發(fā)明還具有如下特點(diǎn):所述電感LI取值為ΙμΗ?10 μ H，所述電位器Rl的最大阻值范圍為100Ω?100ΚΩ，所述固定電容器C3的容值范圍為IOpF?lOOOpF，所述可變電容器C2的最大容值范圍為IOpF?lOOOpF。
[0019]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0020]1、由于本發(fā)明在其射頻信號(hào)發(fā)生器內(nèi)嵌入有相位調(diào)節(jié)電路，因此能夠調(diào)節(jié)同步接入的射頻信號(hào)的相位，消除本射頻電源與提供射頻信號(hào)的射頻電源之間的信號(hào)相位差，避免串?dāng)_，提聞工藝穩(wěn)定性；
[0021]2、本發(fā)明采用的相位調(diào)節(jié)電路僅由基本元器件(電阻、電容和/或電感)組成，成本較低。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的射頻電源的原理框圖；
[0023]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的射頻信號(hào)發(fā)生器的原理圖；
[0024]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的射頻信號(hào)發(fā)生器中的相位調(diào)節(jié)電路的一電路原理圖；
[0025]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的射頻信號(hào)發(fā)生器中的相位調(diào)節(jié)電路的又一電路原理圖；
[0026]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的射頻信號(hào)發(fā)生器中的相位調(diào)節(jié)電路的再一電路原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027]為了深入了解本發(fā)明，下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0028]本發(fā)明提供了一種射頻信號(hào)相位可調(diào)節(jié)的射頻電源，該射頻電源一般可為電子管式的射頻電源或晶體管式的射頻電源，如圖1所示，包括有射頻信號(hào)發(fā)生器、射頻功率放大電路、供電線路和射頻功率檢測(cè)器。其中，射頻信號(hào)發(fā)生器分別與射頻功率放大電路、供電線路相連，射頻功率放大電路又分別與供電線路、射頻功率檢測(cè)器相連接，此外供電線路和射頻功率檢測(cè)器相連接。射頻電源的工作頻率可為2MHz、13.56MHz,27.12MHz、40.68MHz或60MHzo
[0029]如圖2所示，本發(fā)明的射頻信號(hào)發(fā)生器包括外部信號(hào)輸入接口、信號(hào)選擇電路、信號(hào)發(fā)生器、相位調(diào)節(jié)電路、射頻信號(hào)輸出接口和信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路。其中，外部信號(hào)輸入接口用于接收來(lái)自其它信號(hào)源或射頻電源的外部輸入信號(hào)，外部輸入接口與信號(hào)選擇電路相連。信號(hào)選擇電路用于判斷是否有外部輸入信號(hào)，若有，則將外部輸入信號(hào)發(fā)送至相位調(diào)節(jié)電路，否則使能信號(hào)發(fā)生器，啟動(dòng)信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生一定頻率的射頻信號(hào)(如上述的2MHz、13.56MHz,27.12MHz、40.68MHz或60MHz)，并且將所產(chǎn)生的射頻信號(hào)輸送至射頻信號(hào)輸出接口，以及輸送至信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路。相位調(diào)節(jié)電路用于調(diào)節(jié)因同軸電纜線長(zhǎng)而引起的射頻信號(hào)的相位差，并且將已調(diào)節(jié)相位差的射頻信號(hào)輸送至信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路。信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路將所接收到的射頻信號(hào)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)放大，然后輸出可推動(dòng)射頻功率放大器工作的射頻信號(hào)。
[0030]實(shí)施例1:
