專利名稱:一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及線路制作領(lǐng)域,特別是涉及一種板面銅一次曝光負(fù)片直接蝕刻線路制作方法。
背景技術(shù):
目前,當(dāng)線路板在制作線路,只是要有孔內(nèi)銅和線路銅,由于電鍍藥水對(duì)干膜的影響會(huì)滲鍍蝕刻短路,孔粗糙度大易有孔無(wú)銅,錫缸深鍍力不足,難以保證銅的均勻和孔銅,高速信號(hào)傳輸線路,線的寬度難以保證?,F(xiàn)有的正片由于銅厚均勻性要求較高,所以不能做精細(xì)線路。負(fù)片(Negatave):是指各種底片上(如黑白軟片、掠色軟片)導(dǎo)體線路的圖案是以透明區(qū)呈現(xiàn),而無(wú)導(dǎo)體之基材部分則呈現(xiàn)為暗區(qū)(即軟片上的黑色或棕色部分),以阻止紫外光的透過(guò)此種底片謂之負(fù)片。板子壓膜后曝光菲林透明部分光化學(xué)反應(yīng),顯影所需線路,所用的蝕刻液為堿性蝕刻液。例如申請(qǐng)?zhí)枮镃N201010537301.X,公開(kāi)號(hào)為CN102006728A的中國(guó)發(fā)明專利“一種新型的板面深凹陷線路制作方法”,公開(kāi)了一種新型的板面深凹陷線路制作方法,包括步驟:A)使用負(fù)片蝕刻的方法,對(duì)線路板基板進(jìn)行開(kāi)料、內(nèi)層棕化、內(nèi)層圖形轉(zhuǎn)移及壓板處理后,對(duì)其進(jìn)行鉆孔;B)全板沉銅電鍍或加板電鍍;C)整板電鍍后使用干膜蓋孔;D)通過(guò)線路菲林進(jìn)行第二次曝光及顯影處理;E)對(duì)顯影后的外層線路進(jìn)行酸性蝕刻處理;F)將步驟E)所得線路板進(jìn)行退錫處理,檢測(cè)合格,制得成品。本發(fā)明的目的在于提供一種新型的板面深凹陷線路制作方法,使用負(fù)片蝕刻的方法,整板電鍍后使用干膜蓋孔,并通過(guò)絲印濕膜(一種液態(tài)感光油墨)或者涂布濕膜;通過(guò)兩次曝光顯影,制得板面深凹陷線路,解決現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷。此專利流程時(shí)間較長(zhǎng),需兩次曝光和顯影,還需印濕膜和電鍍錫,并且銅的使用量大,這樣的方法不僅工藝復(fù)雜,而且生產(chǎn)成本也高,不適用于大批量生產(chǎn)。綜上所述,現(xiàn)有的負(fù)片蝕刻線路制造方法存在生產(chǎn)流程時(shí)間長(zhǎng),生產(chǎn)效率低,需要鍍錫,還需要對(duì)錫廢液進(jìn)行處理,投資成本高,環(huán)保污染嚴(yán)重的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問(wèn)題,提出一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法。本發(fā)明只采用一次曝光克服了現(xiàn)有負(fù)片需要做兩次曝光和顯影的技術(shù)問(wèn)題,縮短了生產(chǎn)流程時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率,并且不需鍍錫,減少錫廢液的處理,節(jié)約成本,而且環(huán)保,適用于大批量生產(chǎn)。本發(fā)明采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于包括以下步驟:
A、對(duì)PC B基板依次進(jìn)行開(kāi)料、磨邊、圓角、鉆孔;
B、經(jīng)A步驟后先對(duì)PC B基板全板鍍化學(xué)銅,化學(xué)銅的厚度為0.5-lum ;再對(duì)P C B基板電鍍銅,電鍍銅的厚度為18-25um ;C、經(jīng)B步驟后PC B基板板面進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移,圖形轉(zhuǎn)移包括壓膜、一次曝光和顯影處理;所述一次曝光是指采用線路菲林將經(jīng)壓膜后的P C B基板板面電鍍銅進(jìn)行一次曝光;曝光后經(jīng)過(guò)顯影處理完成圖形轉(zhuǎn)移;
