吸嘴及其異常檢測(cè)裝置制造方法
【專利摘要】在吸嘴(11)的嘴支架(12)上形成有通過嘴活塞(16)的上下動(dòng)作而被開閉的氣體流路(22)，在保持該嘴支架(12)的安裝頭(13)形成有向該嘴支架(12)的氣體流路(22)供給氣體的氣體供給路(28)，并設(shè)有檢測(cè)在該氣體供給路(28)中流動(dòng)的氣體流量的流量傳感器(27)?；谠摿髁總鞲衅?27)的輸出信號(hào)，監(jiān)視在嘴支架(12)的氣體流路(22)中流動(dòng)的氣體流量，檢測(cè)嘴活塞(16)的上下動(dòng)作的不良(固著)。
【專利說明】吸嘴及其異常檢測(cè)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是涉及在利用施力單元向下方對(duì)吸附元件的嘴部進(jìn)行施力的狀態(tài)下上下可動(dòng)地設(shè)置的吸嘴及其異常檢測(cè)裝置的發(fā)明。

【背景技術(shù)】
[0002]在元件安裝機(jī)中，例如如專利文獻(xiàn)I (日本特開2006-313838號(hào)公報(bào))、專利文獻(xiàn)2(日本特開2009-88035號(hào)公報(bào))記載的那樣，在用吸嘴吸附元件時(shí)、或?qū)⑺降脑惭b于基板上時(shí)，為了使元件不因沖擊而損傷，將嘴部上下可運(yùn)地設(shè)于嘴支架上，并利用彈簧向下方對(duì)該嘴部進(jìn)行施力，在進(jìn)行元件吸附動(dòng)作時(shí)嘴部的下端與元件抵接后、或在進(jìn)行元件安裝動(dòng)作時(shí)吸附于嘴部的元件與基板抵接后，在保持嘴支架的安裝頭的下降動(dòng)作停止之前，對(duì)應(yīng)于該下降動(dòng)作，嘴部克服彈簧的彈力而被壓入，由此緩解施加在元件上的沖擊。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-313838號(hào)公報(bào)
[0004]專利文獻(xiàn)2:日本特開2009-88035號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]然而，嘴部有時(shí)因異物進(jìn)入到嘴支架和嘴部之間的滑動(dòng)部等而發(fā)生固著，當(dāng)嘴部發(fā)生固著時(shí)，存在下述可能性:發(fā)生元件吸附失誤、元件安裝失誤，或無法獲得沖擊緩解效果，使元件損傷。因此，當(dāng)嘴部發(fā)生固著時(shí)，需要在早期檢測(cè)出該情況，并使元件安裝機(jī)停止而進(jìn)行維修。
[0006]由于現(xiàn)有元件安裝機(jī)具有利用相機(jī)對(duì)吸附于嘴部上的元件進(jìn)行拍攝來監(jiān)視元件吸附姿勢(shì)等的功能，所以在因嘴部的固著而連續(xù)發(fā)生元件吸附失誤的情況下，在利用相機(jī)的拍攝圖像檢測(cè)出連續(xù)發(fā)生的元件吸附失誤后，使元件安裝機(jī)停止。
[0007]然而，在該固著檢測(cè)方法中，在連續(xù)發(fā)生的元件吸附失誤被檢測(cè)出之前，元件安裝機(jī)持續(xù)動(dòng)作，無法在早期檢測(cè)出嘴部的固著。
[0008]因此，雖然考慮了在保持吸嘴的安裝頭上設(shè)置確認(rèn)嘴部的壓入量的光電傳感器，但在該構(gòu)成中，為了在元件安裝動(dòng)作時(shí)避免光電傳感器與已安裝的元件發(fā)生干擾，需要將光電傳感器配置于比已安裝的元件高的位置上，而且，需要將向下方對(duì)嘴部進(jìn)行施力的彈簧配置于比光電傳感器高的位置上，所以存在吸嘴在高度方向上大型化的缺陷。
[0009]因此，本發(fā)明要解決的課題在于能夠在早期檢測(cè)出嘴部的固著，并能夠避免吸嘴在高度方向上大型化。
