專利名稱：偏晶向晶棒粘接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及晶體制造，LED襯底基材的生產(chǎn)及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及晶體加工行業(yè)的偏晶向晶棒粘接裝置。
背景技術(shù)：
目前，在LED生產(chǎn)制造領(lǐng)域或者半導(dǎo)體領(lǐng)域中，常會(huì)使用到長(zhǎng)度固定的晶棒，通常晶棒的長(zhǎng)度在40-300mm。而所形成的晶棒往往長(zhǎng)度長(zhǎng)短不一，即很多晶棒不符合晶棒使用的長(zhǎng)度要求，需要多根晶棒粘接在一起。為了避免對(duì)于不符合晶棒使用長(zhǎng)度要求的此類晶棒的浪費(fèi)，現(xiàn)有工藝中常使用晶棒粘接工藝，將不符合晶棒使用長(zhǎng)度要求的多根短晶棒粘接在一起，使得粘接后的晶棒滿足晶棒加工長(zhǎng)度要求。由此，便可使用粘接后的晶棒，從而將不符合晶棒使用長(zhǎng)度要求的短晶棒利用起來(lái)了，避免了對(duì)于此類晶棒的浪費(fèi)。在短晶棒的粘接過(guò)程中，根據(jù)行業(yè)后續(xù)加工的要求，需要對(duì)晶棒進(jìn)行一定的偏置后粘接，即需要得到偏晶向晶棒?，F(xiàn)有工藝中，尚沒(méi)有對(duì)短晶棒進(jìn)行精確偏置、然后粘接在一起的裝置，從而對(duì)于實(shí)現(xiàn)晶棒的粘接非常的不方便。因此，提供一套能夠?qū)崿F(xiàn)偏晶向晶棒粘接的裝置，成了本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種偏晶向晶棒粘接裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中晶棒粘接不方便的問(wèn)題。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種偏晶向晶棒粘接裝置，所述偏晶向晶棒粘接裝置包括:平臺(tái)；設(shè)置于所述平臺(tái)上的粘接臺(tái)；設(shè)置于所述平臺(tái)上的導(dǎo)向臺(tái)；多個(gè)固定所述晶棒的固定夾，多個(gè)所述固定夾均能夠沿著導(dǎo)向臺(tái)運(yùn)動(dòng)；及檢測(cè)晶棒偏置的二維傾角儀；當(dāng)進(jìn)行晶棒粘接時(shí)，所述二維傾角儀置于待粘接的晶棒一端?？蛇x的，在所述的偏晶向晶棒粘接裝置中，所述二維傾角儀的晶棒偏置檢測(cè)精度為 0.0001。"0.002°。可選的，在所述的偏晶向晶棒粘接裝置中，所述二維傾角儀包括顯示器?？蛇x的，在所述的偏晶向晶棒粘接裝置中，所述導(dǎo)向臺(tái)包括方箱及固定于所述方箱上的第一線軌。可選的，在所述的偏晶向晶棒粘接裝置中，所述方箱為“ L”型結(jié)構(gòu)。可選的，在所述的偏晶向晶棒粘接裝置中，所述固定夾包括外固定塊、設(shè)置于所述外固定塊中的墊條?？蛇x的，在所述的偏晶向晶棒粘接裝置中，所述固定夾還包括連接外固定塊與內(nèi)固定塊的微分頭?？蛇x的，在所述的偏晶向晶棒粘接裝置中，還包括設(shè)置于所述平臺(tái)上的限位螺桿，所述固定夾運(yùn)動(dòng)到一定位置后，固定于所述限位螺桿上。可選的，在所述的偏晶向晶棒粘接裝置中，還包括限位螺母，所述固定夾通過(guò)所述限位螺母固定于所述限位螺桿上。可選的，在所述的偏晶向晶棒粘接裝置中，還包括設(shè)置于平臺(tái)上的第二線軌，所述粘接臺(tái)或者所述導(dǎo)向臺(tái)能夠沿著所述第二線軌運(yùn)動(dòng)。在本實(shí)用新型提供的偏晶向晶棒粘接裝置中，利用二維傾角儀對(duì)晶棒進(jìn)行偏置、利用多個(gè)固定夾固定多根晶棒，其中，每個(gè)固定夾固定一根晶棒；每個(gè)固定夾沿著導(dǎo)向臺(tái)運(yùn)動(dòng)到一定位置后停止；粘接臺(tái)粘接多個(gè)固定夾中的多根晶棒，由此，可方便地實(shí)現(xiàn)對(duì)晶棒進(jìn)行一定的偏置后粘接，得到偏晶向晶棒，即簡(jiǎn)化了晶棒粘接工藝，提聞了晶棒粘接效率，從而降低了生產(chǎn)成本。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的偏晶向晶棒粘接裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的偏晶向晶棒粘接裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書(shū)，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。