一種單晶硅生長熱屏裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及單晶硅生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種單晶硅生長熱屏裝置，包括爐體，爐體內(nèi)腔中設(shè)置有加熱器和坩堝，加熱器設(shè)置在坩堝外，坩堝正上方設(shè)置有熱屏，坩堝正下方設(shè)置有坩堝托桿，坩堝底面與坩堝托桿頂端設(shè)置有托盤，加熱器的底端與電極相固定連接，熱屏底部呈圓周均勻設(shè)置有三個下螺孔，熱屏外壁底部通過石墨螺釘與熱屏內(nèi)壁底部相固定連接；熱屏頂部呈圓周均勻設(shè)置有三個上螺孔，熱屏外壁頂部通過石墨螺釘與熱屏內(nèi)壁頂部相固定連接；熱屏通過環(huán)形狀的支撐環(huán)與爐體頂端相固定連接。在使用本實用新型時，避免了因熱屏開裂而出現(xiàn)碎片掉落坩堝的現(xiàn)象，杜絕此類安全事故的發(fā)生。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)置合理，制作成本低等優(yōu)點。
【專利說明】一種單晶硅生長熱屏裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及單晶硅生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種單晶硅生長熱屏裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，現(xiàn)有的單晶硅普遍采用直拉法制備。直拉晶體生長爐熱場的部件常用聞純石墨制造，如發(fā)熱體、樹禍、熱屏等。
[0003]現(xiàn)有的熱屏底部通常使用外部析硅較多，熱屏底部常因上下膨脹系數(shù)不同而引熱屏底部熱應(yīng)力過大，從而導(dǎo)致熱屏的底部斷裂。另外，由于熱屏頂部也較為薄弱，熱屏頂部也會因此而發(fā)生斷裂。當(dāng)坩堝內(nèi)高溫時，這些斷裂的碎片就會掉入溶液內(nèi)，從而導(dǎo)致事故的發(fā)生。
[0004]故有必要對現(xiàn)有的熱屏裝置進(jìn)行進(jìn)一步地技術(shù)革新。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷和不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計合理、使用方便的單晶硅生長熱屏裝置。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案是:
[0007]本實用新型所述的一種單晶硅生長熱屏裝置，包括爐體，爐體內(nèi)腔中設(shè)置有加熱器和坩堝，所述加熱器設(shè)置在坩堝外，所述坩堝正上方設(shè)置有熱屏，所述熱屏由熱屏外壁和熱屏內(nèi)壁構(gòu)成，所述坩堝正下方設(shè)置有坩堝托桿，所述坩堝底面與坩堝托桿頂端設(shè)置有托盤，加熱器的底端與電極相固定連接，它還包括石墨螺釘和支撐環(huán)，所述熱屏底部呈圓周均勻設(shè)置有三個與石墨螺釘相匹配的下螺孔，所述熱屏外壁底部通過石墨螺釘與熱屏內(nèi)壁底部相固定連接；所述熱屏頂部呈圓周均勻設(shè)置有三個與石墨螺釘相匹配的上螺孔，所述熱屏外壁頂部通過石墨螺釘與熱屏內(nèi)壁頂部相固定連接；所述熱屏通過環(huán)形狀的支撐環(huán)與爐體頂端相固定連接。
[0008]進(jìn)一步地，所述下螺孔與熱屏底端面之間的距離為80mm ;所述上螺孔與熱屏頂端面之間的距離為80mm。
[0009]進(jìn)一步地，所述熱屏內(nèi)壁的內(nèi)錐角為28?35度。
[0010]進(jìn)一步地，所述熱屏內(nèi)壁的內(nèi)錐角為31度。
[0011 ] 進(jìn)一步地，所述下螺孔和上螺孔的直徑均為5mm。
[0012]采用上述結(jié)構(gòu)后，本實用新型有益效果為:本實用新型所述的一種單晶硅生長熱屏裝置，包括爐體，爐體內(nèi)腔中設(shè)置有加熱器和坩堝，所述加熱器設(shè)置在坩堝外，所述坩堝正上方設(shè)置有熱屏，所述熱屏由熱屏外壁和熱屏內(nèi)壁構(gòu)成，所述坩堝正下方設(shè)置有坩堝托桿，所述坩堝底面與坩堝托桿頂端設(shè)置有托盤，加熱器的底端與電極相固定連接，它還包括石墨螺釘和支撐環(huán)，所述熱屏底部呈圓周均勻設(shè)置有三個與石墨螺釘相匹配的下螺孔，所述熱屏外壁底部通過石墨螺釘與熱屏內(nèi)壁底部相固定連接；所述熱屏頂部呈圓周均勻設(shè)置有三個與石墨螺釘相匹配的上螺孔，所述熱屏外壁頂部通過石墨螺釘與熱屏內(nèi)壁頂部相固定連接；所述熱屏通過環(huán)形狀的支撐環(huán)與爐體頂端相固定連接。在使用本實用新型時，通過將熱屏分為熱屏外壁和熱屏內(nèi)壁，通過在熱屏外壁和熱屏內(nèi)壁的底部、頂部設(shè)置石墨螺釘內(nèi)外鏈接固定，避免了因熱屏開裂而出現(xiàn)碎片掉落坩堝的現(xiàn)象，從而杜絕此類安全事故的發(fā)生，進(jìn)而保障了人員的安全。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)置合理，制作成本低等優(yōu)點。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是圖1中A部位的放大示意圖；
