一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物及其應(yīng)用的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供的一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物，包括重量百分數(shù)為0.0001-75％的表面催化劑，及余量的水。該輔助化學(xué)組合物制備和使用方法簡單、容易實施、重復(fù)性好，用于單晶硅或多晶硅制絨時，可以提高制絨溫度，同時制絨效果有明顯的提高，制得的硅片反射率低、表面清潔、碎片率低，能夠大大提高硅電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
【專利說明】-種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物及其 應(yīng)用

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于新能源領(lǐng)域，特別涉及一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué) 組合物，還涉及該輔助化學(xué)組合物在制備用于單晶硅或多晶硅制絨的酸性制絨液中的應(yīng) 用。

【背景技術(shù)】
[0002] 為了能將入射的光轉(zhuǎn)換成電流，太陽能硅電池或光伏電池需要經(jīng)過硅片表面的粗 糙化和清洗處理，以使入射在硅表面的陽光形成漫反射。硅片表面的粗糙化和清洗處理，一 方面能夠延長光程，從而增加了硅片對光的吸收率；另一方面，能夠使得更多的光子在靠近 PN結(jié)附近的區(qū)域被吸收，產(chǎn)生光生載流子，由于PN結(jié)附近有內(nèi)建電場，這些光生載流子更 容易被收集，從而能夠增加光生載流子的收集效率。
[0003] 單晶硅片表面的粗糙化處理方法通常采用化學(xué)堿性腐蝕，如采用堿性腐蝕液或酸 性腐蝕液腐蝕，使單晶硅片表面形成金字塔狀的絨面。
[0004] 堿性腐蝕液對硅片的不同晶面具有不同的腐蝕速率，對（111)晶面腐蝕較慢，對 (100)晶面腐蝕較快。當(dāng)利用堿性腐蝕液對單晶硅片進行腐蝕時，由于這種各向異性腐蝕特 性，會在單晶硅片表面形成金字塔結(jié)構(gòu)，所有的金字塔都坐落在（100)晶面上。當(dāng)利用堿性 腐蝕液對多晶硅片進行腐蝕時，由于硅片表面具有不同幾種晶面組成(形成很多界面)，其 中（100)晶面大約僅占20%，采用堿性腐蝕液液對多晶硅制絨效果不理想。
[0005] 酸性各向同性制絨工藝廣泛應(yīng)用于單晶硅和多晶硅。目前廣泛應(yīng)用的酸性各向同 性制絨工藝的酸性腐蝕液是由氫氟酸（HF)、硝酸（HN03)和純水按一定的比例混合而成。該 方法中硝酸的作用是氧化硅表面，而氫氟酸的作用是不斷去除硅表面的氧化層。這種工藝 的最大特點是非常簡單，但是仍然有一些不足之處需要改進，例如：制絨后絨面的色差(特 別是不同界面間的色差）大，反射率高，腐蝕制絨后的硅片易碎，特別是硅電池的轉(zhuǎn)換效率 不商7等等。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 發(fā)明目的：本發(fā)明的第一目的是提供一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化 學(xué)組合物。
[0007] 本發(fā)明的第二目的是提供上述輔助化學(xué)組合物在制備用于單晶硅或多晶硅制絨 的酸性制絨液中的應(yīng)用。
[0008] 技術(shù)方案：本發(fā)明提供的一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物， 包括重量百分數(shù)為0. 0001-75%的表面催化劑，及余量的水。
[0009] 優(yōu)選地，所述輔助化學(xué)組合物，包括重量百分數(shù)為1-50 %的表面催化劑，及余量的 水。更優(yōu)選地，所述輔助化學(xué)組合物，包括重量百分數(shù)為5-30%的表面催化劑，及余量的水。
[0010] 其中，所述表面催化劑選自氨基酸類化合物、醇類化合物、酯類化合物、酮類化合 物、有機酸、醚類化合物、銨類化合物、酰胺類化合物以及表面活性劑中的一種或幾種。
