專利名稱:一種可多次加料的單晶爐的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及ー種生產(chǎn)單晶硅的設備,特別是ー種可多次加料的單晶爐。
背景技術:
目前生產(chǎn)單晶硅棒時,對單晶爐按最大固化硅料投料量投料,硅料在石英堝里完全融化后,也只是占了石英堝容積的大約三分之ニ,受單晶爐結構和生產(chǎn)エ藝程序限制,生產(chǎn)過程中無法再次加料,因而生產(chǎn)裝置系統(tǒng)利用率不高,這也影響了單晶硅棒的拉制長度。
實用新型內(nèi)容實用新型目的針對上述問題,本實用新型的目的是提供一種可多次加料的單晶 爐,提高生產(chǎn)系統(tǒng)的利用率,滿足單晶硅棒拉制長度的需要。技術方案一種可多次加料的單晶爐,包括爐體、所述爐體內(nèi)部的石英堝,還包括加料裝置,向所述石英堝內(nèi)投料。所述加料裝置包括供料漏斗、供料盤、加料管、振動器,所述加料裝置位于所述爐體外部,所述加料管穿過所述爐體伸向所述石英堝,所述供料漏斗內(nèi)的物料在所述振動器的作用下落入所述供料盤,再通過所述加料管送入所述石英堝。有益效果與現(xiàn)有技術相比,本實用新型的優(yōu)點是在單晶爐的生產(chǎn)過程中,根據(jù)石英堝內(nèi)物料塌料情況或單晶硅棒的拉制長度需求,通過加料裝置對石英堝內(nèi)多次加料,增大投料量,提高石英堝的容積利用率,盡量達到生產(chǎn)最大化。
附圖圖I為本實用新型結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖圖I和具體實施例,進ー步闡明本實用新型,應理解這些實施例僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍,在閱讀了本實用新型之后,本領域技術人員對本實用新型的各種等價形式的修改均落于本申請所附權利要求所限定的范圍。如附圖圖I所示,一種可多次加料的單晶爐,包括爐體I、爐體I內(nèi)部的石英堝2、加料裝置,加料裝置包括供料漏斗3、供料盤4、加料管6、振動器5,加料裝置位于爐體I外部,加料管6穿過爐體I伸向石英堝2,供料漏斗3內(nèi)的物料在振動器5的作用下落入供料盤4,再通過加料管6送入石英堝2進行投料。生產(chǎn)過程中,當石英堝內(nèi)的硅料塌料后,石英堝的容積未被充滿,此時即可啟動加料裝置,進行投料。
權利要求1.一種可多次加料的單晶爐,包括爐體(I)、所述爐體(I)內(nèi)部的石英堝(2),其特征在于還包括加料裝置,向所述石英堝(2)內(nèi)投料。
2.根據(jù)權利要求I所述的ー種可多次加料的單晶爐,其特征在于所述加料裝置包括供料漏斗(3)、供料盤(4)、加料管(6)、振動器(5),所述加料裝置位于所述爐體(I)外部,所述加料管(6 )穿過所述爐體(I)伸向所述石英堝(2 ),所述供料漏斗(3 )內(nèi)的物料在所述振動器(5 )的作用下落入所述供料盤(4 ),再通過所述加料管(6 )送入所述石英堝(2 )。
專利摘要本實用新型公開了一種可多次加料的單晶爐,包括爐體、所述爐體內(nèi)部的石英堝,還包括加料裝置,向所述石英堝內(nèi)投料。本實用新型的優(yōu)點是在單晶爐的生產(chǎn)過程中,根據(jù)石英堝內(nèi)物料塌料情況或單晶硅棒的拉制長度需求,通過加料裝置對石英堝內(nèi)多次加料,增大投料量,提高石英堝的容積利用率,盡量達到生產(chǎn)最大化。
文檔編號C30B15/00GK202643887SQ20122014973
公開日2013年1月2日 申請日期2012年4月9日 優(yōu)先權日2012年4月9日
發(fā)明者張燕青 申請人:鎮(zhèn)江大成新能源有限公司