元件或基板的作業(yè)裝置和元件安裝裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種元件或基板的作業(yè)裝置和元件安裝裝置，具備頭單元和控制部?？刂撇窟M行以下控制：在使頭單元移動時根據(jù)第一攝像部的中心偏移和第二攝像部的中心偏移來算出頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)因旋轉(zhuǎn)角度而產(chǎn)生的作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的水平面內(nèi)的第一方向上的第一偏移量和第二方向上的第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
【專利說明】元件或基板的作業(yè)裝置和元件安裝裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種元件或基板的作業(yè)裝置和元件安裝裝置，特別是涉及具備包含攝像部的頭單元的元件或基板的作業(yè)裝置和元件安裝裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往已知具備包含攝像部的頭單元的元件安裝裝置等。例如日本特開2005 —347555號公報公開有這樣的元件安裝裝置。
[0003]日本特開2005— 347555號公報中公開了ー種元件安裝裝置，其具備包含兩臺相機(攝像部)和配置在該相機之間的元件吸嘴(作業(yè)機構(gòu)部)井能夠移動到基板上的任意位置的元件安裝頭的元件安裝裝置。該元件安裝裝置的元件安裝頭中，相機間的元件吸嘴配置在通過兩臺相機中心的直線(X軸)上，使用兩臺相機能夠掌握基板面(X-Y平面)內(nèi)元件安裝頭相對于X軸的旋轉(zhuǎn)角度(偏轉(zhuǎn)值)。這種情況下，根據(jù)從相機中心到元件吸嘴的水平距離和元件安裝頭的旋轉(zhuǎn)角度來求得元件吸嘴從X軸偏移的偏移量(Y方向位移)。由此，即使支承元件安裝頭的X軸和Y軸架變形，也可將因變形產(chǎn)生的元件安裝頭的旋轉(zhuǎn)角度相應的偏移量考慮在內(nèi)而使元件安裝頭移動，所以元件吸嘴能夠精度良好地移動到元件安裝位置。
[0004]在日本特開2005 — 347555號公報記載的元件安裝裝置中的元件安裝頭中，在通過兩臺相機中心的直線(X軸)上配置有元件吸嘴，所以根據(jù)相機-元件吸嘴中心間距離和元件安裝頭的旋轉(zhuǎn)角度容易掌握元件吸嘴的偏移量(Y方向位移)。但是，例如元件吸嘴從通過兩臺相機中心的直線偏離地配置的元件安裝頭中，原封不動地適用上述的方式難以掌握元件吸嘴的偏移量。因此，在日本特開2005 — 347555號公報的結(jié)構(gòu)中，存在這樣的問題:在通過攝像部中心間的直線上未配置元件吸嘴(作業(yè)機構(gòu)部)的元件安裝頭的情況下，不能精度良好地將元件吸嘴(作業(yè)機構(gòu)部)移動到元件安裝位置(作業(yè)位置)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明是為了解決上述問題而作出的，其目的之ー在于提供一種元件或基板的作業(yè)裝置和元件安裝裝置，即使在通過攝像部中心間的直線上未配置有作業(yè)機構(gòu)部的情況下也能夠使作業(yè)機構(gòu)部精度良好地移動到作業(yè)位置。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明第一方面的元件或基板的作業(yè)裝置具備:頭單元，包含第一攝像部、第二攝像部以及在俯視圖中配置于通過第一攝像部和第二攝像部的各自中心的直線上以外的位置的作業(yè)機構(gòu)部；以及控制部，進行使頭單元在水平面內(nèi)移動的控制，其中，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使頭單元移動時根據(jù)第一攝像部的中心偏移和第二攝像部的中心偏移來算出頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)因旋轉(zhuǎn)角度而產(chǎn)生的作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、以及作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的水平面內(nèi)的第一方向上的第一偏移量和與第一方向正交的第二方向上的第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。[0007]在本發(fā)明第一方面的元件或基板的作業(yè)裝置中，如上所述，將控制部構(gòu)成為進行以下控制:使頭單元移動時根據(jù)第一攝像部的中心偏移和第二攝像部的中心偏移來算出頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度并且根據(jù)緣于旋轉(zhuǎn)角度的作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、以及作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的水平面內(nèi)的第一方向上的第一偏移量和與第一方向正交的第二方向上的第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置，由此即使是在通過第一攝像部和第二攝像部各自的中心的直線上未配置作業(yè)機構(gòu)部的頭單元，也能夠使用頭單兀的旋轉(zhuǎn)角度以及不緣于旋轉(zhuǎn)的第一方向的第一偏移量和第二方向的第二偏移量，在移動頭單元時適當校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。由此，能夠?qū)⒆鳂I(yè)機構(gòu)部精度良好地移動到與元件或基板有關(guān)的作業(yè)位置。
[0008]上述第一方面的元件或基板的作業(yè)裝置中，優(yōu)選地，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使用頭單元進行與元件或基板有關(guān)的作業(yè)時根據(jù)頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置并使頭単元移動。若如此構(gòu)成，則控制部只要在進行元件或基板有關(guān)的作業(yè)時每次都運算作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的校正量即可。由此，例如，與覆蓋水平面內(nèi)的全部區(qū)域的方式矩陣式地求取與龐大數(shù)量作業(yè)位置對應的作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的校正量并在作業(yè)裝置側(cè)作為數(shù)據(jù)預先準備(存儲)的情況相比較，不需要保持這樣龐大的數(shù)據(jù)，相應地能夠顯著減少作業(yè)裝置側(cè)的數(shù)據(jù)保有量。
[0009]上述控制部執(zhí)行在進行元件或基板有關(guān)的作業(yè)時校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置并移動頭單元的控制的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選地，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在每次對各個元件進行單一作業(yè)或?qū)Ω鱾€基板進行單一作業(yè)時根據(jù)頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置并使頭単元移動。若如此構(gòu)成，則校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置并移動頭單元的控制在各個元件或各個基板的作業(yè)中一次一次反復進行，所以每當對每個元件或?qū)γ總€基板在彼此不同的作業(yè)位置進行作業(yè)時，能夠使作業(yè)機構(gòu)部精度良好地移動到各個作業(yè)位置。
[0010]上述控制部執(zhí)行在進行元件或基板有關(guān)的作業(yè)時校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置并移動頭單元的控制的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選地，控制部被構(gòu)成為:根據(jù)頭單元的水平面內(nèi)的所述旋轉(zhuǎn)角度、旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來進行校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的運算處理并進行使頭單元移動的控制。若如此構(gòu)成，則能夠進行校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的運算處理并實際移動頭單元，所以能夠抑制因運算處理而増大元件或基板有關(guān)的作業(yè)的節(jié)拍時間。
[0011]上述第一方面的元件或基板的作業(yè)裝置中，優(yōu)選地，旋轉(zhuǎn)因素偏移量包含:基于旋轉(zhuǎn)角度以及作業(yè)機構(gòu)部的中心位置與第一攝像部或第二攝像部的中心位置的第一方向上的距離和第二方向上的距離而得到的作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的第一方向上的第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量；以及基于旋轉(zhuǎn)角度以及作業(yè)機構(gòu)部的中心位置與第一攝像部或第二攝像部的中心位置的第一方向上的距離和第二方向上的距離而得到的作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的第二方向上的第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)基于第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第一偏移量的作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的第一方向上的第一校正量以及基于第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第二偏移量的作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的第二方向上的第二校正量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。若如此構(gòu)成，能夠容易根據(jù)頭單元的作業(yè)機構(gòu)部的中心位置與第一攝像部或第二攝像部的中心位置的位置關(guān)系來掌握第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量，并且根據(jù)緣于該旋轉(zhuǎn)移動的第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量，能夠準確求出移動中的頭單元的作業(yè)機構(gòu)部的中心位置有關(guān)的第一方向的第一校正量和第二方向的第二校正量。
[0012]在上述旋轉(zhuǎn)因素偏移量包含第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選地，第一校正量是第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第一偏移量之和，第二校正量是第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第二偏移量之和。若如此控制，則通過控制部能夠分別容易算出作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的第一方向上的校正量(第一校正量)和第二方向上的校正量(第二校正量)。
[0013]在上述旋轉(zhuǎn)因素偏移量包含第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量的結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選地，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使頭單元移動時使作業(yè)機構(gòu)部的中心位置移動到從作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的理論位置坐標分別減去第一方向上的第一校正量和第二方向上的第二校正量所得的位置坐標。若如此構(gòu)成，則控制部的運算處理上，能夠使用第一校正量和第二校正量容易校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置，所以能夠容易將頭單元的作業(yè)機構(gòu)部移動到校正后的作業(yè)位置。
[0014]上述第一方面的元件或基板的作業(yè)裝置中，優(yōu)選地，還具備可分別參照使頭單元在水平面內(nèi)移動時的第一攝像部的中心和第二攝像部的中心各自實際位置坐標相對于理論位置坐標的偏移量的校正表，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使頭單元移動時根據(jù)基于校正表所掌握的第一攝像部的中心偏移和第二攝像部的中心偏移來算出頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)緣于旋轉(zhuǎn)角度的作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。若如此構(gòu)成，則能夠有效利用校正表，根據(jù)頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量迅速地進行校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的運算處理。
[0015]這種情況下，優(yōu)選地、校正表包含規(guī)定了第一攝像部的中心的實際位置坐標相對于理論位置坐標的偏移量的第一校正表和規(guī)定了第二攝像部的中心的實際位置坐標相對于理論位置坐標的偏移量的第二校正表，旋轉(zhuǎn)因素偏移量使用所述第一校正表和所述第二校正表來算出，并且所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量使用所述第一校正表或所述第二校正表來算出。若如此構(gòu)成，則能夠使用第一校正表和第二校正表容易算出作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量，并且能夠有效利用第一校正表或第二校正表的任一方而容易算出作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第ニ偏移量。
