專(zhuān)利名稱(chēng)：一種籽晶桿裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體晶體生長(zhǎng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種籽晶桿裝置。
背景技術(shù)：
提拉法生長(zhǎng)晶體所用的籽晶桿通常由一根一端帶有螺紋、另一端割有多道槽的實(shí)心桿狀結(jié)構(gòu)組成。帶螺紋端與旋轉(zhuǎn)提拉裝置螺接，帶槽端可將鉬金絲綁在槽上，做一個(gè)接頭，然后將綁好籽晶的鉬金絲固定到接頭上。這種裝置存在著較大的缺陷在晶體生長(zhǎng)完成 取出時(shí)，需要將籽晶桿螺紋端與旋轉(zhuǎn)提拉裝置旋開(kāi)，以便將晶體從爐膛中取出，然而針對(duì)大尺寸晶體，在籽晶桿與旋轉(zhuǎn)提拉裝置旋開(kāi)過(guò)程中由于晶體的重力作用，籽晶桿螺紋端容易卡死，晶體難以取出，若強(qiáng)行扭轉(zhuǎn)，將對(duì)晶體造成影響；另外，將籽晶直接綁于桿上，使籽晶和轉(zhuǎn)動(dòng)裝置之間難于保持同心轉(zhuǎn)動(dòng)，影響晶體成品率。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種可將籽晶桿與旋轉(zhuǎn)提拉裝置輕松裝卸、籽晶對(duì)中性較好的籽晶桿裝置。按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述籽晶桿裝置，它包括上籽晶桿、下籽晶桿、第一連接塊、第二連接塊與撐緊套，第二連接塊的上段與第一連接塊為相互配合的半圓柱形，上籽晶桿的下段嵌裝在第一連接塊與第二連接塊的上段內(nèi)部，下籽晶桿的上段插裝在第二連接塊的下段內(nèi)部。所述上籽晶桿的下端部具有下凸臺(tái)，在上籽晶桿內(nèi)開(kāi)設(shè)有冷卻內(nèi)腔。所述下籽晶桿的上端部具有上凸臺(tái)，在上凸臺(tái)的外部套接有所述的撐緊環(huán)，在上凸臺(tái)下方的下籽晶桿上套接有撐緊套，所述撐緊套的下段為倒圓錐形。所述下籽晶桿的下段部為呈3/4圓柱形或者圓臺(tái)形的籽晶安裝段，在籽晶安裝段上形成1/4所述圓柱形或者圓臺(tái)形的籽晶安裝缺口，在籽晶安裝缺口的籽晶安裝段上沿著其周向開(kāi)設(shè)有固定槽。所述第一連接塊與第二連接塊配合面形狀為L(zhǎng)形。在所述第一連接塊上開(kāi)設(shè)有第一連接孔，在第二連接塊上開(kāi)設(shè)有第二連接孔，第一連接孔與第二連接孔配合。在第二連接塊的下段內(nèi)腔具有和倒圓錐形撐緊套下段形狀配合的內(nèi)腔面。在所述下凸臺(tái)的下端面與上凸臺(tái)的上端面之間設(shè)有墊片。本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)1、籽晶桿采用上籽晶桿和下籽晶桿通過(guò)由第一、二連接塊構(gòu)成的連接器進(jìn)行連接的結(jié)構(gòu)，解決了傳統(tǒng)籽晶桿與旋轉(zhuǎn)提拉裝置旋開(kāi)過(guò)程中由于晶體的重力作用、籽晶桿螺紋端容易卡死、導(dǎo)致晶體難以取出的難題，只需將鑰絲松開(kāi)，并將第二聯(lián)接塊取下，就可方便快捷的將上籽晶桿和下籽晶桿分離，繼而將晶體與旋轉(zhuǎn)提拉裝置分離，將晶體取出；[0013]2、籽晶桿采用下端為開(kāi)有多道固定槽的圓柱缺塊狀結(jié)構(gòu)，在綁上籽晶后，其對(duì)中心性較好，防止了籽晶桿在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中擺動(dòng)對(duì)晶體生長(zhǎng)質(zhì)量的影響。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1的A— A剖視圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。 如圖所示該籽晶桿裝置，它包括上籽晶桿1、下籽晶桿2、第一連接塊3、第二連接塊4與撐緊套5，第二連接塊4的上段與第一連接塊3為相互配合的半圓柱形，上籽晶桿I的下段嵌裝在第一連接塊3與第二連接塊4的上段內(nèi)部，下籽晶桿2的上段插裝在第二連接塊4的下段內(nèi)部。所述上籽晶桿I的下端部具有下凸臺(tái)7，在上籽晶桿I內(nèi)開(kāi)設(shè)有冷卻內(nèi)腔14，所述冷卻內(nèi)腔14為從上籽晶桿I的上端面沿著上籽晶桿I的軸線(xiàn)從上往下開(kāi)設(shè)的盲孔。所述下籽晶桿2的上端部具有上凸臺(tái)8，在上凸臺(tái)8的外部套接有所述的撐緊環(huán)6，在上凸臺(tái)8下方的下籽晶桿2上套接有撐緊套5，所述撐緊套5的下段為倒圓錐形。