D、經(jīng)C步驟后的PCB基板進(jìn)行堿性蝕刻處理,直達(dá)PCB基板的PH值為8-9;
E、經(jīng)D步驟后對(duì)PC B基板進(jìn)行退膜;退膜后制得半成品線路圖形板;
F、經(jīng)E步驟后在半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板。所述步驟A中,主軸轉(zhuǎn)速為12-18萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘,鉆孔后孔的粗糙度為彡25um ;孔的直徑為0.2-6.0mm,公差為±0.03mm。所述步驟 B中,分別在孔內(nèi)和P C B基板面上沉積有金屬層,金屬層可將孔與線、孔與內(nèi)層互聯(lián)導(dǎo)通,孔內(nèi)化學(xué)銅的厚度為0.5-lum ;電鍍銅的厚度為18-25um。所述步驟C中,壓膜前將P C B基板板面進(jìn)行磨板,磨板是指將P C B基板板面電鍍銅的粗糙度磨至可以牢固貼光致抗蝕干膜的程度,磨板后將P c B基板板面烘干;磨板速度為2.0-2.5m/min,烘干溫度為80_90°C,烘干時(shí)間為30-60秒。所述步驟C中,壓膜時(shí)采用光致抗蝕干膜貼在經(jīng)磨板后的P C B基板的電鍍銅上,光致抗蝕干膜的厚度為38-42um ;壓膜速度為1.0-1.5/min ;壓力3-5kg/cm2,壓膜溫度110-120°C,壓膜時(shí)間為15-25秒。所述步驟C中,采用外層透明的線路菲林,覆蓋光致抗蝕干膜上,并將線路菲林與孔位正對(duì),進(jìn)行一次曝光;曝光時(shí)進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng);曝光能量為以21級(jí)曝光尺測(cè)量在6-8級(jí),菲林重合度< 0.05mm,真空壓力彡680mmhg/cm2。所述步驟C中,顯影處理是指采用濃度為0.8-1.2%的Na2CO3溶液將沒(méi)有曝光的光致抗蝕干膜溶解后留下需要的光致抗蝕干膜線路圖形,溶解速度為2.0-2.5m/min,壓力1.5-1.8kg/cm2,顯影點(diǎn)為 50-70%。所述步驟D中,經(jīng)顯影處理后制得所需線路圖形,再用濃度為13-16%的CuCl2溶液還原所需線路圖形外的銅,直至光致抗蝕干膜完全覆蓋所需線路圖形,被還原的銅量為135-155g/l。所述步驟E中,采用濃度為4-6%NaOH溶液進(jìn)行退膜,退膜速度為2.5-4.5m/min,得到半成品線路圖形板。還包括用于檢測(cè)線路是否合格的步驟G,所述步驟G分別用對(duì)于對(duì)步驟E中的半成品線路圖形進(jìn)行檢測(cè)和對(duì)步驟F中的成品線路圖形進(jìn)行檢測(cè);經(jīng)檢測(cè)合格后的半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板,再經(jīng)檢測(cè)合格后的成品線路圖形板包裝入庫(kù)。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比,其優(yōu)點(diǎn)在于:
1、本發(fā)明采用一次曝光的負(fù)片直接蝕刻方法,在實(shí)際生產(chǎn)中,與現(xiàn)有技術(shù)相比減少了工序,節(jié)約了時(shí)間和生產(chǎn)成本,同時(shí)提高了生產(chǎn)效率,適用于大批量生產(chǎn)。2、本發(fā)明的制造方法不需鍍錫和退錫,節(jié)約成本的前提下,避免了對(duì)錫廢液進(jìn)行處理的時(shí)間和成本,還避免了錫廢液對(duì)環(huán)境的污染;因此,本發(fā)明具有高效、環(huán)保,并且適用于大批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)。