[0016]上述第一方面的元件或基板的作業(yè)裝置中，優(yōu)選地、還具備構(gòu)成為能夠使頭単元在水平面內(nèi)移動的移動機構(gòu)部，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在由移動機構(gòu)部使頭單元移動時根據(jù)因移動機構(gòu)部所具有的變形而產(chǎn)生的第一攝像部的中心偏移和第二攝像部的中心偏移來算出頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)緣于旋轉(zhuǎn)角度的作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。如此、即使移動頭單元的移動機構(gòu)部具有變形的情況下，也能夠使用緣于移動機構(gòu)部的變形并由頭單元旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量，在移動頭單元時適當校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
[0017]這種情況下，優(yōu)選地、移動機構(gòu)部包含在第一方向上延伸并使頭単元沿第一方向移動的軌道部件，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使頭單元移動時根據(jù)因軌道部件向第二方向變形而產(chǎn)生的第一攝像部的中心偏移和第二攝像部的中心偏移來算出頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)緣于旋轉(zhuǎn)角度的作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。如此、即使沿第一方向延伸的軌道部件在第二方向上產(chǎn)生翹曲(うねり)等變形的情況下，也能夠使用緣于軌道部件的變形并由在軌道部件上移動的頭單元旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量，在移動頭單元時適當校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
[0018]在上述第一方面的元件或基板的作業(yè)裝置中，優(yōu)選地、作業(yè)機構(gòu)部在頭單元上設(shè)置多個，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使頭單元移動時對多個作業(yè)機構(gòu)部的各個作業(yè)機構(gòu)部根據(jù)第一攝像部的中心偏移和第二攝像部的中心偏移來算出頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)緣于旋轉(zhuǎn)角度的作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來分別校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。若如此構(gòu)成，即使在頭單元具有多個作業(yè)機構(gòu)部的情況下，由于對各個作業(yè)機構(gòu)部進行校正各自中心位置并移動頭單元的控制，所以關(guān)于使用該頭單元進行的全部作業(yè)，能夠分別精度良好地移動與各作業(yè)位置對應的作業(yè)機構(gòu)部。
[0019]上述第一方面的元件或基板的作業(yè)裝置中，優(yōu)選地、所述頭單元構(gòu)成為能夠沿第一方向移動，第一攝像部和第二攝像部配置于在第一方向上對齊的位置，作業(yè)機構(gòu)部的第一偏移量和第二偏移量都由基于第一攝像部或第二攝像部的中心位置從理論位置坐標的偏移而得到的第一分量構(gòu)成，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、由第一分量構(gòu)成的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和由第一分量構(gòu)成的不緣于旋轉(zhuǎn)的第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。若如此構(gòu)成，則對于第一攝像部和第二攝像部在第一方向上對齊排列的頭單元，能夠在移動頭單元時適當?shù)匦Ｕ鳂I(yè)機構(gòu)部的中心位置。其結(jié)果，能夠?qū)⒆鳂I(yè)機構(gòu)部精度良好地移動到與元件或基板有關(guān)的作業(yè)位置。
[0020]上述第一方面的元件或基板的作業(yè)裝置中，優(yōu)選地、頭單元構(gòu)成為能夠沿第一方向移動，第二攝像部相對于第一攝像部配置于在第二方向上不同的位置，作業(yè)機構(gòu)部的第一偏移量和第二偏移量都包括:基于第一攝像部或第二攝像部的中心位置從理論位置坐標的偏移而得到的第一分量、以及基于第二攝像部相對于第一攝像部沿第二方向的配置偏移而得到的第二分量，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、包含第一分量和第二分量的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量、包含第一分量和第二分量的不緣于旋轉(zhuǎn)的第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。若如此構(gòu)成，則關(guān)于第二攝像部相對于第一攝像部配置于在第二方向上不同的位置上的頭単元，通過將基于第二方向的配置偏移的第二分量考慮在內(nèi)，也能夠在移動頭單元時適當?shù)匦Ｕ鳂I(yè)機構(gòu)部的中心位置。其結(jié)果，能夠?qū)⒆鳂I(yè)機構(gòu)部精度良好地移動到與元件或基板有關(guān)的作業(yè)位置。[0021]上述第一方面的元件或基板的作業(yè)裝置中，優(yōu)選地、頭單元還包含設(shè)置成能夠沿第一方向移動并且引導頭單元沿第一方向移動的滑動引導部，根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度以及滑動引導部與第一攝像部或第二攝像部的位置關(guān)系來掌握隨第一攝像部或第二攝像部的中心位置的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)偏移的滑動引導部的中心位置，并且根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度、以及所掌握的滑動引導部的中心位置與作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的位置關(guān)系來算出旋轉(zhuǎn)因素偏移量，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。若如此構(gòu)成，則除了僅根據(jù)第一攝像部或第二攝像部的中心位置與作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的關(guān)系來校正作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的情況以外，在運算處理上還將介于第一攝像部或第二攝像部與作業(yè)機構(gòu)部之間的滑動引導部的旋轉(zhuǎn)偏移有關(guān)的位置信息考慮在內(nèi)，也能夠基于第一攝像部或第二攝像部的中心位置的偏移進行作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的校正。即、能夠首先根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度掌握(預測)使頭單元實際移動的滑動引導部的旋轉(zhuǎn)偏移有關(guān)的中心位置，接著算出因所掌握的滑動引導部的中心位置的旋轉(zhuǎn)偏移而產(chǎn)生的作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的旋轉(zhuǎn)因素偏移量，并算出作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的最終校正量。由此，即使使用上述方法，也能夠?qū)⒆鳂I(yè)機構(gòu)部精度良好地移動到作業(yè)位置。
[0022]本發(fā)明第二方面的元件安裝裝置具備:頭單元，包含第一攝像部、第二攝像部以及在俯視圖中配置于通過第一攝像部和第二攝像部的各自中心的直線上以外的位置的吸嘴；以及控制部，進行使頭單元在水平面內(nèi)移動的控制，其中，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使頭單元移動時根據(jù)第一攝像部的中心偏移和第二攝像部的中心偏移來算出頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)緣于旋轉(zhuǎn)角度的吸嘴的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、以及吸嘴的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的水平面內(nèi)的第一方向上的第一偏移量和與第一方向正交的第二方向上的第二偏移量來校正吸嘴的中心位置。
[0023]本發(fā)明第二方面的元件安裝裝置中，如上所述，將控制部構(gòu)成為進行以下控制:在使頭單元移動時根據(jù)第一攝像部的中心偏移和第二攝像部的中心偏移來算出頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)緣于旋轉(zhuǎn)角度的吸嘴的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、以及吸嘴的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的水平面內(nèi)的第一方向上的第一偏移量和與第一方向正交的第二方向上的第二偏移量來校正吸嘴的中心位置，從而即是在通過第一攝像部和第二攝像部各自的中心的直線上未配置吸嘴的頭單元，也能夠使用頭單元的旋轉(zhuǎn)角度以及不緣于旋轉(zhuǎn)的第一方向的第一偏移量和第二方向的第二偏移量，在移動頭單元時適當校正吸嘴的中心位置。由此，能夠?qū)⑽炀攘己玫匾苿拥桨惭b元件的安裝位置。
[0024]上述第二方面的元件安裝裝置中，優(yōu)選地、控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使用頭單元進行元件安裝動作時根據(jù)頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及吸嘴的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來校正吸嘴的中心位置并使頭単元移動。若如此構(gòu)成，則控制部只要在進行元件安裝動作時毎次都運算吸嘴的中心位置的校正量即可。由此，例如，與覆蓋水平面內(nèi)的全部區(qū)域的方式矩陣式地求出龐大數(shù)量的元件安裝位置對應的吸嘴的中心位置的校正量并在元件安裝裝置側(cè)作為數(shù)據(jù)預先準備(存儲)的情況相比較，不需要保持這樣龐大的數(shù)據(jù)，相應地能夠顯著減少元件安裝裝置側(cè)的數(shù)據(jù)保有量。
[0025]上述第二方面的元件安裝裝置中，優(yōu)選地、旋轉(zhuǎn)因素偏移量包含:基于旋轉(zhuǎn)角度以及吸嘴的中心位置與第一攝像部或第二攝像部的中心位置的第一方向上的距離和第二方向上的距離而得到的吸嘴的中心位置的第一方向上的第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量；以及基于旋轉(zhuǎn)角度以及吸嘴的中心位置與第一攝像部或第二攝像部的中心位置的第一方向上的距離和所述第二方向上的距離而得到的吸嘴的中心位置的第二方向上的第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)基于第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第一偏移量的吸嘴的中心位置的所述第一方向上的第一校正量以及基于第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第二偏移量的吸嘴的中心位置的第二方向上的第二校正量來校正吸嘴的中心位置。若如此構(gòu)成，則能夠容易根據(jù)頭單元的吸嘴的中心位置與第一攝像部或第二攝像部的中心位置的位置關(guān)系來掌握第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量，并且根據(jù)緣于該旋轉(zhuǎn)移動的第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量、以及吸嘴的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來準確求出移動中的頭單元的吸嘴的中心位置有關(guān)的第一方向的第一校正量和第二方向的第ニ校正量。
[0026]上述第二方面的元件安裝裝置中，優(yōu)選地、頭單元構(gòu)成為能夠沿第一方向移動，第ニ攝像部相對于第一攝像部配置于在第二方向上不同的位置，吸嘴的第一偏移量和第二偏移量都包括:基于第一攝像部或第二攝像部的中心位置從理論位置坐標的偏移而得到的第一分量、以及基于第二攝像部相對于第一攝像部沿第二方向的配置偏移而得到的第二分量，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)吸嘴的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、包含第一分量和所述第二分量的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量、以及包含第一分量和所述第二分量的不緣于旋轉(zhuǎn)的第二偏移量來校正吸嘴的中心位置。若如此構(gòu)成，則即使對于第二攝像部相對于第一攝像部配置于在第二方向上不同的位置的頭單元，通過將基于第二方向的配置偏移的第二分量考慮在內(nèi)，也可以在移動頭單元時適當?shù)匦Ｕ斓闹行奈恢?。其結(jié)果，能夠?qū)⑽炀攘己玫匾苿拥皆惭b裝置位置。
[0027]上述第二方面的元件安裝裝置中，優(yōu)選地、頭單元還包含設(shè)置成能夠沿第一方向移動并且引導頭單元沿第一方向移動的滑動引導部，根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度以及滑動引導部與第一攝像部或第二攝像部的位置關(guān)系來掌握隨第一攝像部或第二攝像部的中心位置的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)偏移的滑動引導部的中心位置，并且根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度、以及所掌握的滑動引導部的中心位置與吸嘴的中心位置的位置關(guān)系來算出旋轉(zhuǎn)因素偏移量，控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及不緣于旋轉(zhuǎn)的第一偏移量和第二偏移量來校正吸嘴的中心位置。若如此構(gòu)成，則除了僅根據(jù)第一攝像部或第二攝像部的中心位置與吸嘴的中心位置的關(guān)系校正吸嘴的中心位置的情況以外，在運算處理上還將介于第一攝像部或第二攝像部與吸嘴之間的滑動引導部的旋轉(zhuǎn)偏移有關(guān)的位置信息考慮在內(nèi)，也能夠基于第一攝像部或第二攝像部的中心位置的偏移進行吸嘴的中心位置的校正。即、能夠首先根據(jù)旋轉(zhuǎn)角度掌握(預測)使頭單元實際移動的滑動引導部的旋轉(zhuǎn)偏移有關(guān)的中心位置，接著算出因所掌握的滑動引導部的中心位置的旋轉(zhuǎn)偏移而產(chǎn)生的吸嘴的中心位置的旋轉(zhuǎn)因素偏移量，并算出吸嘴的中心位置的最終校正量。由此，即使使用上述方法，也能夠?qū)⑽炀攘己玫匾苿拥皆惭b位置。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0028]圖1是表示本發(fā)明的第一實施方式的表面安裝機的結(jié)構(gòu)的平面圖。