[0011] 作為優(yōu)選，所述氨基酸類化合物主要選自水溶性氨基酸和極性氨基酸中的一種或 幾種，所述醇類化合物主要選自水溶性的1至4個碳原子的一元醇和水溶性的多元醇類化 合物中一種或幾種，所述酯類化合物主要選自水溶性的碳酸酯類化合物中的一種或幾種， 所述酮類化合物主要選自水溶性的3至10個碳原子的酮類化合物中的一種或幾種，所述有 機酸主要選自水溶性的1至20個碳原子的一元羧酸、水溶性的多元羧酸以及氟化的有機磺 酸類化合物中的一種或幾種，所述醚類化合物主要選自水溶性的醚類化合物中的一種或幾 種，所述銨類化合物主要選自水溶性的季銨鹽和無機銨類化合物中的一種或幾種，所述酰 胺類化合物主要選自水溶性的酰胺類化合物中的一種或幾種。
[0012] 作為進一步優(yōu)選，所述氨基酸類化合物選自甘氨酸、絲氨酸、蘇氨酸、半胱氨酸， 酪氨酸，天冬氨酸、谷氨酰胺、賴氨酸、精氨酸、組氨酸、天冬氨酸和谷氨酸中的一種或幾 種，所述醇類化合物選自甲醇、異丙醇、季戊四醇、木糖醇、甲基丙二醇、丁氧基丙醇、乙二 醇、丙三醇、二縮二乙二醇和1，2_丙二醇中的一種或幾種；所述酯類化合物選自丙二醇碳 酸酯、乙二醇碳酸酯和碳酸甲乙酯中的一種或幾種，所述酮類化合物選自丙酮、丁酮、2-戊 酮和苯丙酮中的一種或幾種，所述有機酸選自癸二酸、膠酸、甲酸、三氟甲基磺酸、水楊酸、 花生酸、單寧酸、軟木酸、蘋果酸、癸酸、月桂酸、鞣花酸、馬來酸、醋酸，酒石酸、辛酸、草酸、 肥酸、琥珀酸、檸檬酸、硬脂酸、豆蘧酸、丙氨酸、縮蘋果酸、杜鵑花酸和甲基丙烯酸中的一種 或幾種；所述醚類化合物選自亞烷基二醇單烷基醚和聚乙二醇中的一種或幾種；所述銨類 化合物選自二甲基乙基-2-羥乙基氫氧化銨、氟化銨、三甲基-3-羥丁基氫氧化銨、三甲 基-3-羥丙基氫氧化銨、三丁基2-羥基乙基氫氧化銨和氟化四甲基銨中的一種或幾種； 所述酰胺類化合物選二甲基酰胺、聚乙烯吡咯烷酮的一種或幾種；所述表面活性劑選自 Capstone*FS-10>Capstone?FS-30>Capstone*FS-31>Capstone?FS-50>Capstone? FS-8UCapstone*'1FS-83>Capstone* 1157>Capstone* 1157D>Capstone* 1157N>Caps!one* 1430>Capstone* 1440>Capstone* 1460>CapstoncR>FS-3100>Dehypon?0054> FC-17、FC-23、FC-170、FC-171、FC-430、FC-431、FC-2000、FC-3000、FC-5000、FC-6000、 Tergitol?L61>Tergitol?L62>Macol?16>Plutonic* 17R2>Fiuronlc* 17R4>Pluronic* 25R2、Pltronie*1 25R4、Pluronic# 31R1、Plurom'e* 10R5、TRIT0N?DF-1、TRIT0N?BG-10、 TRIT0N?CG-50、TRIT0N?CG-110、TRIT0N?QS-44、TRIT0N?X-100、Tergitol?81 和 Tergitol?101中的一種或幾種。
[0013] 作為更進一步優(yōu)選，所述聚乙二醇的分子量在2000以下，所述聚乙烯吡咯烷酮的 分子量在10000以下。
[0014] 其中，所述水是去離子水。
[0015] 本發(fā)明還提供了上述輔助化學(xué)組合物在單晶硅或多晶硅制絨中的應(yīng)用。
[0016] 所述應(yīng)用，具體為：將輔助化學(xué)組合物加入氫氟酸、硝酸的混合溶液中，得酸性制 絨液，再將單晶硅片或多晶硅片浸入到酸性制絨液中進行制絨。
[0017] 作為優(yōu)選，所述輔助化學(xué)組合物與氫氟酸、硝酸的混合溶液的質(zhì)量比為 (0. 05-15) : 100 ;所述氫氟酸、硝酸的混合溶液中氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為5-30%，硝酸 的質(zhì)量百分比濃度為25-75% ;制絨溫度為5-30°C，制絨時間為60-300S。
[0018] 有益效果：本發(fā)明提供的輔助化學(xué)組合物制備和使用方法簡單、容易實施、重復(fù)性 好，用于單晶硅或多晶硅制絨時，可以提高制絨溫度，同時制絨效果有明顯的提高，制得的 硅片反射率低、表面清潔、碎片率低，能夠大大提高硅電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