3、本發(fā)明操作簡(jiǎn)化,而且對(duì)蝕刻后工序無(wú)任何影響,也節(jié)約表面處理成本;如現(xiàn)有技術(shù)噴錫時(shí)對(duì)錫的浪費(fèi),沉金時(shí)對(duì)金的浪費(fèi)。4、本發(fā)明采用主軸轉(zhuǎn)速為12-18萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘,鉆孔后孔的粗糙度為彡25um ;后工序的品質(zhì)更有保證,是評(píng)估鉆孔質(zhì)量的重要參數(shù)之一;孔的直徑0.2-6.0mm,公差為±0.03mm ;是鉆孔機(jī)的自身能力要求,在實(shí)際鉆孔時(shí)用此參數(shù)評(píng)估鉆孔或做鉆孔質(zhì)量檢驗(yàn),達(dá)到以上的要求,產(chǎn)品在以后工序的質(zhì)量有保證。5、本發(fā)明采用分別在孔內(nèi)和P C B基板面上沉積有金屬層,金屬層可將孔與線、孔與內(nèi)層互聯(lián)導(dǎo)通,孔內(nèi)化學(xué)銅的厚度為0.5-lum ;電鍍銅的厚度為18-25um ;可增加導(dǎo)電層的厚度,達(dá)到客戶要求,也增加導(dǎo)電層的導(dǎo)電性。6、本發(fā)明采用壓膜前將P C B基板板面進(jìn)行磨板,磨板是指將P C B基板板面電鍍銅的粗糙度磨至可以牢固貼光致抗蝕干膜的程度,磨板后將P C B基板板面烘干;磨板速度為2.0-2.5m/min,烘干溫度為80_90°C,烘干時(shí)間為30-60秒;可以去除板面銅的氧化層,粗化板面,并使干燥的板子增加與干膜的結(jié)合力。7、本發(fā)明采用壓膜時(shí)光致抗蝕干膜貼在經(jīng)磨板后的P C B基板的電鍍銅上,光致抗蝕干膜的厚度為38-42um;壓膜速度為1.0-1.5/min ;壓力3-5kg/cm2,壓膜溫度110-120°C,壓膜時(shí)間為15-25秒;溫度、壓力達(dá)到要求才使干膜軟化并具有流動(dòng)性和填平性,即與板面貼合,在要求的速度范圍即壓膜時(shí)間內(nèi)才可確保干膜與板面有良好的結(jié)合力。8、本發(fā)明采用外層透明的線路菲林,覆蓋光致抗蝕干膜上,并將線路菲林與孔位正對(duì),進(jìn)行一次曝光;曝光時(shí)進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng);曝光能量為以21級(jí)曝光尺測(cè)量在6-8級(jí),菲林重合度< 0.05mm,真空壓力> 680mmhg/cm2 ;以適合的能量對(duì)干膜曝光,使干膜產(chǎn)生光聚合反應(yīng),適合的能量是用曝光尺級(jí)數(shù)來(lái)評(píng)估,必須抽真空并達(dá)到要求才能使要求的線寬符
入
口 o9、本發(fā)明采用顯影處理是指采用濃度為0.8-1.2%的Na2CO3溶液將沒(méi)有曝光的光致抗蝕干膜溶解后留下需要的光致抗蝕干膜線路圖形,溶解速度為2.0-2.5m/min,壓力1.5-1.8kg/cm2,顯影點(diǎn)為50-70% ;以確保顯影后的板面無(wú)殘膜,或顯影過(guò)度影響板面線路邊緣的不平整或短路、開(kāi)路。10、本發(fā)明采用經(jīng)顯影處理后制得所需線路圖形,再用濃度為13-16%的CuCl2溶液還原所需線路圖形外的銅,直至光致抗蝕干膜完全覆蓋所需線路圖形,被還原的銅量為135-155g/l。堿性CuCl2溶液溶銅量高,與圖形轉(zhuǎn)移后的圖形外的銅置換速度較快,易制得精細(xì)的線路。
11、本發(fā)明采用濃度為4_6%NaOH溶液進(jìn)行退膜,退膜速度為2.5-4.5m/min,退膜溫度為50±5°C ;得到半成品線路圖形板。以確保在退膜后板面無(wú)殘膜,影響外觀。12、本發(fā)明采用還包括用于檢測(cè)線路是否合格的步驟G,所述步驟G分別用對(duì)于對(duì)步驟E中的半成品線路圖形進(jìn)行檢測(cè)和對(duì)步驟F中的成品線路圖形進(jìn)行檢測(cè);經(jīng)檢測(cè)合格后的半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板,再經(jīng)檢測(cè)合格后的成品線路圖形板包裝入庫(kù)。所有成品圖形板包裝前100%進(jìn)行功能性和外觀檢測(cè),以確保合格的產(chǎn)品給客戶。
