聲變換器裝置制造方法
【專利摘要】按照本發(fā)明提出一種聲變換器裝置，其包括在第一電極結(jié)構(gòu)和第二電極結(jié)構(gòu)之間的壓電式活性的駐極體材料。在第一電極結(jié)構(gòu)上施加駐極體材料，尤其是如此施加，使得所述第一電極結(jié)構(gòu)完全由駐極體材料覆蓋。在駐極體材料的上面或之上設置第二電極結(jié)構(gòu)，從而所述駐極體材料位于所述第一電極結(jié)構(gòu)與所述第二電極結(jié)構(gòu)之間。所述第一電極結(jié)構(gòu)由多個可相互獨立尋址的電極元件構(gòu)造。所述電極元件因此限定各個聲變換器元件，所述各個聲變換器元件共同地形成聲變換器裝置，也稱為陣列。在此按照本發(fā)明，所述第一電極結(jié)構(gòu)(30、130)構(gòu)造在多層電路載體的表面上。
【專利說明】聲變換器裝置

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種聲變換器裝置，其尤其可以用于基于聲的周圍環(huán)境檢測，以及涉 及一種包含該聲變換器裝置的基于聲波的傳感器。在此考慮由至少兩個聲變換器組成的陣 列裝置。在此，兩個或更多個單個變換器相互間的間距典型地分別小于半個空氣聲波長。 陣列裝置相比于單元件變換器提供信號處理的擴展可能性并且因此特別有利地可應用在 具有由此造成的復雜聲場的復雜的周圍環(huán)境中。各個變換器元件可以分開地作為聲發(fā)送器 和作為聲接收器或者不僅作為發(fā)送器而且作為接收器運行。本發(fā)明還涉及一種基于聲波的 用于周圍探測的傳感器、尤其是用于機動車或機器人應用或移動的作功機械的超聲波傳感 器，其包括按照本發(fā)明構(gòu)造的聲變換器裝置。

【背景技術】
[0002] 由文獻已知基于駐極體（Elektret)原理的聲變換器。例如在文獻W01008/135004 A1中描述了一種用于在氣態(tài)介質(zhì)中的應用的超聲波變換器陣列，該超聲波變換器陣列包括 兩個電極結(jié)構(gòu)之間的由壓電式活性的蜂窩式的駐極體材料組成的層。在此首先通過電極結(jié) 構(gòu)的尺寸在大小方面確定變換器元件。對于陣列的設計需要構(gòu)造具有各兩個電極的多個聲 變換器元件，所述各兩個電極分別限制一個元件的有效區(qū)域。電極必須連接到后置的電子 組件上（例如放大器或濾波器）。需要的元件的數(shù)量越大，那么與后置的電子組件的連接越 困難。例如主要是當電極元件不僅設置在一條線上（線陣列）而且二維分布地設置（2D陣 列）時，出現(xiàn)問題。在該情況下在常規(guī)裝置中必須在各個電極元件之間引導印制導線。這 些印制導線減小了用于作為電極元件的使用的可用的面。此外，這些印制導線表示附加的 電容，這些附加的電容必須由聲變換器元件與后置的電子組件并行地再充電。如果駐極體 材料的表面完全被金屬化并且用作接地電極，那么印制導線還形成寄生聲變換器元件，其 在這些地方并不是所期望的并且干擾陣列信號處理。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 在本發(fā)明中描述的聲變換器技術基于壓電駐極體材料，該壓電駐極體材料進行在 通過聲壓引起的機械應力與電場之間的變換。將駐極體材料理解為一種電絕緣材料，該電 絕緣材料包含準永久存儲的電荷或準永久定向的電雙極子并且由此在其周圍環(huán)境中或在 其內(nèi)部產(chǎn)生準永久電場。壓電式活性的駐極體材料經(jīng)常構(gòu)造為所謂的鐵駐極體并且具有蜂 窩式的或泡沫狀的結(jié)構(gòu)。與其他變換器技術--例如機械共振變換器、壓電復合變換器、靜 電變換器或MEMS變換器相比，基于駐極體的聲變換器對于在流體（氣體、液體）中的聲產(chǎn) 生和聲接收具有特別有利的特征，特別是關于電聲學接收敏感性。
