專利名稱：一種用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于晶體制造技術(shù)領(lǐng)域，涉及ー種可調(diào)節(jié)密封裝置，尤其涉及ー種用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置。
背景技術(shù)：
藍(lán)寶石是ー種氧化鋁(Ci-Al2O3)的單晶，俗稱剛玉，是由三個(gè)氧原子和兩個(gè)鋁原子以共價(jià)鍵形式結(jié)合，屬于六方晶系。其熔點(diǎn)為2050°C，沸點(diǎn)為2980°C，最高工作溫度可達(dá)1900°C，是ー種較早開發(fā)應(yīng)用的人工晶體材料。藍(lán)寶石晶體材料的化學(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定，一般不溶于水，不受酸、堿腐蝕；藍(lán)寶石晶體硬度與耐磨性能高，為莫氏硬度9級(jí)，僅次于最硬的金剛石，可作為精密機(jī)械的軸承材料；它具有很好的力學(xué)和光學(xué)性能，是ー種理想的光學(xué)窗ロ材料。另外，藍(lán)寶石晶體材料是使用最廣泛的氧化物襯底材料之一，在微電子-光電子技木、通信、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。·藍(lán)寶石晶體材料的生長目前已有很多種方法,主要有泡生法(Kyropolous法，簡稱 Ky 法)、導(dǎo)模法(即 Edge Defined Film-fed Growth techniques 法，簡稱 EFG 法)、熱交換法(即Heat Exchange Method法,簡稱HEM法),提拉法(Czochralski法，簡稱Cz法)，布里奇曼法(Bridgman法,相·禍下降法)等。現(xiàn)今最常用的方法為泡生法，使用的密封裝置多為波紋管，但其成本高、強(qiáng)度低，無法耐高溫，而且其位置無法移動(dòng)。本實(shí)用新型就是為克服以上缺點(diǎn)而設(shè)計(jì)的。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供ー種用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，可解決波紋管成本高、強(qiáng)度低，無法耐高溫且其位置無法移動(dòng)的問題。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案ー種用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，所述密封裝置包括上拉桿、上壓蓋、上密封端蓋、壓カ調(diào)節(jié)活塞桿、內(nèi)螺紋活塞缸、油倉外殼、下密封端蓋、下壓蓋、上密封圈、下密封圈；所述上壓蓋與上密封端蓋固定連接，上密封圈置于上壓蓋與上密封端蓋之間；所述下壓蓋與下密封端蓋固定連接，下密封圈置于下壓蓋與下密封端蓋之間；所述壓カ調(diào)節(jié)活塞桿與活塞缸連接，活塞缸的一端伸入油倉外殼內(nèi)形成的密封腔，另一端設(shè)置于油倉外殼的外部；壓力調(diào)節(jié)活塞桿與活塞缸配合調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)的壓力。作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述上壓蓋和上密封端蓋使用螺栓和螺母固定。作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述上壓蓋、上密封端蓋為中間開孔、靠近邊緣處帶有定位螺栓和螺紋孔的圓柱體，用于壓緊和固定上密封圈；作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述下壓蓋與下密封端蓋也使用螺栓螺母固定。[0014]作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述下密封端蓋、下壓蓋為中間開孔、靠近邊緣處帶有定位螺栓和螺紋孔的圓柱體，用來壓緊并固定下密封圏。作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述活塞缸內(nèi)部設(shè)有內(nèi)螺紋，壓カ調(diào)節(jié)活塞桿設(shè)有外螺紋，壓カ調(diào)節(jié)活塞桿與活塞缸通過內(nèi)外螺紋連接。作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述上拉桿為圓柱體狀光滑拉桿，是需要密封的可移動(dòng)部件。作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述上拉桿為籽晶拉桿或稱重裝置。作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選方案，所述油倉外殼呈圓柱狀，其高度為5 30cm。本實(shí)用新型的有益效果在于本實(shí)用新型提出的用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，能夠達(dá)到自由調(diào)節(jié)的密封效果；同時(shí)，本實(shí)用新型密封裝置結(jié)構(gòu)緊湊，且可以上下移動(dòng)； 與傳統(tǒng)使用的波紋管相比，該裝置具有上下雙層密封環(huán)，密封效果更好；且不受行程的限制；還能適應(yīng)高溫的環(huán)境，成本低、加工方便且更為耐用，適合晶體生長條件。

圖I為本實(shí)用新型可調(diào)節(jié)密封裝置的裝配示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例。實(shí)施例一請參閱圖1，本實(shí)用新型掲示了ー種用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，所述密封裝置包括上拉桿I、上壓蓋2、上密封端蓋3、壓カ調(diào)節(jié)活塞桿4、內(nèi)螺紋活塞缸5、油倉外殼