[0010]為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種吸嘴的異常檢測(cè)裝置，將吸附元件的嘴部上下可動(dòng)地設(shè)于嘴支架，并且在嘴支架上設(shè)有向下方對(duì)上述嘴部進(jìn)行施力的施力單元，在進(jìn)行元件吸附動(dòng)作時(shí)上述嘴部的下端與元件抵接后、或在進(jìn)行元件安裝動(dòng)作時(shí)吸附于上述嘴部的元件與基板抵接后，對(duì)應(yīng)于上述嘴支架的下降動(dòng)作，上述嘴部克服上述施力單元的作用力而被壓入，在上述嘴支架上，設(shè)有通過上述嘴部的上下動(dòng)作而被開閉的氣體流路，并且設(shè)有檢測(cè)在上述氣體流路中流動(dòng)的氣體流量或壓力的檢測(cè)單元(流量傳感器或壓力傳感器)，通過向上述氣體流路供給氣體并利用上述檢測(cè)單元監(jiān)視氣體流量或壓力，來檢測(cè)上述嘴部的上下動(dòng)作的不良(固定)。此處，嘴部可以分別形成在嘴支架內(nèi)上下動(dòng)作的部分(嘴活塞)和嘴前端部，并將兩者結(jié)合而形成一體化，也可以將兩者一體地形成。
[0011]在該結(jié)構(gòu)中，如果嘴部未發(fā)生固著，則在進(jìn)行元件吸附動(dòng)作時(shí)或元件安裝動(dòng)作時(shí)，嘴部上下動(dòng)作，嘴支架的氣體流路被開閉，但當(dāng)嘴部發(fā)生固著、嘴部無法進(jìn)行上下動(dòng)作時(shí)，由于氣體流路無法被開閉，所以在氣體流路中流動(dòng)的氣體流量、壓力不發(fā)生變化。根據(jù)該關(guān)系，只要利用檢測(cè)單元來監(jiān)視在氣體流路中流動(dòng)的氣體流量或壓力，則能夠在早期檢測(cè)出嘴部的上下動(dòng)作的不良(固著)。而且，由于未設(shè)置確認(rèn)嘴部的壓入量的光電傳感器，所以能夠?qū)⑾蛳路綄?duì)嘴部進(jìn)行施力的施力單元設(shè)置于任意的高度位置，能夠避免吸嘴在高度方向上大型化。
[0012]在此情況下，也可以是，嘴支架以能夠裝卸的方式安裝于沿元件安裝機(jī)的XYZ方向移動(dòng)的安裝頭，在該安裝頭上設(shè)有向嘴支架的氣體流路供給氣體的氣體供給路，上述檢測(cè)單元安裝于該安裝頭，以檢測(cè)在上述安裝頭的氣體供給路中流動(dòng)的氣體流量或壓力。總之，由于在嘴支架的氣體流路中流動(dòng)的氣體流量是與在安裝頭的氣體供給路中流動(dòng)的氣體流量相同的流量，所以檢測(cè)在安裝頭的氣體供給路中流動(dòng)的氣體流量或壓力作為在嘴支架的氣體流路中流動(dòng)的氣體流量或壓力的信息。這樣一來，能夠?qū)z測(cè)單元(流量傳感器或壓力傳感器)安裝于安裝頭上，所以無需在吸嘴上設(shè)置檢測(cè)單元，能夠避免吸嘴的結(jié)構(gòu)復(fù)雜。
[0013]具體而言，也可以是，在嘴支架的內(nèi)周面形成有氣體流路的孔和大氣連通孔，在嘴部中的在嘴支架內(nèi)上下動(dòng)作的部分嵌裝有對(duì)氣體流路的孔和上述大氣連通孔進(jìn)行開閉的筒狀閥芯，在筒狀閥芯的外周部形成有連通槽，在嘴部的壓入量為預(yù)定值時(shí)，上述連通槽使上述氣體流路的孔和上述大氣連通孔連通。此處，預(yù)定值只要在嘴部的上下行程的范圍內(nèi)適當(dāng)設(shè)定即可，也可以是上下行程的下限值(壓入量為O)。本發(fā)明也可以將筒狀閥芯一體地形成于嘴部。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是表示本發(fā)明一實(shí)施例中的在嘴活塞未被壓入時(shí)的吸嘴的狀態(tài)的縱向剖視圖。
