專(zhuān)利名稱(chēng):?jiǎn)尉t及其加熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域,具體而言,涉及一種單晶爐及其加熱器。
背景技術(shù):
作為清潔環(huán)保的新能源,太陽(yáng)能電池的應(yīng)用越來(lái)越普及。在太陽(yáng)能電池的制作過(guò)程中,單晶爐是一種常用的設(shè)備,它是一種在惰性氣體環(huán)境中,采用石墨電阻加熱器將硅材料熔化,并采用直拉法生長(zhǎng)無(wú)位錯(cuò)單晶的設(shè)備。單晶爐在運(yùn)行時(shí)由于爐內(nèi)溫度較高,導(dǎo)致石墨坩堝與硅蒸氣發(fā)生反應(yīng),長(zhǎng)時(shí)間使用后石墨坩堝的強(qiáng)度會(huì)降低,出現(xiàn)石墨坩堝斷裂事故。當(dāng)石墨坩堝斷裂后出現(xiàn)的縫隙容易引起支撐在石墨坩堝上端的石英坩堝破裂,導(dǎo)致盛放在石英坩堝內(nèi)的高溫硅液從石英坩堝中流出,沿著石墨坩堝斷裂處流下。單晶爐內(nèi)繞著石英坩堝的周向設(shè)置有供單晶爐加熱的發(fā)熱部件加熱器。加熱器是單晶爐熱場(chǎng)的重要組成部件之一,如圖1所示時(shí),加熱器包括加熱器本體11’、支撐部12’以及導(dǎo)流面13’,其中支撐部12’是加熱器與石墨電極的連接部件,通過(guò)設(shè)置在加熱器支撐部12’上的螺栓將加熱器固定在石墨電極上。當(dāng)高溫硅液沿著石墨坩堝斷裂處流下時(shí),由于位于加熱器底部的支撐部12’正位于石墨坩堝正下方,會(huì)有硅液流到支撐部12’上,高溫硅液會(huì)沿著支撐部12’的末端導(dǎo)流面13’直接流到石墨電極上,最終流到石墨電極底部,燙壞單晶爐爐底板,嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞爐底板,導(dǎo)致其內(nèi)部的冷卻水溢出。由于單晶爐正處于高溫狀態(tài),溢出的冷卻水在高溫下汽化,導(dǎo)致?tīng)t內(nèi)壓力劇增,容易發(fā)生爆炸事故。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型旨在提供一種單晶爐及其加熱器,能夠解決石墨坩堝斷裂時(shí)高溫硅液流到單晶爐底板上導(dǎo)致單晶 爐易爆的技術(shù)問(wèn)題。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本實(shí)用新型的一個(gè)方面,提供了一種單晶爐加熱器,包括:加熱器本體,加熱器本體呈筒狀結(jié)構(gòu);以及支撐部,設(shè)置在加熱器本體的沿軸線(xiàn)方向的一端并形成沿徑向向內(nèi)延伸的徑向延伸部,徑向延伸部的內(nèi)側(cè)端部具有與底面相交以沿徑向向內(nèi)導(dǎo)流的傾斜導(dǎo)流面。進(jìn)一步地,傾斜導(dǎo)流面為平面,并與底面形成銳角。進(jìn)一步地,銳角α設(shè)置為30彡α彡60。進(jìn)一步地,傾斜導(dǎo)流面為弧形面。進(jìn)一步地,弧形面為內(nèi)凹的弧形面。進(jìn)一步地,傾斜導(dǎo)流面與底面相交的一端具有突出于底面的凸起部。 進(jìn)一步地,支撐部為多個(gè),多個(gè)支撐部沿加熱器本體的周向均勻設(shè)置。根據(jù)本申請(qǐng)的另一方面,提供了一種單晶爐,包括石英坩堝以及繞著石英坩堝的外周側(cè)設(shè)置的加熱器,加熱器為上述任一種的加熱器。進(jìn)一步地,還包括石墨坩堝,石墨坩堝設(shè)置在石英坩堝和加熱器之間并包覆著石英坩堝。進(jìn)一步地,還包括石墨電極,其中石墨電極設(shè)置在加熱器的支撐部下端,支撐部通過(guò)螺栓固定在石墨電極上,其中支撐部的傾斜導(dǎo)流面向外延伸至石墨電極的徑向外側(cè)。應(yīng)用本實(shí)用新型的技術(shù)方案對(duì)加熱器進(jìn)行改進(jìn),通過(guò)在加熱器本體的沿軸線(xiàn)方向的一端設(shè)置支撐部并沿徑向向內(nèi)延伸形成徑向延伸部,在徑向延伸部的內(nèi)側(cè)端部具有與底面相交以沿徑向向內(nèi)導(dǎo)流的傾斜導(dǎo)流面,當(dāng)硅液發(fā)生泄漏流到加熱器上時(shí),由于位于加熱器上傾斜導(dǎo)流面的存在,該傾斜導(dǎo)流面起到了液體導(dǎo)流的作用,防止了硅液沿著下端面回流的現(xiàn)象,這樣硅液沿著傾斜導(dǎo)流面直接流到位于爐底上方的護(hù)盤(pán)壓片上,避免了硅液流到單晶爐爐底發(fā)生爆炸事故的發(fā)生。
