專利名稱：一種大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
目前，藍(lán)寶石襯底企業(yè)和LED外延廠商的應(yīng)用都以2英寸和4英寸為主襯底，隨著LED的應(yīng)用越來越廣泛，國內(nèi)外外延廠商逐漸引入4英寸及6英寸外延生產(chǎn)工藝和設(shè)備，4英寸、6英寸藍(lán)寶石襯底將促進(jìn)成本的大幅度降低，對(duì)大尺寸藍(lán)寶石襯底的需求也將迅速升溫，從而促進(jìn)藍(lán)大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐市場(chǎng)需求激增。在晶體的生長(zhǎng)過程中，需要一定的軸向梯度和徑向·梯度。而傳統(tǒng)的藍(lán)寶石泡生爐只能滿足小規(guī)格尺寸藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)，而晶體直徑一旦超過300mm之后，所需要的溫度梯度僅僅靠單一的加熱器已經(jīng)很難形成比較可靠且理想的溫度梯度，導(dǎo)致晶體的良率及品質(zhì)比較低?，F(xiàn)有的實(shí)施方案一如圖1所示，采用單一鳥籠式加熱器01，無底部加熱器；采用單一電源供電，采用2個(gè)半圓形銅環(huán)，多組U型鎢棒的兩端分別固定在2個(gè)半圓形銅環(huán)上，另外有用鶴棒做成的半圓環(huán)固定在U型鶴棒中間,構(gòu)建出鳥籠式鶴棒加熱結(jié)構(gòu)?，F(xiàn)有的藍(lán)寶石泡生爐均采用了鳥籠式鎢棒加熱器，但是存在以下的缺點(diǎn)溫場(chǎng)的結(jié)構(gòu)在加熱器及保溫屏安裝之后，溫場(chǎng)的軸向及徑向溫度梯度都已經(jīng)定型，就是安裝之后熱場(chǎng)的可控調(diào)節(jié)的手段較少，使采用該熱場(chǎng)的藍(lán)寶石爐的長(zhǎng)晶難度大；現(xiàn)有的實(shí)施方案二 側(cè)面加熱器采用2段式加熱，底部為單獨(dú)加熱結(jié)構(gòu)。側(cè)面加熱器由兩個(gè)圖2中的側(cè)面加熱器半分體02結(jié)構(gòu)組成，均采用鎢絲網(wǎng)結(jié)構(gòu)；底面加熱器也采用鎢絲網(wǎng)結(jié)構(gòu)。采用側(cè)面2段鎢絲網(wǎng)+底部鎢絲網(wǎng)加熱，能較好的控制溫度梯度，但是存在底部徑向溫度梯度不均勻，制造加工費(fèi)用昂貴的問題。因此，針對(duì)上述情況，如何改進(jìn)藍(lán)寶石爐的結(jié)構(gòu)，為大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)創(chuàng)造有利的熱場(chǎng)條件，并降低藍(lán)寶石爐的生產(chǎn)成本，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的重要技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明提供了一種大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，以構(gòu)建出一種側(cè)面有一定徑向梯度的溫度場(chǎng)，并配以底部加熱器，形成獨(dú)特的雙加熱器結(jié)構(gòu)的藍(lán)寶石爐，為大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)創(chuàng)造可靠及優(yōu)良的溫場(chǎng)結(jié)構(gòu)，并有效降低藍(lán)寶石爐的生產(chǎn)成本。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案一種大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，包括側(cè)面加熱器，采用兩個(gè)沿軸向通過絕緣件緊固連接的銅環(huán)作為電極，分別為第一銅電極和第二銅電極，在這兩個(gè)銅電極上分別沿周向安裝有多個(gè)U型鎢棒形成筒狀結(jié)構(gòu)作為發(fā)熱體，且所述U型鎢棒在所述第一銅電極和所述第二銅電極上分別按軸對(duì)稱排列方式固定；底部加熱器，采用雙螺旋鎢絲根據(jù)熱場(chǎng)需要構(gòu)建同心發(fā)熱環(huán)，所述雙螺旋鎢絲通過雙螺旋連接螺絲連接于電極板上，底部通過U型支撐鎢棒支撐。