[0004] 按照本發(fā)明提出一種聲變換器裝置，其包括在第一電極結(jié)構(gòu)和第二電極結(jié)構(gòu)之間 的壓電式活性的駐極體材料。在第一電極結(jié)構(gòu)上施加駐極體材料，尤其是如此施加，使得第 一電極結(jié)構(gòu)完全由駐極體材料覆蓋。駐極體材料構(gòu)成壓電層。在駐極體材料的上面或之上 設置第二電極結(jié)構(gòu)，從而駐極體材料位于第一電極結(jié)構(gòu)與第二電極結(jié)構(gòu)之間。第一電極結(jié) 構(gòu)由多個可相互獨立尋址的電極元件構(gòu)成。電極元件因此限定各個聲變換器元件，所述各 個聲變換器元件共同地形成聲變換器裝置，也稱為陣列。在此，按照本發(fā)明，第一電極結(jié)構(gòu) 構(gòu)造在多層電路載體的表面上。
[0005] 通過第一電極結(jié)構(gòu)的電極元件結(jié)合在由壓電式活性的駐極體材料制成的層的對 置的側(cè)上設置的第二電極結(jié)構(gòu)，可以以已知的方式產(chǎn)生或探測層或?qū)拥目椎木植亢穸日駝?(Dickenschwingung)。特別是該振動的頻率可以位于超聲波范圍中。厚度振動的激勵以有 利的方式通過適合的電壓信號實現(xiàn)，該電壓信號施加在相應的電極元件與第二電極結(jié)構(gòu)的 對應電極之間。這些電壓信號產(chǎn)生壓電式活性的駐極體材料的局部厚度振動，所述局部厚 度振動又引起聲波的輻射。在到達的聲波的情況下通過聲波激勵壓電式活性的駐極體材料 進行厚度振動，所述厚度振動又產(chǎn)生相應電極元件上的相應的電壓信號。
[0006] 第一電極結(jié)構(gòu)優(yōu)選由多層電路載體的最上層形成或者施加在多層電路載體的表 面上。緊接著，駐極體材料施加例如粘接在第一電極結(jié)構(gòu)上。替代地，也可能的是，通過印 刷方法--例如絲網(wǎng)印刷施加駐極體材料。也可能的是，首先將第一電極結(jié)構(gòu)施加到駐極 體材料的表面上并且隨后例如通過粘接來連接駐極體材料與多層電路載體。
[0007] 通過聲變換器裝置的按照本發(fā)明的構(gòu)造產(chǎn)生以下優(yōu)點：多層電路載體的不同層可 以用于各個電極元件的布線。多層電路載體可以例如以常規(guī)方式構(gòu)造為具有多個線路層面 的多層印刷電路板。最上層可以有利地用于構(gòu)造第一電極結(jié)構(gòu)。電極元件可以通過不同的 布線層面連接到后置的電子組件上。為此，優(yōu)選可以應用所謂的覆鍍通孔。可用于電極元 件的構(gòu)造的面由此增大，因為在電路載體的或第一電極結(jié)構(gòu)的表面上不必提供用于印制導 線的附加的面。此外，電極元件的相應的大小和形狀以及印制導線的引導相互獨立地確定。
[0008] 多層電路載體的另一有利的功能是實現(xiàn)用于聲變換器裝置的機械穩(wěn)定化的載體 層。優(yōu)選地，使用印刷電路板、尤其是例如具有纖維作為填料的復合系統(tǒng)作為電路載體。尤 其如此選擇復合系統(tǒng)的填料，使得印刷電路板在從外部對在其上構(gòu)造有聲變換器裝置的表 面的機械作用下是柔性的（nachgiebig)。因此，機械應力的一部分不是在駐極體材料中而 是由印刷電路板承受，并且避免了敏感的駐極體材料的損壞。
[0009] 駐極體材料優(yōu)選構(gòu)造為薄膜、尤其構(gòu)造為鐵駐極體薄膜。這樣的薄膜通常具有 50 μ m至500 μ m的厚度并且具有蜂窩式結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地也可以疊加地施加兩層或更多層這樣 的薄膜（堆疊結(jié)構(gòu)）。通過壓電式活性的駐極體材料的如此增大的層厚實現(xiàn)了聲變換器裝 置在接收運行中更高的靈敏度和在發(fā)送運行中更高的發(fā)送強度。此外也可能的是，通過層 厚有針對性地調(diào)節(jié)用于聲變換器裝置的共振性能的預給定頻率。
[0010] 本發(fā)明的有利的實施方式是從屬權(quán)利要求的主題。第二電極結(jié)構(gòu)構(gòu)造為在壓電式 活性的駐極體材料上的連續(xù)的金屬化層并且用作用于整個聲變換器裝置的接地電極。通過 印制導線和電極元件構(gòu)造在不同的層上或?qū)用嫔系姆绞?，提高了印制導線與第二電極結(jié)構(gòu) 的間距。通過提高的間距減小干擾性的電容。