[0029]圖2本發(fā)明的第一實施方式的表面安裝機沿進深方向(Y2方向)觀察的情況下的側(cè)面圖。[0030]圖3是表示本發(fā)明的第一實施方式的表面安裝機的控制上的結(jié)構(gòu)的框圖。
[0031]圖4是表示本發(fā)明的第一實施方式的表面安裝機中移動中的頭單元因?qū)к壍淖冃味谒矫鎯?nèi)產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)移動的狀態(tài)的圖。
[0032]圖5是用于說明算出伴隨圖4所示的頭單元的偏移的吸嘴從理論位置坐標偏移的偏移量(校正量)的方法的圖。
[0033]圖6是表不本發(fā)明的第一實施方式的表面安裝機中，使用主相機和副相機預先測量裝置所具有的變形量時使用的夾具板的圖。
[0034]圖7是表示本發(fā)明的第一實施方式的表面安裝機中根據(jù)基于夾具板測量到的變形量所生成的并存儲在存儲器中的校正表的圖。
[0035]圖8是表示本發(fā)明的第一實施方式的表面安裝機中，使用主相機和副相機預先測量裝置所具有的變形量時的運算處理部的處理流程的圖。
[0036]圖9是表示本發(fā)明的第一實施方式的表面安裝機中驅(qū)動頭單元而安裝電子元件時的運算處理部的處理流程的圖。
[0037]圖10是表示本發(fā)明的第二實施方式的表面安裝機中，移動中的頭單元因?qū)к壍淖冃味谒矫鎯?nèi)引起了旋轉(zhuǎn)移動的狀態(tài)的圖。
[0038]圖11是用于說明本發(fā)明的第二實施方式的表面安裝機中算出伴隨頭單元的偏移的吸嘴從理論位置坐標偏移的偏移量(校正量)的方法的圖。
[0039]圖12是用于說明本發(fā)明的第三實施方式的表面安裝機中算出伴隨頭單元的偏移的吸嘴從理論位置坐標偏移的偏移量(校正量)的方法的圖。
【具體實施方式】
[0040]以下，根據(jù)【專利附圖】

【附圖說明】本發(fā)明的實施方式。
[0041](第一實施方式)
[0042]首先，參照圖1?圖7，說明本發(fā)明的第一實施方式的表面安裝機100的結(jié)構(gòu)。另夕卜，表面安裝機100是本發(fā)明的“元件或基板的作業(yè)裝置”和“元件安裝裝置”的一例。
[0043]本發(fā)明的第一實施方式的表面安裝機100如圖1和圖2所示，是在印刷基板(配線基板)I上安裝電子元件2的裝置。表面安裝機100如圖1所示具備:基臺4、設(shè)于基臺4上(紙面近前側(cè))的基板搬送部10、能夠在基板搬送部10的上方沿X-Y平面(紙面)移動的頭單元20、能夠在X方向上移動地支承頭單元20的支承部30、使支承部30在Y方向上移動的移動機構(gòu)40。另外，電子元件2是本發(fā)明的“元件”的一例。另外，X方向和Y方向分別是本發(fā)明的“第一方向”和“第二方向”的一例。
[0044]在基板搬送部10的兩側(cè)(Y1 (Y2)側(cè))配置有用于供給電子元件2的多列帶式供料器3。帶式供料器3保持有卷繞了隔開規(guī)定的間隔保持多個電子元件2的料帶的帶盤(未圖示)。并且，被構(gòu)成為通過帶盤旋轉(zhuǎn)而送出料帶，從前端部供給電子元件2。另外，頭單元20具有從帶式供料器3取得電子元件2，并且將電子元件2安裝于基板搬送部10上的印刷基板I的功能。在此，電子元件2是1C、晶體管、電容器和電阻等小片狀的電子元件。
[0045]另外，如圖2所示，在表面安裝機100上安裝有罩體6設(shè)于基臺4上的殼體7。罩體6能夠相對于殼體7向上方(箭頭U方向)轉(zhuǎn)動，并構(gòu)成為用戶(操作員)能夠接近基板搬送部10。另外，圖2中，為了方便圖示，對于由殼體7覆蓋、本來從外部看不到的內(nèi)部結(jié)構(gòu)也用實線表示。
[0046]另外，如圖3所示，在表面安裝機100中內(nèi)設(shè)有用于進行裝置主體各部分的動作控制的控制裝置70?？刂蒲b置70主要由運算處理部(CPU) 71、存儲部72 (動作程序存儲部72a和校正用數(shù)據(jù)存儲部72b)、圖像處理部73、馬達控制部74、外部輸入輸出部75構(gòu)成。另夕卜，關(guān)于構(gòu)成控制裝置70的各個構(gòu)成要素，后述其詳細情況。另外，運算處理部71是本發(fā)明的“控制部”的一例。
[0047]基板搬送部10如圖1所示，具備在印刷基板I的搬送方向即X向上延伸的ー對傳送器部11。另外，在傳送器部11設(shè)置有檢測印刷基板I的搬送狀況的多個基板傳感器(未圖示)。由此，保持于傳送器部11的印刷基板I根據(jù)基板傳感器的檢測結(jié)果而被搬送。另夕卜，基板搬送部10的內(nèi)部設(shè)置有在使搬送中的印刷基板I停止于元件安裝時的停止位置的狀態(tài)下進行保持的夾持機構(gòu)。
[0048]支承部30如圖2所示，具有沿X方向延伸的滾珠絲杠軸31、使?jié)L珠絲杠軸31旋轉(zhuǎn)的伺服馬達32、沿滾珠絲杠軸31延伸的導軌33。另外，頭單元20具有安裝了與滾珠絲杠軸31螺合的滾珠螺母(未圖示)的滑動引導部21。由此，滑動引導部21由導軌33引導并且頭單元20隨滾珠絲杠軸31旋轉(zhuǎn)而沿X方向往復移動。另外，支承部30是本發(fā)明的“移動機構(gòu)部”的一例，導軌33為本發(fā)明的“軌道部件”的一例。
[0049]另外，支承部30被構(gòu)成為在載于基臺4上所固定的移動機構(gòu)40上的狀態(tài)下能夠在與X方向正交的Y方向上移動。具體地，如圖1所示，移動機構(gòu)40具有沿Y方向延伸的滾珠絲杠軸41、使?jié)L珠絲杠軸41旋轉(zhuǎn)的伺服馬達42、沿滾珠絲杠軸41延伸的一對導軌43。另外，導軌43可移動地支承支承部30的兩端部(X方向)。另外，在支承部30設(shè)置有與滾珠絲杠軸41螺合的滾珠螺母35。由此，支承部30由導軌43引導并且滾珠螺母35隨滾珠絲杠軸41旋轉(zhuǎn)而在Y方向上往復移動。因此，頭單元20被構(gòu)成為通過使?jié)L珠絲杠軸31和42旋轉(zhuǎn)能夠在基臺4上沿X-Y平面移動到任意的位置。
[0050]另外，頭單元20如圖2所示，具有固定在滑動引導部21上的搭載頭22、分別安裝于搭載頭22的兩端部(X方向)的主相機23和副相機24。在此，主相機23相對于滾珠絲杠軸31 (X軸)的間隔距離和副相機24相對于滾珠絲杠軸31的間隔距離彼此大致相等。即、如圖1所示，通過主相機23的中心和副相機24的中心的直線(X軸)500與滾珠絲杠軸31大致平行。另外，搭載頭22具有設(shè)于與印刷基板I相対的下面?zhèn)?圖2的Zl側(cè))的多個(6個)的吸嘴25。在此，如圖1所示，各個吸嘴25配置在相對于直線500在Yl方向偏置距離L3的位置上。另外，如圖2所示，各個吸嘴25具有通過由負壓發(fā)生機(未圖示)在嘴前端部產(chǎn)生的負壓吸附并保持電子元件2的功能。另外，主相機23和副相機24分別是本發(fā)明的“第一攝像部”和“第二攝像部”的一例。另外，吸嘴25是本發(fā)明的“作業(yè)機構(gòu)部”的一例。
[0051]在此，作為長尺寸元件的導軌33即使精度良好地設(shè)計和制造，其形狀也會多少變形。即、導軌33不是沿X方向完全筆直，而是朝向Y方向具有微小的位移，作為整體產(chǎn)生翹曲。因此，滑動引導部21隨滾珠絲杠軸31旋轉(zhuǎn)而在導軌33上滑動并在X方向上移動的情況下，因滑動面的翹曲，頭單元20與滑動引導部21 —起在水平面(X — Y平面)內(nèi)邊以X軸為中心向右向左微小振擺邊移動。
[0052]例如圖4所示，頭單元20移動到印刷基板I (參照圖1)上的安裝位置。即、頭單元20除了因滑動面的翹曲而向Yl方向平行移動規(guī)定量，還從該位移后的位置進ー步伴隨水平旋轉(zhuǎn)角度e而逆時針旋轉(zhuǎn)微小量。另外，圖4中，為了方便，夸大地表示水平旋轉(zhuǎn)角度0的大小，實際上，頭單元20的姿勢并未如此程度地顯著變化。另外，圖4中，為了以后說明的方便，在將圖1所示的表面安裝機100的前后方向(Y方向)顛倒后的狀態(tài)下示意性地表示頭單元20的周邊部。
[0053]在此，第一實施方式中，被構(gòu)成為，對具有吸嘴25的中心位置相對于通過主相機23的中心位置和副相機24的中心位置的直線500向Yl側(cè)錯開距離L3的配置結(jié)構(gòu)的頭單元20適用以下的驅(qū)動控制。
[0054]S卩、在第一實施方式中，通過運算處理部71(參照圖3)，將預先掌握的導軌33的變形(翹曲)考慮在內(nèi)來進行調(diào)整伺服馬達32和42 (參照圖3)的轉(zhuǎn)速而移動頭單元20的控制。另外，在各個電子元件2 (參照圖20)的安裝動作每次都執(zhí)行該驅(qū)動控制。由此，被構(gòu)成為每次都能使吸附電子元件2的吸嘴25準確移動到印刷基板I的規(guī)定的安裝位置。以下，詳細說明進行該驅(qū)動控制時的運算處理部71所進行的運算內(nèi)容。
[0055]在一個電子元件2的安裝動作中進行的運算處理的概要如以下所述。如圖5所示，首先根據(jù)頭單元20(參照圖4)在X-Y平面內(nèi)的水平旋轉(zhuǎn)角度0和因主相機23從中心位置的偏移所引起的吸嘴25 (參照圖4)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy來算出吸嘴25的中心位置的X方向的移動量Mv (dx)和Y方向的移動量Mv (dy)。而且，立即從該電子元件2的控制程序上所指定的安裝位置坐標作為校正量減去上述算出的移動量Mv (dx)和Mv (dy)，并生成將偏移量考慮在內(nèi)的控制量(伺服馬達的轉(zhuǎn)速)。另外，水平旋轉(zhuǎn)角度9是本發(fā)明的“水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度”的一例。另外，移動量Mv (dx)和Mv (dy)分別是本發(fā)明的“第一校正量”和“第二校正量”的一例。另外，X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy分別是本發(fā)明的“第一偏移量”和“第二偏移量”的一例。以下說明運算處理中使用的各參數(shù)的求解方法。
[0056]首先，如圖5所示，導軌33 (參照圖4)若處于完全未變形(翹曲)的理想狀態(tài)，則無論頭単元20移動到哪個位置，頭單元20中的直線500和裝置的理論上的X軸線600 (參照圖4)大致平行。這種情況下，作為理論位置的主相機23的中心位置坐標由(Xm，Ym)表示，作為理論位置的副相機24的中心位置坐標由(Xs，Ym)表示。另外，作為從直線500間隔距離L3的理論位置的吸嘴25的中心位置坐標由(Xul，Yul)表示。在此，吸嘴25相對于主相機23在X方向上的相對位置Xuo為Xuo = Xul 一 Xm,吸嘴25相對于主相機23在Y方向上的相對位置Yuo為Yuo = Yul — Ym (= L3)。另外，圖5中，使用通過主相機23、副相機24和吸嘴25各自的中心位置的圖形Gl (虛線表示)，來表現(xiàn)頭單元20的姿勢。
[0057]接著，在導軌33實際上具有變形(翹曲)的狀態(tài)下，如圖4所示，頭單元20被移動而到達某一位置時，頭單元20上的直線500和裝置的X軸線600具有水平旋轉(zhuǎn)角度0而相交。即、頭單元20合成圖5中從圖形Gl的位置在Xl方向和Yl方向上傾斜地平行移動的動作和以主相機23為中心進ー步逆時針旋轉(zhuǎn)水平旋轉(zhuǎn)角度0的動作，而到達圖形G2 (實線所示)的位置。因此，吸嘴25的中心位置坐標從圖形Gl的理論位置坐標(Xul，Yul)向圖形G2的實際位置坐標(Xu2，Yu2)旋轉(zhuǎn)移動。
[0058]該吸嘴25的中心位置的動作若以幾何學表示，則從作為吸嘴25的理論位置的X坐標Xul向旋轉(zhuǎn)移動后的X坐標Xu2移動的X方向的移動量Mv (dx)記作:
[0059]Mv (dx) = Xdx + Udx ? ? ?(式 I)。[0060]另外，從作為吸嘴25的理論位置的Y坐標Yul向?qū)嶋H的旋轉(zhuǎn)移動后的Y坐標Yu2移動的Y方向的移動量My (dy)記作:
[0061]Mv(dy) = Xdy + Udy ? ? ?(式 2)。
[0062]另外，(式I)中的X方向偏移量Xdx是使用主相機23取得的后述的校正表5a (參照圖7)中作為與吸嘴25的X坐標(Xul)對應的位置處的吸嘴25的X方向偏移量而算出的值。另外，(式2)中的Y方向偏移量Xdy是使用主相機23取得的校正表5a中作為與吸嘴25的Y坐標(Yul)對應的位置處的吸嘴25的Y方向偏移量而算出的值。另外，Udx和Udy分別是作為因吸嘴25以水平旋轉(zhuǎn)角度0旋轉(zhuǎn)移動所引起的X方向上的旋轉(zhuǎn)因素偏移量和Y方向上的旋轉(zhuǎn)因素偏移量而算出的值。另外，(式I)和(式2)嚴格講在計算式上記作Mv(dx) = Xdx + Xdx + Udx 和 Mv (dy) = Xdy + Ydy + Udy (參照后述的第二實施方式)。在此，分量Ydx和分量Ydy是與伴隨副相機24相對主相機23在Y方向的配置偏移而產(chǎn)生的吸嘴25的偏移分量相當?shù)膮?shù),但是第一實施方式中主相機23和副相機24在Y方向上不產(chǎn)生配置偏移(都存在于直線500上)，所以分量Ydx和分量Ydy都為零，所以省略其記載。S卩、X方向偏移量Xdx僅由基于主相機23的中心位置從理論位置坐標偏移的分量Xdx構(gòu)成，Y方向偏移量Xdy僅由基于主相機23的中心位置從理論位置坐標偏移的分量Xdy構(gòu)成。另外，旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy分別是本發(fā)明的“第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量”和“第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量”的一例。另外，分量Xdx和分量Xdy是本發(fā)明的“第一分量”的一例。
[0063]另外，從圖形Gl到圖形G2的水平旋轉(zhuǎn)角度0基于圖5，由下式求得。
[0064]9 =sin —1 ((Xdy (S) — Xdy (M) )/(Xs-Xm) ) ? ? ?(式 3)
[0065]在(式3)中，Xdy (M)是作為從圖形Gl到圖形G2的主相機23的中心位置坐標在Yl方向上的偏移量(位移量)根據(jù)后述的校正表5a (參照圖7)算出的值，Xdy (S)是作為從圖形Gl到圖形G2的副相機24的中心位置坐標在Yl方向上的偏移量(位移量)根據(jù)后述的校正表5b (參照圖7)算出的值。另外，關(guān)于校正表5a和5b，分別在進行電子元件2 (參照圖2)的安裝動作之前，通過在裝置上試驗性地移動頭單元20而取得。關(guān)于這一點在后面說明。
[0066]另外，關(guān)于旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy，根據(jù)旋轉(zhuǎn)移動有關(guān)的坐標的一次變換的式子如下算出。即、旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx采用
[0067]Udx = (XuoXcos 0 — Yuo X sin 0 ) — Xuo ? ? ?(式 4)算出。另外，旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udy米用