[0015]圖2是表示在嘴活塞被壓入時(shí)的吸嘴的狀態(tài)的縱向剖視圖。
[0016]圖3是表示嘴活塞固著檢測(cè)程序的處理流程的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0017]以下，說明將用于實(shí)施本發(fā)明的方式具體化的一個(gè)實(shí)施例。
[0018]首先，基于圖1來說明吸嘴11的構(gòu)成。
[0019]吸嘴11的嘴支架12以能夠裝卸的方式安裝于沿元件安裝機(jī)的XYZ方向移動(dòng)的安裝頭13上。吸嘴11的裝卸方式可以是任一種方式，例如，可以將設(shè)于安裝頭13上的卡合部件(未圖示)掛在設(shè)于嘴支架12的銷14上進(jìn)行保持，也可以構(gòu)成為利用負(fù)壓(真空壓力)將吸嘴11吸附于安裝頭13上。
[0020]筒狀支撐部件15通過壓入等方式嵌裝固定于嘴支架12的向下延伸的筒狀部12a的內(nèi)周部，嘴活塞16上下可動(dòng)地插通支撐于該筒狀支撐部件15的內(nèi)周部。將從安裝頭13側(cè)供給的負(fù)壓導(dǎo)入的負(fù)壓導(dǎo)入通路17沿上下方向貫通于該嘴活塞16而形成，在該嘴活塞16的下端部，利用連接部件19同軸狀地固定有利用從負(fù)壓導(dǎo)入通路17導(dǎo)入的負(fù)壓來吸附元件的嘴前端部18。在此情況下，利用連接部件19連接嘴活塞16和嘴前端部18而構(gòu)成嘴部20。
[0021]此外，嘴前端部18和連接部件19的固定方式為，將形成于嘴前端部18的上部的外螺紋部擰入到連接部件19的內(nèi)螺紋部，由此嘴前端部18固定于連接部件19，連接部件19和嘴活塞16的固定方式為，從嵌合于嘴活塞16的下端部的連接部件19的外周側(cè)將螺釘(未圖示)沿徑向擰入到連接部件19，使該螺釘?shù)那岸藟航佑谧旎钊?6的外周面，由此連接部件19固定于嘴活塞16的下端部。由此，在改變嘴前端部18的開口直徑等嘴種類的情況下，通過使將固定有嘴前端部18的連接部件19固定于嘴活塞16的螺釘松脫，能夠?qū)⒆烨岸瞬?8和連接部件19從嘴活塞16拆下，而將其它嘴前端部18和連接部件19更換到嘴活塞16上。
[0022]連接部件19位于嘴支架12的筒狀部12a下端的下方，在該連接部件19和嘴支架12的筒狀部12a下端之間，確保容許嘴部20的上下動(dòng)作的間隙。連接部件19的外徑尺寸形成得比安裝于嘴支架12的筒狀部12a的外周部上的彈簧21 (施力單元)的外徑尺寸稍大，彈簧21被壓縮并夾持于該連接部件19和嘴支架12的筒狀部12a上端臺(tái)階部12b之間，利用該彈簧21的彈力，向下方對(duì)嘴部20進(jìn)行施力。通過該構(gòu)成，在進(jìn)行元件吸附動(dòng)作時(shí)嘴前端部18的下端與元件抵接后、或在進(jìn)行元件安裝動(dòng)作時(shí)吸附于嘴前端部18的元件與基板抵接后，在保持嘴支架12的安裝頭13的下降動(dòng)作停止之前，對(duì)應(yīng)于其下降動(dòng)作，嘴部20克服彈簧21的彈力而被壓入。
[0023]在嘴支架12上形成有空氣流路22，該空氣流路22的入口側(cè)的孔22a貫通于該嘴支架12的上表面，出口側(cè)的孔22b貫通于該嘴支架12的內(nèi)周面。此外，在嘴支架12上，大氣連通孔23以貫通該嘴支架12的內(nèi)外兩周面的方式形成在高度與氣體流路22的出口側(cè)的孔22b相同的位置上。