[0015]圖3是圖1中B部位的放大示意圖；
[0016]附圖標(biāo)記說明:
[0017]1、爐體；2、加熱器；3、坩堝；4、熱屏；41、熱屏外壁；
[0018]42、熱屏內(nèi)壁；43、下螺孔；44、上螺孔；5、電極；6、坩堝托桿；
[0019]7、托盤；8、石墨螺釘；9、支撐環(huán)；α、內(nèi)錐角。
【具體實施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步的說明。
[0021]如圖1-3所示，本實用新型所述的一種單晶硅生長熱屏裝置，包括爐體1，爐體I內(nèi)腔中設(shè)置有加熱器2和坩堝3，所述加熱器2設(shè)置在坩堝3外，所述坩堝3正上方設(shè)置有熱屏4，所述熱屏4由熱屏外壁41和熱屏內(nèi)壁42構(gòu)成，所述坩堝3正下方設(shè)置有坩堝托桿6，所述坩堝3底面與坩堝托桿6頂端`設(shè)置有托盤7，加熱器2的底端與電極5相固定連接，它還包括石墨螺釘8和支撐環(huán)9，所述熱屏4底部呈圓周均勻設(shè)置有三個與石墨螺釘8相匹配的下螺孔43，所述熱屏外壁41底部通過石墨螺釘8與熱屏內(nèi)壁底部相固定連接；所述熱屏4頂部呈圓周均勻設(shè)置有三個與石墨螺釘8相匹配的上螺孔44，所述熱屏外壁41頂部通過石墨螺釘8與熱屏內(nèi)壁42頂部相固定連接；所述熱屏4通過環(huán)形狀的支撐環(huán)9與爐體I頂端相固定連接。
[0022]作為本實用新型的一種優(yōu)選方式，所述下螺孔43與熱屏4底端面之間的距離為80mm ;所述上螺孔44與熱屏4頂端面之間的距離為80mm。
[0023]作為本實用新型的一種優(yōu)選方式，所述熱屏內(nèi)壁42的內(nèi)錐角α為28~35度。
[0024]作為本實用新型的一種優(yōu)選方式，所述熱屏內(nèi)壁42的內(nèi)錐角α為31度。
[0025]作為本實用新型的一種優(yōu)選方式，所述下螺孔43和上螺孔44的直徑均為5mm。
[0026]在使用本實用新型時，通過將熱屏分為熱屏外壁和熱屏內(nèi)壁，通過在熱屏外壁和熱屏內(nèi)壁的底部、頂部設(shè)置石墨螺釘內(nèi)外鏈接固定，避免了因熱屏開裂而出現(xiàn)碎片掉落坩堝的現(xiàn)象，從而杜絕此類安全事故的發(fā)生，進(jìn)而保障了人員的安全。另外，該結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計合理，制造成本低。
[0027]以上所述僅是本實用新型的較佳實施方式，故凡依本實用新型專利申請范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均包括于本實用新型專利申請范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種單晶硅生長熱屏裝置，包括爐體(1)，爐體(I)內(nèi)腔中設(shè)置有加熱器(2)和坩堝(3),所述加熱器(2)設(shè)置在坩堝(3)外，所述坩堝(3)正上方設(shè)置有熱屏(4)，所述坩堝(3)正下方設(shè)置有坩堝托桿(6)，所述坩堝(3)底面與坩堝托桿(6)頂端設(shè)置有托盤(7)，加熱器(2)的底端與電極(5)相固定連接，其特征在于:它還包括石墨螺釘(8)和支撐環(huán)(9)，所述熱屏(4)由熱屏外壁(41)和熱屏內(nèi)壁(42)構(gòu)成，所述熱屏(4)通過環(huán)形狀的支撐環(huán)(9)與爐體(I)頂端相固定連接；所述熱屏(4)底部呈圓周均勻設(shè)置有三個與石墨螺釘(8)相匹配的下螺孔(43)，所述熱屏外壁(41)底部通過石墨螺釘(8)與熱屏內(nèi)壁底部相固定連接；所述熱屏(4)頂部呈圓周均勻設(shè)置有三個與石墨螺釘(8)相匹配的上螺孔(44)，所述熱屏外壁(41)頂部通過石墨螺釘(8 )與熱屏內(nèi)壁(42 )頂部相固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅生長熱屏裝置，其特征在于:所述下螺孔(43)與熱屏(4)底端面之間的距離為80mm ;所述上螺孔(44)與熱屏(4)頂端面之間的距離為80mmo
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅生長熱屏裝置，其特征在于:所述熱屏內(nèi)壁(42)的內(nèi)錐角(α )為28?35度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶硅生長熱屏裝置，其特征在于:所述熱屏內(nèi)壁(42)的內(nèi)錐角(α )為31度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅生長熱屏裝置，其特征在于:所述下螺孔(43)和上螺孔(44)的直徑均為5mm。
【文檔編號】C30B29/06GK203513827SQ201320570780
【公開日】2014年4月2日 申請日期:2013年9月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月13日
【發(fā)明者】高彬彬, 王思鋒 申請人:江蘇聚能硅業(yè)有限公司