有機(jī)el元件的制造方法和有機(jī)el元件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種抑制了發(fā)光特性的劣化的有機(jī)EL元件的制造方法等。在有機(jī)EL元件的制造方法中，使第1電極層和第2電極層不接觸，并且使有機(jī)層至少在基材的長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出第1電極層。而且使第2電極層至少在上述長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出上述有機(jī)層。由此，以在上述發(fā)光部的至少在上述基材的長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)、上述有機(jī)層的上述長(zhǎng)度方向的兩端緣被上述第2電極層的上述長(zhǎng)度方向的兩端側(cè)覆蓋的方式形成上述第1電極層、上述有機(jī)層以及上述第2電極層。
【專利說(shuō)明】有機(jī)EL元件的制造方法和有機(jī)EL元件
[0001] 本申請(qǐng)主張日本特愿2012-41700號(hào)以及日本特愿2013-23502號(hào)的優(yōu)先權(quán)，通過(guò) 引用而編入本申請(qǐng)說(shuō)明書(shū)的記載。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 本發(fā)明涉及一種以在基材上形成電極層和有機(jī)層、并自上述有機(jī)層發(fā)射光的方式 構(gòu)成的有機(jī)EL元件的制造方法和有機(jī)EL元件。

【背景技術(shù)】
[0003] 以往，作為發(fā)光顯示裝置等所使用的元件公知有有機(jī)EL (電致發(fā)光）元件。有機(jī) EL元件基本上具有有機(jī)層和一對(duì)電極層，該有機(jī)層至少具有作為有機(jī)結(jié)構(gòu)層的發(fā)光層。
[0004] 圖10表示該有機(jī)EL元件的一例。如圖10所示，以往的有機(jī)EL元件50以如下方 式形成，在基材21的一面?zhèn)茸鳛樵撛慕Y(jié)構(gòu)層依次層疊：第1電極層23 (例如陽(yáng)極層）、 至少具有作為有機(jī)結(jié)構(gòu)層的發(fā)光層的有機(jī)層25以及第2電極層27 (例如陰極層）（參照?qǐng)D 10的（a))，接著，再層疊密封層29(參照?qǐng)D10的（b)?圖10的（d))。另外，作為發(fā)光部 40具有第1電極層23、有機(jī)層25以及第2電極層27的重疊部分。
[0005] 而且，為了在第1電極層23和第2電極層27不彼此短路的情況下能夠從外部通 電，第1電極層23和第2電極層27形成為以彼此不重疊的方式在外側(cè)超出密封層29。
[0006] 例如，在圖10的（b)的右側(cè)，為了在不產(chǎn)生上述短路的情況下能夠?qū)Φ?電極層 23通電，有機(jī)層25的右側(cè)端部側(cè)在右側(cè)超出第2電極層27的右側(cè)端緣。而且，第1電極層 23的右側(cè)端部側(cè)在右側(cè)超出比有機(jī)層25的右側(cè)端緣（參照?qǐng)D10的（a)的右側(cè)）。而且， 該第1電極層的右側(cè)端部側(cè)形成為在右側(cè)超出密封層29的右側(cè)端緣（參照?qǐng)D10的（d)的 右側(cè)））。
[0007] 另外，在圖10的（b)的左側(cè)，為了在不產(chǎn)生上述短路的情況下能夠?qū)Φ?電極層 27通電，有機(jī)層25的左側(cè)端部側(cè)在左側(cè)超出第1電極層23的左側(cè)端緣。另外，第2電極層 27的左側(cè)端部側(cè)在左側(cè)超出有機(jī)層25的左側(cè)端緣（參照?qǐng)D10的（a)的左側(cè)）。而且，該 第2電極層27形成為在左側(cè)超出密封層29的左側(cè)端緣（參照?qǐng)D10的（d)的左側(cè)））。
[0008] 在該種有機(jī)EL元件中，為了實(shí)現(xiàn)柔性化，使用有機(jī)樹(shù)脂制的基材作為基材，在該 情況下，氧、水分通過(guò)基材而進(jìn)入上述結(jié)構(gòu)層側(cè)，有時(shí)使有機(jī)EL元件的發(fā)光特性隨時(shí)間經(jīng) 過(guò)而劣化。
[0009] 因此，提出有通過(guò)使用金屬制的基材來(lái)防止氧、水分通過(guò)基材的方案（參照專利 文獻(xiàn)1、2)。另外，在像這樣使用金屬制的基材的情況下，為了防止金屬制的基材與上述第1 電極層之間的接觸所導(dǎo)致的短路，在基材上形成絕緣層。
[0010] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開(kāi)2002-25763號(hào)公報(bào)
