專利名稱：基板處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對基板進(jìn)行各種作業(yè)的基板處理裝置。
背景技術(shù)：
將各種電子元件安裝于基板的作業(yè)一般包括多個作業(yè)(例如對基板印刷焊膏的焊料印刷作業(yè)、對基板安裝電子元件的元件安裝作業(yè)、對安裝有電子元件的基板進(jìn)行加熱來進(jìn)行焊接的焊接作業(yè)、檢查各作業(yè)的作業(yè)結(jié)果的檢查作業(yè)等)。這些對基板進(jìn)行的各種作業(yè)由焊料印刷機、元件安裝機、回流爐、檢查機等各種基板處理裝置來進(jìn)行。作為基板處理裝置已知有具備移動裝置的基板處理裝置，該移動裝置使對基板進(jìn)行規(guī)定作業(yè)的頭部單元沿著導(dǎo)軌向一軸方向移動。但是，該移動裝置中，由于頭部單元的移動被限制在導(dǎo)軌的鋪設(shè)范圍內(nèi)，因此該范圍之外(比導(dǎo)軌的軸方向的端面更外側(cè))便成為頭部單元的死角。因此，為了消除這種頭部單元的死角，例如日本專利公開公報特開2009-111421號中記載的基板處理裝置具備2級式的 移動裝置。該2級式的移動裝置具備分別具有沿X軸方向延伸的導(dǎo)軌的第I軌道形成部和第2軌道形成部。第I軌道形成部在X軸方向上不移動而保持規(guī)定的位置，第2軌道形成部沿著第I軌道形成部在X軸方向上移動。而且頭部單元沿著第2軌道形成部在X軸方向上移動。根據(jù)該2級式的移動裝置，通過第2軌道形成部移動到相對于第I軌道形成部的導(dǎo)軌的端面突出在外側(cè)的位置且頭部單元移動到第2軌道形成部的導(dǎo)軌的端部，由此，頭部單元能夠到達(dá)比第I軌道形成部的導(dǎo)軌的端面更外側(cè)的位置。然而，所述那樣的使第2軌道成形部和頭部單元分別移動的2級式的移動裝置中，需進(jìn)行復(fù)雜的控制，因此希望對此加以改善。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種不進(jìn)行復(fù)雜的控制也能夠使頭部單元移動到相對于導(dǎo)軌的端面突出在外側(cè)的位置的基板處理裝置。實現(xiàn)所述目的的本發(fā)明所涉及的基板處理裝置包括:頭部單元，對基板進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)；移動裝置，具有導(dǎo)軌和沿著所述導(dǎo)軌移動的滑動部，并且使所述頭部單元沿著一軸方向移動；其中，所述頭部單元以至少一部分從所述滑動部的移動方向的端面向外側(cè)突出的狀態(tài)固定于所述滑動部。根據(jù)本發(fā)明，不需要復(fù)雜的控制就能使頭部單元移動到相對于導(dǎo)軌的端面突出在外側(cè)的位置。


圖1是示出本發(fā)明的基板處理裝置的一實施方式所涉及的元件安裝裝置的外觀的立體圖。
圖2是所述元件安裝裝置的俯視平面圖。圖3是所述元件安裝裝置所具備的臂和頭部單元的立體圖。圖4是臂和頭部單元的側(cè)視平面圖。圖5是圖4的V-V線剖面圖，是示出可動限位器處于移動限制位置的狀態(tài)的圖。圖6是示出頭部單元移動到X方向軌道的端部為止的狀態(tài)的剖面圖。圖7是示出頭部單元由可動限位器壓向X方向軌道的中心側(cè)的狀態(tài)的剖面圖。
具體實施例方式以下，參照圖1 圖7詳細(xì)說明將本發(fā)明具體化的一個實施方式。本實施方式的基板處理裝置是對于被輸送到規(guī)定的位置(安裝作業(yè)位置)的基板(未圖示)，從元件供給部11選出電子元件(未圖示)來進(jìn)行安裝的元件安裝裝置10。元件安裝裝置10具備頭部單元50，所述頭部單元50從元件供給部11向安裝作業(yè)位置移送電子元件來進(jìn)行安裝作業(yè)(規(guī)定的作業(yè))。具備多個頭部單元50 (在本實施方式中為4個)，例如各頭部單元50能分別獨立地對放置在基臺12上的4個基板進(jìn)行安裝作業(yè)，或者多個頭部單元50能同時對放置在基臺12上的I個或者2個基板進(jìn)行安裝作業(yè)。以下，在各構(gòu)成件中，設(shè)與基板的輸送方向平行的方向為X軸方向，與基板的輸送方向成直角的方向為Y軸方向，上下方向為Z軸方向來進(jìn)行說明。元件安裝裝置10的基臺12中具備能輸送基板并且使其停止于規(guī)定位置的輸送機13 (參照圖2)。以2個輸送機13為一對，在基臺12的寬度方向(Y軸方向)的大致中央設(shè)有二對(計4個)。由此，能夠?qū)⒒宓妮斔吐窐?gòu)成為I道或者2道。即，如果是大型的基板，使二對中的一方一對輸送機13間的寬度變窄并且使另一方一對輸送機13間的寬度變寬，將基板設(shè)置于該擴寬一側(cè)的一對輸送機13，由此能將基板排成I列來輸送。