優(yōu)選的，兩個(gè)所述銅電極上的所述U型鎢棒相間排布在同一個(gè)圓周上。優(yōu)選的，兩個(gè)所述銅電極上分別開設(shè)有用于安裝所述U型鎢棒的安裝孔，且位于下方的所述第一銅電極的內(nèi)壁上與所述第二銅電極上的安裝孔相對(duì)的位置開設(shè)有凹槽，用于供安裝在所述第二銅電極上的所述U型鎢棒通過。優(yōu)選的，兩個(gè)所述銅電極通過多個(gè)螺栓緊固連接，每個(gè)所述螺栓與所述銅電極之間墊設(shè)有絕緣墊，且兩個(gè)所述銅電極之間設(shè)置有絕緣塊。優(yōu)選的，每個(gè)所述U型鎢棒的頂部固定在所述銅電極的安裝孔上，底部均插入圓形鎢環(huán)，并通過細(xì)的鎢絲捆綁在一起。優(yōu)選的，所述U型支撐鎢棒位于下保溫鑰屏的部分套設(shè)有U型支撐鎢棒絕緣套。優(yōu)選的，所述U型支撐鎢棒的底部插入絕緣圈，固定在底部支撐固定板上。

優(yōu)選的，所述側(cè)面加熱器和所述底部加熱器分別連接于不同的電路，能夠在晶體加工的不同階段調(diào)整所述側(cè)面加熱器以及所述底部加熱器的功率，以滿足晶體不同的階段對(duì)熱場(chǎng)的不同要求。從上述的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明提供的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)包括了側(cè)面加熱器和底部加熱器兩部分，因此該藍(lán)寶石爐可以通過對(duì)側(cè)面加熱器和底部加熱器的功率調(diào)整實(shí)現(xiàn)組合出與藍(lán)寶石在不同的長(zhǎng)晶階段所需要的出不同的熱場(chǎng)，熱場(chǎng)的可調(diào)控組合增多，從而為大規(guī)格藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)創(chuàng)造出有利的熱場(chǎng)條件；并且由上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明所提供的側(cè)面加熱器中采用U型鎢棒作為發(fā)熱體的構(gòu)成部件，并且U型鎢棒在兩個(gè)銅電極上呈軸對(duì)稱的形式排布，從而使側(cè)面加熱器在軸向及徑向上的溫度梯度完全對(duì)稱分布，這不僅為大規(guī)格藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)創(chuàng)造出了均勻的側(cè)面溫度梯度，同時(shí)鎢棒的加工生產(chǎn)成本也明顯低于鎢絲網(wǎng)的生產(chǎn)成本，因而該種側(cè)面加熱器結(jié)構(gòu)還有效降低了整個(gè)藍(lán)寶石爐的生產(chǎn)成本；底部加熱器采用雙螺旋鎢絲根據(jù)熱場(chǎng)需要構(gòu)建同心的發(fā)熱圓環(huán)，與目前采用鎢絲網(wǎng)結(jié)構(gòu)的底部加熱器相比，該種形式的底部加熱器由于為中心對(duì)稱結(jié)構(gòu)，因而使得底部溫度場(chǎng)的徑向溫度梯度更為均勻，從而更有利于大規(guī)格藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)。由此可見，本發(fā)明所提供的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)可以為大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)創(chuàng)造有利的熱場(chǎng)條件，同時(shí)有效降低了藍(lán)寶石爐的生產(chǎn)成本。


為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的單一鳥籠式加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖2為現(xiàn)有技術(shù)中的側(cè)面加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)的示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的雙銅環(huán)側(cè)面加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的底部加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為圖5的俯視圖。