[0011] 專利文獻(xiàn)2 :日本特許第3942017號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012] 發(fā)明要解決的問(wèn)是頁(yè)
[0013] 但是，即使在金屬制的基材上形成上述那樣的絕緣層的情況下，氧、水分有時(shí)在有 機(jī)層和電極層之間的交界處從端緣側(cè)進(jìn)入，并導(dǎo)致在發(fā)光部產(chǎn)生隨時(shí)間經(jīng)過(guò)而不發(fā)光的區(qū) 域（Dark frame),從而產(chǎn)生發(fā)光特性的劣化。
[0014] 本發(fā)明鑒于上述問(wèn)題點(diǎn)，其課題在于，提供一種抑制了發(fā)光特性的劣化的有機(jī)EL 元件的制造方法和有機(jī)EL元件。
[0015] 用于解決問(wèn)題的方案
[0016] 為了解決上述課題，本發(fā)明人經(jīng)過(guò)潛心研究，明確了以下的內(nèi)容。
[0017] 即，帶狀的金屬制的基材通常是通過(guò)沿長(zhǎng)度方向軋制而形成的。明確了如下內(nèi)容： 由于該乳制，在該基材的表面部橫跨寬度方向形成有多條沿長(zhǎng)度方向延伸的細(xì)微的槽。
[0018] 另外，明確了如下內(nèi)容：即使在基材上層疊了絕緣層后，在基材上層疊的絕緣層的 表面部，由基材的槽引起的槽也沿長(zhǎng)度方向延伸。
[0019] 因此，在使用該基材形成了有機(jī)EL元件時(shí)，在發(fā)光部的在基材的寬度方向上的兩 個(gè)外側(cè)，在絕緣層表面部的多個(gè)槽間形成了的凸部主要與密封層接觸。明確了如下內(nèi)容：通 過(guò)該接觸，氧、水分難以從寬度方向外側(cè)進(jìn)入密封層的內(nèi)側(cè)，對(duì)發(fā)光特性的劣化帶來(lái)的影響 比較小。
[0020] 與此相對(duì)，明確了如下內(nèi)容：在發(fā)光部的在基材的長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)，由于有 機(jī)層和第2電極層的各形成圖案，對(duì)發(fā)光特性的劣化帶來(lái)的影響大為不同。
[0021] 具體而言，在發(fā)光部的在上述長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)的至少任一個(gè)外側(cè)，第2電 極層在外側(cè)不超出有機(jī)層。在有機(jī)層的兩端緣未被第2電極層覆蓋的情況下（參照?qǐng)D6? 圖10)，氧、水分通過(guò)上述絕緣層表面部的槽而進(jìn)入到密封層的內(nèi)側(cè)。而且，在有機(jī)層與第1 電極層之間的交界處、有機(jī)層和第2電極層之間的交界處，氧、水分從端緣側(cè)進(jìn)入到與發(fā)光 部相當(dāng)?shù)膮^(qū)域。由此，明確了產(chǎn)生發(fā)光特性的劣化。
[0022] 另一方面，在發(fā)光部的在上述長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)，在第2電極層超出有機(jī)層、 有機(jī)層的兩端緣被第2電極層的兩端側(cè)覆蓋的情況下（參照?qǐng)D2?圖5)，即使氧、水分通過(guò) 上述絕緣層表面部的槽而進(jìn)入到密封層的內(nèi)側(cè)，也能夠利用第2電極層抑制氧、水分進(jìn)一 步向內(nèi)側(cè)進(jìn)入。因此，明確了如下內(nèi)容：氧、水分難以到達(dá)有機(jī)層和第2電極層之間的交界 處，進(jìn)而氧、水分也就難以到達(dá)發(fā)光部。
[0023] 而且，基于該發(fā)現(xiàn)，本發(fā)明人完成本發(fā)明。
[0024] S卩，本發(fā)明人的有機(jī)EL元件的制造方法通過(guò)在帶狀的金屬制的基材的一面?zhèn)纫?次形成絕緣層、第1電極層、至少具有作為有機(jī)結(jié)構(gòu)層的發(fā)光層的有機(jī)層、第2電極層以及 密封層，而制作出具有上述第1電極層、上述有機(jī)層以及上述第2電極層的重疊部分來(lái)作為 發(fā)光部的有機(jī)EL元件，其特征在于，使上述第1電極層和上述第2電極層不接觸，并且使 上述有機(jī)層至少在上述基材的長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出上述第1電極層，而且使上述第 2電極層至少在上述長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出上述有機(jī)層，由此，以在上述發(fā)光部的至少 在上述基材的長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)、上述有機(jī)層的上述長(zhǎng)度方向的兩端緣被上述第2電 極層的上述長(zhǎng)度方向的兩端側(cè)覆蓋的方式形成上述第1電極層、上述有機(jī)層以及上述第2 電極層。