[0024]與此相應(yīng)，對(duì)嘴支架12的氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23進(jìn)行開閉的筒狀閥芯24通過壓入等方式嵌裝固定于嘴活塞16的上部。在該筒狀閥芯24的外周部形成有環(huán)狀的連通槽25，在嘴活塞16相對(duì)于嘴支架12的壓入量為預(yù)定值(在預(yù)定范圍內(nèi))時(shí)，連通槽25使氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23對(duì)齊，處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23由連通槽25連通的狀態(tài)，當(dāng)嘴活塞16的壓入量為預(yù)定值以外(在預(yù)定范圍外)時(shí)，處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23被筒狀閥芯24封閉的狀態(tài)。
[0025]在本實(shí)施例中構(gòu)成為，如圖1所示，在嘴活塞16位于其上下行程的最下位置時(shí)(嘴活塞16的壓入量為O時(shí))，處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23由連通槽25連通的狀態(tài)，如圖2所示，在嘴活塞16被壓入時(shí)，處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23被筒狀閥芯24封閉的狀態(tài)。
[0026]在嘴支架12的內(nèi)周部中的、筒狀閥芯24滑動(dòng)的區(qū)域的下端，環(huán)狀的止動(dòng)部12c向內(nèi)周側(cè)突出地形成，該筒狀閥芯24的下端與止動(dòng)部12c抵接的位置成為嘴活塞16的上下行程的最下位置(壓入量為O)。另外，在嘴支架12的內(nèi)周部中的、筒狀閥芯24滑動(dòng)的區(qū)域，安裝有用于防止負(fù)壓從該嘴支架12的內(nèi)周面和該筒狀閥芯24的外周面之間的間隙泄漏的密封件26。
[0027]在保持上述那樣構(gòu)成的吸嘴11的嘴支架12的安裝頭13上，形成有向嘴活塞16的負(fù)壓導(dǎo)入通路17供給負(fù)壓的負(fù)壓供給路(未圖示)，并且形成有向嘴支架12的氣體流路22供給氣體的氣體供給路28。此外，在安裝頭13上設(shè)有對(duì)在該安裝頭13的氣體供給路28中流動(dòng)的氣體流量進(jìn)行檢測(cè)的流量傳感器27 (檢測(cè)單元)。該流量傳感器27的輸出信號(hào)被元件安裝機(jī)的控制裝置30讀取，而監(jiān)視從安裝頭13的氣體供給路28流向嘴支架12的氣體流路22的氣體流量。
[0028]然而，嘴活塞16有時(shí)因異物進(jìn)入到嘴支架12和嘴活塞16之間的滑動(dòng)部等而發(fā)生固著，當(dāng)嘴活塞16發(fā)生固著時(shí)，存在下述可能性:發(fā)生元件吸附失誤、元件安裝失誤，或無法獲得沖擊緩解效果，使元件損傷。因此，當(dāng)嘴活塞16發(fā)生固著時(shí)，需要在早期檢測(cè)出該情況，使元件安裝機(jī)停止而進(jìn)行維修。
[0029]因此，元件安裝機(jī)的控制裝置30通過以預(yù)定周期重復(fù)執(zhí)行圖3的嘴活塞固著檢測(cè)程序，基于流量傳感器27的輸出信號(hào)監(jiān)視在嘴支架12的氣體流路22中流動(dòng)的氣體流量，來檢測(cè)嘴活塞16的上下動(dòng)作的不良(固著)?？傊?，如果嘴活塞16未發(fā)生固著，則在進(jìn)行元件吸附動(dòng)作時(shí)或在進(jìn)行元件安裝動(dòng)作時(shí)嘴活塞16上下動(dòng)作，嘴支架12的氣體流路22由嘴活塞16的筒狀閥芯24開閉，但當(dāng)嘴活塞16發(fā)生固著、嘴活塞16無法進(jìn)行上下動(dòng)作時(shí)，由于氣體流路22無法被開閉，所以在氣體流路22中流動(dòng)的氣體流量不發(fā)生變化。根據(jù)該關(guān)系，如果利用流量傳感器27來監(jiān)視在氣體流路22中流動(dòng)的氣體流量，則能夠在早期檢測(cè)出嘴活塞16的上下動(dòng)作的不良(固定)。