如果是小型的基板，能對每一對輸送機13分別設(shè)置基板來使基板排成2列輸送。元件供給部11是能自由移動的總括交換臺車，能在輸送機13的兩側(cè)(圖2的左右兩側(cè))的裝卸空間S進(jìn)行裝卸。在各元件供給部11放置有多個提供1C、晶體管、電容器等電子元件的元件送料器14。在安裝于裝卸空間S的元件供給部11的上方被未圖示的開閉蓋覆蓋。在元件安裝裝置10的動作中，當(dāng)所述開閉蓋打開時，其動作就緊急停止。元件安裝裝置10具備在輸送機13的上方隔開規(guī)定間隔在Y軸方向上延伸的2個框架20和在2個框架20之間在X軸方向上延伸的臂30 (移動裝置)。在臂30上安裝有頭部單元50。 臂30能沿著框架20在Y軸方向上移動，頭部單元50能沿著臂30在X軸方向(本發(fā)明中的一軸方向)上移動。由此，頭部單元50能自由地在XY方向上水平移動。臂30呈懸臂狀被支撐于框架20 (臂30的一端側(cè)與框架20卡合，另一端側(cè)為自由端的支撐狀態(tài))，在各框架20中分別具備一對，計4個。從框架20向基臺12的中心延伸，被一方框架20支撐的臂30和以同樣的方式被另一方框架20支撐的臂30隔著基臺12的中心相向地設(shè)置。此外，將包括被一方框架20支撐的臂30和被另一方框架20支撐的臂30的一對臂30的組合稱為一對相對臂30A (第I移動裝置)、30B (第2移動裝置)。在一對相對臂30A、30B在X軸方向上并排的情況下，從各臂30的框架20突出的尺寸設(shè)定為其自由端彼此不接觸。
臂30由線性電機驅(qū)動，能沿著框架20在Y軸方向上自由移動。作為線性電機，是在框架20的內(nèi)側(cè)面裝配有由固定永磁鐵構(gòu)成的磁片21,在臂30的基端側(cè)裝配有由多個線圈構(gòu)成的可動部31。另外，作為線性導(dǎo)軌，在各框架20的整個長度上具備上下一對Y方向軌道22，臂30上具備以嵌合于Y方向軌道22的狀態(tài)能沿著Y方向軌道22移動的一對Y方向滑塊32。在基臺12的多個部位設(shè)有記號設(shè)置部15，該記號設(shè)置部15能設(shè)立印有共用識別記號的成圓柱狀的記號構(gòu)件(未圖示)。記號設(shè)置部15是成圓形凹陷而形成的凹部。多個記號設(shè)置部15分別排列在二對輸送機13的各外側(cè)(參照圖2)。沿著各對輸送機13分別并排設(shè)有4個記號設(shè)置部15，其中位于X軸方向的中央的2個記號設(shè)置部15位于在一對相對臂30A、30B的自由端之間形成的間隙的正下方的位置。頭部單元50具備能選出或者安裝電子元件的多個吸嘴51。吸嘴51在選出或者安裝電子元件時下降，并且按選出或者安裝電子元件的方向繞垂直方向的軸線旋轉(zhuǎn)。在X軸方向上多個(在本實施方式中為6個)吸嘴51并排而成的列在Y軸方向上排列有多個列(在本實施方式中為2列)。如圖4所示，吸嘴51在靠近頭部單元50的寬度方向的兩端的位置分別各設(shè)置有一半。此外，吸嘴51由線性電機驅(qū)動，能獨立地升降。在頭部單元50的背面?zhèn)?臂30側(cè))具備基盤52?；P52為覆蓋頭部單元50的背面?zhèn)鹊拇笾抡w的大致長方形的板狀，其上下方向的尺寸為涵蓋臂30的大致全高的尺寸(參照圖3)。另外，如圖5所示，在基盤52的背面?zhèn)仍O(shè)有一對擋板(稱為第I擋板53A和第2擋板53B)。一對擋板53A、53B隔著在頭部單元50的寬度方向的大致中心突出地設(shè)置的突出部54而設(shè)于其兩側(cè)。一對擋板53A、53B均包括聚氨酯制的構(gòu)件，分別與后述的固定限位器36A、36B對應(yīng)具備。此外，一對擋板53A、53B也可以不是聚氨酯制成的，而是例如橡膠制成的、彈黃等。而且，在基盤52的背面?zhèn)染邆漭S55。軸55的兩端通過軸承裝配于基盤52，以能旋轉(zhuǎn)的方式軸支撐。軸55位于頭部單元50的寬度方向(X軸方向)的大致中心，設(shè)于比一對擋板53A、53B還靠背面?zhèn)?。軸55為在上下方向上延伸的細(xì)長的圓柱狀，其長度尺寸為收納于后述的上下的X方向軌道34之間的尺寸。軸55在上下的X方向軌道34之間，設(shè)置在與上下的X方向軌道34垂直的方向重疊的位置。在頭部單元50中具備基臺12的共用識別記號和識別基板的基準(zhǔn)標(biāo)記(未圖示)的記號識別裝置56。如圖3所示，記號識別裝置56固定于頭部單元50的下端(比基盤52靠下側(cè))，與頭部單元50 —起向X軸方向和Y軸方向移動。記號識別裝置56整體上在頭部單元50的寬度方向上為細(xì)長的箱型，其一端從頭部單元50的側(cè)面向框架20側(cè)突出，另一端設(shè)置在與頭部單元50的側(cè)面一致的位置。在記號識別裝置56的框架20側(cè)的端部具備CXD照相機57。利用該CCD照相機57和未圖不的多個鏡,能拍攝記號識別裝置56的長邊方向的兩端部的正下方的圖像。頭部單元50由滾珠絲杠驅(qū)動，能沿著臂30在X軸方向上自由移動在。臂30上具備在X軸方向上延伸的滾珠絲杠軸和驅(qū)動該滾珠絲杠軸的伺服馬達(dá)33。另外，在臂30上具備X方向軌道34 (導(dǎo)軌)和能在嵌合于X方向軌道34的狀態(tài)下沿著X方向軌道34移動的X方向滑塊35 (滑動部)。