在圖3中，I為側(cè)面加熱器，2為坩堝，3為底部加熱器；在圖4中，11為圓形鶴環(huán)，12為U型鶴棒，13為絕緣塊,14為第一銅電極,15為第二銅電極，16為絕緣墊，17為螺栓；在圖5和圖6中，31為雙螺旋鎢絲，32為U型支撐鎢棒，33為下保溫鑰屏，34為電極板，35為絕緣圈，36為底部支撐固定板，37為U型支撐鎢棒絕緣套，38為雙螺旋連接螺絲。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明公開了一種大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)。，構(gòu)建出一種側(cè)面有一定徑向梯度的溫度場(chǎng)，并配以底部加熱器，形成獨(dú)特的雙加熱器結(jié)構(gòu)，為大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)創(chuàng)造可靠及優(yōu)良的溫場(chǎng)結(jié)構(gòu)。 下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖3，圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)的示意圖。本發(fā)明實(shí)施例提供的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，包括側(cè)面加熱器I和底部加熱器3，其中側(cè)面加熱器I是采用雙銅環(huán)作為電極環(huán)，用U型鎢棒12作為發(fā)熱體，并且U型鎢棒12沿兩個(gè)銅電極環(huán)對(duì)稱布置，具體的，請(qǐng)參考圖4，圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的雙銅環(huán)側(cè)面加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖，采用兩個(gè)沿軸向通過絕緣件固定連接的銅環(huán)作為電極，分別為位于下部的第一銅電極14和位于上部的第二銅電極15，然后在這兩個(gè)銅電極上分別沿周向安裝有多個(gè)U型鎢棒12形成筒狀結(jié)構(gòu)作為發(fā)熱體，并且為了保證側(cè)面溫度梯度的均勻性，U型鶴棒12在第一銅電極14和第二銅電極15上按軸對(duì)稱方式固定,該對(duì)稱軸為兩個(gè)銅電極的軸線；底部加熱器3的具體結(jié)構(gòu)請(qǐng)參考圖5和圖6，底部加熱器3的上部為采用雙螺旋鎢絲31根據(jù)熱場(chǎng)的需要所構(gòu)建呈的同心發(fā)熱環(huán)，并且雙螺旋鎢絲31通過雙螺旋連接螺絲38連接于電極板34上，以保證電極板34與雙螺旋鎢絲31的可靠接觸，底部通過U型支撐鎢棒32對(duì)其進(jìn)行支撐。如圖3中所示，坩堝2處于側(cè)面加熱器I的內(nèi)部，底部加熱器3位于坩堝2之下且間隔一定距離，根據(jù)長(zhǎng)晶過程中不同階段對(duì)熱場(chǎng)的不同要求，對(duì)側(cè)面加熱器I和底部加熱器3的功率進(jìn)行調(diào)整，以滿足晶體不同的階段對(duì)熱場(chǎng)的不同要求。由于上述實(shí)施例中的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)包括了側(cè)面加熱器I和底部加熱器3兩部分，因此該藍(lán)寶石爐可以通過對(duì)側(cè)面加熱器I和底部加熱器3的功率調(diào)整實(shí)現(xiàn)組合出與藍(lán)寶石在不同的長(zhǎng)晶階段所需要的出不同的熱場(chǎng)，熱場(chǎng)的可調(diào)控組合增多，從而為大規(guī)格藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)創(chuàng)造出有利的熱場(chǎng)條件；并且由上述實(shí)施例中可以看出，本發(fā)明所提供的側(cè)面加熱器I中采用U型鎢棒12作為發(fā)熱體最基本的構(gòu)成部件，并且U型鎢棒12在兩個(gè)銅電極上呈軸對(duì)稱的形式排布，從而使側(cè)面加熱器I在軸向及徑向上的溫度梯度完全對(duì)稱分布，這不僅為大規(guī)格藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)創(chuàng)造出了均勻的側(cè)面溫度梯