[0011] 優(yōu)選地，第二電極結(jié)構(gòu)由尤其是多層構(gòu)造的保護層覆蓋，該保護層保護聲變換器 裝置免受外部影響，例如濕氣、污物、紫外線、熱作用或機械作用。此外，該保護層可以通過 促成可涂漆性而對于視覺外觀是重要的。
[0012] 在一個優(yōu)選的實施中，多層電路載體具有至少一個覆鍍通孔。在此優(yōu)選一個覆鍍 通孔分配給一個電極元件，該覆鍍通孔將電極元件與在多層電路載體的確定的內(nèi)層上構(gòu)造 的印制導線電連接。通過印制導線可以將電極元件與后置的電子組件連接，所述電子組件 例如激勵相應的變換器元件或者進一步處理由相應的變換器元件提供的信號。
[0013] 優(yōu)選地，多個尤其是相鄰的電極元件如此與印制導線連接，使得相應的印制導線 構(gòu)造在多層電路載體的不同的線路層面上。
[0014] 在本發(fā)明一個優(yōu)選的構(gòu)型中，可以在多層電路載體的與第一電極結(jié)構(gòu)對置的表面 上設置電子構(gòu)件。這些構(gòu)件可以用作例如用于聲變換器裝置的濾波器或放大器。通過該實 施實現(xiàn)了特別緊湊和節(jié)省空間的構(gòu)造，因為電路載體不僅可以用作用于第一電極結(jié)構(gòu)的載 體結(jié)構(gòu)而且用作用于聲變換器裝置的后置的電子器件的載體。在此，特別有利的是具有與 之連接的小的寄生的電容、電阻和電感的短的線路引導。電路載體的不同布線層面可以不 僅用于各個變換器元件的訪問，而且用于電子構(gòu)件的印制導線的構(gòu)造。
[0015] 按照本發(fā)明的聲變換器裝置可以例如如此實施，使得第一電極結(jié)構(gòu)的電極元件設 置在一條線上并且變換器元件因此形成所謂的線陣列。
[0016] 一種實施是特別優(yōu)選的，其中，第一電極結(jié)構(gòu)的電極元件二維分布地設置并且變 換器元件因此形成所謂的2D陣列。在這樣的裝置中通過具有多層電路載體的聲變換器裝 置的按照本發(fā)明的實施特別顯著地起作用，因為可以省去在第一電極結(jié)構(gòu)的各個電極元件 之間的復雜的和耗費空間的印制導線并且取而代之地可以使用多層電路載體的不同布線 層面。
[0017] 多層電路載體可以構(gòu)造為彎曲的印刷電路板。由此，聲變換器裝置也可以彎曲地 實施并且由此能夠?qū)崿F(xiàn)三維實施。因此可以實現(xiàn)一種在形狀方面匹配于相應的應用的實 施。例如聲變換器裝置的彎曲的形狀可以不顯眼地匹配于車輛的或機器的外部輪廓。因此 產(chǎn)生了用于安裝地點選擇和用于設計的擴展可能性。通過信號處理的匹配也可以通過各個 轉(zhuǎn)換器元件的三維分布實現(xiàn)信號分析處理與相應的應用的改善的匹配。通過電子構(gòu)件的適 合的選擇和放置，彎曲的印刷電路板也可以承載電子電路。
[0018] 本發(fā)明的其他的優(yōu)點和構(gòu)型由說明書和附圖得出。
[0019] 當然，先前提到的和后面還要闡述的特征不僅可以以分別說明的組合而且還可以 以其他組合和/或單獨地應用，而不脫離本發(fā)明的范疇。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020] 圖1示意性地示出了按照本發(fā)明構(gòu)造的聲變換器裝置的一個實施例的剖面圖；
[0021] 圖2示意性地示出了在多層電路載體的表面上的電極結(jié)構(gòu)的一個實施例的俯視 圖。

【具體實施方式】
[0022] 在圖1中示出了按照本發(fā)明的聲變換器裝置的一個示例性的實施的剖面圖。聲變 換器裝置具有多層電路載體50,其構(gòu)造為多層印刷電路板。多層電路載體在內(nèi)部具有印制 導線55、57的多個層面，它們分別通過由復合材料例如纖維強化的塑料制成的絕緣層51相 互分離。