如圖4所示，X方向軌道34在上下各有I個而設(shè)有一對，均涵蓋臂30在X軸方向上的整個長度而延伸。上側(cè)的X方向軌道34位于比框架20靠上側(cè)的位置，下側(cè)的X方向軌道34位于比框架20靠下側(cè)的位置。上下的X方向軌道34均與框架20的內(nèi)側(cè)面(側(cè)面)交叉并延伸。另外，上下的X方向軌道34的一方的端面處于框架20的內(nèi)側(cè)面，而另一方的端面到達(dá)與臂30的自由端側(cè)的側(cè)面在X軸方向上的位置為相同的位置。X方向滑塊35以2個為一組在上下的X方向軌道34上分別各設(shè)有一組。各X方向滑塊35為與各X方向軌道34嵌合的截面大致U字狀，沿著X方向軌道34形成為細(xì)長的形狀。在各組的滑塊中，2個X方向滑塊35與X方向軌道34的延伸方向相接地設(shè)置而成。X方向滑塊35的移動方向的端面(長邊方向的端面)為在不從X方向軌道34的端面突出的范圍內(nèi)，能沿著X方向軌道34在其整個長度上移動。此外，相連設(shè)置的一組X方向滑塊35的長邊方向的合計尺寸為比基盤52的寬度尺寸大一些的尺寸。如圖5所示，頭部單元50在相對于X方向滑塊35 (—組的X方向滑塊35的連結(jié)體)向臂30的自由端側(cè)錯開的位置固定于X方向滑塊35。由此，頭部單元50的一部分從X方向滑塊35的兩端面中的位于臂30的自由端側(cè)的端面35A向外側(cè)突出。詳細(xì)地說，頭部單元50的寬度方向的大致中心位置固定于X方向滑塊35的端部近傍，少于頭部單元50的寬度方向的一半，也就是說，包含靠頭部單兀50的寬度方向的一端設(shè)置的吸嘴51群(吸嘴的一部分)的范圍從X方向滑塊35的端面35A突出。如圖4所示，在臂30上具備在X軸方向上隔開規(guī)定距離設(shè)置的一對固定限位器36A、36B。一對固定限位器36A、36B中的一方(稱為第I固定限位器36A)設(shè)于臂30的自由端側(cè)，另一方(稱為第2固定限位器36B)設(shè)于臂30的基端側(cè)。兩個固定限位器36A、36B為上下方向(Z軸方向)上長的大致長方形的板狀，與第I固定限位器36A相比，第2固定限位器36B的長度尺寸大。第I固定限位器36A和第2固定限位器36B的上端面的高度位置大致相等。第I固定限位器36A設(shè)于靠上側(cè)的X方向軌道34的位置。第I固定限位器36A的側(cè)面與臂30的側(cè)面和X方向軌道34的端面大致齊平(X軸方向上的位置相同)。另外，第2固定限位器36B與可動部31相鄰設(shè)置。在臂30的自由端側(cè)具備能相對于臂30在Y軸方向上能相對移動的可動限位器37?？蓜酉尬黄?7與第I固定限位器36A的內(nèi)側(cè)(基端側(cè))相鄰設(shè)置，整體上為在Y軸方向上長的形狀(參照圖5)?？蓜酉尬黄?7相對于臂30在Y軸方向上相對移動，由此在向頭頭部單元50的移動區(qū)域突出而限制頭部單元50的移動的移動限制位置(參照圖5)和從頭部單元50的移動區(qū)域退避而允許頭部單元50的移動的移動允許位置(參照圖6)之間移動。在可動限位器37的Y軸方向的一端側(cè)具備限位器部38，所述限位器部38當(dāng)可動限位器37到達(dá)移動限制位置時就向上下的X方向軌道34之間突出。限位器部38中具備擋板(稱為第3擋板39)。第3擋板39包括聚氨酯制的構(gòu)件，在限位器部38的上下方向上成細(xì)長的柱狀。第3擋板39設(shè)于限位器部38的側(cè)面(與第I固定限位器36A相反的一側(cè)的側(cè)面)，在可動限位器37處于移動限制位置時，與頭部單元50的軸55在X軸方向上并排(相對)(參照圖5)。此外，第3擋板39與第I擋板53A和第2擋板53B同樣，不一定由聚氨酯制成，也可以是例如橡膠制成、彈簧等。在可動限位器37的與限位器部38相反的一側(cè)(元件供給部11側(cè))的端部設(shè)有手柄41。作業(yè)員通過握著該手柄41沿Y軸方向推拉，能手動地使臂30沿Y軸方向移動。