圖1為本發(fā)明工藝流程2為本發(fā)明實(shí)施例2工藝流程圖。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例1:
一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,包括以下步驟:
A、對(duì)PC B基板依次進(jìn)行開(kāi)料、磨邊、圓角、鉆孔;
B、經(jīng)A步驟后先對(duì)P C B基板全板鍍化學(xué)銅,化學(xué)銅的厚度為0.5um ;再對(duì)P C B基板電鍍銅,電鍍銅的厚度為18um ;
C、經(jīng)B步驟后PC B基板板面進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移,圖形轉(zhuǎn)移包括壓膜、一次曝光和顯影處理;所述一次曝光是指采用線路菲林將經(jīng)壓膜后的P C B基板板面電鍍銅進(jìn)行一次曝光;曝光后經(jīng)過(guò)顯影處理完成圖形轉(zhuǎn)移;
D、經(jīng)C步驟后的PCB基板進(jìn)行堿性蝕刻處理,直達(dá)PCB基板的PH值為8;
E、經(jīng)D步驟后對(duì)PC B基板進(jìn)行退膜;退膜后制得半成品線路圖形板;
F、經(jīng)E步驟后在半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板。本發(fā)明所述步驟A中,主軸轉(zhuǎn)速為12萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘,鉆孔后孔的粗糙度為彡25um ;孔的直徑為0.2mm,公差為±0.03mm。本發(fā)明所述步驟B中,分別在孔內(nèi)和P C B基板面上沉積有金屬層,金屬層可將孔與線、孔與內(nèi)層互聯(lián)導(dǎo)通,孔內(nèi)化學(xué)銅的厚度為0.5um ;電鍍銅的厚度為18um。本發(fā)明所述步驟C中,壓膜前將P C B基板板面進(jìn)行磨板,磨板是指將P C B基板板面電鍍銅的粗糙度磨至可以粘貼光致抗蝕干膜的程度,磨板后將P C B基板板面烘干;磨板速度為2.0m/min,烘干溫度為80°C,烘干時(shí)間為60秒。本發(fā)明所述步驟C中,壓膜時(shí)采用光致抗蝕干膜貼在經(jīng)磨板后的P C B基板的電鍍銅上,光致抗蝕干膜的厚度為38um ;壓膜速度為1.0/min ;壓力3kg/cm2,壓膜溫度110°C,壓膜時(shí)間為25秒。本發(fā)明所述步驟C中,采用外層透明的線路菲林,覆蓋光致抗蝕干膜上,并將線路菲林與孔位正對(duì),進(jìn)行一次曝光;曝光時(shí)進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng);曝光能量為以21級(jí)曝光尺測(cè)量在6級(jí),菲林重合度< 0.05mm,真空壓力> 680mmhg/cm2。本發(fā)明所述步驟C中,顯影處理是指采用濃度為0.8%的Na2CO3溶液將沒(méi)有曝光的光致抗蝕干膜溶解后留下需要的光致抗蝕干膜線路圖形,溶解速度為2.0m/min,壓力1.5kg/cm2,顯影點(diǎn)為 50%o本發(fā)明所述步驟D中,經(jīng)顯影處理后制得所需線路圖形,再用濃度為13%的CuCl2溶液還原所需線路圖形外的銅,直至光致抗蝕干膜完全覆蓋所需線路圖形,被還原的銅量為 135g/l。本發(fā)明所述步驟E中,采用濃度為4%的NaOH溶液進(jìn)行退膜,退膜速度為2.5m/min,得到半成品線路圖形板。本發(fā)明在使用時(shí),
用鉆孔機(jī)鉆出需要的孔,轉(zhuǎn)速:12萬(wàn)轉(zhuǎn)/min,將孔徑控制在0.2mm ;公差0.03mm ;