[0019] 具體而言，采用該輔助化學(xué)組合物進行硅片表面制絨后，硅片整面色澤均勻，硅片 表面形成分布均勻、窄而深的"腐蝕坑";與未加入輔助化學(xué)組合物時相比，腐蝕坑尺寸更加 細小，分布更加均勻，被腐蝕掉的硅片量較??；該輔助化學(xué)組合物的使用能夠顯著降低硅片 的反射率，平均反射率低于20%。將制得的硅片用于太陽能電池中，能夠提高電池片的成品 率，同時能夠提升電池片的短路電流并增大電池片的填充因子，進而大大提高太陽能電池 片的光電轉(zhuǎn)換效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020] 圖1為未使用包含輔助化學(xué)組合物的酸性制絨液制得的硅片表面絨面的掃描電 鏡平面圖。
[0021] 圖2為使用包含輔助化學(xué)組合物的酸性制絨液制得的硅片表面絨面的掃描電鏡 平面圖。

【具體實施方式】
[0022] 下面結(jié)合【具體實施方式】，進一步闡述本發(fā)明。應(yīng)理解，這些實施例僅用于說明本發(fā) 明而不用于限制本發(fā)明的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本發(fā)明的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員 可以對本發(fā)明作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的 范圍。
[0023] 按以下配方配置100份輔助化學(xué)組合物：
[0024] 組合物1:三氟甲基磺酸50份，酒石酸25份、余量為水；
[0025] 組合物2:辛酸10份、肥酸5份、癸酸5份、月桂酸8份、鞣花酸5份、余量為水；
[0026] 組合物3:丁氧基丙醇50份、余量為水；
[0027] 組合物4:分子量為1000的聚乙二醇5份、1，2-丙二醇20份、余量為水；
[0028] 組合物5:碳酸甲乙酯1份、天冬氨酸40份、余量為水；
[0029] 組合物6:分子量為500的聚乙二醇1份、2-戊酮35份、余量為水；
[0030] 組合物7 :分子量為2000聚乙烯吡咯烷酮45份、亞烷基二醇單烷基醚10份、余量 為水；
[0031] 組合物8 :二甲基乙基-2-羥乙基氫氧化銨20份、余量為水；
[0032] 組合物9:三甲基-3-羥丁基氫氧化銨10份、分子量為200的聚乙二醇1份、三甲 基-3-羥丙基氫氧化銨5份、余量為水；
[0033] 組合物10:分子量為10000的聚乙烯吡咯烷酮15份、余量為水；
[0034] 組合物11:谷氨酸50份、余量為水；
[0035] 組合物12:丙二醇碳酸酯30份、余量為水；
[0036] 組合物13:苯丙酮40份、余量為水；
[0037]組合物 14:Ca：pstone_FS-10 30 份、Capstone* 1157 15 份、余量為水；
[0038]組合物 15:CapsUme*FS-30 2 份、L'apsUme? 1460 2 份、Qipslotie*FS-3100 1 份、余量為水；
[0039] 組合物16 :Dehypon?0054 1份、余量為水；
[0040] 組合物17 :FC-17 25份、FC-171 30份、余量為水；
[0041] 組合物18 :FC-5000 0. 0001份、余量為水；
[0042]組合物 19 :Tergitol?L610?5 份、余量為水；
[0043]組合物 20:P]uronic? 17R4 2 份、余量為水；
[0044]組合物 21 :Tergitol?L62 2 份、Pluronie? 25R4 6 份、Pluronic* 31R1 3 份、余 量為水；
[0045] 組合物22 :TRIT0N?DF-1 30份、余量為水；
[0046]組合物 23 :TRIT0N?BG-10 10 份、余量為水；
[0047]組合物 24 :TRIT0N?CG-50 20 份、TRIT0N?QS-44 5 份、余量為水；
[0048]組合物 25 :FC-23 3 份、FC-430 3 份、FC-431 3 份、FC-2000 1 份、余量為水；
[0049]組合物 26 :TRIT0N?X-100 0. 8 份、余量為水；
[0050] 組合物 27 :TRIT0N?CG-110 0? 1 份、余量為水；