度，同時(shí)鎢棒的加工生產(chǎn)成本也明顯低于鎢絲網(wǎng)的生產(chǎn)成本，因而該種側(cè)面加熱器結(jié)構(gòu)還有效降低了整個(gè)藍(lán)寶石爐的生產(chǎn)成本；底部加熱器3采用雙螺旋鎢絲31根據(jù)熱場(chǎng)需要構(gòu)建同心的發(fā)熱圓環(huán)，與目前采用鎢絲網(wǎng)結(jié)構(gòu)的底部加熱器相比，該種形式的底部加熱器由于為中心對(duì)稱結(jié)構(gòu)，因而使得底部溫度場(chǎng)的徑向溫度梯度更為均勻，從而更有利于大規(guī)格藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)。由此可見，本發(fā)明實(shí)施例所提供的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)可以為大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)創(chuàng)造有利的熱場(chǎng)條件，同時(shí)有效降低了藍(lán)寶石爐的生產(chǎn)成本。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述實(shí)施例中的技術(shù)方案，本實(shí)施例中的第一銅電極14和第二銅電極15上的U型鎢棒12優(yōu)選的相間排布在同一圓周上，所謂相間排布是指在同一圓周上的U型鎢棒12，相鄰的兩個(gè)U型鎢棒12均設(shè)置在不同的銅電極上。該種設(shè)置方式可以進(jìn)一步保證由側(cè)面加熱器所產(chǎn)生的熱場(chǎng)的軸向和徑向溫度梯度的均勻性。為了方便U型鎢棒12的安裝，本實(shí)施例中在第一銅電極14和第二銅電極15上均設(shè)置了安裝孔，并且在第一銅電極14的內(nèi)壁上與第二銅電極15安裝孔相對(duì)應(yīng)的位置開設(shè)有用于供安裝在第二銅電極上的U型鎢棒通過的凹槽，當(dāng)然還可以在第一銅電極14與第二銅電極15安裝孔相對(duì)應(yīng)的位置處開設(shè)有供U型鎢棒12通過的通孔。

本實(shí)施例中的第一銅電極14和第二銅電極15通過螺栓17緊固連接，由于第一銅電極14和第二銅電極15為將電流均勻分配到各個(gè)U型鎢棒12上的不同的電力輸送電極，因此兩者之間必須保證絕緣，本實(shí)施例中在每個(gè)螺栓17與銅電極之間均墊設(shè)有絕緣墊16，并且兩個(gè)銅電極之間還設(shè)置有套裝于螺栓17上的絕緣塊13，以防止兩個(gè)電極之間連通。為了防止U型鎢棒12在高溫下由于重力或者其內(nèi)部的應(yīng)力發(fā)生變形，本實(shí)施例中優(yōu)選的將每個(gè)U型鎢棒12的底端均插入到同一個(gè)圓形鎢環(huán)11上，并通過細(xì)鎢絲捆綁在一起，以保持U型鶴棒12在聞溫下的排布結(jié)構(gòu)。底部加熱器中U型支撐鎢棒32穿過下保溫鑰屏33，為了保證U型支撐鎢棒32與下保溫鑰屏33之間的絕緣，本實(shí)施例中在U型支撐鎢棒32位于下保溫鑰屏33的部分套設(shè)了 U型支撐鎢棒絕緣套37。為了進(jìn)一步保證整個(gè)底部加熱器3在高溫狀態(tài)下的穩(wěn)定，本實(shí)施例中將U型支撐棒32的底部均插入到同一個(gè)絕緣圈35內(nèi)，并且絕緣圈35固定在底部支撐固定板36上。側(cè)面加熱器I和底部加熱器3可以連接在相同的電源上，但是為了實(shí)現(xiàn)側(cè)面加熱器I和底部加熱器3功率的單獨(dú)調(diào)節(jié)需要在側(cè)面加熱器I和底部加熱器3上分別設(shè)置各自的功率調(diào)節(jié)裝置，這樣會(huì)導(dǎo)致設(shè)備生產(chǎn)成本較高，為了以較低的生產(chǎn)成本實(shí)現(xiàn)側(cè)面加熱器I和底部加熱器3的單獨(dú)調(diào)節(jié)，本實(shí)施例中的側(cè)面加熱器I和底部加熱器3分別連接于不同的電路，即設(shè)置在不同的電源上，從而能夠在晶體加工的不同階段調(diào)整側(cè)面加熱器I以及底部加熱器3的功率，以滿足晶體不同的階段對(duì)熱場(chǎng)的不同要求。
本說明書中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見即可。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范 圍。
