一種mocvd石墨盤與反應(yīng)室的連接結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出的一種MOCVD石墨盤與反應(yīng)室的連接結(jié)構(gòu)，將反應(yīng)室的旋轉(zhuǎn)軸頂部改進(jìn)為錐形結(jié)構(gòu)，在石墨盤的底部設(shè)置一連接件，連接件上開設(shè)與旋轉(zhuǎn)軸頂部形狀相匹配的錐形通孔，從而使得石墨盤與旋轉(zhuǎn)軸之間可以通過(guò)錐形結(jié)構(gòu)精確定位，并且由于設(shè)置了連接件，可以很好地降低石墨盤的磨損，減少生產(chǎn)耗材。
【專利說(shuō)明】—種MOCVD石墨盤與反應(yīng)室的連接結(jié)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及氣相沉積領(lǐng)域，尤其涉及一種用于MOCVD石墨盤和反應(yīng)室旋轉(zhuǎn)軸之間的連接結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]MOCVD是在氣相外延生長(zhǎng)(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型氣相外延生長(zhǎng)技術(shù)。雖然每個(gè)設(shè)備廠家選擇的工藝路線不同，設(shè)計(jì)出的反應(yīng)室類型也不同，不同的MOCVD設(shè)備有不同的石墨盤結(jié)構(gòu)。但是基本上MOCVD設(shè)備的石墨盤在放入和取出過(guò)程中都會(huì)存在難以精準(zhǔn)定位的缺陷，為了使石墨盤可以和反應(yīng)室進(jìn)行精確定位，通常采用的方法都是提高機(jī)械手的加工精度，但是相應(yīng)的也需要投入大量的成本。此外，石墨盤在經(jīng)過(guò)多次取放后，接觸部位很容易被磨損和碰傷，需要定期替換新的石墨盤，造成生產(chǎn)成本的增加。
[0003]如何有效地在反應(yīng)室中將石墨盤精準(zhǔn)地放入、以及減少石墨盤的磨損是業(yè)界亟待解決的問題。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型為了解決上述技術(shù)問題，提出了一種MOCVD石墨盤與反應(yīng)室的連接結(jié)構(gòu)，該連接結(jié)構(gòu)解決了石墨盤被機(jī)械手放入反應(yīng)室時(shí)，無(wú)法與反應(yīng)室的旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行定位的技術(shù)問題，以及石墨盤需要經(jīng)常拆卸安裝，接觸部位容易磨損和碰傷的技術(shù)問題。
[0005]本實(shí)用新型提出的MOCVD石墨盤與反應(yīng)室的連接結(jié)構(gòu)，包括石墨盤和設(shè)于反應(yīng)室內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸，石墨盤底部設(shè)有一連接件，該連接件包括一圓形底座、設(shè)于圓形底座上的一錐形凸臺(tái)，石墨盤底部設(shè)有與連接件相匹配的凹槽，旋轉(zhuǎn)軸的頂部為錐形結(jié)構(gòu)，連接件的軸心處設(shè)有與旋轉(zhuǎn)軸頂部相匹配的一錐形通孔。
[0006]在一實(shí)施例中，連接件與石墨盤通過(guò)螺紋連接。
[0007]進(jìn)一步地，連接件上設(shè)有透氣孔和透氣槽。
[0008]本實(shí)用新型在石墨盤與反應(yīng)室的旋轉(zhuǎn)軸之間采用了錐形連接結(jié)構(gòu)，通過(guò)多次實(shí)驗(yàn)檢測(cè)可以得出，利用機(jī)械手把石墨盤放入反應(yīng)室時(shí)容易準(zhǔn)確定位，并且在真空環(huán)境中機(jī)械手也能在反應(yīng)室順利取出石墨盤。本實(shí)用新型采用錐面支撐結(jié)構(gòu)的石墨盤保證了機(jī)械手的加工精度，對(duì)機(jī)械手本身的精度要求大幅度降低，不需要投入昂貴的研發(fā)費(fèi)用來(lái)單獨(dú)提升機(jī)械手的加工精度，從而降低了機(jī)械手的加工難度和加工成本，也為實(shí)現(xiàn)了規(guī)?；?、自動(dòng)化生產(chǎn)提供了必要的條件。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型一實(shí)施例的剖視圖；
[0010]圖2是本實(shí)用新型連接件的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】[0011]如圖1?圖2所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提出的MOCVD石墨盤與反應(yīng)室的連接結(jié)構(gòu)，包括石墨盤I和設(shè)于反應(yīng)室內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸2，本實(shí)用新型重點(diǎn)對(duì)石墨盤和旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行了改進(jìn)，在石墨盤底部設(shè)置一連接件3，該連接件包括一圓形底座和設(shè)于圓形底座上的一錐形凸臺(tái)，整體形狀類似凸字形，石墨盤底部設(shè)有與該連接件形狀相匹配的凹槽，通過(guò)連接件來(lái)與旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行連接，使得石墨盤在進(jìn)行取放時(shí)，不會(huì)磨損到石墨盤本身，降低石墨盤的耗損，從而降低生產(chǎn)成本。進(jìn)一步的為了精準(zhǔn)地定位，旋轉(zhuǎn)軸的頂部也改進(jìn)為錐形結(jié)構(gòu)，連接件的軸心處設(shè)置了與旋轉(zhuǎn)軸頂部形狀相匹配的錐形通孔，使得石墨盤和旋轉(zhuǎn)軸之間通過(guò)錐形結(jié)構(gòu)來(lái)連接，使得機(jī)械手在放置石墨盤時(shí)，非常容易定位，加工精度很高，不需要對(duì)機(jī)械手本身的精度進(jìn)行提升，大幅度壓縮了生產(chǎn)成本。在一實(shí)施例中，連接件與石墨盤可以通過(guò)螺紋連接，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員還可以采用其他慣用的方式連接石墨盤和連接件。由于反應(yīng)室為真空環(huán)境，因此連接件上設(shè)有透氣孔31和透氣槽32，可以與外界相通，使得在需要取出石墨盤時(shí)，可以順利取出。
[0012]本實(shí)用新型考慮到還可以進(jìn)行很多變化和修改。因此，盡管已經(jīng)敘述了改進(jìn)連接件的優(yōu)選形式并討論了一些修改，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，在不偏離本實(shí)用新型隨后由權(quán)利要求書所限定的精神范圍內(nèi)，還可以進(jìn)行不同的額外變化和修改。
【權(quán)利要求】
1.一種MOCVD石墨盤與反應(yīng)室的連接結(jié)構(gòu)，包括石墨盤和設(shè)于反應(yīng)室內(nèi)的旋轉(zhuǎn)軸，其特征在于，所述石墨盤底部設(shè)有一連接件，所述連接件包括一圓形底座、設(shè)于圓形底座上的一錐形凸臺(tái)，所述石墨盤底部設(shè)有與連接件相匹配的凹槽，所述旋轉(zhuǎn)軸的頂部為錐形結(jié)構(gòu)，所述連接件的軸心處設(shè)有與旋轉(zhuǎn)軸頂部相匹配的一錐形通孔。
2.如權(quán)利要求1所述的MOCVD石墨盤與反應(yīng)室的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接件與石墨盤通過(guò)螺紋連接。
3.如權(quán)利要求1或2所述的MOCVD石墨盤與反應(yīng)室的連接結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述連接件上設(shè)有透氣孔和透氣槽。
【文檔編號(hào)】C30B25/02GK203639603SQ201320591835
【公開日】2014年6月11日 申請(qǐng)日期:2013年9月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月25日
【發(fā)明者】常紅旺 申請(qǐng)人:深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司