[0023] 在多層電路載體50的表面52上構(gòu)造第一電極結(jié)構(gòu)30。在該實施例中第一電極結(jié) 構(gòu)30通過多層電路載體50的最上層的相應結(jié)構(gòu)化形成。構(gòu)造兩個可相互獨立尋址的電極 元件32和34,它們形成第一電極結(jié)構(gòu)30的至少一部分。
[0024] 在第一電極結(jié)構(gòu)30上設置壓電式活性的駐極體材料20,該壓電式活性的駐極體 材料在該實施例中構(gòu)造為鐵駐極體薄膜22。鐵駐極體薄膜22借助于絕緣粘膠劑層24固定 在第一電極結(jié)構(gòu)30上并且優(yōu)選完全覆蓋第一電極結(jié)構(gòu)30。替代地，也可以使用可導電的粘 膠劑，其中，在使用可導電的粘膠劑的情況下僅僅以膠粘劑覆蓋電極元件32和34。
[0025] 在鐵駐極體薄膜22上設置第二電極結(jié)構(gòu)40,其在該實施例中構(gòu)造為連續(xù)的金屬 化層42,所述金屬化層連接到接地電位。金屬化層可以例如通過氣相沉積（Aufdampfen)或 通過溉射沉積（Aufspattern)或通過印刷方法例如絲網(wǎng)印刷產(chǎn)生。施加在電極元件32或 34與金屬化層42之間的電壓信號通過壓電效應引起壓電式活性的駐極體材料20的厚度變 化。如果聲或其他機械作用對于駐極體材料20是有效的，那么壓電式活性的駐極體材料20 的與所述聲或其他機械作用伴隨的厚度變化產(chǎn)生電荷移動或電壓，其可以在電極元件32、 34或40上量取。
[0026] 為了被保護免受外部影響--例如濕氣、污物、紫外線、熱作用或機械作用，金屬 化層42以多層的保護層60覆蓋。該層可以例如由塑料--例如聚合物（例如聚對二甲 苯）或聚酰亞胺（例如聚酰亞胺薄膜（Kapton))、或者不同塑料的復合物或塑料-金屬-復 合物實現(xiàn)。
[0027] 壓電式活性的駐極體材料20因此設置在第一電極結(jié)構(gòu)30與第二電極結(jié)構(gòu)40之 間。在多層電路載體50上的第一電極結(jié)構(gòu)30、壓電式活性的駐極體材料20以及第二電極 結(jié)構(gòu)40共同構(gòu)成聲變換器裝置1。聲變換器裝置1在該例子中具有兩個變換器元件12和 14,其相應的有效區(qū)域通過第一電極結(jié)構(gòu)30的電極元件32和34的形狀和位置確定。因此， 第一變換器元件12通過電極元件32、在電極元件32之上的區(qū)域中的壓電式活性的駐極體 材料20和第二電極結(jié)構(gòu)40形成，第二變換器元件14通過電極元件34、在電極元件34之上 的區(qū)域中的壓電式活性的駐極體材料20和第二電極結(jié)構(gòu)40形成。通過施加相應的電壓信 號到不同的電極元件32、34上通過壓電效應以已知的方式產(chǎn)生在相應的電極元件32或34 之上的駐極體材料的厚度變化并且輻射聲波。相反地，到達的聲波引起駐極體材料的變形， 由此在電極元件32、34上產(chǎn)生電壓信號。因此，聲變換器裝置1不僅可以作為發(fā)送器而且 可以作為接收器運行。通過不同的可獨立尋址的電極元件32、34可以在聲變換器裝置1作 為接收器運行的情況下以高精度和高空間分辨率探測聲場。在聲變換器裝置1作為發(fā)送器 運行的情況下可以通過不同變換器元件12、14的信號疊加產(chǎn)生復雜的聲場。
[0028] 多層電路載體50具有覆鍍通孔（Durchkontaktierung) 56和58。覆鍍通孔56分 配給電極元件32并且電連接電極元件32與印制導線55。覆鍍通孔58分配給電極元件34 并且電連接電極元件34與印制導線57。印制導線55和57構(gòu)造在多層電路載體50的不同 的內(nèi)部線路層面上。因此可以相互獨立地設計印制導線55和57的相應走向。
[0029] 在多層電路載體50的表面54-該表面與在其上構(gòu)造有第一電極結(jié)構(gòu)30的表面 52對置--上在該例子中設置不同的電子構(gòu)件72、73和74。電子構(gòu)件72、73、74可以是例 如電阻、電容器、晶體管或集成電路（例如運算放大器），它們構(gòu)成例如可以作為用于聲變 換器裝置1的濾波器和/或放大器起作用的電路。優(yōu)選地，多層電路載體的內(nèi)層59構(gòu)造為 連續(xù)的金屬層，其位于接地電位上。因此，由包括構(gòu)件72、73和74的電路實現(xiàn)聲變換器裝 置的電磁屏蔽。電子構(gòu)件72、73和74可以例如通過印制導線接觸，這些印制導線構(gòu)造在多 層電路載體50的其他內(nèi)層（未不出）上。
