專利名稱：一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種稱重裝置，特別是一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置。
背景技術(shù)：
單晶硅爐主要用于生產(chǎn)硅半導(dǎo)體材料，對(duì)生長(zhǎng)的硅晶體要求實(shí)時(shí)監(jiān)控其重量，是控制硅晶體合格率的有效保證，但傳統(tǒng)的監(jiān)控硅晶體重量的方法是單晶硅爐外用目測(cè)方式通過(guò)測(cè)量其直徑進(jìn)行推算，十分不準(zhǔn)確，不能達(dá)到實(shí)時(shí)監(jiān)控其重量的要求，從而生產(chǎn)出來(lái)的硅晶體質(zhì)量很差，現(xiàn)有的稱重裝置結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，占用空間又非常大，生產(chǎn)效率也低。
發(fā)明內(nèi)容為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、占用空間小、夠?qū)崟r(shí)測(cè)量掌握單晶晶棒重量的單晶實(shí)時(shí)稱重裝置。 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置，包括籽晶繩、滑輪、稱重傳感器，所述的稱重傳感器用螺釘固定在腔體上臂，滑輪與稱重傳感器通過(guò)連接螺釘連接在一起，滑輪一端懸掛有籽晶繩。作為優(yōu)選，滑輪可通過(guò)連接螺釘拉動(dòng)稱重傳感器。本實(shí)用新型通過(guò)連接螺釘將滑輪與稱重傳感器連接在一起，當(dāng)籽晶繩上的晶棒使滑輪受力后通過(guò)連接螺釘拉動(dòng)稱重傳感器，使稱重傳感器產(chǎn)生讀數(shù)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，緊湊，實(shí)時(shí)讀數(shù)。

圖I為本實(shí)用新型的剖視圖。
具體實(shí)施方式
如圖I所示，一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置，包括籽晶繩I、滑輪2、稱重傳感器3，所述的稱重傳感器3用螺釘6固定在腔體5上臂，滑輪2與稱重傳感器3通過(guò)連接螺釘3連接在一起，滑輪2—端懸掛有籽晶繩I。滑輪2可通過(guò)連接螺釘3拉動(dòng)稱重傳感器4。本實(shí)用新型通過(guò)連接螺釘將滑輪與稱重傳感器連接在一起，當(dāng)籽晶繩上的晶棒使滑輪受力后通過(guò)連接螺釘拉動(dòng)稱重傳感器，使稱重傳感器產(chǎn)生讀數(shù)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，緊湊，實(shí)時(shí)讀數(shù)。
權(quán)利要求1.一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置，包括籽晶繩(I)、滑輪(2)、稱重傳感器(3)，其特征在于，所述的稱重傳感器(3)用螺釘(6)固定在腔體(5)上臂，滑輪(2)與稱重傳感器(3)通過(guò)連接螺釘(3)連接在一起，滑輪(2) —端懸掛有籽晶繩(I)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置，其特征在于，滑輪(2)可通過(guò)連接螺釘(3)拉動(dòng)稱重傳感器(4)。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶實(shí)時(shí)稱重裝置，包括籽晶繩、滑輪、稱重傳感器，所述的稱重傳感器用螺釘固定在腔體上臂，滑輪與稱重傳感器通過(guò)連接螺釘連接在一起，滑輪一端懸掛有籽晶繩，滑輪可通過(guò)連接螺釘拉動(dòng)稱重傳感器。本實(shí)用新型通過(guò)連接螺釘將滑輪與稱重傳感器連接在一起，當(dāng)籽晶繩上的晶棒使滑輪受力后通過(guò)連接螺釘拉動(dòng)稱重傳感器，使稱重傳感器產(chǎn)生讀數(shù)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，緊湊，實(shí)時(shí)讀數(shù)。
文檔編號(hào)C30B29/06GK202576653SQ20122003823
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年2月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月7日
發(fā)明者黃永明, 王建文, 陳永華 申請(qǐng)人:浙江百隆機(jī)械有限公司