[0051] 組合物28 :Tergitol?81 3份、余量為水；
[0052] 組合物29 :Macol?16 35份、余量為水；
[0053] 組合物30:分子量為500的聚乙烯吡咯烷酮1份、馬來酸5份、甲酸3份、絲氨 酸 1 份、Capstone* 1440 0? 5 份、FC-170 0? 5 份、FC-6000 0? 5 份、！)iutonk'h% 17R2 1 份、 Plur?nic?: 25R2 1 份、TRIT0N?QS-44 1 份、TRIT0N?X-100 1 份、余量為水；
[0054] 組合物31:分子量為3000的聚乙烯吡咯烷酮1份、琥珀酸2份、水楊酸3份、 酪氨酸1份、杜鵑花酸1份、丙三醇2份、丙二醇碳酸酯1份、天冬氨酸1份、Capstone* FC-30000. 5份、余量為水；
[0055] 組合物32:膠酸2份、醋酸3份、花生酸1份、甲基丙烯酸2份、異丙醇2份、碳酸 甲乙酯1份、縮蘋果酸1份、Tergit〇lTM101 0. 5份、余量為水；
[0056] 組合物33 :木糖醇2份、草酸2份、Capstone+s++FS-311份、賴氨酸1份、谷氨酰胺1 份、Capstone'*FS-50 2 份、余量為水；
[0057] 組合物34:乙二醇碳酸酯2份、蘇氨酸1份、半胱氨酸1份、氟化四甲基銨3份、 Capstone*FS-81 0? 5 份、單寧酸 1 份、Capstone*FS-50 4 份、余量為水；
[0058] 組合物35:硬脂酸0. 1份、豆蘧酸1份、甲醇1份、季戊四醇0. 5份、丙酮0. 5份、 二縮二乙二醇1份、Capstone* 1430 0.5份、FS-83 5份、余量為水；
[0059] 組合物36:梓檬酸0.5份、丙氨酸2份、癸二酸1份、丁酮0.5份、苯丙酮0.5份、 氟化銨 1 份、Phttonie? 17R2 1 份、Q_pslone.? 1157D2 份、FS-83 5 份、余量為水；
[0060] 組合物37:單寧酸3份、甲基丙二醇2份、甘氨酸1份、乙二醇5份、組氨酸4份、 二甲基酰胺 8 份、Pjuronie*、10R5 4 份、TRIT0N?BG-10 2 份、余量為水；
[0061] 組合物38:軟木酸10份、蘋果酸1份、精氨酸0. 5份、C即stone* 1157N3份、三丁 基2-羥基乙基氫氧化銨2份、余量為水；
[0062] 組合物39 :谷氨酸1. 5份、2. 7份的TRIT0N?X-100、分子量為3000聚乙烯吡咯烷 酮6. 8份、三甲基-4-羥丁基氫氧化銨2. 1份、余量為水；
[0063] 組合物40 :三丁基2-羥基乙基氫氧化銨2. 6份、FC-3000?為2. 7份、二縮二乙二 醇4. 8份、Tergitol?81 1. 9份、余量為水。
[0064] 利用以上組合物1至40制備酸性制絨液：
[0065] ( 1)配置混合酸溶液，分別如下：
[0066] 混合酸溶液1 :氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為30%，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為55% ;
[0067] 混合酸溶液2 :氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為20%，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為75% ;
[0068] 混合酸溶液3 :氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為15%，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為40% ;
[0069] 混合酸溶液4 :氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為5%，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為25% ;
[0070] 混合酸溶液5 :氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為5%，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為35% ;