在可動限位器37處于移動限制位置時，限位器部38向第I固定限位器36A的內(nèi)側(cè)突出，頭部單元50的移動范圍縮小限位器部38的寬度尺寸的量。另一方面，在可動限位器37處于移動允許位置時，限位器部38從第I固定限位器36A的內(nèi)側(cè)退避，頭部單元50的移動范圍擴大限位器部38的寬度尺寸。關(guān)于頭部單元50的移動范圍，預(yù)先設(shè)定限制值。在本實施方式的元件安裝裝置10中，設(shè)定為在頭部單元50的吸嘴51選出或者安裝電子元件的元件安裝作業(yè)時，可動限位器37設(shè)置于移動限制位置，頭部單元50在第2固定限位器36B與可動限位器37之間移動。另外，設(shè)定為在頭部單元50的記號識別裝置56進(jìn)行識別記號的記號識別作業(yè)時，可動限位器37設(shè)置于移動允許位置，頭部單元50在第2固定限位器36B與第I固定限位器36A之間移動。此外，將元件安裝作業(yè)時的頭部單元50的移動范圍稱為通常移動范圍，將記號識別作業(yè)時的頭部單元50的移動范圍稱為擴張移動范圍。通常移動范圍和擴張移動范圍在一端側(cè)(臂30的基端側(cè))的位置相等。在頭部單元50移動到最靠近所述一端側(cè)時，第I擋板53A的側(cè)面接近第2固定限位器36B設(shè)置。此時，X方向滑塊35分別向框架20的上方和下方突入，頭部單元50的側(cè)面接近框架20的內(nèi)側(cè)面。通常移動范圍和擴張移動范圍在另一端側(cè)(臂30的自由端側(cè))的位置不同。在頭部單元50移動到通常移動范圍的最靠近所述另一端側(cè)時，頭部單元50的軸55接近可動限位器37的第3擋板39。另外，在頭部單元50移動到擴張移動范圍的最靠近另一端側(cè)時，頭部單元50的第2擋板53B接近第I固定限位器36A。此外，在第2擋板53B的角部形成有與后述的可動限位器37的抵接部42的傾斜同等的坡度的傾斜面?？蓜酉尬黄?7具有在移動到移動限制位置時抵接于頭部單元50的軸55的抵接部42。抵接部42設(shè)于限位器部38的頂端，為從X方向軌道34的中心側(cè)朝向自由端側(cè)向頭部單元50的移動區(qū)域突出的尺寸逐漸增加的傾斜面。下面說明元件安裝裝置10進(jìn)行的作業(yè)的一個例子。首先，進(jìn)行記號識別作業(yè)。最初，識別基臺12的共用識別記號。在此，說明基臺12的共用識別記號設(shè)置于基臺12的中心的情況。利用一對相對臂30A、30B中具備的頭部單元50來識別相同的共用識別記號。首先，利用一對相對臂30A、30B中的一方臂30A中具備的頭部單元50進(jìn)行共用識別記號的識別作業(yè)。如圖6所示，在該共用記號識別作業(yè)時，可動限位器37設(shè)置于移動允許位置，頭部單元50能在擴張移動范圍內(nèi)移動。另外，在另一方臂30B中，可動限位器37設(shè)置于移動限制位置，頭部單元50設(shè)置于通常移動范圍內(nèi)。然后，使一方臂30A的頭部單元50移動到擴張移動范圍的端部為止。這樣，利用臂30A中具備的未圖示的傳感器，識別出頭部單元50設(shè)置在擴張移動范圍的端部。此時，頭部單元50的寬度方向上的一端側(cè)比X方向軌道34的端面向外側(cè)突出，記號識別裝置56的端部到達(dá)共用識別記號的正上方。然后，利用記號識別裝置56拍攝并識別基臺12的共用識別記號。當(dāng)共用識別記號的拍攝結(jié)束時，在該一方臂30A中，可動限位器37設(shè)置在移動限制位置，頭部單元50的移動被限制在通常移動范圍內(nèi)。這樣，一旦一個頭部單元50的記號識別作業(yè)結(jié)束，就開始下一個頭部單元50的記號識別作業(yè)。該次頭部單元50的記號識別作業(yè)以與上所述同樣的順序進(jìn)行。此時，先結(jié)束記號識別作業(yè)的頭部單元50設(shè)置在通常移動范圍內(nèi)，因此避免了先結(jié)束記號識別作業(yè)的頭部單元50與下一個進(jìn)行記號識別作業(yè)的頭部單元50的碰撞。一旦利用各頭部單元50中具備的記號識別裝置56識別出了相同的共用識別記號，則根據(jù)分別算出的坐標(biāo)來進(jìn)行各頭部單元50的坐標(biāo)系的校正，以使該坐標(biāo)一致。然而，在記號識別作業(yè)的中途，有時例如所述開閉蓋開啟，由此元件安裝裝置10會緊急停止。這樣，如圖7所示，在記號識別作業(yè)中的臂30中，可動限位器37跳出到移動限制位置，與設(shè)置在擴張移動范圍的端部的頭部單元50的軸55抵接，將該軸55推回X方向軌道34的中心側(cè)。由此，頭部單元50設(shè)置在通常移動范圍內(nèi)，因此在例如作業(yè)員手動使臂30移動的情況下，能防止頭部單元50碰撞到周圍的情況。此外，在可動限位器37推動軸55返回時，軸55發(fā)生旋轉(zhuǎn)，因此該推回變得容易。然后，識別基板的基準(zhǔn)標(biāo)記。