準(zhǔn)單晶鑄錠爐的下加熱器升降機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的下加熱器升降機(jī)構(gòu)，其特征在于：包括下發(fā)熱體、固定件、電極立柱、固定板、墊塊、托板、升降裝置、傳動(dòng)軟軸和電機(jī)；所述下發(fā)熱體通過固定件安裝在保溫體內(nèi)部的坩堝平臺底面，下發(fā)熱體安裝有垂直設(shè)置的電極立柱，電極立柱向下伸出保溫體及爐體后安裝在固定板上，固定板通過絕緣墊板與托板連接；爐體下固定設(shè)有升降裝置，升降裝置與托板連接；托板上設(shè)有傳動(dòng)軟軸及電機(jī)，升降裝置由傳動(dòng)軟軸連接帶動(dòng)，傳動(dòng)軟軸由電機(jī)連接帶動(dòng)。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，使下發(fā)熱體在鑄錠爐保溫體內(nèi)可以上下移動(dòng)，滿足了準(zhǔn)單晶硅鑄錠生產(chǎn)的工藝要求。
【專利說明】準(zhǔn)單晶鑄錠爐的下加熱器升降機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于準(zhǔn)單晶鑄錠爐【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及鑄錠爐中下加熱器升降機(jī)構(gòu)?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]準(zhǔn)單晶是在多晶硅鑄錠爐上采用鑄造結(jié)晶的方式，經(jīng)過一系列先進(jìn)的工藝流程所生產(chǎn)出的具有高轉(zhuǎn)換率的準(zhǔn)單晶硅片。其主要工藝是通過在多晶硅鑄錠爐石英坩堝的底部放置籽晶，并在真空狀態(tài)下，采用精確分段控溫，保證硅料融化時(shí)籽晶部分融化，由此長出單晶。目前國內(nèi)的多晶硅鑄錠爐主要是坩堝、平臺不動(dòng)，上發(fā)熱體、側(cè)發(fā)熱體及上保溫體上下移動(dòng)。這種結(jié)構(gòu)對多晶硅鑄錠爐可以滿足工藝要求，但由于原多晶硅鑄錠爐沒有下發(fā)熱體，在生產(chǎn)準(zhǔn)單晶硅的鑄錠爐中就不能滿足工藝要求。為了滿足準(zhǔn)單晶硅鑄錠的要求，鑄錠爐必須有嚴(yán)格的溫度梯度及凝固速度控制，適合的界面形狀，因此需要設(shè)置一個(gè)可做升降運(yùn)動(dòng)的下加熱器。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種可做升降運(yùn)動(dòng)的下加熱器機(jī)構(gòu)，以滿足準(zhǔn)單晶硅鑄錠生產(chǎn)所需要的工藝要求:固液界面在最短時(shí)間內(nèi)形成。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下方案:
[0005]一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的下加熱器升降機(jī)構(gòu)，包括下發(fā)熱體、固定件、電極立柱、固定板、墊塊、托板、升降裝置、傳動(dòng)軟軸和電機(jī)。
[0006]所述下發(fā)熱體通過固定件安裝在保溫體內(nèi)部的坩堝平臺底面，下發(fā)熱體安裝有垂直設(shè)置的電極立柱，電極立柱向下伸出保溫體及爐體后安裝在固定板上，固定板通過絕緣墊板與托板連接；爐體下固定設(shè)有升降裝置，升降裝置與托板連接；托板上設(shè)有傳動(dòng)軟軸及電機(jī)，升降裝置由傳動(dòng)軟軸連接帶動(dòng)，傳動(dòng)軟軸由電機(jī)連接帶動(dòng)。
[0007]本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，使下發(fā)熱體在鑄錠爐保溫體內(nèi)可以上下移動(dòng)，滿足了準(zhǔn)單晶硅鑄錠生產(chǎn)所需要的工藝要求。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型的準(zhǔn)單晶硅鑄錠爐及其下加熱器升降機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖2為圖1的仰視圖。
[0010]圖中:1為爐體、2為固定件、3為坩堝平臺、4下發(fā)熱體、5為電極立柱、6為保溫體、7為升降裝置、8為電機(jī)、9為托板、10為墊塊、11為固定板、12為傳動(dòng)軟軸。
【具體實(shí)施方式】
[0011]以下結(jié)合實(shí)施例及其附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的說明:
[0012]見圖1、圖2，一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的下加熱器升降機(jī)構(gòu)，包括下發(fā)熱體4、固定件2、電極立柱5、固定板11、墊塊10、托板9、升降裝置7、傳動(dòng)軟軸12和電機(jī)8。[0013]如圖1、圖2所示，所述下發(fā)熱體4通過固定件2安裝在保溫體6內(nèi)部的坩堝平臺3底面；下發(fā)熱體4安裝有垂直設(shè)置的電極立柱5，電極立柱5向下伸出保溫體6及爐體I后安裝在固定板11上，固定板11通過絕緣墊板10與托板9連接；爐體I下固定設(shè)有升降裝置7，升降裝置7與托板9連接；托板9上設(shè)有傳動(dòng)軟軸12及電機(jī)8，升降裝置7由傳動(dòng)軟軸12連接帶動(dòng)，傳動(dòng)軟軸12由電機(jī)8連接帶動(dòng)。
[0014]所述電機(jī)8帶動(dòng)兩根傳動(dòng)軟軸12，傳動(dòng)軟軸12通過高精度滾珠絲杠帶動(dòng)三個(gè)升降裝置7同時(shí)旋轉(zhuǎn)，升降裝置7的絲杠旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為托板9的上下運(yùn)動(dòng)，托板9帶動(dòng)下發(fā)熱體4與坩堝平臺3 —起實(shí)現(xiàn)同時(shí)升降運(yùn)動(dòng)。
[0015]以上所述的僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干變型和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種準(zhǔn)單晶鑄錠爐的下加熱器升降機(jī)構(gòu)，其特征在于:包括下發(fā)熱體、固定件、電極立柱、固定板、墊塊、托板、升降裝置、傳動(dòng)軟軸和電機(jī)； 所述下發(fā)熱體通過固定件安裝在保溫體內(nèi)部的坩堝平臺底面，下發(fā)熱體安裝有垂直設(shè)置的電極立柱，電極立柱向下伸出保溫體及爐體后安裝在固定板上，固定板通過絕緣墊板與托板連接；爐體下固定設(shè)有升降裝置，升降裝置與托板連接；托板上設(shè)有傳動(dòng)軟軸及電機(jī)，升降裝置由傳動(dòng)軟軸連接帶動(dòng)，傳動(dòng)軟軸由電機(jī)連接帶動(dòng)。
【文檔編號】C30B11/00GK203382844SQ201320463138
【公開日】2014年1月8日 申請日期:2013年8月1日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月1日
【發(fā)明者】水川, 許柏 申請人:安徽大晟新能源設(shè)備科技有限公司