請(qǐng)參考圖1，其為本實(shí)用新型實(shí)施例的偏晶向晶棒粘接裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，所述偏晶向晶棒粘接裝置I包括:平臺(tái)10 ;設(shè)置于所述平臺(tái)10上的粘接臺(tái)11 ;設(shè)置于所述平臺(tái)10上的導(dǎo)向臺(tái)12 ；多個(gè)固定所述晶棒2的固定夾13，多個(gè)所述固定夾13均能夠沿著導(dǎo)向臺(tái)12運(yùn)動(dòng)；及檢測(cè)晶棒2偏置的二維傾角儀14 ；當(dāng)進(jìn)行晶棒2粘接時(shí)，所述二維傾角儀14置于待粘接的晶棒2 —端。優(yōu)選的，所述二維傾角儀14的晶棒偏置檢測(cè)精度為0.0001° 0.002°。所述二維傾角儀14包括顯示器，所述顯示器能夠顯示晶棒偏置的X向坐標(biāo)及Y向坐標(biāo)，從而可以精確的獲知晶棒偏置的角度，也即偏晶向。進(jìn)一步的，所述顯示器上還包括調(diào)零裝置，從而可以在檢測(cè)待粘接的晶棒2的偏置時(shí)，先予以校準(zhǔn)，以保證對(duì)于晶棒2偏晶向檢測(cè)的準(zhǔn)確性。在本實(shí)施例中，所述固定夾13的數(shù)量為三個(gè)，可以實(shí)現(xiàn)將三個(gè)(短)晶棒2粘接在一起。通常的，粘接后的晶棒的長(zhǎng)度為300_，當(dāng)然，根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)的需要，粘接后的晶棒長(zhǎng)度也可以不同，例如為250mm、280mm、300mm等,本申請(qǐng)對(duì)此并不做限定。此外,在本實(shí)用新型的其他實(shí)施例中，所述固定夾13的數(shù)量也可以為更多個(gè)或者更少個(gè)，例如，所述固定夾13的數(shù)量可以為兩個(gè)、四個(gè)或者五個(gè)等。優(yōu)選的，所述平臺(tái)10的材料為金屬，具體的，所述平臺(tái)10可以是鑄鐵件。由此，所述平臺(tái)10能夠穩(wěn)定的承載粘接臺(tái)11、導(dǎo)向臺(tái)12、固定夾13等部件，并在進(jìn)行晶棒粘接時(shí)保持穩(wěn)定，從而提聞晶棒粘接的可罪性。其中，所述粘接臺(tái)11用以提供晶棒粘接的粘接劑，此粘接臺(tái)11為現(xiàn)有技術(shù)，本申請(qǐng)對(duì)此不再贅述。在本申請(qǐng)中，將這一粘接臺(tái)11與其他部件有機(jī)的結(jié)合，從而可以方便、精準(zhǔn)地實(shí)現(xiàn)對(duì)于晶棒的粘接，簡(jiǎn)化工藝操作，提高粘接精度及可靠性。進(jìn)一步的，所述導(dǎo)向臺(tái)12包括方箱121及固定于所述方箱121上的第一線軌122。具體的，所述固定夾13沿著第一線軌122運(yùn)動(dòng)/滑動(dòng)到特定位置，以便于對(duì)晶棒的粘接。優(yōu)選的，所述方箱121及所述第一線軌122的材料均為金屬，具體的，所述方箱121為鑄鐵件、所述第一線軌122為鋼材。通過(guò)將方箱121選為鑄鐵件,可保持方箱121的穩(wěn)定,從而向固定夾13提供穩(wěn)定的導(dǎo)向。而通過(guò)將第一線軌122選為鋼材，可防止第一線軌122生銹，由此，便于固定夾13沿著第一線軌122運(yùn)動(dòng)到特定位置。優(yōu)選的，所述方箱121為“L”型結(jié)構(gòu)，所述第一線軌122設(shè)置于所述“L”型結(jié)構(gòu)的豎直面上。通過(guò)將所述方箱121的形狀設(shè)置為“L”型，即能夠保證所述方箱121結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，又能夠降低方箱121對(duì)制造材料的使用。在本實(shí)施例中，所述固定夾13包括外固定塊131、設(shè)置于所述外固定塊131中的墊條132，進(jìn)一步的，所述墊條132固定于所述外固定塊131上。通過(guò)在所述外固定塊131中設(shè)置墊條132，當(dāng)利用固定夾13固定晶棒2時(shí)，可以保護(hù)所述晶棒2，并且保證對(duì)所述晶棒2夾持的可靠性。進(jìn)一步的，所述固定夾13還包括連接外固定塊131與墊條132的微分頭133。通過(guò)所述微分頭133能夠調(diào)整所述晶棒2的晶面。由此，當(dāng)經(jīng)過(guò)二維傾角儀14的檢測(cè)之后，需要調(diào)整晶棒2的晶面時(shí)，便可通過(guò)所述微分頭133方便地對(duì)所述晶棒2進(jìn)行精細(xì)的晶面調(diào)整，使得粘接后的晶棒2滿足晶向偏置要求，從而獲得可靠性高的粘接后晶棒。