所述下籽晶桿2的下段部為呈3/4圓柱形或者圓臺(tái)形的籽晶安裝段，在籽晶安裝段上形成1/4所述圓柱形或者圓臺(tái)形的籽晶安裝缺口 9，在籽晶安裝缺口 9的籽晶安裝段上沿著其周向開(kāi)設(shè)有固定槽10。所述第一連接塊3與第二連接塊4配合面形狀為L(zhǎng)形，方便配合安裝。在所述第一連接塊3上開(kāi)設(shè)有第一連接孔11，在第二連接塊4上開(kāi)設(shè)有第二連接孔12，第一連接孔11與第二連接孔12配合。在第二連接塊4的下段內(nèi)腔具有和倒圓錐形撐緊套5下段形狀配合的內(nèi)腔面。在所述下凸臺(tái)7的下端面與上凸臺(tái)8的上端面之間設(shè)有墊片13。第一連接塊3與第二連接塊4組合形成連接器，上籽晶桿I與下籽晶桿2在連接器內(nèi)安裝后，上籽晶桿I與下籽晶桿2呈同軸設(shè)置。第一連接塊3與第二連接塊4的上段內(nèi)部具有與上籽晶桿I的下段形狀配合的內(nèi)腔。上籽晶桿I的制作材料為不銹鋼，下籽晶桿2、第一連接塊3與第二連接塊4的制作材料為鎢材料、鑰或者為鎢鑰合金。工作時(shí)，先將下籽晶桿2置于第二連接塊4的下段內(nèi)部，再將上籽晶桿I置于連接器的第一連接塊3與第二連接塊4的上段之間，最后將第一連接塊3與第二連接塊4的上段通過(guò)第一連接孔11與第二連接孔12內(nèi)穿過(guò)的鑰絲綁緊結(jié)合，使上籽晶桿I和下籽晶桿2緊固于連接器中，進(jìn)行籽晶生長(zhǎng)晶體。生長(zhǎng)完成后，將鑰絲松開(kāi)，將第一連接塊3直接取下，和旋轉(zhuǎn)提拉裝置連接的上籽晶桿I就可以取出，然后依次取出墊片13、撐緊環(huán)6和撐緊套5，最后輕松將與下籽晶桿2連接的晶體取出。
權(quán)利要求1.一種籽晶桿裝置，其特征是它包括上籽晶桿(I)、下籽晶桿(2)、第一連接塊(3)、第二連接塊(4)與撐緊套(5)，第二連接塊(4)的上段與第一連接塊(3)為相互配合的半圓柱形，上籽晶桿(I)的下段嵌裝在第一連接塊(3)與第二連接塊(4)的上段內(nèi)部，下籽晶桿(2) 的上段插裝在第二連接塊(4)的下段內(nèi)部。
2.如權(quán)利要求1所述的籽晶桿裝置，其特征是所述上籽晶桿(I)的下端部具有下凸臺(tái)(7)，在上籽晶桿(I)內(nèi)開(kāi)設(shè)有冷卻內(nèi)腔(14)。
3.如權(quán)利要求1所述的籽晶桿裝置，其特征是所述下籽晶桿(2)的上端部具有上凸臺(tái)(8)，在上凸臺(tái)(8)的外部套接有所述的撐緊環(huán)(6)，在上凸臺(tái)(8)下方的下籽晶(2)上套接有撐緊套(5)，所述撐緊套(5)的下段為倒圓錐形。
4.如權(quán)利要求1所述的籽晶桿裝置，其特征是所述下籽晶桿(2)的下段部為呈3/4圓柱形或者圓臺(tái)形的籽晶安裝段，在籽晶安裝段上形成1/4所述圓柱形或者圓臺(tái)形的籽晶安裝缺口(9)，在籽晶安裝缺口(9)的籽晶安裝段上沿著其周向開(kāi)設(shè)有固定槽(10)。
5.如權(quán)利要求1所述的籽晶桿裝置，其特征是所述第一連接塊(3)與第二連接塊(4) 的上段相配合的面形狀為L(zhǎng)形。
6.如權(quán)利要求1所述的籽晶桿裝置，其特征是在所述第一連接塊(3)上開(kāi)設(shè)有第一連接孔(11)，在第二連接塊(4)上開(kāi)設(shè)有第二連接孔(12)，第一連接孔(11)與第二連接孔(12)配合，在第二連接塊(4)的下段內(nèi)腔具有和倒圓錐形撐緊套(5)下段形狀配合的內(nèi)腔面。
7.如權(quán)利要求2所述的籽晶桿裝置，其特征是在所述下凸臺(tái)(7)的下端面與上凸臺(tái)(8)的上端面之間設(shè)有墊片(13)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種籽晶桿裝置，它包括上籽晶桿、下籽晶桿、第一連接塊、第二連接塊與撐緊套，所述撐緊套的下段為倒圓錐形，第二連接塊的上段與第一連接塊為相互配合的半圓柱形，上籽晶桿的下段嵌裝在第一連接塊與第二連接塊的上段內(nèi)部，下籽晶桿的上段插裝在第二連接塊的下段內(nèi)部。本實(shí)用新型可方便快捷的將上籽晶桿和下籽晶桿分離，將晶體取出，在綁上籽晶后，其對(duì)中心性較好。
文檔編號(hào)C30B15/32GK202830221SQ20122032781
公開(kāi)日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年7月6日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月6日
發(fā)明者黃小衛(wèi), 方建東, 楊寧, 孫曉曉 申請(qǐng)人:元亮科技有限公司