6、下密封端蓋7、下壓蓋8、上密封圈9、下密封圈10。上拉桿I為圓柱體狀光滑拉桿，是需要密封的可移動(dòng)部件，如籽晶拉桿，稱重裝置。上壓蓋2和上密封端蓋3使用螺栓和螺母固定，上密封圈9放置在兩者中間。具體地，本實(shí)施例中，如圖I所示，上壓蓋2和上密封端蓋3為中間開孔、靠近邊緣處帶有定位螺栓和螺紋孔的圓柱體，用于壓緊和固定上密封圈9。壓カ調(diào)節(jié)活塞桿4和內(nèi)螺紋活塞缸5使用內(nèi)外螺紋連接；壓カ調(diào)節(jié)活塞桿4和內(nèi)螺紋活塞缸5分別為帶有外螺紋的活塞桿和帶有內(nèi)螺紋的活塞缸，兩者配合用來調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)的壓力。油倉外殼6呈圓柱狀，其高度可以為5 30cm。本實(shí)施例中，油倉外殼6的高度為20cmo下密封端蓋7和下壓蓋8也使用螺栓螺母固定，下密封圈10置于兩者中間。本實(shí)施例中，如圖I所示，下密封端蓋7和下壓蓋8為中間開孔、靠近邊緣處帶有定位螺栓和螺紋孔的圓柱體，用來壓緊并固定下密封圈10。上拉桿I、上壓蓋2、上密封端蓋3、壓カ調(diào)節(jié)活塞桿4、內(nèi)螺紋活塞缸5、油倉外殼
6、下密封端蓋7、下壓蓋8所選用的材料可以為金屬材料，如不銹鋼、鑰或者鎢；也可以為非金屬材料，如陶瓷。上密封圈9、下密封圈10所選用材料可以為聚四氟こ烯。綜上所述，本實(shí)用新型提出的用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，能夠達(dá)到自由調(diào)節(jié)的密封效果；同時(shí)，本實(shí)用新型密封裝置結(jié)構(gòu)緊湊，且可以上下移動(dòng)；與傳統(tǒng)使用的波紋管相比，該裝置具有上下雙層密封環(huán)，密封效果更好；且不受行程的限制；還能適應(yīng)高溫的環(huán)境，成本低、加工方便且更為耐用，適合晶體生長條件。 這里本實(shí)用新型的描述和應(yīng)用是說明性的，并非想將本實(shí)用新型的范圍限制在上述實(shí)施例中。這里所披露的實(shí)施例的變形和改變是可能的，對于那些本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說實(shí)施例的替換和等效的各種部件是公知的。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該清楚的是，在不脫離本實(shí)用新型的精神或本質(zhì)特征的情況下，本實(shí)用新型可以以其它形式、結(jié)構(gòu)、布置、比例，以及用其它組件、材料和部件來實(shí)現(xiàn)。在不脫離本實(shí)用新型范圍和精神的情況下，可以對這里所披露的實(shí)施例進(jìn)行其它變形和改變?！?br> 權(quán)利要求1.ー種用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，其特征在于，所述密封裝置包括 上拉桿、上壓蓋、上密封端蓋、壓カ調(diào)節(jié)活塞桿、內(nèi)螺紋活塞缸、油倉外殼、下密封端蓋、下壓蓋、上密封圈、下密封圈； 所述上壓蓋與上密封端蓋固定連接，上密封圈置于上壓蓋與上密封端蓋之間； 所述下壓蓋與下密封端蓋固定連接，下密封圈置于下壓蓋與下密封端蓋之間； 所述壓カ調(diào)節(jié)活塞桿與活塞缸連接，活塞缸的一端伸入油倉外殼內(nèi)形成的密封腔，另一端設(shè)置于油倉外殼的外部；壓力調(diào)節(jié)活塞桿與活塞缸配合調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)的壓力。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，其特征在于 所述上壓蓋和上密封端蓋使用螺栓和螺母固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，其特征在于 所述上壓蓋、上密封端蓋為中間開孔、靠近邊緣處帶有定位螺栓和螺紋孔的圓柱體，用于壓緊和固定上密封圈；
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，其特征在于 所述下壓蓋與下密封端蓋也使用螺栓螺母固定。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，其特征在于 所述下密封端蓋、下壓蓋為中間開孔、靠近邊緣處帶有定位螺栓和螺紋孔的圓柱體，用來壓緊并固定下密封圏。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，其特征在于 所述活塞缸內(nèi)部設(shè)有內(nèi)螺紋，壓カ調(diào)節(jié)活塞桿設(shè)有外螺紋，壓カ調(diào)節(jié)活塞桿與活塞缸通過內(nèi)外螺紋連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，其特征在于 所述上拉桿為圓柱體狀光滑拉桿，是需要密封的可移動(dòng)部件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，其特征在于 所述上拉桿為籽晶拉桿或稱重裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，其特征在于 所述油倉外殼呈圓柱狀，其高度為5 30cm。
專利摘要本實(shí)用新型揭示了一種用于藍(lán)寶石生長的可調(diào)節(jié)密封裝置，包括上拉桿、上壓蓋、上密封端蓋、壓力調(diào)節(jié)活塞桿、內(nèi)螺紋活塞缸、油倉外殼、下密封端蓋、下壓蓋、上密封圈、下密封圈；上壓蓋與上密封端蓋固定連接，上密封圈置于上壓蓋與上密封端蓋之間；下壓蓋與下密封端蓋固定連接，下密封圈置于下壓蓋與下密封端蓋之間；壓力調(diào)節(jié)活塞桿與活塞缸連接，活塞缸的一端伸入油倉外殼內(nèi)形成的密封腔，另一端設(shè)置于油倉外殼的外部；壓力調(diào)節(jié)活塞桿與活塞缸配合調(diào)節(jié)密封腔內(nèi)的壓力。本實(shí)用新型能夠達(dá)到自由調(diào)節(jié)的密封效果；同時(shí)，密封裝置結(jié)構(gòu)緊湊，且可以上下移動(dòng)；與傳統(tǒng)使用的波紋管相比，該裝置具有上下雙層密封環(huán)，密封效果更好，且不受行程的限制。
文檔編號(hào)C30B17/00GK202610383SQ20122024775
公開日2012年12月19日 申請日期2012年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月29日
發(fā)明者劉琛, 陳文淵, 劉一凡, 孫大偉 申請人:上海中電振華晶體技術(shù)有限公司