[0071] 混合酸溶液6 :氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為8%，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為30%。
[0072] (2)配置酸性制絨液：
[0073] 組合物1至10分別加入混合酸溶液1中，其中輔助化學(xué)組合物與混合酸溶液1的 質(zhì)量比為15:100 ;
[0074] 組合物11至20分別加入混合酸溶液2中，其中輔助化學(xué)組合物與混合酸溶液2 的質(zhì)量比為5:100 ;
[0075] 組合物21至30分別加入混合酸溶液3中，其中輔助化學(xué)組合物與混合酸溶液3 的質(zhì)量比為1:100 ;
[0076] 組合物31至38分別加入混合酸溶液4中，其中輔助化學(xué)組合物與混合酸溶液4 的質(zhì)量比為0.05:100 ;
[0077] 組合物39加入混合酸溶液5中，其中輔助化學(xué)組合物與混合酸溶液5的質(zhì)量比為 13:100 ；
[0078] 組合物40加入混合酸溶液6中，其中輔助化學(xué)組合物與混合酸溶液6的質(zhì)量比為 12:100。
[0079] 采用上述配比，制得酸性制絨液1至40。
[0080] 利用上述酸性制絨液對多晶硅制絨：
[0081] 取40組太陽能電池用多晶硅片，分別浸入到酸性制絨液1至40中進行制絨；
[0082] 在酸性制絨液1-10中，制絨溫度為5°C，制絨時間為300s。
[0083] 在酸性制絨液11-20中，制絨溫度為30°C，制絨時間為60s。
[0084] 在酸性制絨液21-30中，制絨溫度為20°C，制絨時間為100s。
[0085] 在酸性制絨液31-38中，制絨溫度為15°C，制絨時間為200s。
[0086] 在酸性制絨液39中，制絨溫度為10°C，制絨時間為110s。
[0087]在酸性制絨液40中，制絨溫度為12°C，制絨時間為120s。
[0088] 同時，采用酸性制絨液0制絨：酸性制絨液中，氫氟酸的質(zhì)量百分比濃度為15%，硝 酸的質(zhì)量百分比濃度為30%。
[0089] 對采用酸性制絨液0制絨的多晶硅以及采用酸性制絨液1-40制絨的多晶硅掃 描電鏡，分別得到未使用包含輔助化學(xué)組合物的酸性制絨液制得的硅片表面絨面的掃描 電鏡平面圖以及使用包含輔助化學(xué)組合物的酸性制絨液制得的硅片表面絨面的掃描電鏡 平面圖，見圖1和圖2。由圖可知，通過本發(fā)明的方法制絨形成的腐蝕坑尺寸較小，大約為 2-3ym，且分布比較均勻。此外，經(jīng)減重測量，被腐蝕掉的硅片量約為5. 5 %。
[0090] 將采用酸性制絨液0制絨的多晶硅以及采用酸性制絨液1 -40制絨的多晶硅用于 太陽能電池，制成的電池的特性與傳統(tǒng)酸性制絨液制成的硅片制成電池的特性的比較，見 表1。
[0091]圖1太陽能電池的特性比較
[0092]

【權(quán)利要求】
1. 一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物，其特征在于：包括重量百分 數(shù)為0. 0001-75%的表面催化劑，及余量的水。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物，其特 征在于：包括重量百分數(shù)為1-50%的表面催化劑，及余量的水。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物，其特 征在于：所述表面催化劑選自氨基酸類化合物、醇類化合物、酯類化合物、酮類化合物、有機 酸、醚類化合物、銨類化合物、酰胺類化合物以及表面活性劑中的一種或幾種。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物，其特 征在于：所述氨基酸類化合物主要選自水溶性氨基酸和極性氨基酸中的一種或幾種，所述 醇類化合物主要選自水溶性的1至7個碳原子的一元醇和水溶性的多元醇類化合物中一種 或幾種，所述酯類化合物主要選自水溶性的碳酸酯類化合物中的一種或幾種，所述酮類化 合物主要選自水溶性的3至10個碳原子的酮類化合物中的一種或幾種，所述有機酸主要選 自水溶性的1至20個碳原子的一元羧酸、水溶性的多元羧酸以及氟化的有機磺酸類化合物 中的一種或幾種，所述醚類化合物主要選自水溶性的醚類化合物中的一種或幾種，所述銨 類化合物主要選自水溶性的季銨鹽和無機銨類化合物中的一種或幾種，所述酰胺類化合物 主要選自水溶性的酰胺類化合物中的一種或幾種。
