一種射流等離子體水冷噴槍的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種射流等離子體水冷噴槍，包括高頻電源、陽極套管以及陰極，所述陰極設(shè)于所述陽極套管的中間，所述陽極套管和陰極分別連接到高頻電源的正負(fù)電極，所述陽極套管中設(shè)有一層外夾層水冷通道層。該等離子體噴槍在兩個(gè)電極之間通入氣體，這些氣體在穿過電場(chǎng)之間便產(chǎn)生了高溫等離子體，由于在陽極套管間設(shè)有水冷夾層，高溫的等離子氣體會(huì)被冷卻，成為等離子體流。本發(fā)明處理溫度低、并且不需要負(fù)壓條件，使其在普通的大氣環(huán)境下也能工作，更好地處理材料，使得材料表面改性處理效果較好。
【專利說明】一種射流等離子體水冷噴槍
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于等離子體處理裝置，具體涉及ー種射流等離子體水冷噴槍。
【背景技術(shù)】
[0002]材料表面改性處理技術(shù)是當(dāng)前普遍使用的材料制備技術(shù)之一，它是在一定的外界條件下，材料外部物質(zhì)和材料表面發(fā)生物理或化學(xué)反應(yīng)，從而使材料表面狀態(tài)發(fā)生變化或在材料表面產(chǎn)生新的元素和新的基團(tuán)，最終滿足實(shí)際應(yīng)用的需要。
[0003]但是，現(xiàn)代エ業(yè)的迅猛發(fā)展對(duì)材料耐磨擦、磨損和抗腐蝕等性能提出了更高的要求，與此同時(shí)，對(duì)環(huán)保的要求也越來越高，從而有力地推動(dòng)被稱為綠色生產(chǎn)エ藝的材料等離子表面改性技術(shù)的不斷發(fā)展。在真空下，給反應(yīng)氣體環(huán)境施加高頻電場(chǎng)，氣體在高頻電場(chǎng)的激勵(lì)下電離產(chǎn)生等離子體。
[0004]然而，高溫等離子體由于高溫而不適合處理敏感類物料，因此亟需ー種產(chǎn)生較低溫的等離子體的裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，提供一種射流等離子體水冷噴槍。
[0006]本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:一種射流等離子體噴槍，包括高頻電源、陽極套管以及陰極，上述陰極設(shè)于上述陽極套管的中間，上述陽極套管和陰極分別連接到電源的正負(fù)電極，上述陽極套管中設(shè)有ー層外夾層水冷通道層。
[0007]優(yōu)選的，上述噴槍噴頭端直徑細(xì)于噴槍槍體直徑。
[0008]優(yōu)選的，上述陽極套管形成的噴槍噴頭端還內(nèi)設(shè)水冷層，所述水冷層與陽極套管中設(shè)有外夾層水冷通道層相通。
[0009]優(yōu)選的，上述陰極的末端設(shè)有防止所述陰極末端和所述陽極套管放電的絕緣層。
[0010]優(yōu)選的，上述陰極到陽極套管內(nèi)腔壁兩端距離相等。
[0011]優(yōu)選的，上述高頻電源的頻率范圍為IOKhz — lOOKhz。
[0012]采用本技術(shù)方案的有益效果是:一種射流等離子體噴槍，包括高頻電源、陽極套管以及陰極，所述陰極設(shè)于所述陽極套管的中間，所述陽極套管和陰極分別連接到電源的正負(fù)電極，所述陽極套管中設(shè)有ー層外夾層水冷通道層。該等離子體噴槍在兩個(gè)電極之間通入氣體，這些氣體在穿過電場(chǎng)之間便產(chǎn)生了高溫等離子體，由于在陽極套管間設(shè)有水冷夾層，高溫的等離子氣體會(huì)被冷卻，成為等離子體流，本發(fā)明處理溫度低、并且不需要負(fù)壓條件，使其在普通的大氣環(huán)境下也能工作，更好地處理材料，使得材料表面改性處理效果較好。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)ー步詳細(xì)的說明，其中: 圖1是本發(fā)明實(shí)施例1的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
圖中，1.陰極2.陽極套管3.水冷通道層4.氣體5.等離子體流6.水冷層。