[0031]如圖3所示，實(shí)施例1公開(kāi)了本發(fā)明實(shí)施例中的相位調(diào)節(jié)電路的一電路原理圖。所述相位調(diào)節(jié)電路包括兩個(gè)基本元器件，電位器(或稱為可變電阻器)Rl和可變電容器Cl，電位器Rl的一端接入外部輸入信號(hào)，另一端與可變電容器Cl的一端相連,可變電容器Cl的另一端接地，電位器Rl和可變電容器Cl連接端輸出相位已調(diào)節(jié)的信號(hào)。電位器Rl和可變電容器Cl的取值范圍可根據(jù)射頻電源的工作頻率設(shè)置，例如射頻電源的工作頻率為13.56MHz，電位器Rl可采用最大阻值為IK Ω，可變電容器Cl的最大容值為lOOpF?？蛇x擇地，電位器Rl的最大阻值范圍可為100 Ω?100K Ω，可變電容器Cl的最大容值范圍可為IOpF ?lOOOpFo
[0032]當(dāng)外部輸入信號(hào)進(jìn)入時(shí)，首先調(diào)節(jié)電位器Rl和可變電容器Cl，使得外部輸入信號(hào)移相至所需位置(這一位置主要與信號(hào)傳輸同軸線纜的長(zhǎng)度有關(guān))，但由于RC網(wǎng)絡(luò)的固有特性，信號(hào)移相后幅值會(huì)變化，圖3所示的方式可通過(guò)后面的信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路將信號(hào)幅值提升或降低，但是進(jìn)入信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路的信號(hào)幅值不能過(guò)大或過(guò)小，因此影響了信號(hào)相位的移動(dòng)范圍，故存在著使用范圍較小的問(wèn)題。由于這種方式的實(shí)現(xiàn)非常容易，因此在調(diào)節(jié)范圍不寬的情況下優(yōu)先選擇。
[0033]實(shí)施例2:
[0034]如圖4所示，實(shí)施例2公開(kāi)了本發(fā)明實(shí)施例中的相位調(diào)節(jié)電路的又一電路原理圖。作為圖3所示方式的一種變換，本實(shí)施例中相位調(diào)節(jié)電路在原有電路的基礎(chǔ)上增加一級(jí)LC網(wǎng)絡(luò)，其中電感LI的一端與前級(jí)相連，另一端接可變電容器C2，可變電容器C2的另一端接地，電感LI和可變電容器C2連接端輸出相位已調(diào)節(jié)的信號(hào)。一般地，電感和電容都可采用可調(diào)節(jié)的器件，但由于可調(diào)電感成本較高且體積較大，因此在本實(shí)施例中采用了固定電感，而電容采用了可變電容器C2。在這一方式中，電感LI取值為ΙμΗ?10 μΗ，電位器Rl的最大阻值范圍可為100 Ω?100ΚΩ，可變電容器Cl的最大容值范圍可為IOpF?IOOOpF,可變電容器C2的最大容值范圍可為IOpF?1000pF。
[0035]當(dāng)外部輸入信號(hào)進(jìn)入時(shí)，首先調(diào)節(jié)電位器Rl和可變電容器Cl，使得外部輸入信號(hào)移相至所需位置，但由于RC網(wǎng)絡(luò)的固有特性，信號(hào)移相后幅值會(huì)變化，然后再調(diào)節(jié)可變電容器C2，使得移相后的信號(hào)幅值提升或降低，最后滿足要求的已移相信號(hào)進(jìn)入信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路。這一方式的適用性廣，可調(diào)節(jié)的相位寬，能夠滿足大多數(shù)情況的使用。
[0036]實(shí)施例3:
[0037]如圖5所示，實(shí)施例3公開(kāi)了本發(fā)明實(shí)施例中的相位調(diào)節(jié)電路的再一電路原理圖。與圖4相似，本實(shí)施例中相位調(diào)節(jié)電路中采用固定電容器C3來(lái)代替實(shí)施例2中的可變電容器Cl，一方面可減化調(diào)節(jié)，另一方面還可節(jié)約成本。這些器件的取值范圍，電感LI取值為1μΗ?10μΗ，電位器Rl的最大阻值范圍可為100Ω?100Κ Ω，固定電容器Cl的容值范圍可為IOpF?IOOOpF,可變電容器C2的最大容值范圍可為IOpF?1000pF。
[0038]在本發(fā)明的實(shí)施方式中，電位器、可變電容器采用定位精度高的器件，固定電容器和電感采用高Q值的器件。
[0039]以上所述的【具體實(shí)施方式】，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的本質(zhì)和基本原理之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.射頻信號(hào)相位可調(diào)節(jié)的射頻電源，所述射頻電源包括射頻信號(hào)發(fā)生器、射頻功率放大電路、供電線路和射頻功率檢測(cè)器，其特征在于:所述射頻信號(hào)發(fā)生器包括相位調(diào)節(jié)電路，所述相位調(diào)節(jié)電路用于調(diào)節(jié)外輸入射頻信號(hào)的相位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻電源，其特征在于:所述射頻信號(hào)發(fā)生器還包括外部信號(hào)輸入接口、信號(hào)選擇電路、信號(hào)發(fā)生器、射頻信號(hào)輸出接口和信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路，所述外部信號(hào)輸入接口與所述信號(hào)選擇電路相連； 