權(quán)利要求
1.一種大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括 側(cè)面加熱器(I )，采用兩個(gè)沿軸向通過絕緣件緊固連接的銅環(huán)作為電極，分別為第一銅電極(14)和第二銅電極(15)，在這兩個(gè)銅電極上分別沿周向安裝有多個(gè)U型鎢棒(12)形成筒狀結(jié)構(gòu)作為發(fā)熱體，且所述U型鎢棒(12)在所述第一銅電極(14)和所述第二銅電極(15)上分別按軸對(duì)稱排列方式固定； 底部加熱器(3)，采用雙螺旋鎢絲(31)根據(jù)熱場(chǎng)需要構(gòu)建同心發(fā)熱環(huán)，所述雙螺旋鎢絲(31)通過雙螺旋連接螺絲(38)連接于電極板(34)上，底部通過U型支撐鎢棒(32)支撐。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，兩個(gè)所述銅電極上的所述U型鎢棒(12)相間排布在同一個(gè)圓周上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，兩個(gè)所述銅電極上分別開設(shè)有用于安裝所述U型鎢棒(12)的安裝孔，且位于下方的所述第一銅電極(14)的內(nèi)壁上與所述第二銅電極(15)上的安裝孔相對(duì)的位置開設(shè)有凹槽，用于供安裝在所述第二銅電極(15)上的所述U型鎢棒(12)通過。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，兩個(gè)所述銅電極通過多個(gè)螺栓(17)緊固連接，每個(gè)所述螺栓(17)與所述銅電極之間墊設(shè)有絕緣墊(16)，且兩個(gè)所述銅電極之間設(shè)置有絕緣塊(13)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，每個(gè)所述U型鎢棒(12)的頂部固定在所述銅電極的安裝孔上，底部均插入圓形鎢環(huán)(11)，并通過細(xì)的 鶴絲擁綁在一起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述U型支撐鎢棒(32 )位于下保溫鑰屏(33 )的部分套設(shè)有U型支撐鎢棒絕緣套(37 )。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述U型支撐鎢棒(32)的底部插入絕緣圈(35)，固定在底部支撐固定板(36)上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述側(cè)面加熱器(I)和所述底部加熱器(3)分別連接于不同的電路，能夠在晶體加工的不同階段調(diào)整所述側(cè)面加熱器(I)以及所述底部加熱器(3)的功率，以滿足晶體不同的階段對(duì)熱場(chǎng)的不同要求。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)，包括側(cè)面加熱器和底部加熱器；其中側(cè)面加熱器采用兩個(gè)沿軸向通過絕緣件緊固連接的銅環(huán)作為電極，分別為第一銅電極和第二銅電極，在這兩個(gè)銅電極上分別沿周向安裝有多個(gè)U型鎢棒形成筒狀結(jié)構(gòu)作為發(fā)熱體，且U型鎢棒在第一銅電極和第二銅電極上分別按軸對(duì)稱排列方式固定；底部加熱器采用雙螺旋鎢絲根據(jù)熱場(chǎng)需要構(gòu)建同心發(fā)熱環(huán)，雙螺旋鎢絲通過雙螺旋連接螺絲連接于電極板上，底部通過U型支撐鎢棒支撐。本發(fā)明所提供的大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石爐雙加熱器結(jié)構(gòu)可以為大規(guī)格尺寸藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)創(chuàng)造有利的熱場(chǎng)條件，同時(shí)有效降低了藍(lán)寶石爐的生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)C30B29/20GK103046135SQ201210587579
公開日2013年4月17日 申請(qǐng)日期2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月28日
發(fā)明者徐永亮, 吳智洪, 劉自強(qiáng) 申請(qǐng)人:上海昀豐新能源科技有限公司