各頭部單元50通過識別基板的基準(zhǔn)標(biāo)記來識別基板的固定位置。此外，在基板的基準(zhǔn)標(biāo)記位于基臺12的中心(通常移動范圍內(nèi)的頭部單元50下，成死角的部分)的情況下，與共用記號識別作業(yè)時同樣，將可動限位器37設(shè)置在移動允許位置，使頭部單元50移動到擴張可能范圍的端部來進(jìn)行基準(zhǔn)標(biāo)記的識別作業(yè)。然后，進(jìn)行元件安裝作業(yè)。各頭部單元50根據(jù)基板的固定位置校正電子元件的搭載位置來將電子元件安裝在基板上。在該元件安裝作業(yè)時，可動限位器37設(shè)置在移動限制位置，頭部單元50在通常移動范圍內(nèi)移動。此外，利用臂30中具備的未圖示的傳感器來識別可動限位器37設(shè)置在移動限制位置的情況。另外，在記號識別作業(yè)中、元件安裝作業(yè)中，萬一頭部單元50要與第I固定限位器36A、第2固定限位器36B或者可動限位器37碰撞的情況下，臂30中具備的傳感器察覺到這一點，設(shè)定為使伺服馬達(dá)33的電源關(guān)閉。根據(jù)如上述那樣構(gòu)成的本實施方式，實現(xiàn)以下效果。本實施方式的元件安裝裝置10具備:具備將電子元件安裝到基板的作業(yè)的頭部單元50和使頭部單元50在X軸方向上移動的臂30。臂30具備X方向軌道34和沿著X方向軌道34移動的X方向滑塊35。頭部單元50以至少一部分從X方向滑塊35的移動方向上的端面35A向外側(cè)突出的狀態(tài)固定于X方向滑塊35。由此，在X方向滑塊35移動到X方向軌道34的自由端時，頭部單元50的一部分比X方向軌道34的端面向外側(cè)突出。另外，臂30是X方向滑塊35相對于X方向軌道34移動的I級式的，因此不需要復(fù)雜的控制就能使頭部單元50移動到比X方向軌道34的端面向外側(cè)突出的位置。以一對相對臂30A、30B在X軸方向并排的方式設(shè)有一對臂30。相對臂30A包括具有該相對臂30A的自由端側(cè)的端面(第I端面)的X方向軌道34 (第I導(dǎo)軌)和能沿著該X方向軌道34移動的X方向滑塊35 (第I滑動部)。同樣，相對臂30B包括具有該相對臂30B的自由端側(cè)的端面(第2端面)的X方向軌道34 (第2導(dǎo)軌)和能沿著該X方向軌道34移動的X方向滑塊35 (第2滑動部)。并且，一對相對臂30A、30B以相對臂30A的X方向軌道34的所述端面(第I端面)與相對臂30B的X方向軌道34的所述端面(第2端面)相對的方式設(shè)置于X軸方向。由相對臂30A移動的頭部單元50以至少一部分從X方向滑塊35(第I滑動部)的端面35A向相對臂30B的X方向軌道34的所述端面(第2端面)突出的狀態(tài)固定于X方向滑塊35。另外，由相對臂30B移動的頭部單元50以至少一部分從X方向滑塊35 (第2滑動部)的端面35A向相對臂30A的X方向軌道34的所述端面(第I端面)突出的狀態(tài)固定于X方向滑塊35。由此，在X方向滑塊35移動到X方向軌道34的自由端時，頭部單元50的一部分突出在相對臂30A的X方向軌道34的所述端面(第I端面)與相對臂30B的X方向軌道34的所述端面(第2端面)之間，因此能防止這之間成為死角。在X方向軌道34的基端側(cè)(一端側(cè))具備大致垂直于X方向軌道34的框架20，X方向軌道34與框架20的內(nèi)側(cè)面交叉延伸。在此，在X方向軌道不與框架的內(nèi)側(cè)面交叉而是在其跟前中斷的情況下，頭部單元50的移動范圍就被限制為到框架的跟前為止。然而，X方向軌道34與框架20的內(nèi)側(cè)面交叉延伸，因此頭部單元50能在更大的范圍中移動。由此，即使頭部單元50固定于相對于X方向滑塊35向與框架20相反的一側(cè)偏離的位置，也能防止由于該偏離導(dǎo)致在框架20側(cè)死角變大。另外，臂30具備能在移動限制位置和移動允許位置之間移動的可動限位器37，所述移動限制位置是向頭部單元50的移動區(qū)域突出，限制頭部單元50的移動的位置，所述移動允許位置是從頭部單元50的移動區(qū)域退避，允許頭部單元50的移動的位置。由此，能通過使可動限位器37移動來適當(dāng)改變頭部單元50的移動區(qū)域。當(dāng)對基板的作業(yè)停止時，可動限位器37移動到移動限制位置，抵接于位于X方向軌道34的端部的頭部單元50，頭部單元50被推回X方向軌道34的中心側(cè)。由此，在對基板的作業(yè)停止時，例如在作業(yè)員手動使臂30移動的情況下，能防止頭部單元50與周圍碰撞的情況。另外，可動限位器37的與頭部單元50的軸55抵接的抵接部42為向頭部單元50的移動區(qū)域突出的尺寸從X方向軌道34的中心側(cè)朝向端側(cè)逐漸減少的傾斜面。由此，能利用可動限位器37順利地將頭部單元50推回到X方向軌道34的中心側(cè)。<其它實施方式>本發(fā)明不限于通過所述記載和