[0068]Udy = (Xuo X sin 0 + Yuo X cos 0 ) — Yuo ? ? ?(式 5)算出。
[0069]即、(式4)中，根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度e和吸嘴25的中心位置相對于主相機23的中心位置的X方向的相對位置Xuo和Y方向的相對位置Yuo來算出吸嘴25的中心位置在X方向上的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx。另外，在(式5)中，根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度0和吸嘴25的中心位置相對于主相機23的中心位置的X方向的相對位置Xuo和Y方向的相對位置Yuo來算出吸嘴25的中心位置在Y方向上的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udy。
[0070]由此，在第一實施方式中，通過運算處理部71，根據(jù)構(gòu)成圖形Gl的各個機械坐標(主相機23的中心位置坐標(Xm，Ym)、副相機24的中心位置坐標(Xs，Ym)和吸嘴25的中心位置坐標(Xul，Yul))和使用主相機23和副相機24取得的從圖形Gl到圖形G2的移動(旋轉(zhuǎn)移動)有關(guān)的水平旋轉(zhuǎn)角度9的算出結(jié)果來導出吸嘴25的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy，并且進ー步使用以主相機23的中心位置為基準的吸嘴25的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy來推算如圖形G2那樣移動到任意位置的吸嘴25的中心位置的移動量Mv (dx)和Mv (dy)。
[0071]換言之，執(zhí)行向印刷基板I的坐標(Xul，Yul)安裝電子元件2的指令時，不進行本運算處理的情況下，即使在控制程序上吸嘴25與頭單元20 —起向該坐標(理論位置坐標)移動，實際上吸嘴25也被移動到實際位置坐標(Xu2,Yu2)。因此,移動頭單元20時,進行本運算處理，執(zhí)行將吸嘴25的X方向的移動量Mv(dx)考慮在內(nèi)來校正伺服馬達32的轉(zhuǎn)速并將吸嘴25的Y方向的移動量Mv (dy)考慮在內(nèi)來校正伺服馬達42的轉(zhuǎn)速的控制。由此，SP使移動中的頭單元20的姿勢因?qū)к?3的變形而向右向左振擺，也能夠?qū)⑽?5的中心位置準確地朝向控制程序上的理論位置坐標(Xul，Yul)移動。
[0072]另外，在第一實施方式中，被構(gòu)成為對設(shè)于頭單元20上的六個吸嘴25的各個吸嘴單獨進行上述的校正中心位置的控制(運算處理部71算出校正量的運算處理)。因此，使用六個吸嘴25的任一個來安裝電子元件2的情況下，都能夠在校正了吸附有電子元件2的吸嘴25的中心位置的狀態(tài)下進行安裝動作。
[0073]另外，在第一實施方式中，被構(gòu)成為關(guān)于算出(式3)所示的水平旋轉(zhuǎn)角度0時使用的主相機23的中心位置的Y方向偏移量Xdy (M)和副相機24的中心位置的Y方向偏移量Xdy (S)，通過以下的測量方式來事先取得作為用于算出這些值的基準的數(shù)據(jù)(校正表5a和5b)。另外，校正表5a和5b分別是本發(fā)明的“第一校正表”和“第二校正表”的一例。
[0074]具體地，被構(gòu)成為使用圖6所示的玻璃制的夾具板105，測量用于校正表面安裝機100的支承部30 (X軸)和移動機構(gòu)40 (Y軸)內(nèi)存在的變形的作為基準數(shù)據(jù)的校正量(偏移量)。在該夾具板105的表面印刷有沿彼此正交的方向(X軸和Y軸方向)以格柵狀賦予的多個(PXQ個)基準標記R (R11?RpqX而且，代替印刷基板I將夾具板105載置于傳送器部11，在規(guī)定的位置固定后，移動頭單元20，依次拍攝各個基準標記R。
[0075]在此，在第一實施方式中，首先，使用頭單元20的主相機23 (參照圖4)來拍攝各個基準標記R，并且求出各位置處的所拍攝的基準標記R從理論位置的偏移量。舉具體例子來說明，例如驅(qū)動支承部30 (X軸)和移動機構(gòu)40 (Y軸)而使主相機23的中心移動到控制程序上的坐標(1，I)。這種情況下，主相機23的拍攝視野的中心位置坐標(1，I)和夾具板105的實際坐標(Xn，Yn)上所賦予的基準標記R11完全不重合的情況下，實際坐標(Xn，Yn)相對于理論坐標(I，I)的校正量(偏移量)根據(jù)拍攝后的圖像處理結(jié)果作為(A X11，A Y11)求得。在X方向上驅(qū)動支承部30時從沿導軌33的基準標記R11 (實際坐標(Xn，Yn))至基準標記Rpi (實際坐標(X1P，Yip))逐次進行這樣的校正量的算出。另外，將主相機23的中心位置返回到基準點(原點)后，本次，在固定支承部30的狀態(tài)下在Y方向上驅(qū)動移動機構(gòu)40時從沿導軌43的基準標記R12 (實際坐標(X21，Y21))至基準標記Riq (實際坐標(XQ1，Yqi)逐次進行校正量的算出。即、圖6中，算出由L字型的虛線框106包圍的范圍內(nèi)存在的基準標記R有關(guān)的各個校正量(A X，A Y)。其結(jié)果，得到圖7的上段區(qū)域中所示的校正表5a。
[0076]另外，以與上述同樣的順序，進行與副相機24(參照圖4)有關(guān)的校正量(AX，AY)的算出動作。這種情況下，通過將暫時固定于傳送器部11的夾具板105在Xl方向上移動與主相機23和副相機24的中心間距離Xe (= Xs-Xml )(參照圖5)相應的量，并再次固定在傳送器部11上，從而將夾具板105置于副相機24用的位置上。而且，使用副相機24依次拍攝在X方向上排列的基準標記R11?Rp1和在Y方向上排列的基準標記R12?Riq并算出各個校正量(AX，A Y)。其結(jié)果，得到圖7的下段區(qū)域中表示的校正表5b。另外，校正表5a和5b被存儲在存儲部72內(nèi)的校正用數(shù)據(jù)存儲部72b (參照圖3)。這樣，事先取得用于求出在算出上述的水平旋轉(zhuǎn)角度0時使用的Xdy (M)和Xdy (S)的基準數(shù)據(jù)。
[0077]因此，作為一例，在執(zhí)行向印刷基板I的坐標(XuI，YuI)安裝電子元件2的動作時，首先由運算處理部71參照校正表5a來提取與最接近主相機23的中心位置坐標(Xm，Ym)的基準標記Rm對應的校正量(A X，A Y)，并參照校正表5b提取距主相機23的間隔為距離Xe的副相機24的校正量(A X，A Y)。在此，校正量(A X，A Y)僅將與如上那樣由圖6的L字型的虛線框106包圍的范圍的基準標記R有關(guān)的數(shù)據(jù)存儲在校正表5a (5b)中。因此，在第一實施方式中，與最接近中心位置坐標(Xm，Ym)的基準標記Rm有關(guān)的校正量(A X，A Y)引用基準標記Rpl的校正量的X分量A Xlp和基準標記Rlq的校正量的Y分量A Yql而構(gòu)成。即，在將(A Xlp, A Yql)代入與基準標記Rm有關(guān)的校正量(A X，A Y)來進行處理。這是因為，由構(gòu)成X軸的導軌33的變形所引起的主相機23 (或者副相機24)的偏移量無論將負責Y軸移動的移動機構(gòu)40固定在導軌43上的哪個位置都相同，所以沒必要測量夾具板105中與全部的基準標記R (合計PXQ個)有關(guān)的校正量(偏移量)。另外，由此也可節(jié)約校正用數(shù)據(jù)存儲部72b的容量。
[0078]另外，通過上述方式提取與最接近主相機23 (參照圖4)的中心位置坐標(Xm，Ym)的基準標記Rm對應的校正量(A Xlp, A Yql)時,該基準標記Rpq的坐標和主相機23的坐標(Xm, Ym)嚴格來說不一致。因此，被構(gòu)成為，如圖6所示，通過插補與最接近的基準標記Rm在X方向上相鄰ー個的基準標記R(p +し,)和在Y方向上相鄰ー個的R(p,q + D的各個校正量，從而算出與坐標(Xm，Ym)對應的精確的校正量(A X，A Y)。
[0079]另外，插補該既存的校正表5a的數(shù)據(jù)而求取任意位置的校正量的方法在導出與吸嘴25的中心位置(Xul，Yul)對應的校正量(AX (= X方向偏移量Xdx)和A Y (=Y方向偏移量Xdy)時同樣適用。另外,算出使用副相機24 (參照圖4)所取得的校正量(偏移量)時也適用同樣的方法。
[0080]在第一實施方式中，運算處理時分別參照校正表5a和5b (參照圖7)，從而根據(jù)主相機23側(cè)的A Y (= Xdy (M))和副相機24側(cè)的A Y (= Xdy (S))并通過(式3)來算出與頭單元20的旋轉(zhuǎn)移動有關(guān)的水平旋轉(zhuǎn)角度e，并且使用水平旋轉(zhuǎn)角度0根據(jù)(式4)和(式5)分別求處作為旋轉(zhuǎn)因素偏移量的Udx和Udy。另外，根據(jù)校正表5a求出與吸嘴25的X坐標(Xul)對應的位置處的X方向偏移量Xdx和與吸嘴25的Y坐標(Yul)對應的位置處的Y方向偏移量Xdy。而且,分別算出(式I)所不的最終移動量Mv (dx)和(式2)表不的移動量Mv (dy)。在該運算處理的同時，立即將吸嘴25的X方向的移動量Mv(dx)考慮在內(nèi)來使伺服馬達32 (參照圖3)旋轉(zhuǎn)，并且將Y方向的移動量Mv (dy)考慮在內(nèi)來使伺服馬達42 (參照圖3)旋轉(zhuǎn)。由此，吸嘴25朝向控制程序上的坐標(Xul，Yul)準確地移動而不會伴隨偏移。
[0081]另外，各個吸嘴25被構(gòu)成為通過伺服馬達26 (參照圖3)和未圖示的升降機構(gòu)而能夠相對于頭單元20在上下方向(Z方向)移動。表面安裝機100中進行如下動作:頭單元20在將吸嘴25降低至下降位置的狀態(tài)下從帶式供料器3 (參照圖1)吸附電子元件2 (參照圖2)，在吸附了電子元件2的狀態(tài)下暫時返回上升位置，并搬送至印刷基板I (參照圖1)上的規(guī)定的位置，在該位置，吸嘴25再次降低，將電子元件2安裝于印刷基板I。另外，吸嘴25被構(gòu)成為通過伺服馬達27 (參照圖3)和未圖示的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)以吸嘴軸(Z軸)為中心在X-Y平面旋轉(zhuǎn)。由此，詳細調(diào)整在吸嘴25的前端部所保持的電子元件2的姿勢(X-Y平面上的朝向)。
[0082]另外,在基臺4的上表面4a上固定地設(shè)置有基板用相機50和元件用相機60。元件用相機60具有從下方拍攝被吸嘴25吸附的電子元件2的下面?zhèn)鹊墓δ堋Ｓ纱?，判別電子元件2的形狀是否良好，并且判別吸嘴25對電子元件2的吸附位置是否良好。
[0083]另外，如圖3所示，表面安裝機100的動作通過控制裝置70控制。運算處理部71全面地統(tǒng)ー控制表面安裝機100的動作。在存儲部72的動作程序存儲部72a中儲存有運算處理部71能夠執(zhí)行的控制程序和移動頭單元20時需要的數(shù)據(jù)類等。另外，校正用數(shù)據(jù)存儲部72b中儲存有上述的校正表5a和5b。另外，圖像處理部73具有對基板用相機50還有主相機23和副相機24拍攝到的圖像數(shù)據(jù)進行處理并在內(nèi)部生成表面安裝機100的動作所需要的數(shù)據(jù)的功能。
[0084]馬達控制部74被構(gòu)成為根據(jù)從運算處理部71輸出的控制信號來控制表面安裝機100的各伺服馬達(使支承部30在Y方向上移動的伺服馬達42(參照圖1)、使頭單元20在X方向上移動的伺服馬達32 (參照圖1)、使吸嘴25在上下方向上移動的伺服馬達26以及使吸嘴25以吸嘴軸為中心旋轉(zhuǎn)的伺服馬達27等)。另外，馬達控制部74被構(gòu)成為控制設(shè)于基板搬送部10上的基板搬送軸(未圖示)的伺服馬達。另外，馬達控制部74被構(gòu)成為根據(jù)來自各伺服馬達所具有的編碼器(未圖示)的信號而能夠識別頭単元20的X-Y平面的位置、吸嘴25的高度位置和旋轉(zhuǎn)位置等。另外，外部輸入輸出部75具有控制包含運轉(zhuǎn)控制按鈕在內(nèi)的運轉(zhuǎn)操作上的各種按鈕類76、基板傳感器等各種傳感器77的輸入輸出的功能。如此構(gòu)成表面安裝機100。
[0085]接著，參照圖1、圖3和圖5?圖8，說明使用主相機23和副相機24取得作為用于校正表面安裝機100所具有的變形的基準數(shù)據(jù)的校正量(偏移量)時的運算處理部71的控制處理流程。另外，本控制處理流程開始之前，由用戶進行將夾具板105載置于傳送器部11(參照圖1)上并固定在規(guī)定的位置上的操作作業(yè)。因此，以下的說明中，對夾具板105 (參照圖6)固定在傳送器部11上后的表面安裝機100 (參照圖1)的動作進行說明。另外，作為代表例，對使用主相機23 (參照圖1)來求出的校正量(偏移量)時的表面安裝機100的動作進行說明。
[0086]首先，如圖8所示，在步驟SI中，通過運算處理部71 (參照圖3)使對主相機23 (參照圖3)的拍攝次數(shù)進行計數(shù)的變數(shù)(計數(shù))初始化。即，計數(shù)被設(shè)定為P = I且q= I。而且，在步驟S2中，根據(jù)運算處理部71的指令驅(qū)動伺服馬達32 (參照圖3)，頭單元20 (參照圖1)的主相機23的中心位置(拍攝視野的中心點)移動到控制程序上的理論坐標(1，I)。而且，在步驟S3中，主相機23的中心停止于理論坐標(1，I)的狀態(tài)下拍攝固定于傳送器部
11(參照圖11)的夾具板105 (參照圖6)上的第一行的實際坐標(Xn，Yn)所附帯的基準標記 R11。
[0087]而且，在步驟S4中，實際坐標(Xn，Y11)相對理論坐標(1，I)的校正量(偏移量)根據(jù)基于主相機23拍攝后的圖像處理結(jié)果而作為(A X11, A Y11)算出。
[0088]而且，在步驟S5中，判斷第一行(X方向)全部的基準標記R (R11?Rpi)的拍攝是否結(jié)束。步驟S5中判斷為第一行全部基準標記R (R11?Rpi)的拍攝未結(jié)束(“否”判定)的情況下，在步驟S6中將p加一(p = p + I )。而且，返回步驟S2，重復進行以后同樣的處理。即，步驟S2?S6的動作中，主相機23的中心位置從理論坐標(1，I)在橫向上向(2，I)移動，拍攝對應的第一行的實際坐標(X12，Y12)的基準標記R21 (參照圖6)，基于圖像處理來算出(A X12, A Y12X之后，p被加一，主相機23的中心從理論坐標(2，I)在橫向上向(3，I)移動，拍攝所對應的第一行的實際坐標(X13，Y13)的基準標記R31 (參照圖6)，基于圖像處理來算出(AX13，A Y13X該動作重復進行直至P = P。另外，與所算出的第一行各實際坐標對應的校正量(A X，A Y)每次都暫時保存在存儲部72 (參照圖3)的作業(yè)用存儲區(qū)域。
[0089]另外，在步驟S5中判斷為第一行(X方向)全部的基準標記R (R11?Rpi)的拍攝結(jié)束(“是”判定)的情況下，在步驟S7中，判斷第一列(Y方向)全部的基準標記R (R12?Riq)的拍攝是否結(jié)束。在步驟S7中判斷為第一列全部的基準標記R (R12?Riq)的拍攝未結(jié)束(“否”判定)的情況下，在步驟S8中將p = I設(shè)定為固定值并且將q加一(q = q + I)。而且，返回步驟S2，重復進行以后同樣的處理。S卩，在步驟S2?S8 (除了步驟S6)的動作中，主相機23的中心從理論坐標(P，I)移動到(1，2)，拍攝所對應的第一列的實際坐標(X21，Y21)的基準標記R12 (參照圖6)，基于圖像處理來算出(AX21，AY21X之后，q被加一，主相機23的中心從理論坐標(1，2)移動到(1，3)，拍攝所對應的第一列的實際坐標(X31，Y31)的基準標記R13 (參照圖6)，根據(jù)圖像處理來算出(AX31，AY31X該動作重復進行直至q = Q(P= I為固定值)。另外，與所算出的第一列的各實際坐標對應的校正量(AX，AY)毎次都暫時保存在存儲部72的作業(yè)用存儲區(qū)域。