進(jìn)一步的，所述偏晶向晶棒粘接裝置I還包括設(shè)置于所述平臺(tái)10上的限位螺桿15，所述固定夾13運(yùn)動(dòng)到一定位置后，固定于所述限位螺桿15上。由此，實(shí)現(xiàn)對(duì)于固定夾13有效、可靠地固定。在此，固定夾13夾持著晶圓2，當(dāng)固定夾13運(yùn)動(dòng)到一定位置時(shí)，也即晶圓2運(yùn)動(dòng)到一定位置；而通過(guò)限位螺桿15將固定夾13限定在特定位置時(shí)，也即將晶圓2限定在特定位置。在晶圓2位置被限定/固定后，便可通過(guò)粘接臺(tái)11對(duì)晶圓進(jìn)行粘接。進(jìn)一步的，所述偏晶向晶棒粘接裝置I還包括限位螺母16，具體的，所述固定夾13通過(guò)所述限位螺母16固定于所述限位螺桿15上。由此，可方便的實(shí)現(xiàn)固定夾13固定于特定位置的目的，其中，固定夾13運(yùn)動(dòng)到特定位置的目的是為了便于晶棒粘接，通常的，所述特定位置指兩個(gè)晶棒晶面相貼合。此外，對(duì)于第一個(gè)固定夾13 (具體的，在晶棒粘接過(guò)程中第一個(gè)被使用的固定夾13)而言，其可以直接運(yùn)動(dòng)至平臺(tái)10表面，當(dāng)然，其也可以與平臺(tái)10表面具有一定距離，本申請(qǐng)對(duì)此并不做限定。優(yōu)選的，第一個(gè)固定夾13運(yùn)動(dòng)至平臺(tái)10表面，由此可通過(guò)平臺(tái)10對(duì)于第一個(gè)固定夾13起到一定支持作用，從而使得晶棒的粘接更可靠。在本實(shí)施例中，所述偏晶向晶棒粘接裝置I還包括設(shè)置于平臺(tái)10上的第二線軌17，所述粘接臺(tái)11或者所述導(dǎo)向臺(tái)12能夠沿著所述第二線軌17運(yùn)動(dòng)。在此，通過(guò)所述粘接臺(tái)11或者導(dǎo)向臺(tái)12沿著第二線軌17運(yùn)動(dòng)，可以使得所述粘接臺(tái)11與固定夾13貼近，從而便于粘接臺(tái)11向固定夾13中固定的晶棒2提供粘接劑，進(jìn)而使得各(短)晶棒2粘接成符合長(zhǎng)度要求的晶棒。優(yōu)選的，通過(guò)所述導(dǎo)向臺(tái)12沿著第二線軌17運(yùn)動(dòng)，從而使得所述粘接臺(tái)11與固定夾13貼近。相應(yīng)的，本實(shí)施例還提供一種利用上述偏晶向晶棒粘接裝置I進(jìn)行晶棒粘接以得到偏晶向晶棒的方法。具體的，所述晶棒粘接方法包括:[0034]利用多個(gè)固定夾13固定多根晶棒2，其中，每個(gè)固定夾13固定一根晶棒2 ；每個(gè)固定夾13沿著導(dǎo)向臺(tái)12運(yùn)動(dòng)到一定位置后停止，具體的，固定夾13通過(guò)限位螺母16固定于限位螺桿15上，從而實(shí)現(xiàn)固定夾13運(yùn)動(dòng)到一定位置后停止并靜止于該位置；利用二維傾角儀14檢測(cè)待粘接晶棒2的偏置角度，以調(diào)整待粘接晶棒2的偏晶向；粘接臺(tái)11粘接多個(gè)固定夾13中的多根晶棒2(其中，所述晶棒2的偏置經(jīng)過(guò)所述二維傾角儀14的檢測(cè)及相應(yīng)的調(diào)整，已符合工程要求)，具體的，先使得粘接臺(tái)11或者導(dǎo)向臺(tái)12沿著第二線軌17運(yùn)動(dòng),從而粘接臺(tái)11與晶棒2貼合。在此，所述固定夾13的數(shù)量為三個(gè)，當(dāng)進(jìn)行晶棒粘接時(shí)，可先使得三個(gè)固定夾13固定三根晶棒2，接著，每個(gè)固定夾13沿著導(dǎo)向臺(tái)12運(yùn)動(dòng)到一定位置后停止；也可以一個(gè)固定夾13固定一根晶棒2之后，該固定夾13沿著導(dǎo)向臺(tái)12運(yùn)動(dòng)到一定位置后停止，接著第二個(gè)固定夾13固定第二根晶棒2，該第二個(gè)固定夾13沿著導(dǎo)向臺(tái)12運(yùn)動(dòng)到一定位置后停止，直至第三個(gè)固定夾13完成上述動(dòng)作。其最終目的/本質(zhì)動(dòng)作均是:利用多個(gè)固定夾13固定多根晶棒2，其中，每個(gè)固定夾13固定一根晶棒2 ;每個(gè)固定夾13沿著導(dǎo)向臺(tái)12運(yùn)動(dòng)到一定位置后停止。