專利名稱：石墨堝及包括該石墨堝的單晶爐的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及硅單晶制備裝置，具體而言，涉及ー種石墨堝及包括該石墨堝的單晶爐。
背景技術：
單晶爐是在惰性氣體環(huán)境中，采用加熱器，將硅材料熔化，并采用直拉法生長無位 錯單晶的設備。如圖I所示，石墨堝是單晶爐熱場的重要組成部件之一，其堝體10’可以在高溫狀態(tài)下支撐石英堝，起到對石英堝的保護作用。但是，由于石英堝的高度一般與石墨堝齊平，所以出爐時，石英堝不容易從石墨堝中取出；此外，硅材料熔化時，硅液經常會濺射到石墨堝的上沿。如果不及時清理沾在石墨堝上沿的硅液，在高溫狀態(tài)下，硅液會浸入到石墨堝內部，對石墨堝造成污染，所以單晶爐毎次運行結束后都需要將石墨堝取出，并對其上沿表面沾染的硅液進行清洗。清洗硅液一般是選用砂輪機進行打磨，但是經常打磨會導致石墨堝上沿破損嚴重，還會導致石墨堝受到應カ沖擊，無法對石英堝提供牢靠的保護，同時石墨堝上沿浸染有硅液的部位容易出現(xiàn)裂紋，影響了石墨堝的使用壽命，由于石墨堝為一體成型，當上沿出現(xiàn)裂紋后，雖然堝體10’還完好無損，但仍然需要對石墨堝的整體進行更換，増加了維修成本。

實用新型內容本實用新型g在提供ー種石墨堝及包括該石墨堝的單晶爐，可以只更換損壞的石墨堝的上沿，而保留石墨堝的堝體，降低維修成本，同時可以方便石英堝的取出。為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實用新型的ー個方面，提供了ー種石墨堝，包括禍體；堝沿，沿堝體的上端面延伸，且與堝體可拆卸地連接。進ー步地，堝體的上端面設置有第一定位臺階，堝沿的下端面設置有與第一定位臺階相配合的第二定位臺階。進ー步地，堝沿有多個，多個堝沿沿堝體的周向方向在堝體的上端面串接。進ー步地，相鄰的兩個堝沿的串接端之間具有間隙。進ー步地，堝沿與堝體螺接固定。根據(jù)本實用新型的另一方面，提供了ー種單晶爐，包括石墨堝，石墨堝為前述的石
星禍O應用本實用新型的技術方案，通過使石墨堝的堝體與堝沿之間可拆卸地連接，當堝沿損壞時，只需要將堝沿從石墨堝的堝體上拆除，并更換新的堝沿即可，無需更換整個石墨堝，降低了維修成本。同時，由于拆下堝沿后，堝體上端面低于位于堝體內部的石英堝的上端面，所述石英堝可以很方便地取出。

構成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進ー步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中圖I示出了現(xiàn)有技術中的石墨堝的結構示意圖；圖2示出了根據(jù)本實用新型的實施例的石墨堝的主視圖；圖3示出了根據(jù)圖2的石墨堝的俯視圖；以及圖4示出了根據(jù)圖3的石墨堝的俯視圖的A處局部放大圖。
具體實施方式
下面將參考附圖并結合實施例來詳細說明本實用新型。需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。如圖2至4所示，根據(jù)本實用新型的實施例，提供了ー種石墨堝，包括堝體10和堝沿20。其中堝沿20位于堝體10的上端面，沿堝體10的上端面延伸，且與堝體10可拆卸地連接。當硅料浸入堝沿20難以清除，或堝沿20因反復打磨而產生裂痕時，只需要更換堝沿20即可，不再需要更換整個石墨堝，節(jié)約了維修成本。同時，由于堝沿20可拆卸，所以出爐后，拆下堝沿20的堝體10的高度會低于石英堝的高度，可以方便石英堝的取出。為了使堝沿20在堝體10上放置更加穩(wěn)固，在堝體10的上端面設置有第一定位臺階，堝沿20的下端面設置有與第一定位臺階相配合的第二定位臺階，使堝沿20卡設在堝體10上。這種拼接結構加工簡單，且拼接方式簡便易行。為了方便堝沿20從堝體10上取下，在堝沿20的上端面設置有便于夾持的斜面21，使堝沿20的上端面與外部的加熱器之間產生空間，方便堝沿20的拆卸。這里的斜面21也可以設置為弧形面、L形面或其他形狀，只要能在堝沿20與外部加熱器之間產生便于夾持的空間即可。為了方便堝沿20的加工，可以將堝沿20分為多個，本實施例中，堝沿20的數(shù)量為三個，實際操作中也可以根據(jù)需要設置不同數(shù)量的堝沿20。多個堝沿20在堝體10的上端面設置，沿堝體10的周向方向在堝體10上串接。為了防止熱脹冷縮效應使相鄰兩個堝沿20之間產生擠壓，相鄰的兩個堝沿20的串接端之間保留有條縫狀的間隙，且串接端靠近堝沿20的內壁的ー側為弧形結構。為了防止堝沿20從堝體10上脫落，在堝沿20與堝體10之間采用螺釘連接固定。根據(jù)本實用新型的另ー個實施例，提供了ー種單晶爐，包括石墨堝，該石墨堝為前述任一種的石星禍。從以上的描述中，可以看出，本實用新型上述的實施例實現(xiàn)了如下技術效果通過使石墨堝的堝體與堝沿之間可拆卸地連接，當堝沿損壞時，只需要將堝沿從石墨堝的堝體上拆除，并更換新的堝沿即可，無需更換整個石墨堝，降低了維修成本。同吋，由于拆下堝沿后，堝體上端面低于位于堝體內部的石英堝的上端面，所述石英堝可以很方便地取出。以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.ー種石墨堝，其特征在于，包括 堝體(10)； 堝沿(20)，沿所述堝體(10)的上端面延伸，且與所述堝體(10)可拆卸地連接。
2.根據(jù)權利要求I所述的石墨堝，其特征在于，所述堝體(10)的上端面設置有第一定位臺階，所述堝沿(20)的下端面設置有與所述第一定位臺階相配合的第二定位臺階。
3.根據(jù)權利要求I所述的石墨堝，其特征在于，所述堝沿(20)有多個，多個所述堝沿(20)沿所述堝體(10)的周向方向在所述堝體(10)的上端面串接。
4.根據(jù)權利要求3所述的石墨堝，其特征在于，相鄰的兩個所述堝沿(20)的串接端之間具有間隙。
5.根據(jù)權利要求I至4中任一項所述的石墨堝，其特征在于，所述堝沿(20)與所述堝體(10)螺接固定。
6.ー種單晶爐，包括石墨堝，其特征在于，所述石墨堝為權利要求I至5中任一項所述的石星禍。
專利摘要本實用新型提供了一種石墨堝及包括該石墨堝的單晶爐。其中石墨堝包括堝體(10)；堝沿(20)，沿堝體(10)的上端面延伸，且與堝體(10)可拆卸地連接。采用本實用新型的石墨堝及包括該石墨堝的單晶爐，可以只更換損壞的石墨堝的上沿，而保留石墨堝的堝體，降低維修成本，同時可以方便石英堝的取出。
文檔編號C30B15/10GK202626350SQ201220313160
公開日2012年12月26日 申請日期2012年6月29日 優(yōu)先權日2012年6月29日
發(fā)明者白劍銘, 孫二凱 申請人:英利能源(中國)有限公司