[0090]另外，在步驟S7中判斷為第一列(Y方向)全部的基準標記R (R12?Riq)的拍攝結(jié)束(“是”判定)的情況下，在步驟S9中，參照保存在存儲部72的作業(yè)用存儲區(qū)域中的與各實際坐標對應的校正量(A X，AY)來生成校正表5a (參照圖7)，并且校正表5a被存儲在校正用數(shù)據(jù)存儲部72b (參照圖3)中。如此，取得與圖6的虛線框106所包圍的部分的基準標記R有關(guān)的各個校正量(A X，A Y)，并結(jié)束本控制。
[0091]另外，上述的本控制處理流程也同樣適用于使用副相機24 (參照圖3)求取的校正量(偏移量)的動作。這種情況下，由用戶使暫時固定于傳送器部11 (參照圖1)的夾具板105 (參照圖6)在Xl方向上移動與主相機23和副相機24的中心間距離Xe (= Xs 一Xm| )(參照圖5)相應的量，并再次將其固定在傳送器部11上，從而將夾具板105置于副相機24用的位置上。而且，隨著本控制處理流程的執(zhí)行而生成校正表5b (參照圖7)并存儲在校正用數(shù)據(jù)存儲部72b (參照圖3)中。如此，使用主相機23和副相機24取得用于對表面安裝機100所具有的變形進行校正的校正量(偏移量)的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)。
[0092]接著，參照圖2、圖3、圖5?圖7和圖9，對將電子元件2安裝于印刷基板I時的運算處理部71的控制處理流程進行說明。
[0093]首先，如圖9所示，在步驟S21中，通過運算處理部71 (參照圖3)讀取元件搭載數(shù)據(jù)中所包含的首個電子元件2 (參照圖2)的安裝位置坐標(例如(Xul，Yul)(參照圖5))。
[0094]接著，在步驟S22中，根據(jù)校正表5a和5b (參照圖7)算出移動頭單元20時的校正量(移動量Mv (dx)和Mv (dy)。
[0095]具體地，首先，從校正表5a提取與最接近主相機23的中心位置坐標(Xm，Ym)的基準標記Rpq (參照圖6)相關(guān)地算出的校正量(A Xlp，A Yql),并且也提取與最接近的基準標記Rpq在Yl方向上相鄰的基準標記R (p, q + D的校正量(A Xlp, A Yq + “)。而且，插補各個校正量并算出與坐標Ym對應的校正量A Y (=Xdy (M))。另外，同樣地，從校正表5b提取與最接近副相機24的中心位置坐標(Xs, Ym)的基準標記Rm相關(guān)地算出的校正量(A Xlp,A Yql),并且也提取與最接近的基準標記Rm在Yl方向上相鄰的基準標記R(p,q + n的校正量(A Xlp,AYq + ia)0而且，插補各個校正量并算出與副相機24有關(guān)的坐標Ym所對應的校正量A Y (= Xdy (S))。
[0096]接著，基于主相機23側(cè)的校正量(偏移量)AY (= Xdy (M))和副相機24側(cè)的校正量(偏移量)A Y (=Xdy (S))，根據(jù)(式3)算出頭單元20的旋轉(zhuǎn)移動有關(guān)的水平旋轉(zhuǎn)角度e，并且根據(jù)(式4)和(式5)基于水平旋轉(zhuǎn)角度0分別算出旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy。
[0097]另外，與求出上述校正量A Y (=Xdy (M))的情況同樣地，根據(jù)校正表5a以同樣的方法算出與吸嘴25的中心位置(Xul，Yul)對應的校正量A X (= X方向偏移量Xdx)和校正量A Y (= Y方向偏移量Xdy)。例如，在中心位置(Xul，Yul)的最接近的基準標記為Rpq的情況下，通過插補基準標記Rpq、在Xl方向上相鄰ー個的基準標記R (p +し和在Yl方向上相鄰ー個的基準標記R (p,q + D的各個校正量，從而算出與坐標(Xul, Yul)對應的校正量(AX (= Xdx), A Y (=Xdy))。而且，根據(jù)(式I)算出最終的校正量(移動量Mv (dx)(=Xdx + Udx))，并且根據(jù)(式2)算出最終的校正量(移動量Mv (dy) (= Xdy + Udy))。在步驟S22中，這樣的運算處理通過運算處理部71進行。
[0098]接著，在步驟S23中，將步驟S22中求得的校正量(移動量Mv (dx)和Mv (dy))考慮在內(nèi)而使頭單元20移動至安裝位置。即，將吸嘴25的X方向的移動量Mv (dx)考慮在內(nèi)而使伺服馬達32 (參照圖3)旋轉(zhuǎn)，并且將Y方向的移動量Mv(dy)考慮在內(nèi)而使伺服馬達42 (參照圖3)旋轉(zhuǎn)。而且，在步驟S24中，在移動到安裝位置的狀態(tài)下的頭單元20中，將電子元件2 (參照圖2)安裝于印刷基板I (參照圖2)。
[0099]而且，在步驟S25中，判斷在元件搭載數(shù)據(jù)中是否殘留未安裝(未執(zhí)行)的元件搭載數(shù)據(jù)。在步驟S25中判斷為殘留有搭載數(shù)據(jù)(“是”判定)的情況下，返回步驟S21，重復進行以后同樣的處理。即，讀取新安裝的電子元件2的安裝位置坐標(Xul，Yul)，并且根據(jù)校正表5a和5b (參照圖7)來算出該電子元件2有關(guān)的校正量(移動量Mv (dx)和Mv (dy))。而且，毎次安裝動作時重復進行:將X方向的移動量Mv (dx)考慮在內(nèi)而使伺服馬達32 (參照圖3)旋轉(zhuǎn)，并且將Y方向的移動量Mv (dy)考慮在內(nèi)而使伺服馬達42 (參照圖3)旋轉(zhuǎn)，并將電子元件2安裝于印刷基板I。另外，在步驟S25中判斷為沒有未安裝的搭載數(shù)據(jù)(全部安裝完)(“否”判定)的情況下，本控制結(jié)束。
[0100]在第一實施方式中，如上所述，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:在使頭單元20移動時根據(jù)主相機23的中心偏移和副相機24的中心偏移來算出頭單元20的X-Y平面內(nèi)的水平旋轉(zhuǎn)角度e，并且根據(jù)因水平旋轉(zhuǎn)角度0而引起的吸嘴25的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy以及吸嘴25的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的X-Y平面內(nèi)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy來校正吸嘴25的中心位置。由此，即使在通過主相機23和副相機24各自的中心的直線500上未配置吸嘴25 (向Yl側(cè)離開距離L3)的頭單元20中，也能夠使用頭單元20的水平旋轉(zhuǎn)角度0以及不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy，在移動頭單元20時適當?shù)匦Ｕ?5的中心位置。由此，能夠?qū)⑽?5精度良好地移動到印刷基板I上的安裝位置。[0101]另外，在第一實施方式中，主相機23和副相機24配置于在X方向上對齊的位置上，吸嘴25的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy都僅由基于主相機23 (或副相機24)的中心位置從理論位置坐標的偏移的分量構(gòu)成。并且，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)吸嘴25的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy和頭單元20的水平旋轉(zhuǎn)角度0以及不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy來進行校正吸嘴25的中心位置。由此，關(guān)于主相機23和副相機24在X方向上對齊排列的頭單元20，能夠在移動頭單元20時適當?shù)匦Ｕ?5的中心位置。
[0102]另外，第一實施方式中，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:使用頭單元20進行將電子元件2安裝在印刷基板I上的元件安裝動作時，根據(jù)頭單元20的水平面(X — Y平面)內(nèi)的水平旋轉(zhuǎn)角度9、旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy、吸嘴25的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx (分量Ydx = 0)和Y方向偏移量Xdy (分量Ydy = 0)來校正吸嘴25的中心位置并使頭単元20移動。由此，運算處理部71只要在進行元件安裝動作時毎次都運算作為吸嘴25的中心位置的校正量的移動量Mv (dx)和移動量Mv (dy)即可。因此，例如，與覆蓋X-Y水平面內(nèi)的全部區(qū)域的方式矩陣式地求取龐大數(shù)量作業(yè)位置有關(guān)的校正量(移動量Mv (dx)和Mv (dy))并在表面安裝機100側(cè)作為數(shù)據(jù)存儲的情況相比較，不需要保持這樣龐大的數(shù)據(jù)，相應地能夠顯著減少表面安裝機100側(cè)的數(shù)據(jù)保有量。
[0103]另外，在第一實施方式中，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:在毎次對各個電子元件2進行單一安裝動作時根據(jù)頭單元20的X-Y水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度0、旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy以及吸嘴25的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy來校正吸嘴25的中心位置并使頭單元20移動。由此，校正吸嘴25的中心位置并使頭單元20移動的控制在各個電子元件2的安裝動作中一次一次反復進行，所以每次在各電子元件2彼此不同的安裝位置中進行安裝動作吋，能夠使吸嘴25精度良好地移動到各個安裝位置。
[0104]另外，在第一實施方式中，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度9、旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy以及X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy來進行校正吸嘴25的中心位置的運算處理和使頭單元20移動。由此，能夠進行校正吸嘴25的中心位置的運算處理并且實際移動頭單元20，所以能夠抑制因運算處理而増大各個電子元件2的安裝動作的節(jié)拍時間。
[0105]另外，上述第一實施方式中，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度9、吸嘴25的中心位置相對主相機23的中心位置的X方向上的相對位置Xuo和Y方向上的相對位置Yuo來算出吸嘴25的中心位置的X方向上的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx，并且根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度9、吸嘴25的中心位置相對主相機23的中心位置的X方向上的相對位置Xuo和Y方向上的相對位置Yuo來算出吸嘴25的中心位置的Y方向上的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udy。而且，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)基于旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和X方向偏移量Xdx而得到的吸嘴25的中心位置的X方向上的校正量(移動量Mv (dx))和基于旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udy和Y方向偏移量Xdy而得到的吸嘴25的中心位置的Y方向上的校正量(移動量Mv (dy))來校正吸嘴25的中心位置。由此，能夠容易根據(jù)頭單元20的吸嘴25的中心位置與主相機23的中心位置的位置關(guān)系(吸嘴25相對主相機23的X方向的相對位置Xuo和Y方向的相對位置Yuo)掌握旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy，并且根據(jù)緣于該旋轉(zhuǎn)移動所產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy和吸嘴25的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy，能夠準確求取移動中的頭單元20的吸嘴25的中心位置有關(guān)的X方向的移動量Mv (dx)和Y方向的移動量Mv (dy)。
[0106]另外,第一實施方式中，如(式I)所示,移動量Mv (dx)作為旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和X方向偏移量Xdx之和求得，如(式2)所示，移動量Mv (dy)作為旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udy和Y方向偏移量Xdy之和求得，所以通過運算處理部71容易分別算出吸嘴25的中心位置的X方向上的校正量(移動量Mv (dx))和Y方向上的校正量(移動量Mv (dy))。
[0107]另外，在第一實施方式中，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:在使頭單元20移動時使吸嘴25的中心位置移動到從理論位置坐標分別減去X方向上的移動量Mv(dx)和Y方向上的移動量Mv(dy)所得的位置坐標。由此，運算處理部71的運算處理上，能夠使用移動量Mv (dx)和移動量Mv (dy)而容易校正吸嘴25的中心位置，所以能夠容易將頭單元20的吸嘴25移動到校正后的作業(yè)位置。
[0108]另外，在第一實施方式中，還具備可分別參照使頭單元20在X-Y水平面內(nèi)移動時的主相機23的中心和副相機24的中心各自實際位置坐標相對于理論位置坐標的偏移量的校正表5a和5b。并且，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:在使頭單元20移動時根據(jù)基于校正表5a和5b所掌握的主相機23的中心偏移和副相機24的中心偏移來算出水平旋轉(zhuǎn)角度9，井根據(jù)因水平旋轉(zhuǎn)角度9而產(chǎn)生的吸嘴25的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy以及吸嘴25的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy來校正吸嘴25的中心位置。由此，能夠有效利用校正表5a和5b，迅速地進行根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度0、旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy、以及X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy來校正吸嘴25的中心位置的運算處理。