[0030]然而，即使嘴活塞16在其上下行程的最下位置(壓入量為O)處發(fā)生固著，通過元件吸附動(dòng)作或元件安裝動(dòng)作，嘴活塞16也大多被壓入，但當(dāng)嘴活塞16在被壓入的狀態(tài)下發(fā)生固著時(shí)，嘴活塞16不返回至其上下行程的最下位置(壓入量為O)，這成為產(chǎn)生元件吸附失誤、元件安裝失誤的原因。圖3的嘴活塞固著檢測(cè)程序是檢測(cè)嘴活塞16在被壓入的狀態(tài)下發(fā)生固著的狀態(tài)的程序。
[0031]以下，說明圖3的嘴活塞固著檢測(cè)程序的處理內(nèi)容。本程序在元件安裝機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)中以預(yù)定周期執(zhí)行。當(dāng)起動(dòng)本程序時(shí)，首先在步驟101，判定元件吸附動(dòng)作是否結(jié)束或元件安裝動(dòng)作是否結(jié)束。由于嘴活塞16通過元件吸附動(dòng)作或元件安裝動(dòng)作克服彈簧21的彈力被壓入，所以每當(dāng)嘴活塞16的壓入動(dòng)作結(jié)束、吸嘴11上升時(shí)，則成為判定嘴活塞16有無發(fā)生固著的時(shí)機(jī)。
[0032]如果在上述步驟101中判定為“否”，則判斷為不是嘴活塞固著判定時(shí)機(jī)，不進(jìn)行以后的處理，結(jié)束本程序，但當(dāng)在上述步驟101中判定為“是”，則判斷為是嘴活塞固著判定時(shí)機(jī)，前進(jìn)至步驟102，讀取流量傳感器27的輸出信號(hào)，檢測(cè)從安裝頭13的氣體供給路28流向嘴支架12的氣體流路22的氣體流量。
[0033]然后，前進(jìn)至步驟103，判定由流量傳感器27檢測(cè)出的氣體流量是否小于判定閾值。在嘴活塞16未發(fā)生固著的情況下，如果嘴活塞16的壓入動(dòng)作結(jié)束、吸嘴11上升，則如圖1所示，利用彈簧21的彈力，嘴活塞16被下壓至其上下行程的最下位置，處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23由嘴活塞16的筒狀閥芯24的連通槽25連通的狀態(tài)，所以在氣體流路22中流動(dòng)的氣體流量增加，但在嘴活塞16的壓入動(dòng)作中，當(dāng)嘴活塞16發(fā)生固著時(shí)，即使壓入動(dòng)作結(jié)束、吸嘴11上升，由于嘴活塞16不返回至其上下行程的最下位置，所以也維持成氣體流路22的孔22b被嘴活塞16的筒狀閥芯24堵塞的狀態(tài)，在氣體流路22中流動(dòng)的氣體流量不增加。
[0034]根據(jù)該關(guān)系，在步驟103中，判定在氣體流路22中流動(dòng)的氣體流量是否小于判定閾值，如果氣體流量小于判定閾值，則判斷為嘴活塞16不返回至其上下行程的最下位置，前進(jìn)至步驟104，判定為嘴活塞16發(fā)生固著，如果氣體流量為判定閾值以上，則嘴活塞16返回至其上下行程的最下位置，所以判斷為嘴活塞16未發(fā)生固著，直接結(jié)束本程序。
[0035]另外，也可以是，在檢測(cè)出嘴活塞16完全固著于其上下行程的最下位置、在進(jìn)行元件吸附動(dòng)作時(shí)或元件安裝動(dòng)作時(shí)嘴活塞16也未完全被壓入的狀態(tài)的情況下，在進(jìn)行元件吸附動(dòng)作時(shí)或元件安裝動(dòng)作時(shí)，例如在安裝頭13的下降動(dòng)作停止時(shí)(即，如果嘴活塞16未發(fā)生固著，則嘴支架12的壓入量為最大時(shí))，判定由流量傳感器27檢測(cè)出的氣體流量是否大于判定閾值，如果氣體流量大于判定閾值，則判定為嘴活塞16固著于其上下行程的最下位置，如果氣體流量為判定閾值以下，則處于嘴活塞16被壓入、嘴支架12的氣體流路22被嘴活塞16的筒狀閥芯24封閉的狀態(tài)，所以判定為嘴活塞16未發(fā)生固著。