[0030] 此外，多層電路載體50作為用于電極結(jié)構(gòu)30和40以及用于駐極體材料20、22的 機械載體結(jié)構(gòu)起作用。在聲變換器裝置的機械負荷下力主要由形成電路載體50的絕緣層 51承受。由此避免了鐵駐極體薄膜22和電極結(jié)構(gòu)30、40的損壞。
[0031] 在圖2中詳細地示意地在俯視圖中示出了用于按照本發(fā)明的聲變換器裝置的第 一電極結(jié)構(gòu)130的一個實施例。第一電極結(jié)構(gòu)130構(gòu)造在多層電路載體150的表面152上。 電極結(jié)構(gòu)130在該例子中具有18個電極元件132、134,它們以六列102、104、102'、104'、 102'、104"設置，對于每三個電極元件組成一列。電極結(jié)構(gòu)130因此形成所謂的2D陣列 100,因為電極元件132、134二維地在一個面上分布地設置。在該例子中所有電極元件132、 134具有相同的尺寸。電極元件基本上方形地構(gòu)造并且相互間規(guī)則地設置。如此選擇電極 元件132U34的尺寸，使得在兩個相鄰的電極元件132U43之間的間距D小于在對于應用 而言典型的頻率的情況下聲波（在空氣中）的半波長。例如在50kHz的典型工作頻率下空 氣聲波長為大約7毫米。在該情況下間距D并且由此還有電極元件的棱邊長度可以為例如 大約3毫米。
[0032] 根據(jù)按照本發(fā)明的聲變換器裝置的應用也可以考慮這樣的裝置，在所述裝置中構(gòu) 造不同大小、不同成形的、和/或相互不規(guī)則地定位的電極元件。例如也考慮矩形的、圓形 的、橢圓形的、多邊形的或不規(guī)則成形的電極元件。電極元件也不必表面覆蓋地設置?？赡?的是，暴露電路載體的各個區(qū)域。人們那么稱之為不完全占據(jù)的陣列裝置。
[0033] 給電極結(jié)構(gòu)130的每一個電極元件132、134分配多層電路載體150的一個覆鍍通 孔156、158。覆鍍通孔156、158電連接電極元件132、134與印制導線155、157。在該實施 例中，覆鍍通孔156、158如此構(gòu)造，使得在2D陣列100的同一列102中設置的電極元件132 借助于覆鍍通孔156與印制導線155導電連接，其中，印制導線155構(gòu)造在多層電路載體的 一個內(nèi)層上。在2D陣列100的與列102相鄰的列104中設置的電極元件134借助于覆鍍 通孔158與印制導線157導電連接。印制導線157構(gòu)造在多層電路載體的另一內(nèi)層上。印 制導線155和印制導線157因此在不同的層面上走向，因此可以相互獨立地選擇印制導線 155和157的相應的走向。
[0034] 此外由在圖2中的示圖可以看出，在在其上構(gòu)造有電極結(jié)構(gòu)130的表面152上不 必提供印制導線。所有印制導線155和157在多層電路載體150的電路層面上走向，所述 電路層面位于表面152之下。因此，表面152完全可用于電極結(jié)構(gòu)130的構(gòu)造。
[0035] 按照本發(fā)明的聲變換器裝置特別適用于基于聲場的周圍環(huán)境檢測。該聲變換器裝 置可以例如在駕駛員輔助系統(tǒng)--如泊車系統(tǒng)--中用于車輛的操縱支持或死角的監(jiān)視。 也可以考慮的是，應用在機器人--例如割草機器人、吸塵機器人、運輸機器人中或靜止的 機器中。此外，按照本發(fā)明的聲變換器裝置可以用于制造工藝的和/或制造設備的監(jiān)視或 者用于空間或車輛的安全技術監(jiān)視，其中，例如可以探測對象或人員的侵入。同樣可以考慮 用于支持視障的人，例如以障礙物警告器的形式。其他可能的應用包括例如用于遠程操作 的超聲波通信。