[0109]另外，在第一實施方式中，規(guī)定了主相機23的中心的實際位置坐標相對理論位置坐標的偏移量的校正表5a和規(guī)定了副相機24的中心的實際位置坐標相對于理論位置坐標的偏移量的校正表5b存儲在校正用數(shù)據(jù)存儲部72b中。而且，旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy使用校正表5a和校正表5b算出，并且X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy使用主相機23的校正表5a算出。由此，能夠使用校正表5a和校正表5b而容易算出吸嘴25的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy，能夠有效地利用校正表5a而容易算出吸嘴25的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy。
[0110]并且，在第一實施方式中，具備以頭單元20可在X-Y平面內(nèi)移動的方式構(gòu)成的支承部30，支承部30具有沿X方向延伸并且用于使頭單元20沿X方向移動的導軌33。并且，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:在由支承部30使頭單元20在X方向上移動時根據(jù)因?qū)к?3所具有的變形所產(chǎn)生的主相機23的中心偏移和副相機24的中心偏移來算出頭単元20的水平旋轉(zhuǎn)角度e，并且根據(jù)因水平旋轉(zhuǎn)角度0而產(chǎn)生的吸嘴25的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy以及吸嘴25的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy來校正吸嘴25的中心位置。如此，即使在支承部30的沿X方向延伸的導軌33在Y方向上產(chǎn)生翹曲等變形的情況下，也能夠使用緣于導軌33的變形并由頭單元20旋轉(zhuǎn)所引起的吸嘴25的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy以及不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy，在移動頭單元20時適當校正吸嘴25的中心位置。
[0111]另外，第一實施方式中，吸嘴25在頭單元20上設(shè)置六個，并將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:在移動頭單元20時對六個吸嘴25的各個吸嘴根據(jù)主相機23的中心偏移和副相機24的中心偏移來算出頭單元20的X-Y平面內(nèi)的水平旋轉(zhuǎn)角度0，井根據(jù)因水平旋轉(zhuǎn)角度9而產(chǎn)生的吸嘴25的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy以及吸嘴25的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy來分別校正吸嘴25的中心位置。由此，即使頭単元20具有多個吸嘴25的情況下，由于進行對各個吸嘴25校正各自的中心位置并使頭単元20移動的控制，所以關(guān)于使用該頭單元20進行的全部的元件安裝動作，能夠分別精度良好地移動與各安裝位置所對應的吸嘴25。
[0112](第二實施方式)
[0113]接著，參照圖5、圖7、圖10和圖11來說明第二實施方式。本發(fā)明的第二實施方式的表面安裝機200中，如圖10所示，以主相機223距滾珠絲杠軸31 (X軸)的間隔距離LI(Y方向)和副相機224距滾珠絲杠軸31的間隔距離L2彼此不同(LI <L2)的方式構(gòu)成頭單元220。因此，基于主相機223和副相機224的位置測量的吸嘴25的位置偏移校正值的運算方法與第一實施方式的情況不同。另外，圖中，對與上述第一實施方式相同的結(jié)構(gòu)使用與第一實施方式相同的符號表不。
[0114]頭單元220如圖10所示，主相機223和副相機224在Y方向上產(chǎn)生配置偏移。因此，關(guān)于第二實施方式的運算處理部71所進行的運算內(nèi)容，如圖11所示，因主相機223的從中心位置的偏移而產(chǎn)生的吸嘴25 (參照圖10)的X方向偏移量(吸嘴25的X坐標(Xul)對應的位置處的X方向偏移量)被置換為“Xdx + Ydx",并且吸嘴25的Y方向偏移量(吸嘴25的Y坐標(Yul)對應的位置處的Y方向偏移量)被置換為“Xdy + Ydy”。并且，適用與第ー實施方式大致同樣的運算處理，算出吸嘴25的中心位置的X方向的移動量Mv9dx)和Y方向的移動量Mv (dy)。另外，X方向偏移量Xdx + Ydx以及Y方向偏移量Xdy + Ydy分別是本發(fā)明的“第一偏移量”和“第二偏移量”的一例。以下，關(guān)于第二實施方式中使用的參數(shù)的求解方法進行說明。
[0115]首先，如圖11所示，若處于導軌33 (參照圖10)完全沒有變形(翹曲)的理想狀態(tài)時，則連接圖形Gl的頭單元220 (參照圖10)的主相機223 (參照圖10)和副相機224 (參照圖10)的直線520 (參照圖10)和X軸本來處于具有角度0m而相交的位置關(guān)系。在此，角度9 m由下式求取。
[0116]9m= tan — 1 ((Ys — Ym) / (Xs — Xm)) ? ? ?(式 6)
[0117]并且，如圖10所示，在導軌33實際產(chǎn)生了變形(翹曲)的狀態(tài)下，頭單元220中的直線520和X軸線600具有角度e d而相交。
[0118]這種情況下，如圖11所示，圖形G2相對圖形Gl的主相機223的中心位置坐標的X方向的偏移量(位移量)為Xdx (M)+ Ydx (M)，副相機224的中心位置坐標的X方向偏移量(位移量)為Xdx (S) + Ydx (S)。另外，主相機223的中心位置坐標的Y方向的偏移量(位移量)為Xdy (M)+ Ydy (M)，圖形G2相對圖形Gl的副相機224的中心位置坐標的Y方向的偏移量(位移量)為Xdy (S) + Ydy (S)。
[0119]另外，關(guān)于各個偏移量(位移量)Xdy(M) + Ydy CM),Xdy (S) + Ydy (S)、Xdx (M) +Ydx(M)和Xdx(S) + Ydx (S),以與第一實施方式同樣的步驟參照事先生成的校正表而算出。第二實施方式的情況下，如圖10所示，副相機224相對主相機223在Yl方向上偏移規(guī)定距離(=L2 — LI)而配置，所以使用主相機223取得的校正表中的校正量的X分量中包含Xdx (M) + Ydx (M)，并且Y分量中包含Xdy (M) + Ydy (M)。同樣地，使用副相機224取得的校正表中的校正量的X分量中包含Xdx (S) +Ydx (S)，并且在Y分量中包含Xdy (S) +Ydy(S)。這一點與第一實施方式中取得的校正表5a和5b (參照圖7)不同。
[0120]因此，第二實施方式中的圖形G2的旋轉(zhuǎn)角度9 d根據(jù)基于頭單元220的結(jié)構(gòu)所取得的校正表(未圖示)，由下式求得。
[0121]0 d = tan —1 (((Ys + XcbKS) + Ydy(S)) -(Ym + Xdy(M)+ Ydy(M)))/(((Xs +Xdx(S) + Ydx (S)) — (Xm + Xdx(M) + Ydx (M)) )) ? ? ?(式 7)
[0122]由此，頭單元220中，在圖11中圖形Gl逆時針旋轉(zhuǎn)水平旋轉(zhuǎn)角度0 (= 0d —em)而與圖形G2(實線所示)的位置錯開。因此，第二實施方式中，置換為0 = 0d— 0 m,求取水平旋轉(zhuǎn)角度9。另外，這種情況下，旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx采用
[0123]Udx = (XumX cos 0 — YumX sin 0 ) — Xum ? ? ?(式 8)算出。另外，旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udy米用
[0124]Udy = (XumX sin 0 + YumXcos 0 ) — Yum ? ? ?(式 9)算出。
[0125]S卩，在(式8)中，根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度0、吸嘴25的中心位置相對主相機223的中心位置的X方向的相對位置Xum和Y方向的相對位置Yum來算出吸嘴25的中心位置的X方向上的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx。另外，在(式9)中，根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度9、上述的X方向的相對位置Xum和Y方向的相對位置Yum來算出吸嘴25的中心位置的Y方向上的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udy。另外,在圖11中，相對位置Xum為Xum = Xul 一 Xm,相對位置Yum為Yum = Yul 一Ym0
[0126]另外，第二實施方式中，如上所述，因主相機223的中心位置從理論位置坐標(Xm，Ym)的偏移而產(chǎn)生的吸嘴25的X方向上的偏移量記作“Xdx + Ydx",吸嘴25的Y方向上的偏移量記作“Xdy + Ydy”。在此，由于在圖形Gl中直線520與X軸線600原本處于具有角度e m而相交的位置關(guān)系下，所以偏移量Xdx + Ydx中包含的分量Ydx表示圖形Gl從第一實施方式的狀態(tài)(參照圖5)以主相機223為旋轉(zhuǎn)中心逆時針旋轉(zhuǎn)角度0 m而產(chǎn)生的X方向上的偏移量的分量。另外，偏移量Xdy + Ydy中包含的分量Ydy表不圖形Gl從第一實施方式的狀態(tài)(參照圖5)以主相機223為旋轉(zhuǎn)中心逆時針旋轉(zhuǎn)角度0 m而產(chǎn)生的Y方向上的偏移量(移動量)的分量。第二實施方式中，在吸嘴25的偏移量中加入了非零的分量Ydx和分量Ydy。另外，偏移量Xdx + Ydx中的分量Xdx以及偏移量Xdy + Ydy中的分量Xdy為本發(fā)明的“第一分量”的一例。另外，偏移量Xdx + Ydx中的分量Ydx以及偏移量Xdy + Ydy中的分量Ydy為本發(fā)明的“第二分量”的一例。
[0127]根據(jù)以上，第二實施方式中，吸嘴25從中心位置坐標(Xul，Yul)向坐標(Xu2，Yu2)移動的移動量(校正量)采用
[0128]Mv (dx) = Xdx + Ydx + Udx ? ? ?(式 10)
[0129]Mv (dy) = Xdy + Ydy + Udy ? ? ?(式 11)分別算出。
[0130]如此，在第二實施方式中，也通過運算處理部71，基于構(gòu)成圖形Gl的各個機械坐標(主相機223的中心位置坐標(Xm，Ym)、副相機224的中心位置坐標(Xs，Ym)以及吸嘴25的中心位置坐標(Xul，Yul)和從圖形Gl向圖形G2移動(旋轉(zhuǎn)移動)有關(guān)的水平旋轉(zhuǎn)角度0 (= 0d- em)的算出結(jié)果，根據(jù)(式8)和(式9)分別導出吸嘴25的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy，并且進ー步使用以主相機223的中心位置為基準的吸嘴25的“X方向:偏移量Xdx + Ydx”和“Y方向:偏移量Xdy + Ydy”，根據(jù)(式10)和(式11)來分別推算吸嘴25的中心的校正量(移動量Mv (dx)和Mv (dy))。另外，關(guān)于第二實施方式中的表面安裝機200的其他結(jié)構(gòu)，與上述第一實施方式的表面安裝機100的結(jié)構(gòu)相同。
[0131]第二實施方式中，如上所述，副相機224相對于主相機223配置于在Yl方向上不同的位置，吸嘴25的“偏移量Xdx + Ydx”除了包含基于主相機223的中心位置從理論位置坐標(Xm，Ym)偏移的分量Xdxタト，還包含基于副相機224相對主相機223沿Yl方向的配置偏移的分量Ydx (デ0)，并且吸嘴25的“偏移量Xdy + Ydy”除了包含基于主相機223的中心位置從理論位置坐標(Xm，Ym)偏移的分量Xdyタト，還包含副相機224相對主相機223沿Yl方向的配置偏移的分量Ydy (デO)。并且，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)吸嘴25的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy、頭單元220的水平面內(nèi)的水平旋轉(zhuǎn)角度0、不緣于旋轉(zhuǎn)的“偏移量Xdx + Ydx”、以及不緣于旋轉(zhuǎn)的“偏移量Xdy + Ydy”來校正吸嘴25的中心位置。由此，即使是副相機224相對主相機223配置在沿Yl方向的不同位置的頭單元220，也可以通過將基于Y方向的配置偏移的分量Ydy考慮在內(nèi)，在移動頭單元220時適當校正吸嘴25的中心位置。其結(jié)果，能夠?qū)⑽?5精度良好地移動到印刷基板I上的安裝位置。另外，第二實施方式的其他效果與上述第一實施方式同樣。
[0132](第三實施方式)
[0133]接著，參照圖1、圖4和圖12，說明第三實施方式。本發(fā)明的第三實施方式的表面安裝機300 (參照圖1)中，與第一實施方式的表面安裝機110的頭單元20的位置偏移校正控制不同，被構(gòu)成為基于掌握(預測)將搭載頭22 (參照圖4)和滾珠絲杠軸31 (參照圖4)連接的滑動引導部21 (參照圖4)的中心位置來校正吸嘴25 (參照圖4)的中心位置。另夕卜，圖中，對與上述第一實施方式同樣的結(jié)構(gòu)賦予與第一實施方式同樣的符號表不。
[0134]關(guān)于第三實施 方式中的運算處理部71所進行的運算內(nèi)容，將滑動引導部21的中心位置的信息(X (K), Y (K))編入運算處理。即，掌握(預測)與主相機23的中心位置的旋轉(zhuǎn)一起產(chǎn)生了旋轉(zhuǎn)偏移的滑動引導部21的中心位置(X(K)，Y(K))，并根據(jù)吸嘴25的中心位置(Xul，Yul)與考慮(預測)到了旋轉(zhuǎn)偏移的滑動引導部21的中心位置(X(K)，Y(K))之間的位置關(guān)系來算出吸嘴25的中心位置(Xul, Yul)的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy。而且,適用與使用了以主相機23為基準時的吸嘴25的平行偏移量(X方向偏移量Xdx和Y方向偏移量Xdy)的第一實施方式大致同樣的運算處理，算出吸嘴25的中心位置的X方向的移動量Mv (dx)和Y方向的移動量Mv (dy)。以下，關(guān)于第三實施方式中使用的參數(shù)的求解方法進行說明。
[0135]具體地,如圖12所示,根據(jù)用Xo = Xk — Xm表示的滑動引導部21相對主相機23(參照圖4)的X方向的相對位置Xo和用Yo = Yk — Ym表示的滑動引導部21相對主相機23的Y方向的相對位置Yo，來預測與主相機23的中心位置的旋轉(zhuǎn)一起產(chǎn)生了旋轉(zhuǎn)偏移時的滑動引導部21的中心位置的X坐標X (K)和Y坐標Y(K)。
[0136]若更詳細地說明，則因主相機23的中心位置從理論位置坐標(Xm，Ym)旋轉(zhuǎn)所產(chǎn)生的滑動引導部21的中心位置的X坐標X (K)使用水平旋轉(zhuǎn)角度9,采用