在鉆孔后的PCB基板的絕緣樹(shù)脂上以化學(xué)反應(yīng)沉積一層銅形成化學(xué)銅,化學(xué)銅厚度為0.5um,縱橫比為8:1。再在銅的基礎(chǔ)上以電沉積的方式加厚形成電鍍銅,以達(dá)到成品銅厚的要求,電鍍銅的厚度為18um ;
采化學(xué)法或機(jī)械法處理PCB基板的板面,以增加板面上電鍍銅的粗糙度,達(dá)到可將光致抗蝕干膜粘貼在電鍍銅的程度,再將其烘干;磨板速度為2.0m/min,烘干溫度80°C ;采用膠轆以機(jī)械法將光致抗蝕干膜貼在電鍍銅上,光致抗蝕干膜的厚度為38um ;壓膜速度為1.0/min ;壓力3kg/cm2,壓膜溫度110°C,壓膜時(shí)間為?;
采用外層透明的線路菲林,覆蓋光致抗蝕干膜上,并將線路菲林與孔位正對(duì),采用5kw的曝光機(jī)進(jìn)行一次曝光;曝光時(shí)進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng);曝光能量為以21級(jí)曝光尺測(cè)量在6級(jí),菲林重合度< 0.05mm,真空壓力> 68Ommhg/cm2 ;
顯影處理是指采用濃度為0.8%的Na2CO3溶液將沒(méi)有曝光的光致抗蝕干膜溶解后留下需要的光致抗蝕干膜線路圖形,溶解速度為2.0m/min,壓力1.5kg/cm2,顯影點(diǎn)為50% ;經(jīng)顯影處理后制得所需線路圖形,再用堿性CuCl2溶液還原所需線路圖形外的銅,直至光致抗蝕干膜完全覆蓋所需線路圖形,被還原的銅量為135-155g/l。以堿性氯化銅溶液將顯影后板面單質(zhì)銅進(jìn)行化學(xué)置換反應(yīng)溶解而留下基材,同時(shí)顯影后板面光致抗蝕干膜即線路圖形可以抗蝕刻藥水攻擊,從而保護(hù)了光致抗蝕干膜下的銅不被蝕刻掉,也就形成了蝕刻后的線路,氯離子的量為180-210g/l,銅離子的量為135-155g/l,PH 值為 8,溶解速度為 3.0-4.0m/min,壓力為 1.8-2.2kg/cm2 ;
采用濃度為4%的NaOH溶液進(jìn)行退膜,退膜速度為2.5m/min,得到半成品線路圖形板; 在半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板;
采用在成品線路圖形板的裸銅線路上涂覆防焊層,防焊層的厚度為銅面> ISum ;線拐角的厚度為彡10um。實(shí)施例2:``
一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,包括以下步驟:
A、對(duì)PC B基板依次進(jìn)行開(kāi)料、磨邊、圓角、鉆孔;
B、經(jīng)A步驟后先對(duì)PC B基板全板鍍化學(xué)銅,化學(xué)銅的厚度為0.8um ;再對(duì)P C B基板電鍍銅,電鍍銅的厚度為20um ;
C、經(jīng)B步驟后PC B基板板面進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移,圖形轉(zhuǎn)移包括壓膜、一次曝光和顯影處理;所述一次曝光是指采用線路菲林將經(jīng)壓膜后的P C B基板板面電鍍銅進(jìn)行一次曝光;曝光后經(jīng)過(guò)顯影處理完成圖形轉(zhuǎn)移;
D、經(jīng)C步驟后的PCB基板進(jìn)行堿性蝕刻處理,直達(dá)PCB基板的PH值為8;
E、經(jīng)D步驟后對(duì)PC B基板進(jìn)行退膜;退膜后制得半成品線路圖形板;
F、經(jīng)E步驟后在半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板。本發(fā)明所述步驟A中,主軸轉(zhuǎn)速為15萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘,鉆孔后孔的粗糙度為彡25um ;孔的直徑為3mm,公差為±0.03mm。本發(fā)明所述步驟B中,分別在孔內(nèi)和P C B基板面上沉積有金屬層,金屬層可將孔與線、孔與內(nèi)層互聯(lián)導(dǎo)通,孔內(nèi)化學(xué)銅的厚度為0.Sum ;電鍍銅的厚度為20um。