專利名稱：一種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種自動(dòng)清洗設(shè)備，特別是ー種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備。
背景技術(shù)：
一般金屬材料含有少量雜質(zhì)時(shí)，電阻率變化不大,但純凈的半導(dǎo)體材料摻入少量的雜質(zhì)后，則導(dǎo)致電阻率變化巨大，這是半導(dǎo)體材料的基本特性。多晶硅、籽 晶、母合金等半導(dǎo)體產(chǎn)品不但在生產(chǎn)、加工、運(yùn)輸、儲(chǔ)存過(guò)程中會(huì)被沾污，也會(huì)被空氣中的油、水蒸汽、塵埃等污染。所以，在使用前需進(jìn)行酸洗以去除雜質(zhì)等。目前對(duì)多晶硅、籽晶、母合金等半導(dǎo)體產(chǎn)品酸洗主要是人工進(jìn)行，存在勞動(dòng)強(qiáng)度大、生產(chǎn)效率低、酸洗品質(zhì)不一致等缺點(diǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容實(shí)用新型目的針對(duì)上述問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)，保證酸洗品質(zhì)的一致性。技術(shù)方案一種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備，包括清洗制具、驅(qū)動(dòng)裝置和控制器，所述控制器對(duì)所述清洗制具的清洗時(shí)間和振動(dòng)頻率進(jìn)行控制，所述驅(qū)動(dòng)裝置提供動(dòng)カ給所述清洗制具。所述清洗制具由耐酸和耐高溫的材料制造而成。有益效果與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)自動(dòng)化設(shè)備完成對(duì)多晶硅等半導(dǎo)體的清洗，與人工清洗的操作手法一致，自動(dòng)化控制有利于提高酸洗品質(zhì)的一致性，減少勞力，提高酸洗的生產(chǎn)效率，而且對(duì)整塊材料可以直接清洗，減少材料損耗。

附圖圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖圖I和具體實(shí)施例，進(jìn)ー步闡明本實(shí)用新型，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍，在閱讀了本實(shí)用新型之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)本實(shí)用新型的各種等價(jià)形式的修改均落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求所限定的范圍。如附圖圖I所示，一種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備，包括清洗制具I、驅(qū)動(dòng)裝置2和控制器3，清洗制具I由耐酸和耐高溫的材料制造而成，適應(yīng)酸性工作條件，控制器3對(duì)設(shè)置清洗時(shí)間和振動(dòng)頻率等參數(shù)，對(duì)清洗制具I的工作進(jìn)行控制，驅(qū)動(dòng)裝置2提供清洗制具I工作所需的動(dòng)力。
權(quán)利要求1.一種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備，包括清洗制具(I)、驅(qū)動(dòng)裝置(2)和控制器(3)，其特征在于所述控制器(3)對(duì)所述清洗制具(I)的清洗時(shí)間和振動(dòng)頻率進(jìn)行控制，所述驅(qū)動(dòng)裝置(2 )提供動(dòng)カ給 所述清洗制具(I)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備，其特征在于所述清洗制具(I)由耐酸和耐高溫的材料制造而成。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品的自動(dòng)酸洗設(shè)備，包括清洗制具、驅(qū)動(dòng)裝置和控制器，所述控制器對(duì)所述清洗制具的清洗時(shí)間和振動(dòng)頻率進(jìn)行控制，所述驅(qū)動(dòng)裝置提供動(dòng)力給所述清洗制具。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是通過(guò)自動(dòng)化設(shè)備完成對(duì)多晶硅等半導(dǎo)體的清洗，與人工清洗的操作手法一致，自動(dòng)化控制有利于提高酸洗品質(zhì)的一致性，減少勞力，提高酸洗的生產(chǎn)效率，而且對(duì)整塊材料可以直接清洗，減少材料損耗。
文檔編號(hào)C30B33/10GK202643917SQ20122014973
公開日2013年1月2日 申請(qǐng)日期2012年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月9日
發(fā)明者張燕青, 龔海燕 申請(qǐng)人:鎮(zhèn)江大成新能源有限公司