綜上，通過(guò)偏晶向晶棒粘接裝置，利用二維傾角儀對(duì)晶棒進(jìn)行偏置、利用多個(gè)固定夾固定多根晶棒，其中，每個(gè)固定夾固定一根晶棒；每個(gè)固定夾沿著導(dǎo)向臺(tái)運(yùn)動(dòng)到一定位置后停止；粘接臺(tái)粘接多個(gè)固定夾中的多根晶棒，由此，可方便地實(shí)現(xiàn)對(duì)晶棒進(jìn)行一定的偏置后粘接，得到偏晶向晶棒，即簡(jiǎn)化了晶棒粘接工藝，提聞了晶棒粘接效率，從而降低了生廣成本。上述描述僅是對(duì)本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的描述，并非對(duì)本實(shí)用新型范圍的任何限定，本實(shí)用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書(shū)的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，包括:平臺(tái)；設(shè)置于所述平臺(tái)上的粘接臺(tái)；設(shè)置于所述平臺(tái)上的導(dǎo)向臺(tái)；多個(gè)固定所述晶棒的固定夾，多個(gè)所述固定夾均能夠沿著導(dǎo)向臺(tái)運(yùn)動(dòng)；及檢測(cè)晶棒偏置的二維傾角儀； 當(dāng)進(jìn)行晶棒粘接時(shí)，所述二維傾角儀置于待粘接的晶棒一端。
2.如權(quán)利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述二維傾角儀的晶棒偏置檢測(cè)精度為0.0001° 0.002。。
3.如權(quán)利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述二維傾角儀包括顯示器。
4.如權(quán)利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向臺(tái)包括方箱及固定于所述方箱上的第一線軌。
5.如權(quán)利要求4所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述方箱為“L”型結(jié)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述固定夾包括外固定塊、設(shè)置于所述外固定塊中的墊條。
7.如權(quán)利要求6所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，所述固定夾還包括連接外固定塊與內(nèi)固定塊的微分頭。
8.如權(quán)利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于所述平臺(tái)上的限位螺桿，所述固定夾運(yùn)動(dòng)到一定位置后，固定于所述限位螺桿上。
9.如權(quán)利要求8所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，還包括限位螺母，所述固定夾通過(guò)所述限位螺母固定于所述限位螺桿上。
10.如權(quán)利要求1所述的偏晶向晶棒粘接裝置，其特征在于，還包括設(shè)置于平臺(tái)上的第二線軌，所述粘接臺(tái)或者所述導(dǎo)向臺(tái)能夠沿著所述第二線軌運(yùn)動(dòng)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種偏晶向晶棒粘接裝置，所述偏晶向晶棒粘接裝置包括平臺(tái)；設(shè)置于所述平臺(tái)上的粘接臺(tái)；設(shè)置于所述平臺(tái)上的導(dǎo)向臺(tái)；多個(gè)固定所述晶棒的固定夾，多個(gè)所述固定夾均能夠沿著導(dǎo)向臺(tái)運(yùn)動(dòng)；及檢測(cè)晶棒偏置的二維傾角儀；當(dāng)進(jìn)行晶棒粘接時(shí)，所述二維傾角儀置于待粘接的晶棒一端。在此，利用二維傾角儀對(duì)晶棒進(jìn)行偏置、利用多個(gè)固定夾固定多根晶棒，其中，每個(gè)固定夾固定一根晶棒；每個(gè)固定夾沿著導(dǎo)向臺(tái)運(yùn)動(dòng)到一定位置后停止；粘接臺(tái)粘接多個(gè)固定夾中的多根晶棒，由此，可方便地實(shí)現(xiàn)對(duì)晶棒進(jìn)行一定的偏置后粘接，得到偏晶向晶棒，即簡(jiǎn)化了晶棒粘接工藝，提高了晶棒粘接效率，從而降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)C30B33/06GK203007497SQ20122074748
公開(kāi)日2013年6月19日 申請(qǐng)日期2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月28日
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