本發(fā)明所述步驟C中,壓膜前將P C B基板板面進(jìn)行磨板,磨板是指將P C B基板板面電鍍銅的粗糙度磨至可以粘貼光致抗蝕干膜的程度,磨板后將P C B基板板面烘干;磨板速度為2.2m/min,烘干溫度為85°C,烘干時(shí)間為40秒。本發(fā)明所述步驟C中,壓膜時(shí)采用光致抗蝕干膜貼在經(jīng)磨板后的P C B基板的電鍍銅上,光致抗蝕干膜的厚度為40um ;壓膜速度為1.2/min ;壓力4kg/cm2,壓膜溫度115°C,壓膜時(shí)間為20秒。本發(fā)明所述步驟C中,采用外層透明的線路菲林,覆蓋光致抗蝕干膜上,并將線路菲林與孔位正對(duì),進(jìn)行一次曝光;曝光時(shí)進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng);曝光能量為以21級(jí)曝光尺測(cè)量在7級(jí),菲林重合度< 0.05mm,真空壓力彡680mmhg/cm2。本發(fā)明所述步驟C中,顯影處理是指采用濃度為1.0%的Na2CO3溶液將沒(méi)有曝光的光致抗蝕干膜溶解后留下需要的光致抗蝕干膜線路圖形,溶解速度為2.2m/min,壓力1.5kg/cm2,顯影點(diǎn)為 60%o經(jīng)顯影處理后制得所需線路圖形,再用濃度為14%的CuCl2溶液還原所需線路圖形外的銅,直至光致抗蝕干膜完全覆蓋所需線路圖形,被還原的銅量為145g/l。本發(fā)明所述步驟E中,采用濃度為5%的NaOH溶液進(jìn)行退膜,退膜速度為3.5m/min,得到半成品線路圖形板。本發(fā)明還包括用于檢測(cè)線路是否合格的步驟G,所述步驟G分別用對(duì)于對(duì)步驟E中的半成品線路圖形進(jìn)行檢測(cè)和對(duì)步驟F中的成品線路圖形進(jìn)行檢測(cè);經(jīng)檢測(cè)合格后的半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板,再經(jīng)檢測(cè)合格后的成品線路圖形板包裝入庫(kù)。本發(fā)明在使用時(shí),采用以通、斷路測(cè)試機(jī)測(cè)試,測(cè)試半成品線路圖形板不可以有短路、斷路,100%測(cè)試;在合格的半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板;再采用以 通、斷路測(cè)試機(jī)測(cè)試,測(cè)試成品線路圖形板不可以有短路、斷路,100%測(cè)試;在合格的成品線路圖形板的裸銅線路上涂覆防焊層,防焊層的厚度為銅面> ISum ;線拐角的厚度為> 10um。實(shí)施例3:
一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,包括以下步驟:
A、對(duì)PC B基板依次進(jìn)行開(kāi)料、磨邊、圓角、鉆孔;
B、經(jīng)A步驟后先對(duì)PC B基板全板鍍化學(xué)銅,化學(xué)銅的厚度為Ium ;再對(duì)P C B基板電鍍銅,電鍍銅的厚度為25um ;
C、經(jīng)B步驟后PC B基板板面進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移,圖形轉(zhuǎn)移包括壓膜、一次曝光和顯影處理;所述一次曝光是指采用線路菲林將經(jīng)壓膜后的P C B基板板面電鍍銅進(jìn)行一次曝光;曝光后經(jīng)過(guò)顯影處理完成圖形轉(zhuǎn)移;
D、經(jīng)C步驟后的PCB基板進(jìn)行堿性蝕刻處理,直達(dá)PCB基板的PH值為9;
E、經(jīng)D步驟后對(duì)PC B基板進(jìn)行退膜;退膜后制得半成品線路圖形板;