【權(quán)利要求】
1. 一種聲變換器裝置（1)，其包括： 在第一電極結(jié)構(gòu)和第二電極結(jié)構(gòu)之間的壓電式活性的駐極體材料（20); 其中，所述第一電極結(jié)構(gòu)（30、130)由多個可相互獨立尋址的電極元件（32、34、132、 134)構(gòu)造， 其特征在于， 所述第一電極結(jié)構(gòu)（30、130)構(gòu)造在多層電路載體（50)的表面（52)上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲變換器裝置，其特征在于，所述第二電極結(jié)構(gòu)（40)構(gòu)造為 在所述壓電式活性的駐極體材料（20)上的連續(xù)的金屬化層（42)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的聲變換器裝置，其特征在于，所述第二電極結(jié)構(gòu)（40)由 尤其是多層構(gòu)造的保護層（60)覆蓋。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的聲變換器裝置，其特征在于，所述多層電路載 體（50)具有至少一個覆鍍通孔（56、58、156、158)，其中，一個覆鍍通孔分配給一個電極元 件（32、34、132、134)，其中，所述電極元件（32、34、132、134)借助于所述覆鍍通孔（56、58、 156U58)與所述多層電路載體（50)的內(nèi)部線路層面的印制導線（55、57、155、157)接觸。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的聲變換器裝置，其特征在于，多個印制導線（55、57、155、157) 構(gòu)造在所述多層電路載體（50)的不同的線路層面上。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的聲變換器裝置，其特征在于，所述壓電式活性的 駐極體材料（20)構(gòu)造為薄膜、尤其是鐵駐極體薄膜（22)。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的聲變換器裝置，其特征在于，所述壓電式活性的駐極體材料 (20)由兩層或更多層薄膜構(gòu)造。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的聲變換器裝置，其特征在于，在所述多層電路載 體（50)的與表面（52)對置的表面（54)上設置有電子構(gòu)件（72、73、74)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的聲變換器裝置，其特征在于，所述第一電極結(jié)構(gòu) (30)的電極元件（32、34)設置在一條線上。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的聲變換器裝置，其特征在于，所述第一電極結(jié) 構(gòu)（130)的電極元件（132、134)二維分布地設置。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的聲變換器裝置，其特征在于，所述多層電路載 體（50)構(gòu)造為彎曲的印刷電路板。
12. -種基于聲波的周圍環(huán)境探測的傳感器、尤其是用于機動車應用或機器人應用的 超聲波傳感器，其包括根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項所述的聲變換器裝置（1)。
【文檔編號】B06B1/02GK104114288SQ201380009363
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2013年2月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年2月16日
【發(fā)明者】A·格拉赫 申請人:羅伯特·博世有限公司