[0137]X (K) = Xm + (Xo X cos 0 — Yo X sin 0 ) ? ? ?(式 12)
[0138]求得。另外，因旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的滑動引導部21的中心位置的Y坐標Y (K)使用水平旋轉(zhuǎn)角度0，采用[0139]Y (K) = Ym + (Xo X sin θ + Yo X cos θ )...(式 13)
[0140]求得。另外，圖12中，以虛線的圓圈表示考慮了旋轉(zhuǎn)偏移的滑動引導部21的位置(預測位置)。另外，關(guān)于水平旋轉(zhuǎn)角度Θ的算出方法，與上述第一實施方式同樣。
[0141]在此，如圖12所示，考慮了旋轉(zhuǎn)偏移的滑動引導部21的X坐標X(K)與吸嘴25的作為理論位置的X坐標Xul之間的距離用相對位置Xup = Xul - X (K)表示，考慮了旋轉(zhuǎn)偏移的滑動引導部21的Y坐標Y (K)與吸嘴25的作為理論位置的Y坐標Yul之間的距離用相對位置Yup = Yul — Y (K)表不。因此，考慮了主相機23與滑動引導部21的位置關(guān)系時的吸嘴25的中心位置處的因水平旋轉(zhuǎn)角度Θ而產(chǎn)生的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy，如以下求得。
[0142]即，第三實施方式中的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx采用
[0143]Udx = (Xup Xcos Θ — Yup X sin Θ ) — Xup...(式 14)算出。另外，旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udy米用
[0144]Udy = (Xup X sin Θ + Yup X cos θ ) — Yup..?(式 15)算出。
[0145]S卩，第三實施方式中，在(式14)中，根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度Θ以及吸嘴25的中心位置相對于考慮了旋轉(zhuǎn)偏移的滑動引導部21的中心位置的X方向的相對位置Xup和Y方向的相對位置Yup來算出吸嘴25的中心位置的X方向上的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx。另外，在(式15)中，根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度Θ以及吸嘴25的中心位置相對考慮了旋轉(zhuǎn)偏移的滑動引導部21的中心位置的的X方向的相對位置Xup和Y方向的相對位置Yup算出吸嘴25的中心位置的Y方向上的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udy。
[0146]而且，使用因主相機23的中心位置從理論位置坐標(Xm，Ym)偏移而產(chǎn)生的吸嘴25的X方向偏移量Xdx (主相機23有關(guān)的校正表5a (參照圖7)中吸嘴25的X坐標(Xul)對應位置處的X方向偏移量)和Y方向偏移量Xdy (主相機23有關(guān)的校正表5a中吸嘴25的Y坐標(Yul)對應位置處的Y方向偏移量)、以及根據(jù)(式14)和(式15)所算出的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy，來算出吸嘴25的中心位置的校正量(移動量Mv (dx) = Xdx + Ydx +Udx，(其中 Ydx = O)以及移動量 Mv (dy) = Xdy + Ydy + Udy,(其中 Ydy = O))。
[0147]如此，在第三實施方式中，通過運算處理部71根據(jù)構(gòu)成圖形Gl的各個機械坐標、從圖形Gl向圖形G2移動(旋轉(zhuǎn)移動)有關(guān)的水平旋轉(zhuǎn)角度Θ的算出結(jié)果，此外還根據(jù)隨主相機23的中心位置的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生了旋轉(zhuǎn)偏移時的滑動引導部21的中心位置坐標(X(K)，Y(K))的預測值、以及基于該預測值和吸嘴25的理論位置坐標(Xul，Yul)所算出的吸嘴25的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy，來推算吸嘴25的中心位置的校正量(移動量Mv (dx)和Mv(dy))。另外，關(guān)于第三實施方式的表面安裝機300的其他結(jié)構(gòu)與上述第一實施方式的表面安裝機100的結(jié)構(gòu)是同樣的。
[0148]在第三實施方式中，如上所述，將運算處理部71構(gòu)成為:根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度Θ和滑動引導部21與主相機23的位置關(guān)系來掌握(預測)隨主相機23的中心位置(Xm，Ym)旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)偏移的滑動引導部21的中心位置(X(K)，Y(K))，且根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度Θ、所掌握的滑動引導部21的中心位置(X(K)，Y (K))以及吸嘴25的中心位置(Xul，Yul)的X方向的相對位置Xup和Y方向的相對位置Yup來算出旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy。而且，將運算處理部71構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)基于旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和不緣于旋轉(zhuǎn)的X方向偏移量Xdx所算出的吸嘴25的移動量Mv (dx)、以及基于旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udy和不緣于旋轉(zhuǎn)的Y方向偏移量Xdy所算出的吸嘴25的移動量Mv (dy)來校正吸嘴25的中心位置。由此，如第一實施方式那樣，除了僅基于主相機23的中心位置與吸嘴25的中心位置之間的關(guān)系來校正吸嘴25的中心位置的情況外，即使運算處理上還進一步將與介于主相機23與吸嘴25之間的滑動引導部21的旋轉(zhuǎn)偏移有關(guān)的位置信息(X(K), Y(K))考慮在內(nèi)，也能夠基于主相機23的中心位置的偏移進行吸嘴25的中心位置的校正。即，能夠首先根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度Θ掌握(預測)使頭單元20實際移動的滑動引導部21的旋轉(zhuǎn)偏移有關(guān)的中心位置(X (K)，Y (K))，接著，導出因所掌握的滑動引導部21的中心位置的旋轉(zhuǎn)偏移而產(chǎn)生的吸嘴25的中心位置的旋轉(zhuǎn)因素偏移量Udx和Udy，并算出吸嘴25的中心位置的最終的校正量(移動量Mv (dx)和Mv (dy)。由此，使用上述方法，也能夠精度良好地將吸嘴25移動到印刷基板I上的安裝位置。另外，第三實施方式的其他效果與上述第一實施方式是同樣的。
[0149]另外，應當理解本次公開的實施方式所有方面為例示，而非限制性的。本發(fā)明的范圍不由上述實施方式的描述表示而由權(quán)利要求表示，另外還包含與權(quán)利要求均等含義和范圍內(nèi)的全部變更。
[0150]例如，在上述第一至第三實施方式中，例示了本發(fā)明適用于表面安裝機上的例子，但是本發(fā)明不限于此。例如，作為本發(fā)明的“元件或基板的作業(yè)裝置)的一例，本發(fā)明可以適用于在基板上的規(guī)定的涂布位置涂布固定電子元件的焊膏或粘接劑等的涂布劑的點膠機。即、這樣的點膠機中，能夠進行以下控制:根據(jù)點膠頭的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、因旋轉(zhuǎn)角度而產(chǎn)生的排出嘴的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、以及排出嘴的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的第一方向上的第一偏移量和第二方向上的第二偏移量，來校正排出嘴的中心位置并使點膠頭(頭單元)移動。另外，作為本發(fā)明的“元件或基板的作業(yè)裝置”的一例，本發(fā)明也可以適用于將吸附于吸嘴的電子元件移送至配置于規(guī)定的位置上的檢查座并與檢查座連接而進行電子元件的性能檢查的元件試驗裝置。
[0151]另外，上述第一至第三實施方式中，例示了在使多個(六個)吸嘴25在X軸方向上配置成一列的頭單元20移動時適用本發(fā)明的例子，但是本發(fā)明不限于此。例如，也可以在使具備在搭載頭22的下面?zhèn)纫詧A環(huán)狀配置的多個吸嘴25的轉(zhuǎn)動型頭單元移動時適用本發(fā)明。另外，在轉(zhuǎn)動型頭單元中，以圓環(huán)狀配置的吸嘴25在搭載頭22的下面?zhèn)仍谒椒较蛏涎h(huán)移動并變更各個吸嘴25的作業(yè)位置。這種情況下，由于主相機23或副相機24與各個吸嘴25的位置關(guān)系是已知的，所以容易應用本發(fā)明。
[0152]另外，上述第一至第三實施方式中，例示了在沿Z方向觀察時的主相機23和副相機24之間的區(qū)域中相對于直線500在Yl方向錯開距離L3的位置上配置吸嘴25的頭單元20的移動控制中適用本發(fā)明的例子，但是本發(fā)明不限于此。例如，也可以將本發(fā)明適用于在副相機24的與主相機23相反一側(cè)(XI方向)的區(qū)域上配置了吸嘴25的頭單元的移動控制。
[0153]另外，在上述第一至第三實施方式中，例示了根據(jù)頭單元20 (220)的水平旋轉(zhuǎn)角度Θ、因主相機23 (223)的中心位置從理論位置坐標(Xm，Ym)偏移而產(chǎn)生的吸嘴25的X方向偏移量Xdx (第二實施方式中為Xdx + Xdx)以及Y方向偏移量Xdy (第二實施方式中為Xdy + Xdy)來校正吸嘴25的中心位置的例子，但是本發(fā)明不限于此。例如，也可以根據(jù)水平旋轉(zhuǎn)角度Θ和因副相機24 (224)的中心位置從理論位置坐標(Xs，Ys)偏移而產(chǎn)生的吸嘴25的偏移量來校正吸嘴25的中心位置。[0154]另外，上述第一和第三實施方式中，例示了使用(式3)算出水平旋轉(zhuǎn)角度Θ的例子，但是本發(fā)明不限于此。例如在(式3)中水平旋轉(zhuǎn)角度Θ微小的情況下，由于近似式sin0 ^tane成立，因而在求水平旋轉(zhuǎn)角度Θ時，也可以將計算處理程序構(gòu)成為Θ =tan — 1 ((Xdy (S) — Xdy (M))/ (Xs — Xm))..?(式 3a)。
[0155]另外，上述第一至第三實施方式中，例示了測量僅與由夾具板105中的L字型的虛線框106包圍的部分的基準標記R有關(guān)的校正量(ΛΧ，Λ Y)并生成校正表5a (5b)的例子，但是本發(fā)明不限于此。即，只要充分確保校正用數(shù)據(jù)存儲部72b的存儲容量，則也可以測量與全部基準標記R ( 合計PXQ個)有關(guān)的校正量(Λ X，Δ Y)來生成校正表。
【權(quán)利要求】
1.一種元件或基板的作業(yè)裝置，具備: 頭單元，包含第一攝像部、第二攝像部以及作業(yè)機構(gòu)部，該作業(yè)機構(gòu)部在俯視圖中配置于通過所述第一攝像部和所述第二攝像部的各自中心的直線上以外的位置；以及 控制部，進行使所述頭單元在水平面內(nèi)移動的控制， 其中，所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使所述頭單元移動時根據(jù)所述第一攝像部的中心偏移和所述第二攝像部的中心偏移來算出所述頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)因所述旋轉(zhuǎn)角度而產(chǎn)生的所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的水平面內(nèi)的第一方向上的第一偏移量和與所述第一方向正交的第二方向上的第二偏移量來校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
2.如權(quán)利要求1所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使用所述頭單元進行與元件或基板有關(guān)的作業(yè)時根據(jù)所述頭單元的水平面內(nèi)的所述旋轉(zhuǎn)角度、所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量來校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置并使所述頭單元移動。
3.如權(quán)利要求2所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在每次對各個所述元件進行單一作業(yè)或?qū)Ω鱾€所述基板進行單一作業(yè)時根據(jù)所述頭單元的水平面內(nèi)的所述旋轉(zhuǎn)角度、所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量來校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置并使所述頭單元移動。
4.如權(quán)利要求2所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述控制部被構(gòu)成為:根 據(jù)所述頭單元的水平面內(nèi)的所述旋轉(zhuǎn)角度、所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量來進行校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的運算處理并進行使所述頭單元移動的控制。
5.如權(quán)利要求1所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量包含: 基于所述旋轉(zhuǎn)角度以及所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置與所述第一攝像部或所述第二攝像部的中心位置的所述第一方向上的距離和所述第二方向上的距離而產(chǎn)生的所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的所述第一方向上的第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量；以及 基于所述旋轉(zhuǎn)角度以及所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置與所述第一攝像部或所述第二攝像部的中心位置的所述第一方向上的距離和所述第二方向上的距離而產(chǎn)生的所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的所述第二方向上的第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)基于所述第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和所述第一偏移量的所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的所述第一方向上的第一校正量以及基于所述第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量和所述第二偏移量的所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的所述第二方向上的第二校正量來校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