的實施方式，例如如下實施方式也包含于本發(fā)明的技術(shù)范圍。( I)在所述實施方式中，示出了將本發(fā)明的基板處理裝置用于對基板安裝電子元件的元件安裝裝置10例子。但是本發(fā)明不限于元件安裝裝置10，能廣泛應(yīng)用于對基板利用頭部單元50進(jìn)行任意處理的各種裝置。(2)在所述實施方式中，示出了將本發(fā)明應(yīng)用于具備多個頭部單元50的元件安裝裝置10的例子。但是本發(fā)明不限于此，本發(fā)明也能應(yīng)用于例如僅具備一個頭部單元的元件
安裝裝置。(3)在所述實施方式中，舉例示出了臂30呈懸臂狀被框架20支撐的情況。但是本發(fā)明不限于此，例如也可以是臂從元件安裝裝置的天井部垂下的情況。(4)在所述實施方式中，不出了頭部單兀50從X方向滑塊35的一方端面35A突出的例子。但是本發(fā)明不限于此，也可以是頭部單元從X方向滑塊的兩方端面向兩側(cè)突出。(5)在所述實施方式中，示出了設(shè)定為在元件安裝作業(yè)時可動限位器37設(shè)置于移動限制位置，頭部單元50在通常移動范圍內(nèi)移動的例子。但是本發(fā)明不限于此，也可以設(shè)定為在元件安裝作業(yè)時中也將可動限位器設(shè)置在移動允許位置，使頭部單元在擴張移動范圍內(nèi)移動。通過這樣設(shè)定，例如能根據(jù)基板的尺寸等將電子元件搭載于位于基臺的中心的區(qū)域，或者將電子元件吸附于位于基臺的中心的區(qū)域。(6)在所述實施方式中，示出了當(dāng)對基板的作業(yè)停止時，可動限位器37移動到移動限制位置而與位于X方向軌道34的端部的頭部單元50的軸55抵接，將頭部單元50推回向X方向軌道34的中心側(cè)的例子。本發(fā)明不限于此，也可以是可動限位器抵接于X方向滑塊，將X方向滑塊推回向X方向軌道的中心側(cè)，由此來推回頭部單元。(7)在所述實施方式中，示出了可動限位器37的抵接部42為傾斜面的例子。本發(fā)明不限于此，例如也可以在頭部單元側(cè)設(shè)置傾斜面。另外，也可以在可動限位器和頭部單元兩方設(shè)置傾斜面。(8 )在所述實施方式中，示出了可動限位器37僅具備臂30的端部的例子。本發(fā)明不限于此，也可以將可動限位器設(shè)于臂的多個部位，由此使頭部單元的移動范圍多級可變。所述具體實施方式
中主要包括具有以下結(jié)構(gòu)的發(fā)明。本發(fā)明所涉及的基板處理裝置包括:頭部單元，對基板進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)；移動裝置，具有導(dǎo)軌和沿著所述導(dǎo)軌移動的滑動部，并且使所述頭部單元沿著一軸方向移動；其中，所述頭部單元以至少一部分從所述滑動部的移動方向的端面向外側(cè)突出的狀態(tài)固定于所述滑動部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在滑動部移動到導(dǎo)軌的端部時，至少頭部單元的一部分相對于導(dǎo)軌的端面突出在外側(cè)。另外，移動裝置是滑動部移動的I級式的裝置，因此不需要復(fù)雜的控制就能將頭部單元移動到相對于導(dǎo)軌的端面突出在外側(cè)的位置。上述結(jié)構(gòu)中較為理想的是，所述移動裝置包括 第I移動裝置，具備(作為所述滑動部的)第I滑動部和 具有第I端面的(作為所述導(dǎo)軌的)第I導(dǎo)軌;第2移動裝置，具備(作為所述滑動部的)第2滑動部和具有第2端面的(作為所述導(dǎo)軌的)第2導(dǎo)軌；其中，所述第I移動裝置和所述第2移動裝置以所述第I端面與所述第2端面相對的方式設(shè)置，由所述第I移動裝置移動的所述頭部單元以該頭部單元的至少一部分從所述第I滑動部的端面向所述第2端面突出的狀態(tài)固定于所述第I滑動部，由所述第2移動裝置移動的所述頭部單元以該頭部單元的至少一部分從所述第2滑動部的端面向所述第I端面突出的狀態(tài)固定于所述第2滑動部。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在所述第I滑動部或所述第2滑動部移動到第I導(dǎo)軌的第I端面或第2導(dǎo)軌的第2端面時，被所述第I移動裝置或被所述第2移動裝置移動的頭部單元的至少一部分突出在所述第I端面和所述第2端面之間，因此能防止這之間成為死角。所述結(jié)構(gòu)中較為理想的是，還包括:框架，設(shè)置在所述導(dǎo)軌的一端側(cè)且垂直于所述導(dǎo)軌；其中，(俯視下)所述導(dǎo)軌以與所述框架的側(cè)面交叉的方式延伸。