專利名稱：太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶。
背景技術(shù)：
太陽能電池制作過程中的擴(kuò)散工序是在P型硅上沉積一層磷原子來形成PN結(jié)，現(xiàn)在大部分采用液態(tài)源進(jìn)行擴(kuò)散。主要是利用氮?dú)馔ㄈ胧⒂腥妊趿椎氖⒃雌恐袛y帶三氯氧磷蒸汽到擴(kuò)散爐管內(nèi)。三氯氧磷與氧氣反應(yīng)生成單質(zhì)磷，并在高溫下趨入硅基體內(nèi)形成N型半導(dǎo)體。在現(xiàn)有技術(shù)中，擴(kuò)散工序所用的石英源瓶如圖I所示，包括石英源瓶瓶身1-1，源瓶的進(jìn)氣管1-2、出氣管1-3、熱電偶探頭套管1-4。進(jìn)氣管1-2和出氣管1-3在源瓶頂面的兩側(cè)，進(jìn)氣管1-2底部不密封，進(jìn)氣管1-2底部距源瓶底10mm，用于通入氮?dú)鈹y帶三氯氧磷蒸汽經(jīng)源瓶出氣管1-3進(jìn)入高位擴(kuò)散爐內(nèi)。熱電偶探頭套管1-4底部密封，使用過程中向熱電偶探頭套管里加入導(dǎo)熱油后將熱電偶探頭插入該套管1-4中，用于檢測(cè)液態(tài)源的溫度。在生產(chǎn)過程中，隨著液態(tài)源(三氯氧磷)逐漸減少，由于采用單根進(jìn)氣管通氮?dú)獾姆绞剑瑒t進(jìn)入瓶中的氮?dú)馀c液態(tài)源的接觸面積也減少，產(chǎn)生的源蒸汽(三氯氧磷蒸汽)變少，因此帶入高溫?cái)U(kuò)散爐管內(nèi)的蒸汽逐漸變少。通常源瓶中液面高度在20mm時(shí)就需要更換三氯氧磷，這樣不僅增加生產(chǎn)中三氯氧磷的耗損量，也會(huì)因廢棄的三氯氧磷不便處理，給環(huán)境帶來壓力。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述不足，提供一種使得瓶?jī)?nèi)液面在很低(20mm)的時(shí)候也能保證足夠的源蒸汽，提高了三氯氧磷使用率的同時(shí)，也可以減小環(huán)境壓力的太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶。為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為一種太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶，包括瓶身，進(jìn)氣管，出氣管和熱電偶探頭套管；所述的進(jìn)氣管包括豎管，連接于豎管下端與豎管連通的橫管，所示的橫管上設(shè)置若干出氣孔。采用上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)進(jìn)氣管通入氮?dú)鈺r(shí)，氮?dú)饩涂梢匝刂Q管進(jìn)入橫管再經(jīng)過設(shè)置的若干出氣孔均勻而又全方位的鼓出，與周圍的液態(tài)源充分接觸，增加了接觸面積，當(dāng)液態(tài)源在液面很低時(shí)仍可增加液態(tài)源的蒸汽，從而減少三氯氧磷的損失。作為優(yōu)選，所述的橫管與瓶身的底部距離為2飛mm，目的是可以使橫管上的出氣孔在源瓶?jī)?nèi)的位置盡量低，從而可以增加氮?dú)庠谝簯B(tài)源中的行程，增加液態(tài)源產(chǎn)生的蒸汽。作為優(yōu)選，所述的橫管為環(huán)形管或多邊形管，這樣均可以達(dá)到增加氮?dú)馀c液體源接觸面積的效果。作為進(jìn)一步優(yōu)選，所述的橫管為環(huán)形管，所述的環(huán)形管上的出氣孔沿著環(huán)形管圓周均勻分布，從而充分保證氮?dú)馀c液態(tài)源均勻接觸。作為優(yōu)選，所述的橫管上均勻分布10 50個(gè)直徑Imm 5mm的出氣孔。作為優(yōu)選，所述橫管上的出氣孔其出氣口豎直向下，以增加氮?dú)庠谝后w源中的行程，從而更加充分的利用液態(tài)源。

圖I現(xiàn)有技術(shù)中的石英源瓶結(jié)構(gòu)示意圖。如圖所示1-1.瓶身、1-2.進(jìn)氣管、1-3.出氣管、1-4.熱電偶探頭套管。圖2本實(shí)用新型石英源瓶結(jié)構(gòu)示意圖。圖3本實(shí)用新型石英源瓶仰視圖結(jié)構(gòu)示意圖(瓶身以透明材料示例)。如圖所不1.瓶身、2.進(jìn)氣管、2-1.豎管、2-2.橫管、2-3.出氣孔、3.出氣管、4.熱電偶探頭套管。具體實(shí)施方法