5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物，其 特征在于：所述氨基酸類化合物選自甘氨酸、丙氨酸、絲氨酸、蘇氨酸、半胱氨酸，酪氨酸， 天冬氨酸、谷氨酰胺、賴氨酸、精氨酸、組氨酸、天冬氨酸和谷氨酸中的一種或幾種，所述醇 類化合物選自甲醇、異丙醇、季戊四醇、木糖醇、甲基丙二醇、丁氧基丙醇、乙二醇、丙三醇、 二縮二乙二醇和1，2-丙二醇中的一種或幾種；所述酯類化合物選自丙二醇碳酸酯、乙二 醇碳酸酯和碳酸甲乙酯中的一種或幾種，所述酮類化合物選自丙酮、丁酮、2-戊酮和苯丙 酮中的一種或幾種，所述有機酸選自癸二酸、膠酸、甲酸、三氟甲基磺酸、水楊酸、花生酸、單 寧酸、軟木酸、蘋果酸、癸酸、月桂酸、鞣花酸、馬來酸、醋酸，酒石酸、辛酸、草酸、肥酸、琥珀 酸、檸檬酸、硬脂酸、豆蘧酸、縮蘋果酸、杜鵑花酸和甲基丙烯酸中的一種或幾種；所述醚類 化合物選自亞烷基二醇單烷基醚和聚乙二醇中的一種或幾種；所述銨類化合物選自二甲 基乙基-2-羥乙基氫氧化銨、氟化銨、三甲基-3-羥丁基氫氧化銨、三甲基-3-羥丙基氫 氧化銨、三丁基2-羥基乙基氫氧化銨和氟化四甲基銨中的一種或幾種；所述酰胺類化合 物選二甲基酰胺、聚乙烯吡咯烷酮的一種或幾種；所述表面活性劑選自Capstone* FS-10、 Capstone* FS-30> Capstone? FS-31> Capstone? FS-50> Capstone* FS-81> Capstone* FS-83> Dipstone? 1157> Capstone? 1157D> Capstone* 1157N> Capstone*1 1430> Capstone*' 1440, Capslone* 1460, Capstone* FS-3100, Dehypon?0054, FC-17, FC-23, FC-170、FC-171、FC-430、FC-431、FC-2000、FC-3000、FC-5000、FC-6000、Tergitol?L61、 Tergitol?L62,Macol?16, Plutonic*' 17R2, Plttronic* 17R4, IjIuronic* 25R2,Fiuronic* 25R4, Pluronic* 31RU Flurotiicr 10R5, TRITONtmDF-U TRITONtmBG-10, TRIT0N?CG-50, TRIT0NTMCG-110、TRIT0NTMQS-44、TRIT0NTMX-100、Tergitol?81 和 Tergitol?101 中的一種或 幾種。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物，其特 征在于：所述聚乙二醇的分子量在2000以下，所述聚乙烯吡咯烷酮的分子量在10000以下。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于單晶硅或多晶硅酸性制絨的輔助化學(xué)組合物，其特 征在于：所述水是去離子水。
8. 權(quán)利要求1至7任一項所述輔助化學(xué)組合物在單晶硅或多晶硅制絨中的應(yīng)用。
9. 如權(quán)利要求8所述的應(yīng)用，其特征在于：將輔助化學(xué)組合物加入氫氟酸、硝酸的混合 溶液中，得酸性制絨液，再將單晶硅片或多晶硅片浸入到酸性制絨液中進行制絨。
10. 如權(quán)利要求9所述的應(yīng)用，其特征在于：所述輔助化學(xué)組合物與氫氟酸、硝酸的混 合溶液的質(zhì)量比為（0.05-15) :100 ;所述氫氟酸、硝酸的混合溶液中氫氟酸的質(zhì)量百分比 濃度為5-30%，硝酸的質(zhì)量百分比濃度為25-75% ;制絨溫度為5-30°C，制絨時間為60-300S。
【文檔編號】C30B33/10GK104342702SQ201310338094
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2013年8月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月5日
【發(fā)明者】韓庚欣, 徐濤 申請人:南京科乃迪科環(huán)保科技有限公司