構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書(shū)附圖用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解,本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本實(shí)用新型,并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)中的加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖;以及圖2示出了根據(jù)本實(shí)用新型一種典型實(shí)施例的加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為圖2的俯視圖;以及圖4示出了本實(shí)用新型典型實(shí)施例的含有加熱器的單晶爐的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
需要說(shuō)明的是,在不沖突的情況下,本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型。根據(jù)本實(shí)用新型的一種典型實(shí)施例,單晶爐加熱器10包括加熱器本體11以及支撐部12,其中加熱器本體11呈筒狀結(jié)構(gòu),支撐部12設(shè)置在加熱器本體11的沿軸線(xiàn)方向的一端并形成沿徑向向內(nèi)延伸的徑向延伸部,徑向延伸部的內(nèi)側(cè)端部具有與底面相交以沿徑向向內(nèi)導(dǎo)流的傾斜導(dǎo)流面13。通過(guò)在加熱器本體11的沿軸線(xiàn)方向的一端設(shè)置支撐部12并沿徑向向內(nèi)延伸形成徑向延伸部,在徑向延伸部的內(nèi)側(cè)端部具有與底面相交以沿徑向向內(nèi)導(dǎo)流的傾斜導(dǎo)流面13,當(dāng)硅液發(fā)生泄漏流到加熱器上時(shí),由于位于加熱器上傾斜導(dǎo)流面13的存在,該傾斜導(dǎo)流面13起到了液體導(dǎo)流的作用,防止了硅液沿著下端面回流的現(xiàn)象,這樣硅液沿著傾斜導(dǎo)流面13直接流到位于爐底上方的護(hù)盤(pán)壓片上,避免了硅液流到單晶爐爐底發(fā)生爆炸事故的發(fā)生。如圖2至圖3所示,傾斜導(dǎo)流面13位平面,并與底面形成銳角。具有上述結(jié)構(gòu)的傾斜導(dǎo)流面13具有更好的導(dǎo)流作用,避免了硅液沿著傾斜導(dǎo)流面13發(fā)生回流的現(xiàn)象。優(yōu)選地,銳角α設(shè)置為30 < α <60。本實(shí)用新型的導(dǎo)流面13并不局限于光滑的平面,也可為弧形面。如導(dǎo)流面13呈內(nèi)凹的弧形面或。本領(lǐng)域技術(shù)人員很容易想象到內(nèi)凹的弧形面形狀,本實(shí)用型不再一一示出。根據(jù)本實(shí)用新型的一種優(yōu)選實(shí)施例,傾斜導(dǎo)流面13與底面相交的一端具有突出于底面的凸起部。在傾斜導(dǎo)流面13的末端形成凸起部,完全杜絕了硅液發(fā)生沿著底面發(fā)生回流的現(xiàn)象。根據(jù)本實(shí)用新型的一種典型實(shí)施例,支撐部12為多個(gè),多個(gè)支撐部12沿加熱器本體11的周向均勻地設(shè)置。優(yōu)選支撐部12為四個(gè),均勻地設(shè)置在筒狀加熱器本體11的下端起到支撐加熱器本體11的作用。根據(jù)本實(shí)用新型的另一方面,如圖4所示,提供了一種單晶爐。該單晶爐包括石英坩堝20以及繞著石英坩堝20的外周側(cè)設(shè)置的加熱器10,其中加熱器10為上述任一種加熱器。優(yōu)選地,還包括石墨坩堝40,石墨坩堝40設(shè)置在石英坩堝20和加熱器10之間并包覆著石英坩堝20。加熱器10通過(guò)石墨電極30通電加熱,石墨坩堝40將熱量傳遞給石英坩堝20,其中石墨電極30設(shè)置在加熱器10的支撐部12下端,石墨電極30通過(guò)螺栓與支撐部12固定連接。其中支撐部12的傾斜導(dǎo)流面13向外延伸至石墨電極30的徑向外側(cè)。采用具有本實(shí)用型加熱器10的單晶爐避免了硅液從加熱器10的支撐部12的末端沿著石墨電極30流下,防止?fàn)C壞單晶爐爐底板,進(jìn)而避免了危險(xiǎn)事故發(fā)生。