在此，在導(dǎo)軌不與框架的側(cè)面交叉而是延伸至其跟前而止的情況下，頭部單元的移動范圍被限制為至框架的跟前為止。然而，由于導(dǎo)軌以與框架的側(cè)面交叉的方式延伸，因此頭部單元能在更大的范圍中移動。另外，在該結(jié)構(gòu)中，框架垂直于導(dǎo)軌是指框架正垂直于導(dǎo)軌的配置關(guān)系之外，在能夠消除移動裝置的自由端側(cè)的頭部單元的死角的前提下，還指框架大致垂直于導(dǎo)軌的配置關(guān)系O所述結(jié)構(gòu)中較為理想的是，還包括:框架，設(shè)置在所述導(dǎo)軌的一端側(cè)且垂直于所述導(dǎo)軌；其中，所述移動裝置呈懸臂狀支撐在所述框架上，所述頭部單元以該頭部單元的一部分從所述滑動部的與該滑動部的所述框架側(cè)的端面相反側(cè)的端面突出的方式固定于所述滑動部。在該結(jié)構(gòu)中，在該結(jié)構(gòu)中，框架垂直于導(dǎo)軌是指框架正垂直于導(dǎo)軌的配置關(guān)系之夕卜，在能夠消除移動裝置的自由端側(cè)的頭部單元的死角的前提下，還指框架大致垂直于導(dǎo)軌的配置關(guān)系。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在呈懸臂狀支撐在所述框架上的所述移動裝置的自由端側(cè)，能使頭部單元的一部分相對于導(dǎo)軌的端面向外側(cè)突出。因此，能消除所述移動裝置的自由端側(cè)的頭部單元的死角。所述結(jié)構(gòu)中較為理想的是，所述移動裝置包括能在移動限制位置和移動允許位置之間移動的可動限位器，其中，所述移動限制位置是所述可動限位器突出到所述滑動部或所述頭部單元的移動區(qū)域而限制所述滑動部或所述頭部單元的移動的位置，所述移動允許位置是所述可動限位器從所述滑動部及所述頭部單元的移動區(qū)域退避而允許所述滑動部及所述頭部單元的移動的位置。根據(jù)如此結(jié)構(gòu)，能通過使可動限位器移動來恰當(dāng)變更頭部單元的移動區(qū)域。另外，較為理想的是，所述可動限位器設(shè)置在所述導(dǎo)軌的端部，當(dāng)對所述基板的規(guī)定作業(yè)停止時，所述可動限位器移動到所述移動限制位置并與位于所述導(dǎo)軌的端部的所述滑動部或所述頭部單元抵接，從而所述滑動部或所述頭部單元被推回所述導(dǎo)軌的中心側(cè)。根據(jù)如此結(jié)構(gòu)，在停止對基板的規(guī)定作業(yè)時，頭部單元被引入導(dǎo)軌的中心側(cè)，因此例如在作業(yè)員手動使移動裝置移動的情況下，能防止頭部單元與周圍碰撞的情況。另外，較為理想的是，所述可動限位器具備與所述滑動部或所述頭部單元抵接的抵接部，所述抵接部是隨著從所述導(dǎo)軌的中心側(cè)向端側(cè)延伸而向所述滑動部或所述頭部單元的移動區(qū)域突出的突出尺寸逐漸增加的傾斜面。根據(jù)如此結(jié)構(gòu)，能利用可動限位器將滑動部或者頭部單元順暢地推回導(dǎo)軌的中心側(cè)。所述結(jié)構(gòu)中較為理想的是，所述滑動部能夠在其移動方向的端面不從所述導(dǎo)軌的端面突出的范圍內(nèi)沿著所述導(dǎo)軌在該導(dǎo)軌的全長范圍移動，在所述滑動部的移動方向的端面移動到所述導(dǎo)軌的端面位置的狀態(tài)下，所述頭部單元的一部分從所述導(dǎo)軌的端面向外側(cè)突出。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能使頭部單元的一部分切實地從導(dǎo)軌的端面向外側(cè)突出。在這種情況下較為理想的是，所述頭部單元具備多個吸嘴，該頭部單元的寬度方向的中心位置固定在所述滑動部的端部近傍，在所述滑動部的移動方向的端面移動到所述導(dǎo)軌的端面位置的狀態(tài)下，所述頭部單元的部分所述吸嘴從所述導(dǎo)軌的端面向外側(cè)突出。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能利用頭部單元的從所述導(dǎo)軌的端面向外側(cè)突出的吸嘴來進(jìn)行死角處的作業(yè)。根據(jù)以上說明的本發(fā)明所涉及的基板處理裝置，能提供不需要復(fù)雜的控制就能使頭部單元移動到相對于導(dǎo)軌的端面向外側(cè)突出的位置的基板處理裝置。