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型的太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶，包括瓶身1，設(shè)置于瓶身I上部的進(jìn)氣管2、出氣管3和熱電偶探頭套管4 ;所述的進(jìn)氣管2包括豎管2-1，和連接于豎管2-1下端與豎管連通的橫管2-2，所示的橫管2-2上設(shè)置有若干出氣孔2-3。采用上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)向進(jìn)氣管2通入氮?dú)鈺r(shí)，氮?dú)饩涂梢匝刂Q管2-1進(jìn)入橫管2-2再經(jīng)過設(shè)置的若干出氣孔2-3均勻而又全方位的鼓出，與周圍的液態(tài)源充分接觸，增加了接觸面積，當(dāng)液態(tài)源在液面很低時(shí)仍可增加液態(tài)源的蒸汽，從而減少三氯氧磷的損失。為了可以使橫管上的出氣孔在源瓶?jī)?nèi)位置處于低位、增加氮?dú)庠谝簯B(tài)源中的行程，充分利用液態(tài)源，從而增加液態(tài)源產(chǎn)生的蒸汽，作為優(yōu)選，所述的橫管2-3與瓶身I的底部距離為5mm。本實(shí)用新型所述的橫管如圖3所示優(yōu)選為環(huán)形管，環(huán)形管上的出氣孔沿著管體圓周均勻分布，從而充分保證氮?dú)馀c液態(tài)源均勻接觸。如圖3所示，本實(shí)用新型的出氣孔設(shè)置有15個(gè)。出氣孔的出氣口方向豎直向下，從而增加鼓出的氮?dú)庠谝簯B(tài)源中的行程。本實(shí)用新型的石英源瓶的橫管可以為三角形、四角形等等，不僅僅局限于環(huán)形管。
權(quán)利要求1.一種太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶，包括瓶身(1)，進(jìn)氣管(2)，出氣管(3)和熱電偶探頭套管(4)，其特征在于所述的進(jìn)氣管(2)包括豎管(2-1)，連接于豎管(2-1)下端與豎管連通的橫管(2-2)，所示的橫管(2-2)上設(shè)置有若干出氣孔(2-3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶，其特征在于所述的橫管(2-2)與瓶身(I)的底部距離為2飛mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶，其特征在于所述的橫管(2-2)為環(huán)形管或多邊形管。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶，其特征在于所述的橫管(2-2)為環(huán)形管，所述的環(huán)形管上的出氣孔(2-3)沿著環(huán)形管圓周均勻分布。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶，其特征在于所述的橫管(2-2)上均勻分布10 50個(gè)直徑Imm 5mm的出氣孔(2-3)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶，其特征在于所述橫管(2-2)上的出氣孔(2-3)的出氣口方向豎直向下。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種太陽能電池?cái)U(kuò)散用石英源瓶，包括瓶身(1)，進(jìn)氣管(2)，出氣管(3)和熱電偶探頭套管(4)，其特征在于所述的進(jìn)氣管(2)包括豎管(2-1)，連接于豎管(2-1)下端與豎管連通的橫管(2-2)，所示的橫管(2-2)上設(shè)置有若干出氣孔(2-3)。本實(shí)用新型具有使得瓶?jī)?nèi)液面在很低的時(shí)候也能保證足夠的源蒸汽，提高了三氯氧磷使用率的同時(shí)，也可以減小環(huán)境壓力的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C30B31/16GK202786519SQ20122045596
公開日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年9月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月7日
發(fā)明者吳艷芬, 余濤, 劉偉, 陳筑, 劉曉巍, 詹國(guó)平 申請(qǐng)人:寧波尤利卡太陽能科技發(fā)展有限公司