【具體實(shí)施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的具體實(shí)施例。
[0015]實(shí)施例1
如圖1所示，一種射流等離子體水冷噴槍，包括高頻電源、陽極套管以及陰扱，陰極I設(shè)于陽極套管2的中間，所述陽極套管2和陰極I分別連接到電源的正負(fù)電極，上陽極套管2上還設(shè)有ー層外夾層水冷層通道3層。陰極管I的噴ロ端呈圓錐形，錐尖處設(shè)成圓弧向外的半圓狀，放電均勻，可以避免尖端放電，陽極套管2的噴頭直徑小于噴槍的槍體直徑。陰極的末端設(shè)有防止陰極末端和陽極套管放電的絕緣層(圖中未標(biāo)出)，該等離子體噴槍在兩個(gè)電極之間通入氣體，這些氣體在穿過電場(chǎng)之間便放電產(chǎn)成了等離子體氣流，由于在陽極套管間設(shè)有水冷夾層通道，高溫的等離子氣體會(huì)被冷卻，成為等離子體流，可以處理敏感材料。
[0016]采用高頻電源，高頻電源的頻率范圍在IOKhz — lOOKhz，高頻電源通電后，陽極套管2和陰極I便被接通，中間的氣體4放電產(chǎn)生離子體，等離子體為高溫等離子體，陽極套管2上設(shè)有ー層外夾層水冷通道層3，水冷從水冷通道3流入水冷層6，高溫等離子體經(jīng)過冷卻處理產(chǎn)生等離子體流5，等離子流5再經(jīng)過噴槍ロ噴出處理被處理物料。本裝置處理溫度低、并且不需要負(fù)壓條件，使其在普通的大氣環(huán)境下也能工作，更好地處理材料，使得材料表面改性處理效果較好。
[0017]本發(fā)明的有益效果是:一種射流等離子體噴槍，包括高頻電源、陽極套管以及陰極，所述陰極設(shè)于所述陽極套管的中間，所述陽極套管和陰極分別連接到電源的正負(fù)電扱，所述陽極套管中設(shè)有ー層外夾層水冷通道層。該等離子體噴槍在兩個(gè)電極之間通入氣體，這些氣體在穿過電場(chǎng)之間便產(chǎn)生了高溫等離子體，由于在陽極套管間設(shè)有水冷夾層，高溫的等離子氣體會(huì)被冷卻，成為等離子體流，本發(fā)明處理溫度低、并且不需要負(fù)壓條件，使其在普通的大氣環(huán)境下也能工作，更好地處理材料，使得材料表面改性處理效果較好。
[0018]以上所述的僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明創(chuàng)造構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種射流等離子體噴槍，包括高頻電源、陽極套管以及陰極，所述陰極設(shè)于所述陽極套管的中間，所述陽極套管和陰極分別連接到電源的正負(fù)電極，其特征在于，所述陽極套管中設(shè)有ー層外夾層水冷通道層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射流等離子體噴槍，其特征在于，所述噴槍噴頭端直徑細(xì)于噴槍槍體直徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射流等離子體噴槍，其特征在于，所述陽極套管形成的噴槍噴頭端還內(nèi)設(shè)水冷層，所述水冷層與陽極套管中設(shè)有外夾層水冷通道層相通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射流等離子體噴槍，其特征在于，所述陰極的末端設(shè)有防止所述陰極末端和所述陽極套管放電的絕緣層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射流等離子體噴槍，其特征在于，所述陰極到陽極套管內(nèi)腔壁兩端距離相等。
6.權(quán)利要求1所述的射流等離子體噴槍，其特征在于，所述高頻電源的頻率范圍為IOKhz — IOOKhz。
【文檔編號(hào)】H05H1/28GK103596349SQ201310605842
【公開日】2014年2月19日 申請(qǐng)日期:2013年11月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月26日
【發(fā)明者】沈文凱, 王紅衛(wèi) 申請(qǐng)人:蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司