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，其特征在于包括: 頭部單元，對基板進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)； 移動裝置，具有導(dǎo)軌和沿著所述導(dǎo)軌移動的滑動部，并且使所述頭部單元沿著一軸方向移動；其中， 所述頭部單元以該頭部單元的至少一部分從所述滑動部的移動方向的端面向外側(cè)突出的狀態(tài)固定于所述滑動部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述移動裝置包括:第I移動裝置，具備第I滑動部和具有第I端面的第I導(dǎo)軌；第2移動裝置，具備第2滑動部和具有第2端面的第2導(dǎo)軌；其中，所述第I移動裝置和所述第2移動裝置以所述第I端面與所述第2端面相對的方式設(shè)置， 由所述第I移動裝置移動的所述頭部單元以該頭部單元的至 少一部分從所述第I滑動部的端面向所述第2端面突出的狀態(tài)固定于所述第I滑動部， 由所述第2移動裝置移動的所述頭部單元以該頭部單元的至少一部分從所述第2滑動部的端面向所述第I端面突出的狀態(tài)固定于所述第2滑動部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于還包括: 框架，設(shè)置在所述導(dǎo)軌的一端側(cè)且垂直于所述導(dǎo)軌；其中， 所述導(dǎo)軌以與所述框架的側(cè)面交叉的方式延伸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于還包括: 框架，設(shè)置在所述導(dǎo)軌的一端側(cè)且垂直于所述導(dǎo)軌；其中， 所述移動裝置呈懸臂狀支撐在所述框架上， 所述頭部單元以該頭部單元的一部分從所述滑動部的與該滑動部的所述框架側(cè)的端面相反側(cè)的端面突出的方式固定于所述滑動部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中的任一項所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述移動裝置包括能在移動限制位置和移動允許位置之間移動的可動限位器，其中，所述移動限制位置是所述可動限位器突出到所述滑動部或所述頭部單元的移動區(qū)域而限制所述滑動部或所述頭部單元的移動的位置，所述移動允許位置是所述可動限位器從所述滑動部及所述頭部單元的移動區(qū)域退避而允許所述滑動部及所述頭部單元的移動的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述可動限位器設(shè)置在所述導(dǎo)軌的端部， 當(dāng)對所述基板的規(guī)定作業(yè)停止時，所述可動限位器移動到所述移動限制位置并與位于所述導(dǎo)軌的端部的所述滑動部或所述頭部單元抵接，從而所述滑動部或所述頭部單元被推回所述導(dǎo)軌的中心側(cè)。
7.在權(quán)利要求6所述的基板處理裝置中，其特征在于， 所述可動限位器具備與所述滑動部或所述頭部單元抵接的抵接部， 所述抵接部是隨著從所述導(dǎo)軌的中心側(cè)向端側(cè)延伸而向所述滑動部或所述頭部單元的移動區(qū)域突出的突出尺寸逐漸增加的傾斜面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述滑動部能夠在其移動方向的端面不從所述導(dǎo)軌的端面突出的范圍內(nèi)沿著所述導(dǎo)軌在該導(dǎo)軌的全長范圍移動，在所述滑動部的移動方向的端面移動到所述導(dǎo)軌的端面位置的狀態(tài)下，所述頭部單元的一部分從所述導(dǎo)軌的端面向外側(cè)突出。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述頭部單元具備多個吸嘴，該頭部單元的寬度方向的中心位置固定在所述滑動部的端部近傍， 在所述滑動部的移動方向的端面移動到所述導(dǎo)軌的端面位置的狀態(tài)下，所述頭部單元的部分所述吸 嘴從所述導(dǎo)軌的端面向外側(cè)突出。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板處理裝置，該基板處理裝置包括頭部單元，對基板進(jìn)行規(guī)定的作業(yè)；移動裝置，具有導(dǎo)軌和沿著所述導(dǎo)軌移動的滑動部，并且使所述頭部單元沿著一軸方向移動；其中，所述頭部單元以至少一部分從所述滑動部的移動方向的端面向外側(cè)突出的狀態(tài)固定于所述滑動部。由此，不進(jìn)行復(fù)雜的控制也能夠使頭部單元移動到相對于導(dǎo)軌的端面突出在外側(cè)的位置。
文檔編號H05K13/04GK103209578SQ20121058007
公開日2013年7月17日 申請日期2012年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月12日
發(fā)明者佐藤利道, 岡田篤史 申請人:雅馬哈發(fā)動機株式會社