6.如權(quán)利要求5所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述第一校正量是所述第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和所述第一偏移量之和， 所述第二校正量是所述第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量和所述第二偏移量之和。
7.如權(quán)利要求5所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中，所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使所述頭單元移動時使所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置移動到從所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的理論位置坐標分別減去所述第一方向上的所述第一校正量和所述第二方向上的所述第二校正量所得到的位置坐標。
8.如權(quán)利要求1所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 還具備能夠分別參照使所述頭單元在水平面內(nèi)移動時的所述第一攝像部的中心和所述第二攝像部的中心各自實際位置坐標相對于理論位置坐標的偏移量的校正表， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使所述頭單元移動時根據(jù)基于所述校正表所掌握的所述第一攝像部的中心偏移和所述第二攝像部的中心偏移來算出所述頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)因所述旋轉(zhuǎn)角度而產(chǎn)生的所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量來校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
9.如權(quán)利要求8所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述校正表包含:第一校正表，規(guī)定了所述第一攝像部的中心的實際位置坐標相對于理論位置坐標的偏移量；和第二校正表，規(guī)定了所述第二攝像部的中心的實際位置坐標相對于理論位置坐標的偏移量， 所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量使用所述第一校正表和所述第二校正表來算出，并且所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量使用所述第一校正表或所述第二校正表來算出。
10.如權(quán)利要求1所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 還具備移動機構(gòu)部，被構(gòu)成為能夠使所述頭單元在水平面內(nèi)移動， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在由所述移動機構(gòu)部使所述頭單元移動時根據(jù)因所述移動機構(gòu)部所具有的變形而產(chǎn)生的所述第一攝像部的中心偏移和所述第二攝像部的中心偏移來算出所述頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)因所述旋轉(zhuǎn)角度而產(chǎn)生的所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量來校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
11.如權(quán)利要求10所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述移動機構(gòu)部包含在所述第一方向上延伸并使所述頭單元沿所述第一方向移動的軌道部件， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使所述頭單元移動時根據(jù)因所述軌道部件向所述第二方向變形而產(chǎn)生的所述第一攝像部的中心偏移和所述第二攝像部的中心偏移來算出所述頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)因所述旋轉(zhuǎn)角度而產(chǎn)生的所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量來校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
12.如權(quán)利要求1所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述作業(yè)機構(gòu)部在所述頭單元上設(shè)置多個， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使所述頭單元移動時對多個所述作業(yè)機構(gòu)部的各個作業(yè)機構(gòu)部根據(jù)所述第一攝像部的中心偏移和所述第二攝像部的中心偏移來算出所述頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)因所述旋轉(zhuǎn)角度而產(chǎn)生的所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量來分別校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
13.如權(quán)利要求1所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述頭單元構(gòu)成為能夠沿所述第一方向移動， 所述第一攝像部和所述第二攝像部配置于在第一方向上對齊的位置， 所述作業(yè)機構(gòu)部的所述第一偏移量和所述第二偏移量都由基于所述第一攝像部或所述第二攝像部的中心位置從理論位置坐標的偏移而得到的第一分量構(gòu)成， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、所述頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、由所述第一分量構(gòu)成的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和由所述第一分量構(gòu)成的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第二偏移量來校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
14.如權(quán)利要求1所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述頭單元構(gòu)成為能夠沿所述第二方向移動， 所述第二攝像部相對于所述第一攝像部配置于在所述第二方向上不同的位置， 所述作業(yè)機構(gòu)部的所述第一偏移量和所述第二偏移量都包括:基于所述第一攝像部或所述第二攝像部的中心位置從理論位置坐標的偏移而得到的第一分量，以及基于所述第二攝像部相對于所述第一攝像部沿所述第二方向的配置偏移而得到的第二分量， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)所述作業(yè)機構(gòu)部的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、所述頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、包含所述第一分量和所述第二分量的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量、包含所述第一分量和所述第二分量的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第二偏移量來校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。`
15.如權(quán)利要求1所述的元件或基板的作業(yè)裝置，其中， 所述頭單元還包含滑動引導部，設(shè)置成能夠沿所述第一方向移動并且引導所述頭單元沿所述第一方向的移動， 根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)角度和所述滑動引導部與所述第一攝像部或所述第二攝像部的位置關(guān)系來掌握隨所述第一攝像部或所述第二攝像部的中心位置的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)偏移的所述滑動引導部的中心位置，并且根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)角度、以及所掌握的所述滑動引導部的中心位置與所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置的位置關(guān)系來算出所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量來校正所述作業(yè)機構(gòu)部的中心位置。
16.一種元件安裝裝置，具備: 頭單元，包含第一攝像部、第二攝像部以及吸嘴，該吸嘴在俯視圖中配置于通過所述第一攝像部和所述第二攝像部的各自中心的直線上以外的位置；以及控制部，進行使所述頭單元在水平面內(nèi)移動的控制， 其中，所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使所述頭單元移動時根據(jù)所述第一攝像部的中心偏移和所述第二攝像部的中心偏移來算出所述頭單元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度，并且根據(jù)因所述旋轉(zhuǎn)角度而產(chǎn)生的所述吸嘴的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、所述吸嘴的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的水平面內(nèi)的第一方向上的第一偏移量和與所述第一方向正交的第二方向上的第二偏移量來校正所述吸嘴的中心位置。
17.如權(quán)利要求16所述的元件安裝裝置，其中，所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:在使用所述頭單元進行元件安裝動作時根據(jù)所述頭單元的水平面內(nèi)的所述旋轉(zhuǎn)角度、所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量以及所述吸嘴的中心的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量來校正所述吸嘴的中心位置并使所述頭單元移動。
18.如權(quán)利要求16所述的元件安裝裝置，其中， 所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量包含: 基于所述旋轉(zhuǎn)角度以及所述吸嘴的中心位置與所述第一攝像部或所述第二攝像部的中心位置的所述第一方向上的距離和所述第二方向上的距離而得到的所述吸嘴的中心位置的所述第一方向上的第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量；以及 基于所述旋轉(zhuǎn)角度以及所述吸嘴的中心位置與所述第一攝像部或所述第二攝像部的中心位置的所述第一方向上的距離和所述第二方向上的距離而得到的所述吸嘴的中心位置的所述第 二方向上的第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)基于所述第一旋轉(zhuǎn)因素偏移量和所述第一偏移量的所述吸嘴的中心位置的所述第一方向上的第一校正量以及基于所述第二旋轉(zhuǎn)因素偏移量和所述第二偏移量的所述吸嘴的中心位置的所述第二方向上的第二校正量來校正所述吸嘴的中心位置。
19.如權(quán)利要求16所述的元件安裝裝置，其中， 所述頭單元構(gòu)成為能夠沿所述第一方向移動， 所述第二攝像部相對于所述第一攝像部配置于在所述第二方向上不同的位置， 所述吸嘴的所述第一偏移量和所述第二偏移量都包括:基于所述第一攝像部或所述第ニ攝像部的中心位置從理論位置坐標的偏移而得到的第一分量、以及基于所述第二攝像部相對于所述第一攝像部沿所述第二方向的配置偏移而得到的第二分量， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)所述吸嘴的中心的旋轉(zhuǎn)因素偏移量、所述頭単元的水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)角度、包含所述第一分量和所述第二分量的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量、包含所述第一分量和所述第二分量的不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第二偏移量來校正所述吸嘴的中心位置。
20.如權(quán)利要求16所述的元件安裝裝置，其中， 所述頭單元還包含滑動引導部，設(shè)置成能夠沿所述第一方向移動并且引導所述頭單元沿所述第一方向的移動， 根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)角度以及所述滑動引導部與所述第一攝像部或所述第二攝像部的位置關(guān)系來掌握隨所述第一攝像部或所述第二攝像部的中心位置的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)偏移的所述滑動引導部的中心位置，并且根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)角度、以及所掌握的所述滑動引導部的中心位置與所述吸嘴的中心位置的位置關(guān)系來算出所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量， 所述控制部被構(gòu)成為進行以下控制:根據(jù)所述旋轉(zhuǎn)因素偏移量和不緣于旋轉(zhuǎn)的所述第一偏移量和所述第二偏移量來校正所述吸嘴的中心位置。
【文檔編號】H05K13/04GK103429066SQ201310173033
【公開日】2013年12月4日 申請日期:2013年5月10日 優(yōu)先權(quán)日:2012年5月14日
【發(fā)明者】鈴木康弘, 內(nèi)藤寧典 申請人:雅馬哈發(fā)動機株式會社