[0036]或者,也可以是,在進(jìn)行元件吸附動(dòng)作時(shí)或元件安裝動(dòng)作時(shí),監(jiān)視由流量傳感器27檢測(cè)出的氣體流量的變化量的絕對(duì)值是否為判定閾值以上，如果氣體流量的變化量的絕對(duì)值為判定閾值以上，則判斷為嘴活塞16被壓入，嘴支架12的氣體流路22被開閉，判定為嘴活塞16未發(fā)生固著，如果氣體流量的變化量的絕對(duì)值小于判定閾值，則判斷為嘴支架12的氣體流路22未被開閉，判定為嘴活塞16已固著。
[0037]在以上說明的本實(shí)施例中，利用嘴支架12和嘴活塞16的滑動(dòng)部分來構(gòu)成閥結(jié)構(gòu)，利用流量傳感器27來監(jiān)視在通過嘴活塞16的上下動(dòng)作而被開閉的氣體流路22中流動(dòng)的氣體流量，所以能夠在早期檢測(cè)嘴活塞16的固著。而且，由于未設(shè)置確認(rèn)嘴活塞16的壓入量的光電傳感器，所以能夠?qū)⑾蛳路綄?duì)嘴活塞16進(jìn)行施力的彈簧21配置于任意的高度位置，能夠避免吸嘴11在高度方向上大型化。此外，由于將流量傳感器27安裝于安裝頭13上，所以無需在吸嘴11上設(shè)置流量傳感器27，能夠避免吸嘴11的結(jié)構(gòu)復(fù)雜化。
[0038]在本實(shí)施例中，利用流量傳感器27監(jiān)視在嘴活塞16的氣體流路22 (安裝頭13的氣體供給路28)中流動(dòng)的氣體流量，來檢測(cè)氣體流路22的開閉，但也可以利用壓力傳感器監(jiān)視嘴活塞16的氣體流路22 (安裝頭13的氣體供給路28)的壓力，來檢測(cè)氣體流路22的開閉。在此情況下，在氣體流路22開放時(shí)，利用壓力傳感器檢測(cè)出的壓力為大氣壓，在氣體流路22封閉時(shí)，對(duì)應(yīng)于向氣體流路22供給的壓力(正壓或負(fù)壓)，利用壓力傳感器檢測(cè)出的壓力比大氣壓高或低，所以與氣體流量相同，即使檢測(cè)壓力也能檢測(cè)出氣體流路22的開閉。
[0039]另外，在本實(shí)施例中，雖然分別形成嘴部20中的在嘴支架12內(nèi)上下動(dòng)作的部分(嘴活塞16)和嘴前端部18，并利用連接部件19將兩者結(jié)合而形成一體化結(jié)構(gòu)，但也可以將兩者一體地形成。
[0040]另外，在本實(shí)施例中，雖然將筒狀閥芯24嵌裝固定于嘴活塞16上，但也可以將兩者一體地形成。
[0041]另外，在本實(shí)施例中，雖然構(gòu)成為在嘴活塞16位于其上下行程的最下位置時(shí)(嘴活塞16的壓入量為O時(shí))處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23由連通槽25連通的狀態(tài)，但也可以構(gòu)成為在嘴活塞16的壓入量為預(yù)定值(正值)時(shí)處于氣體流路22的孔22b和大氣連通孔23由連通槽25連通的狀態(tài)，只要切換氣體流路22的開閉的位置在嘴活塞16的上下行程的范圍內(nèi)適當(dāng)設(shè)定即可。
[0042]此外，本發(fā)明也可以適當(dāng)改變利用嘴支架12和嘴活塞16的滑動(dòng)部分而構(gòu)成的閥結(jié)構(gòu)的位置、其構(gòu)成等，在不脫離主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更來實(shí)施，這是不言而喻的。
[0043]附圖標(biāo)記說明
[0044]11 吸嘴
[0045]12嘴支架