F、經(jīng)E步驟后在半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板。本發(fā)明所述步驟A中,主軸轉(zhuǎn)速為18萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘,鉆孔后孔的粗糙度為彡25um ;孔的直徑為6mm,公差為±0.03mm。本發(fā)明所述步驟B中,分別在孔內(nèi)和P C B基板面上沉積有金屬層,金屬層可將孔與線、孔與內(nèi)層互聯(lián)導(dǎo)通,孔內(nèi)化學(xué)銅的厚度為Ium ;電鍍銅的厚度為25um。
本發(fā)明所述步驟C中,壓膜前將P C B基板板面進(jìn)行磨板,磨板是指將P C B基板板面電鍍銅的粗糙度磨至可以粘貼光致抗蝕干膜的程度,磨板后將P C B基板板面烘干;磨板速度為2.5m/min,烘干溫度為90°C,烘干時(shí)間為30秒。本發(fā)明所述步驟C中,壓膜時(shí)采用光致抗蝕干膜貼在經(jīng)磨板后的P C B基板的電鍍銅上,光致抗蝕干膜的厚度為42um ;壓膜速度為1.5/min ;壓力5kg/cm2,壓膜溫度120°C,壓膜時(shí)間為15秒。本發(fā)明所述步驟C中,采用外層透明的線路菲林,覆蓋光致抗蝕干膜上,并將線路菲林與孔位正對(duì),進(jìn)行一次曝光;曝光時(shí)進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng);曝光能量為以21級(jí)曝光尺測(cè)量在8級(jí),菲林重合度< 0.05mm,真空壓力> 680mmhg/cm2。本發(fā)明所述步驟C中,顯影處理是指采用濃度為1.2%的Na2CO3溶液將沒(méi)有曝光的光致抗蝕干膜溶解后留下需要的光致抗蝕干膜線路圖形,溶解速度為2.5m/min,壓力
1.5kg/cm2,顯影點(diǎn)為 70%o經(jīng)顯影處理后制得所需線路圖形,再用濃度為16%的CuCl2溶液還原所需線路圖形外的銅,直至光致抗蝕干膜完全覆蓋所需線路圖形,被還原的銅量為155g/l。本發(fā)明所述步驟E中,采用濃度為6%的NaOH溶液進(jìn)行退膜,退膜速度為4.5m/min,得到半成品線路圖形板。本發(fā)明還包括用于檢測(cè)線路是否合格的步驟G,所述步驟G分別用對(duì)于對(duì)步驟E中的半成品線路圖形進(jìn)行檢測(cè)和對(duì)步驟F中的成品線路圖形進(jìn)行檢測(cè);經(jīng)檢測(cè)合格后的半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板,再經(jīng)檢測(cè)合格后的成品線路圖形板包裝入庫(kù)。
權(quán)利要求
1.一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于包括以下步驟: A、對(duì)PC B基板依次進(jìn)行開(kāi)料、磨邊、圓角、鉆孔; B、經(jīng)A步驟后先對(duì)PC B基板全板鍍化學(xué)銅,化學(xué)銅的厚度為0.5-lum ;再對(duì)P C B基板電鍍銅,電鍍銅的厚度為18-25um ; C、經(jīng)B步驟后PC B基板板面進(jìn)行圖形轉(zhuǎn)移,圖形轉(zhuǎn)移包括壓膜、一次曝光和顯影處理;所述一次曝光是指采用線路菲林將經(jīng)壓膜后的P C B基板板面電鍍銅進(jìn)行一次曝光;曝光后經(jīng)過(guò)顯影處理完成圖形轉(zhuǎn)移; D、經(jīng)C步驟后的PCB基板進(jìn)行堿性蝕刻處理,直達(dá)PCB基板的PH值為8-9; E、經(jīng)D步驟后對(duì)PC B基板進(jìn)行退膜;退膜后制得半成品線路圖形板; F、經(jīng)E步驟后在半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于:所述步驟A中,主軸轉(zhuǎn)速為12-18萬(wàn)轉(zhuǎn)/分鐘,鉆孔后孔的粗糙度為彡25um ;孔的直徑為0.2-6.0mm,公差為±0.03mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于:所述步驟B中,分別在孔內(nèi)和P C B基板面上沉積有金屬層,金屬層可將孔與線、孔與內(nèi)層互聯(lián)導(dǎo)通,孔內(nèi)化學(xué)銅的厚度為0.5-lum ;電鍍銅的厚度為18-25um。