專利名稱：一種碳化硅單晶爐的感應圈固定安裝裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種感應圈固定安裝裝置，尤其涉及一種碳化硅單晶爐的感應加熱線圈固定連接裝置。
背景技術：
在半導體器件的應用方面，隨著碳化硅生產(chǎn)成本的降低，碳化硅單晶由于其優(yōu)良的物理及電學性能而部分取代單晶硅，打破單晶硅由于材料本身性能的瓶頸，將給電子業(yè)帶來革命性的變革。目前碳化硅單晶的主要應用領域有LED固體照明，高頻率器件，高壓功率元件和耐高溫的集成電路芯片，這些應用給碳化硅單晶提供巨大的增長需求，同時晶體生長設備-單晶生長爐也隨之需要飛速的發(fā)展。碳化硅單晶生長爐屬于電阻加熱爐，主要由沉積真空室，感應加熱系統(tǒng)，工作氣路、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)及電控系統(tǒng)等組成。感應加熱系統(tǒng)對設備整體性能效果至關重要，其運動精度將直接影響真空室內(nèi)溫場的分布。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種碳化硅單晶爐的感應圈固定安裝裝置，解決感應圈的運動對真空室內(nèi)溫場影響的問題。本實用新型解決上述技術問題的技術方案如下:一種碳化硅單晶爐的感應圈固定連接裝置，包括感 應圈、上緊固板、下緊固板、支板以及立板，所述感應圈固定連接在所述上緊固板與下緊固板之間，所述上緊固板和下緊固板上均固定連接有支板，且上下兩塊支板在豎直方向上平行設置，所述立板固定連接于上下兩塊支板之間。本實用新型的有益效果是:本實用新型通過感應圈連接上下法蘭，將感應圈和水冷電纜相對固定，減小感應圈內(nèi)部水流量及感應圈本身運動帶來的對室內(nèi)溫場的不穩(wěn)定狀態(tài)。同時，整套裝置結構簡單，便于安裝和調(diào)試。在上述技術方案的基礎上，本實用新型還可以做如下改進。進一步，所述感應圈由銅線螺旋盤繞而成，所述感應圈兩端固定連接有銅螺母。采用上述進一步方案的有益效果是這樣設置便于和水冷電纜之間通水及保證密封和截面接觸電流通過。進一步，所述立板上設有安裝螺孔。采用上述進一步方案的有益效果是使裝置可以與精密伺服運動機構連接在一起。進一步，所述上緊固板和下緊固板為金屬材質(zhì)，所述上緊固板和下緊固板為圓環(huán)型。進一步，所述圓環(huán)型上緊固板和下緊固板具有一斷口，在所述斷口處設有絕緣墊片，所述絕緣墊片將上緊固板和下緊固板斷口處的兩端固定連接在一起。采用上述進一步方案的有益效果是這樣選材和設置，既保證了結構的剛性要求，又可以消除其導磁性，同時保證了其整體性。
圖1為本實用新型結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。如圖1所示,一種碳化娃單晶爐的感應圈固定連接裝置,包括感應圈1、上緊固板
2、下緊固板3、支板4以及立板5，所述感應圈I固定連接在所述上緊固板2與下緊固板3之間，所述上緊固板2和下緊固板3上均固定連接有支板4，且上下兩塊支板4在豎直方向上平行設置，所述立板5固定連接于上下兩塊支板4之間。通過感應圈I連接上下法蘭，將感應圈I和水冷電纜相對固定，減小感應圈內(nèi)部水流量及感應圈本身運動帶來的對室內(nèi)溫場的不穩(wěn)定狀態(tài)。同時，整套裝置結構簡單，便于安裝和調(diào)試。所述感應圈I由銅線螺旋盤繞而成，所述感應圈I兩端固定連接有銅螺母6，便于和水冷電纜之間通水及保證密封和截面接觸電流通過。所述立板5上設有安裝螺孔7，可以與精密伺服運動機構連接在一起。所述上緊固板2和下緊固板3為金屬材質(zhì)，所述上緊固板2和下緊固板3為圓環(huán)型，所述圓環(huán)型上緊固板2和下緊固板3具有一斷口，在所述斷口處設有絕緣墊片8，所述絕緣墊片8將上緊固板2和下緊固板3斷口處的兩端固定連接在一起。這樣選材和設置，既保證了結構的剛性要求，又可以消除其導磁性，同時保證了其整體性。以上所述僅為本實用新型 的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權利要求1.一種碳化硅單晶爐的感應圈固定連接裝置，其特征在于，包括感應圈(I)、上緊固板(2)、下緊固板(3)、支板(4)以及立板(5)，所述感應圈(I)固定連接在所述上緊固板(2)與下緊固板(3)之間，所述上緊固板(2)和下緊固板(3)上均固定連接有支板(4)，且上下兩塊支板(4)在豎直方向上平行設置，所述立板(5)固定連接于上下兩塊支板(4)之間。
2.根據(jù)權利要求1所述碳化硅單晶爐的感應圈固定連接裝置，其特征在于，所述感應圈(I)由銅線螺旋盤繞而成，所述感應圈(I)的兩端固定連接有銅螺母(6)。
3.根據(jù)權利要求1所述碳化硅單晶爐的感應圈固定連接裝置，其特征在于，所述立板(5)上設有安裝螺孔(7)。
4.根據(jù)權利要求1所述碳化硅單晶爐的感應圈固定連接裝置，其特征在于，所述上緊固板(2)和下緊固板(3)為金屬材質(zhì)，所述上緊固板(2)和下緊固板(3)為圓環(huán)型。
5.根據(jù)權利要求4所述碳化硅單晶爐的感應圈固定連接裝置，其特征在于，所述圓環(huán)型上緊固板(2)和下緊固板(3)具有一斷口，在所述斷口處設有絕緣墊片(8)，所述絕緣墊片(8)將上緊固板(2) 和下緊固板(3)斷口處的兩端固定連接在一起。
專利摘要本實用新型涉及一種碳化硅單晶爐的感應圈固定連接裝置，包括感應圈、上緊固板、下緊固板、支板以及立板，所述感應圈固定連接在所述上緊固板與下緊固板之間，所述上緊固板和下緊固板上均固定連接有支板，且上下兩塊支板在豎直方向上平行設置，所述立板固定連接于上下兩塊支板之間。本實用新型通過感應圈連接上下法蘭，將感應圈和水冷電纜相對固定，減小感應圈內(nèi)部水流量及感應圈本身運動帶來的對室內(nèi)溫場的不穩(wěn)定狀態(tài)，同時，整套裝置結構簡單，便于安裝和調(diào)試。
文檔編號C30B35/00GK203096232SQ20132000526
公開日2013年7月31日 申請日期2013年1月6日 優(yōu)先權日2013年1月6日
發(fā)明者趙梅玉, 鄧樹軍, 高宇, 陶瑩, 段聰 申請人:河北同光晶體有限公司