[0046]13安裝頭
[0047]15筒狀支撐部件
[0048]16嘴活塞
[0049]17負(fù)壓導(dǎo)入通路
[0050]18嘴前端部
[0051]19連接部件
[0052]20 嘴部
[0053]21彈簧(施力單元)
[0054]22氣體流路
[0055]22a入口側(cè)的孔
[0056]22b出口側(cè)的孔
[0057]23大氣連通孔
[0058]24筒狀閥芯
[0059]25連通槽
[0060]27流量傳感器(檢測(cè)單元)
[0061]28氣體供給路
[0062]30控制裝置
【權(quán)利要求】
1.一種吸嘴的異常檢測(cè)裝置，將吸附元件的嘴部上下可動(dòng)地設(shè)于嘴支架，并且在所述嘴支架上設(shè)有向下方對(duì)所述嘴部進(jìn)行施力的施力單元，在進(jìn)行元件吸附動(dòng)作時(shí)所述嘴部的下端與元件抵接后、或在進(jìn)行元件安裝動(dòng)作時(shí)吸附于所述嘴部的元件與基板抵接后，在所述嘴支架的下降動(dòng)作停止之前，對(duì)應(yīng)于所述嘴支架的下降動(dòng)作，所述嘴部克服所述施力單元的作用力而被壓入，所述吸嘴的異常檢測(cè)裝置的特征在于， 在所述嘴支架上，設(shè)有通過所述嘴部的上下動(dòng)作而被開閉的氣體流路，并且設(shè)有檢測(cè)在所述氣體流路中流動(dòng)的氣體流量或壓力的檢測(cè)單元， 通過向所述氣體流路供給氣體并利用所述檢測(cè)單元監(jiān)視氣體流量或壓力，來檢測(cè)所述嘴部的上下動(dòng)作的不良。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸嘴的異常檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述嘴支架以能夠裝卸的方式安裝于沿著元件安裝機(jī)的XYZ方向移動(dòng)的安裝頭， 在所述安裝頭上設(shè)有向所述嘴支架的氣體流路供給氣體的氣體供給路， 所述檢測(cè)單元安裝于所述安裝頭，以檢測(cè)在所述安裝頭的氣體供給路中流動(dòng)的氣體流量或壓力。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的吸嘴的異常檢測(cè)裝置，其特征在于， 在所述嘴支架的內(nèi)周面形成有所述氣體流路的孔和大氣連通孔， 在所述嘴部中的在所述嘴支架內(nèi)上下動(dòng)作的部分，嵌裝有對(duì)所述氣體流路的孔和所述大氣連通孔進(jìn)行開閉的筒狀閥芯， 在所述筒狀閥芯的外周部形成有連通槽，在所述嘴部的壓入量為預(yù)定值時(shí)，所述連通槽使所述氣體流路的孔和所述大氣連通孔連通。
4.一種吸嘴，將吸附元件的嘴部上下可動(dòng)地設(shè)于嘴支架，并且在所述嘴支架上設(shè)有向下方對(duì)所述嘴部進(jìn)行施力的施力單元，在進(jìn)行元件吸附動(dòng)作時(shí)所述嘴部的下端與元件抵接后、或在進(jìn)行元件安裝動(dòng)作時(shí)吸附于所述嘴部的元件與基板抵接后，在所述嘴支架的下降動(dòng)作停止之前，對(duì)應(yīng)于所述嘴支架的下降動(dòng)作，所述嘴部克服所述施力單元的作用力而被壓入，所述吸嘴的特征在于， 在所述嘴支架上設(shè)有通過所述嘴部的上下動(dòng)作而被開閉的氣體流路。
【文檔編號(hào)】H05K13/04GK104054411SQ201280067534
【公開日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2012年1月19日 優(yōu)先權(quán)日:2012年1月19日
【發(fā)明者】西山識(shí) 申請(qǐng)人:富士機(jī)械制造株式會(huì)社