專利名稱：一種區(qū)熔爐軸承倉(cāng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種非金屬晶體的制造設(shè)備，尤其涉及一種區(qū)熔爐軸承倉(cāng)。
背景技術(shù)：
區(qū)熔爐是一種新型的單晶硅生長(zhǎng)爐，它利用通電線圈將原料硅棒局部加熱熔化，熔區(qū)依靠熔硅的表面張力和加熱線圈提供的磁托浮力而處于懸浮態(tài)，然后從熔區(qū)下方利用旋轉(zhuǎn)著的籽晶將熔硅拉制成單晶硅。區(qū)熔爐生長(zhǎng)的單晶硅產(chǎn)品純度高，各項(xiàng)性能好。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支持材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的主要功能材料。軸承倉(cāng)的作用如下在拉制單晶的時(shí)候，主軸需保持穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)，軸承倉(cāng)里安裝了各種軸承，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與材料選擇可以使主軸穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)，且各密封結(jié)構(gòu)為區(qū)熔爐爐室提 供良好的密封性，整體式安裝使拆裝、維修等更加方便。通常所用的區(qū)熔爐軸承倉(cāng)結(jié)構(gòu)太簡(jiǎn)單，只使用一對(duì)角接觸軸承，采用普通O型圈密封，不帶防塵圈，適用壓力較低，潔凈度低；也有部分軸承倉(cāng)結(jié)構(gòu)太過(guò)復(fù)雜，導(dǎo)致安裝不便，成本高，效果也不甚理想。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，在區(qū)熔爐拉制單晶的時(shí)候，使主軸既能保證穩(wěn)定地轉(zhuǎn)動(dòng)，又能保證良好的密封，使拉出的晶體品質(zhì)更好，效率更高。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的提供一種區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，包括軸承倉(cāng)體，還包括安裝于軸承倉(cāng)體內(nèi)部的軸承倉(cāng)密封套；軸承倉(cāng)體與軸承倉(cāng)密封套之間自上而下安裝有軸承倉(cāng)防塵端蓋、軸承倉(cāng)蓋板、骨架密封安裝架、骨架密封蓋板、角接觸軸承、軸承隔套、深溝球軸承、帶輪隔套和帶輪。作為一種改進(jìn)，所述軸承倉(cāng)密封套與主軸為間隙配合，間隙為O. 12 O. 18mm。作為一種改進(jìn)，所述軸承倉(cāng)密封套內(nèi)上下分別安裝聚四氟套，與主軸配合為過(guò)渡配合，為軸上下運(yùn)動(dòng)提供導(dǎo)向作用。聚四氟套具有低摩擦系數(shù)、耐磨、耐化學(xué)腐蝕、密封性良好、自潤(rùn)滑好、不水解、不變硬等優(yōu)良性能，可以長(zhǎng)期使用。作為一種改進(jìn)，所述軸承倉(cāng)安裝有一個(gè)深溝球軸承，通過(guò)軸承隔套和帶輪隔套固定軸承內(nèi)圈，不承受軸向力。作為一種改進(jìn)，所述軸承倉(cāng)安裝有一對(duì)精密角接觸軸承，可以承受雙向作用力，其固定方式為利用軸承倉(cāng)體的凸肩固定軸承外圈，利用軸承倉(cāng)密封套凸肩和軸承隔套固定軸承內(nèi)圈，以承受軸向力。作為一種改進(jìn)，所述防塵圈安裝于軸承倉(cāng)防塵端蓋上。作為一種改進(jìn)，所述骨架密封安裝架與軸承倉(cāng)密封套之間設(shè)旋轉(zhuǎn)密封圈。作為一種改進(jìn)，所述軸承倉(cāng)密封套與主軸間采用X型密封圈密封，非圓形截面，避免在往復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生滾動(dòng)。[0015]作為一種改進(jìn)，所述骨架密封安裝架與軸承倉(cāng)體之間設(shè)O型密封圈。旋轉(zhuǎn)密封采用泛塞封。泛塞封結(jié)構(gòu)精巧，可安裝于標(biāo)準(zhǔn)的O形環(huán)溝槽，非常潔凈，不會(huì)污染制程，摩擦系數(shù)極低，即使在極低速應(yīng)用亦非常平順，毫無(wú)滯滑效應(yīng)。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型的有益效果在于本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了在主軸上下運(yùn)動(dòng)的時(shí)候，與主軸的同步轉(zhuǎn)動(dòng)，聚四氟套使主軸上下運(yùn)動(dòng)更加平穩(wěn)，各類密封圈與密封結(jié)構(gòu)組成了一密封性能良好的系統(tǒng)，軸承倉(cāng)設(shè)計(jì)的整體式安裝使安裝十分方便靈活。通過(guò)帶輪能夠帶動(dòng)軸承內(nèi)圈和軸承倉(cāng)密封套與主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，使主軸與軸承倉(cāng)密封套密封更加簡(jiǎn)單，更加有效。

圖I為本實(shí)用新型軸承倉(cāng)結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為軸向剖視圖； 圖3為圖I的俯視示意圖。圖中1軸承倉(cāng)防塵端蓋、2軸承倉(cāng)蓋板、3骨架密封安裝架、4骨架密封蓋板、5角接觸軸承、6軸承隔套、7深溝球軸承、8帶輪隔套、9帶輪、10、聚四氟套、11軸承倉(cāng)體、12軸承倉(cāng)密封套、13X型密封圈、14旋轉(zhuǎn)密封圈、150型密封圈、16防塵圈。
