準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構(gòu)，包括坩堝平臺、石墨立柱、鋼立柱、托板、升降裝置、傳動軟軸和電機，所述坩堝平臺底面設(shè)有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保溫體外后與鋼立柱連接，鋼立柱向下伸出爐體后與水平設(shè)置的托板固定連接，爐體下固定設(shè)有升降裝置，升降裝置與托板連接，托板上設(shè)有傳動軟軸及電機，升降裝置由傳動軟軸連接帶動，傳動軟軸由電機連接帶動。本實用新型結(jié)構(gòu)合理，使坩堝平臺在鑄錠爐保溫體內(nèi)可以上下移動，滿足了準(zhǔn)單晶硅鑄錠生產(chǎn)所需要的工藝要求。
【專利說明】準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于準(zhǔn)單晶鑄錠爐【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及鑄錠爐中坩堝平臺的升降機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]準(zhǔn)單晶是在多晶硅鑄錠爐上采用鑄造結(jié)晶的方式，經(jīng)過一系列先進的工藝流程所生產(chǎn)出的具有高轉(zhuǎn)換率的準(zhǔn)單晶硅片。其主要工藝是通過在準(zhǔn)單晶爐內(nèi)石英坩堝的底部放置籽晶，并在真空狀態(tài)下，采用精確分段控溫，保證硅料融化時籽晶部分融化，由此長出單晶。目前國內(nèi)的多晶硅鑄錠爐主要是GT的結(jié)構(gòu)，是坩堝、平臺不動，上發(fā)熱體、側(cè)發(fā)熱體及上保溫體上下移動。這種結(jié)構(gòu)對多晶硅鑄錠爐可以滿足工藝要求，但在生產(chǎn)準(zhǔn)單晶硅的鑄錠爐中就不能滿足工藝要求。為了滿足準(zhǔn)單晶硅鑄錠的要求，鑄錠爐必須有嚴(yán)格的溫度梯度及凝固速度控制，適合的界面形狀，因此需要一個與之對應(yīng)的精準(zhǔn)熔化控制機構(gòu)。
實用新型內(nèi)容
[0003]本實用新型的目的在于提供一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺的升降機構(gòu)，以滿足準(zhǔn)單晶硅鑄錠生產(chǎn)所需要的工藝要求。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下方案:
[0005]一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構(gòu)，包括坩堝平臺、石墨立柱、鋼立柱、托板、升降裝置、傳動裝置、電機。
[0006]所述坩堝平臺底面設(shè)有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保溫體外后與鋼立柱連接，采用石墨立柱是因為保溫體內(nèi)部的高溫環(huán)境；鋼立柱向下伸出爐體后與水平設(shè)置的托板固定連接，爐體下固定設(shè)有升降裝置，升降裝置與托板連接；托板上設(shè)有傳動裝置及電機，升降裝置由傳動軟軸連接帶動，傳動軟軸由電機連接帶動。
[0007]工作時，所述電機帶動傳動軟軸，傳動軟軸通過高精度滾珠絲杠升降裝置把其變成直線運動帶動托板上下運動，托板通過鋼立柱及石墨立柱帶動坩堝平臺實現(xiàn)升降運動。
[0008]本實用新型結(jié)構(gòu)合理，使坩堝平臺在鑄錠爐內(nèi)可以上下移動，滿足了準(zhǔn)單晶硅鑄錠生產(chǎn)所需要的工藝要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的準(zhǔn)單晶鑄錠爐及其坩堝平臺升降機構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖2為圖1的仰視圖。
[0011]圖中:1為爐體、2為上保溫體、3為坩堝平臺、4為石墨立柱、5為下保溫體、6為鋼立柱、7為升降裝置、8為電機、9為托板、10為傳動軟軸。
【具體實施方式】
[0012]以下結(jié)合實施例及其附圖對本實用新型做進一步詳細(xì)的說明:[0013]見圖1、圖2，一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構(gòu)，包括坩堝平臺3、石墨立柱
4、鋼立柱6、托板9、升降裝置7、傳動軟軸10、電機8。
[0014]如圖1、圖2所示，所述上保溫體2、下保溫體5內(nèi)部的坩堝平臺3底面設(shè)有三根石墨立柱4，石墨立柱4向下伸出下保溫體5外與鋼立柱6連接，鋼立柱6向下伸出爐體I后與水平設(shè)置的托板9固定連接，爐體I下固定設(shè)有三個升降裝置7，升降裝置7的絲杠與托板9配合連接，托板9上設(shè)有傳動軟軸10及電機8，升降裝置7與傳動軟軸10連接，傳動軟軸10與電機8相連。
[0015]所述電機8帶動兩根傳動軟軸10，傳動軟軸10通過滾珠絲杠帶動三個升降裝置7旋轉(zhuǎn)，升降裝置7的絲杠旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為托板9的上下運動，托板9通過三根鋼立柱6及石墨立柱4帶動坩堝平臺3實現(xiàn)升降運動。
[0016]以上所述的僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出若干變型和改進，這些也應(yīng)視為屬于本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的坩堝平臺升降機構(gòu)，其特征在于:包括坩堝平臺、石墨立柱、鋼立柱、托板、升降裝置、傳動軟軸和電機； 所述坩堝平臺底面設(shè)有石墨立柱，石墨立柱向下伸出下保溫體外后與鋼立柱連接，鋼立柱向下伸出爐體后與水平設(shè)置的托板固定連接；爐體下固定設(shè)有升降裝置，升降裝置與托板連接；托板上設(shè)有傳動軟軸及電機，升降裝置由傳動軟軸連接帶動，傳動軟軸由電機連接帶動。
【文檔編號】C30B28/04GK203382849SQ201320463112
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2013年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月1日
【發(fā)明者】水川, 許柏 申請人:安徽大晟新能源設(shè)備科技有限公司