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于:所述步驟C中,壓膜前將P C B基板板面進(jìn)行磨板,磨板是指將P C B基板板面電鍍銅的粗糙度磨至可以牢固貼光致抗蝕干膜的程度,磨板后將P C B基板板面烘干;磨板速度為2.0-2.5m/min,烘干溫度為80-90°C,烘干時(shí)間為30-60秒。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于:所述步驟C中,壓膜時(shí)采用光致抗蝕干膜貼在經(jīng)磨板后的P C B基板的電鍍銅上,光致抗蝕干膜的厚度為38-42um ;壓膜速度為1.0-1.5/min ;壓力3-5kg/cm2,壓膜溫度110_120°C,壓膜時(shí)間為15-25 秒。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于:所述步驟C中,采用外層透明的線路菲林,覆蓋光致抗蝕干膜上,并將線路菲林與孔位正對(duì),進(jìn)行一次曝光;曝光時(shí)進(jìn)行光化學(xué)反應(yīng);曝光能量為以21級(jí)曝光尺測(cè)量在6-8級(jí),菲林重合度^ 0.05mm,真空壓力 > 680mmhg/cm2。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于:所述步驟C中,顯影處理是指采用濃度為0.8-1.2%的Na2CO3溶液將沒(méi)有曝光的光致抗蝕干膜溶解后留下需要的光致抗蝕干膜線路圖形,溶解速度為2.0-2.5m/min,壓力1.5-1.8kg/cm2,顯影點(diǎn)為 50-70%o
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于:所述步驟D中,經(jīng)顯影處理后制得所需線路圖形,再用濃度為13-16%的CuCl2溶液還原所需線路圖形外的銅,直至光致抗蝕干膜完全覆蓋所需線路圖形,被還原的銅量為135-155g/l。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于:所述步驟E中,采用濃度為4-6%NaOH溶液進(jìn)行退膜, 退膜速度為2.5-4.5m/min,得到半成品線路圖形板。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,其特征在于:還包括用于檢測(cè)線路是否合格的步驟G,所述步驟G分別用對(duì)于對(duì)步驟E中的半成品線路圖形進(jìn)行檢測(cè)和對(duì)步驟F中的成品線路圖形進(jìn)行檢測(cè);經(jīng)檢測(cè)合格后的半成品線路圖形板依次進(jìn)行防焊、銅表面處理后,制得成品線路圖形板,再經(jīng)檢測(cè)合格后的成品線路圖形板包裝 入庫(kù)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種負(fù)片直接蝕刻線路的制作方法,包括以下步驟開(kāi)料、磨邊、圓角、鉆孔;鍍化學(xué)銅;電鍍銅;圖形轉(zhuǎn)移;堿性蝕刻;退膜;防焊、銅表面處理。本發(fā)明只采用一次曝光克服了現(xiàn)有負(fù)片需要做兩次曝光和顯影的技術(shù)問(wèn)題,縮短了生產(chǎn)流程時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率,并且不需鍍錫,減少錫廢液的處理,節(jié)約成本,而且環(huán)保,適用于大批量生產(chǎn)。
文檔編號(hào)H05K3/06GK103209546SQ201310113908
公開(kāi)日2013年7月17日 申請(qǐng)日期2013年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月3日
發(fā)明者陳勝平, 羅獻(xiàn)軍 申請(qǐng)人:遂寧市廣天電子有限公司