從以上的描述中,可以看出,本實(shí)用新型上述的實(shí)施例實(shí)現(xiàn)了如下技術(shù)效果:通過(guò)在加熱器本體的沿軸線(xiàn)方向的一端設(shè)置支撐部并沿徑向向內(nèi)延伸形成徑向延伸部,在徑向延伸部的內(nèi)側(cè)端部具有與底面相交以沿徑向向內(nèi)導(dǎo)流的傾斜導(dǎo)流面,當(dāng)硅液發(fā)生泄漏流到加熱器上時(shí),由于位于加熱器上傾斜導(dǎo)流面的存在,該傾斜導(dǎo)流面起到了液體導(dǎo)流的作用,防止了硅液沿著下端面回流的現(xiàn)象,這樣硅液沿著傾斜導(dǎo)流面直接流到位于爐底上方的護(hù)盤(pán)壓片上,避免了硅液流到單晶爐爐底發(fā)生爆炸事故的發(fā)生。以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已,并不用于限制本實(shí)用新型,對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō),本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.種單晶爐加熱器,其特征在于,包括: 加熱器本體(11),所述加熱器本體(11)呈筒狀結(jié)構(gòu);以及 支撐部(12),設(shè)置在所述加熱器本體(11)的沿軸線(xiàn)方向的一端并形成沿徑向向內(nèi)延伸的徑向延伸部,所述徑向延伸部的內(nèi)側(cè)端部具有與底面相交以沿徑向向內(nèi)導(dǎo)流的傾斜導(dǎo)流面(13)。
2.據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器,其特征在于,所述傾斜導(dǎo)流面(13)為平面,并與所述底面形成銳角。
3.據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱器,其特征在于,所述銳角α設(shè)置為30< α <60。
4.據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器,其特征在于,所述傾斜導(dǎo)流面(13)為弧形面。
5.據(jù)權(quán)利要求4所述的加熱器,其特征在于,所述弧形面為內(nèi)凹的弧形面。
6.據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器,其特征在于,所述傾斜導(dǎo)流面(13)與所述底面相交的一端具有突出于所述底面的凸起部。
7.據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器,其特征在于,所述支撐部(12)為多個(gè),多個(gè)所述支撐部(12)沿所述加熱器本體(11)的周向均勻設(shè)置。
8.種單晶爐,包括石英坩堝(20)以及繞著所述石英坩堝(20)的外周側(cè)設(shè)置的加熱器(10),其特征在于,所述加熱器(10)為權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的加熱器。
9.據(jù)權(quán)利要求8所述的單晶爐,其特征在于,還包括石墨坩堝(40),所述石墨坩堝(40 )設(shè)置在所述石英坩堝(20 )和所述加熱器(10 )之間并包覆著所述石英坩堝(20 )。
10.據(jù)權(quán)利要求8所述的單晶爐,其特征在于,還包括石墨電極(30),其中所述石墨電極(30)設(shè)置在所述加熱器(10)的支撐部(12)下端,所述支撐部(12)通過(guò)螺栓固定在所述石墨電極(30)上,其中所述支撐部(12)的傾斜導(dǎo)流面(13)向外延伸至所述石墨電極(30)的徑向外側(cè)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種單晶爐及其加熱器。其中加熱器包括加熱器本體,加熱器本體呈筒狀結(jié)構(gòu);以及支撐部,設(shè)置在加熱器本體的沿軸線(xiàn)方向的一端并形成沿徑向向內(nèi)延伸的徑向延伸部,徑向延伸部的內(nèi)側(cè)端部具有與底面相交以沿徑向向內(nèi)導(dǎo)流的傾斜導(dǎo)流面。當(dāng)硅液發(fā)生泄漏流到加熱器上時(shí),由于位于加熱器上傾斜導(dǎo)流面的存在,該傾斜導(dǎo)流面起到了液體導(dǎo)流的作用,防止了硅液沿著下端面回流的現(xiàn)象,這樣硅液沿著傾斜導(dǎo)流面直接流到位于爐底上方的護(hù)盤(pán)壓片上,避免了硅液流到單晶爐爐底發(fā)生爆炸事故的發(fā)生。
文檔編號(hào)C30B15/14GK202925146SQ20122061123
公開(kāi)日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2012年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月16日
發(fā)明者白劍銘, 孫二凱 申請(qǐng)人:英利能源(中國(guó))有限公司