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)圖I至3，該區(qū)熔爐軸承倉(cāng)包括軸承倉(cāng)防塵端蓋I、軸承倉(cāng)蓋板2、骨架密封安裝架3、骨架密封蓋板4、角接觸軸承5、軸承隔套6、深溝球軸承7、帶輪隔套8、帶輪9、聚四氟套10、軸承倉(cāng)體11、軸承倉(cāng)密封套12、X型密封圈13、旋轉(zhuǎn)密封圈14、0型密封圈15、防塵圈16。防塵圈16安裝于軸承倉(cāng)防塵端蓋I上，軸承倉(cāng)密封套12安裝于軸承倉(cāng)體11內(nèi)部，軸承倉(cāng)體11與軸承倉(cāng)密封套12之間自上而下安裝有軸承倉(cāng)防塵端蓋I、軸承倉(cāng)蓋板2、骨架密封安裝架3、骨架密封蓋板4、角接觸軸承5、軸承隔套6、深溝球軸承7、帶輪隔套8和帶輪9，軸承倉(cāng)密封套12內(nèi)部安裝有聚四氟套10。軸承倉(cāng)密封套12與主軸采用間隙配合，間隙約O. 12 O. 18mm,使主軸更容易安裝，軸承倉(cāng)密封套12內(nèi)上下各安裝有聚四氟套10，與主軸配合為過(guò)渡配合，為軸上下運(yùn)動(dòng)提供導(dǎo)向作用。軸承倉(cāng)內(nèi)安裝成對(duì)角接觸軸承5，可以承受雙向作用力，其固定利用軸承倉(cāng)體11的凸肩固定軸承外圈，軸承密封套12凸肩和軸承隔套6固定軸承內(nèi)圈，以承受軸向力；下端深溝球軸承7采用軸承隔套6與帶輪隔套8固定軸承內(nèi)圈，不承受軸向力。本實(shí)用新型是這樣工作的參見(jiàn)圖3，主軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，驅(qū)動(dòng)主軸旋轉(zhuǎn)的機(jī)構(gòu)也驅(qū)動(dòng)帶輪9旋轉(zhuǎn),帶輪9再帶動(dòng)軸承倉(cāng)密封套12旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)與主軸的同步轉(zhuǎn)動(dòng),主軸上下運(yùn)動(dòng)時(shí)，聚四氟套10提供導(dǎo)向與摩擦作用，4道X型密封圈13提供良好的密封性。
權(quán)利要求1.一種區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，包括軸承倉(cāng)體，其特征在于，還包括安裝于軸承倉(cāng)體內(nèi)部的軸承倉(cāng)密封套；軸承倉(cāng)體與軸承倉(cāng)密封套之間自上而下安裝有軸承倉(cāng)防塵端蓋，軸承倉(cāng)蓋板，骨架密封安裝架、骨架密封蓋板、角接觸軸承、軸承隔套、深溝球軸承、帶輪隔套和帶輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，其特征在于，所述軸承倉(cāng)密封套與主軸為間隙配合，間隙為0. 12 0. 18mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，其特征在于，所述軸承倉(cāng)密封套內(nèi)上下分別安裝聚四氟套，與主軸配合為過(guò)渡配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，其特征在于，所述深溝球軸承通過(guò)軸承隔套和帶輪隔套固定軸承內(nèi)圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，其特征在于，所述角接觸軸承有兩對(duì)，其固定方式為利用軸承倉(cāng)體的凸肩固定軸承外圈，利用軸承倉(cāng)密封套凸肩和軸承隔套固定軸承內(nèi)圈。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5任意一項(xiàng)中所述的區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，其特征在于，所述軸承倉(cāng)防塵端蓋內(nèi)還安裝有防塵圈。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至5任意一項(xiàng)中所述的區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，其特征在于，所述骨架密封安裝架與軸承倉(cāng)密封套之間設(shè)旋轉(zhuǎn)密封圈。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至5任意一項(xiàng)中所述的區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，其特征在于，所述軸承倉(cāng)密封套與主軸間采用X型密封圈密封。
9.根據(jù)權(quán)利要求I至5任意一項(xiàng)中所述的區(qū)熔爐軸承倉(cāng)，其特征在于，所述骨架密封安裝架與軸承倉(cāng)體之間設(shè)O型密封圈。
專利摘要本實(shí)用新型涉及非金屬晶體的制造設(shè)備，旨在提供一種區(qū)熔爐軸承倉(cāng)。包括軸承倉(cāng)體、安裝于軸承倉(cāng)體內(nèi)部的軸承倉(cāng)密封套；軸承倉(cāng)體與軸承倉(cāng)密封套之間自上而下安裝有軸承倉(cāng)防塵端蓋、軸承倉(cāng)蓋板、骨架密封安裝架、骨架密封蓋板、角接觸軸承、軸承隔套、深溝球軸承、帶輪隔套和帶輪。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)了在主軸上下運(yùn)動(dòng)的時(shí)候，與主軸的同步轉(zhuǎn)動(dòng)，聚四氟套使主軸上下運(yùn)動(dòng)更加平穩(wěn)，各類密封圈與密封結(jié)構(gòu)組成了一密封性能良好的系統(tǒng)，軸承倉(cāng)設(shè)計(jì)的整體式安裝使安裝十分方便靈活。通過(guò)帶輪能夠帶動(dòng)軸承內(nèi)圈和軸承倉(cāng)密封套與主軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)，使主軸與軸承倉(cāng)密封套密封更加簡(jiǎn)單，更加有效。
文檔編號(hào)C30B13/00GK202576637SQ20122004066
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年2月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月8日
發(fā)明者石剛, 歐陽(yáng)鵬根, 曹建偉, 傅林堅(jiān), 陳明杰, 王丹濤, 邱敏秀, 蔣慶良 申請(qǐng)人:浙江晶盛機(jī)電股份有限公司