其中，所述外部信號(hào)輸入接口用于接收來(lái)自其他信號(hào)源或射頻電源的外部輸入信號(hào)； 所述信號(hào)選擇電路用于判斷是否有外部輸入信號(hào)；當(dāng)所述信號(hào)選擇電路判斷出有外部輸入信號(hào)，則將外部輸入信號(hào)發(fā)送至所述相位調(diào)節(jié)電路；當(dāng)所述信號(hào)選擇電路判斷出沒(méi)有外部輸入信號(hào)，則使能所述信號(hào)發(fā)生器，啟動(dòng)所述信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生頻率信號(hào)，并將所述頻率信號(hào)輸送至所述射頻信號(hào)輸出接口以及所述信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路； 所述相位調(diào)節(jié)電路用于調(diào)節(jié)外輸入射頻信號(hào)的相位，并且將已調(diào)節(jié)相位的射頻信號(hào)輸送至所述信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路； 所述信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路將接收到的射頻信號(hào)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)放大，輸出可推動(dòng)所述射頻功率放大電路工作的射頻信號(hào)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的射頻電源，其特征在于:所述相位調(diào)節(jié)電路包括電位器Rl和可變電容器Cl，所述電位器Rl的一端接入外部輸入信號(hào)，所述電位器Rl的另一端與所述可變電容器Cl的一端相連，所述可變電容器Cl的另一端接地；所述電位器Rl和所述可變電容器Cl連接端輸出已調(diào)節(jié)相位差的射頻信號(hào)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的射頻電源，其特征在于:所述電位器Rl的最大阻值范圍為100 Ω?100K Ω，所述可變電容器Cl的最大容值范圍為IOpF?1000pF。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的射頻電源，其特征在于:所述相位調(diào)節(jié)電路包括電感L1、可變電容器Cl、可變電容器C2和電位器Rl，所述電位器Rl的一端接入外部輸入信號(hào)，所述電位器Rl另一端與所述可變電容器Cl的一端相連，所述可變電容器Cl的另一端接地；所述電感LI的一端與所述電位器Rl和所述可變電容器Cl的連接端相連，所述電感LI的另一端與所述可變電容器C2的一端相連，所述可變電容器C2的另一端接地；所述電感LI和所述可變電容器C2連接端輸出已調(diào)節(jié)相位差的射頻信號(hào)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的射頻電源，其特征在于:所述電感LI取值為Iμ H?10 μ H，所述電位器Rl的最大阻值范圍為100 Ω?100Κ Ω，所述可變電容器Cl的最大容值范圍為IOpF?IOOOpF,所述可變電容器C2的最大容值范圍為IOpF?1000pF。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的射頻電源，其特征在于:所述相位調(diào)節(jié)電路包括電感L1、固定電容器C3、可變電容器C2和電位器Rl，所述電位器Rl的一端接入外部輸入信號(hào)，所述電位器Rl另一端與所述固定電容器C3的一端相連，所述固定電容器C3的另一端接地；所述電感LI的一端與所述電位器Rl和所述固定電容器C3的連接端相連，所述電感LI的另一端與所述可變電容器C2的一端相連，所述可變電容器C2的另一端接地；所述電感LI和所述可變電容器C2連接端輸出已調(diào)節(jié)相位差的射頻信號(hào)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的射頻電源，其特征在于:所述電感LI取值為Iμ H?10 μ H，所述電位器Rl的最大阻值范圍為100 Ω?100ΚΩ，所述固定電容器C3的容值范圍為IOpF?lOOOpF，所述可變電容器C2的最大容值范圍為IOpF?1000pF。
【文檔編號(hào)】H05H1/46GK103855910SQ201210497318
【公開(kāi)日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2012年11月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月28日
【發(fā)明者】李勇滔, 李英杰, 夏洋, 王文東 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院微電子研究所