[0025] 另外，本發(fā)明的有機(jī)EL元件是一種通過(guò)在帶狀的金屬制的基材的一面?zhèn)纫来涡?成絕緣層、第1電極層、至少具有作為有機(jī)結(jié)構(gòu)層的發(fā)光層的有機(jī)層、第2電極層以及密封 層而成的，并具有上述第1電極層、上述有機(jī)層以及上述第2電極層的重疊部分來(lái)作為發(fā)光 部，其特征在于，上述第1電極層和上述第2電極層不接觸，并且使上述有機(jī)層至少在上述 基材的長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出上述第1電極層，而且使上述第2電極層至少在上述長(zhǎng) 度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出上述有機(jī)層，由此，在上述發(fā)光部的至少在上述基材的長(zhǎng)度方向 上的兩個(gè)外側(cè)，上述有機(jī)層的上述長(zhǎng)度方向的兩端緣被上述第2電極層的上述長(zhǎng)度方向的 兩端側(cè)覆蓋。
[0026] 另外，采用本發(fā)明的有機(jī)EL元件和其制造方法，優(yōu)選的是，上述基材的長(zhǎng)度方向 的表面粗糙度比寬度方向的表面粗糙度小。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0027] 圖1是示意性表示有機(jī)EL元件的層結(jié)構(gòu)例的概略局部側(cè)剖視圖。圖1的（a)是 表示有機(jī)層為1層的情況的圖。圖1的（b)是表示有機(jī)層為3層的情況的圖。圖1的（c) 是表示有機(jī)層為5層的情況的圖。
[0028] 圖2的（a)是示意性表示在實(shí)施例1和實(shí)施例3的有機(jī)EL元件的制造中形成了陽(yáng) 極層的狀態(tài)的概略俯視圖。圖2的（b)是示意性表示形成了有機(jī)層的狀態(tài)的概略俯視圖。 圖2的（c)是示意性表示形成了陰極層的狀態(tài)的概略俯視圖。圖2的（d)是示意性表示形 成了密封層的狀態(tài)的概略俯視圖。
[0029] 圖3的（a)是不意性表不實(shí)施例1和實(shí)施例3的有機(jī)EL兀件的概略俯視圖。圖 3的（b)是圖3的（a)的A-A向視剖視圖。圖3的（c)是圖3的（a)的B-B向視剖視圖。
[0030] 圖4的（a)是示意性表示在實(shí)施例2的有機(jī)EL元件的制造中形成了陽(yáng)極層的狀態(tài) 的概略俯視圖。圖4的（b)是示意性表示形成了有機(jī)層的狀態(tài)的概略俯視圖。圖4的（c) 是示意性表示形成了陰極層的狀態(tài)的概略俯視圖。圖4的（d)是示意性表示形成了密封層 的狀態(tài)的概略俯視圖。
[0031] 圖5的（a)是示意性表示實(shí)施例2的有機(jī)EL元件的概略俯視圖。圖5的（b)是 圖5的（a)的A-A向視剖視圖。圖5的（c)是圖5的（a)的B-B向視剖視圖。
[0032] 圖6的（a)是示意性表示在比較例1和比較例5的有機(jī)EL元件的制造中形成密 封層前的狀態(tài)的概略俯視圖。圖6的（b)是示意性表示形成了密封層的概略俯視圖。
[0033] 圖7的（a)是示意性表示在比較例2的有機(jī)EL元件的制造中形成密封層前的狀 態(tài)的概略俯視圖。圖7的（b)是示意性表示形成了密封層的狀態(tài)的概略俯視圖。
[0034] 圖8的（a)是示意性表示在比較例3的有機(jī)EL元件的制造中形成密封層前的狀 態(tài)的概略俯視圖。圖8的（b)是示意性表示形成了密封層的狀態(tài)的概略俯視圖。
[0035] 圖9的（a)是示意性表示在比較例4的有機(jī)EL元件的制造中形成密封層前的狀 態(tài)的概略俯視圖。圖9的（b)是示意性表示形成了密封層的狀態(tài)的概略俯視圖。
[0036] 圖10的（a)是示意性表示在以往的有機(jī)EL元件的制造中形成密封層前的狀態(tài)的 概略俯視圖。圖10的（b)是示意性表示形成了密封層的狀態(tài)的概略俯視圖。圖10的（c) 是圖10的（b)的A-A向視剖視圖。圖10的（d)是圖10的（b)的B-B向視剖視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0037] 下面一邊參照附圖一邊說(shuō)明本發(fā)明的有機(jī)EL元件的制造方法和有機(jī)EL元件。
[0038] 本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件的制造方法在帶狀的金屬制的基材21的一面?zhèn)纫来涡?成絕緣層31、第1電極層（這里是陽(yáng)極層）23、至少具有作為有機(jī)結(jié)構(gòu)層的發(fā)光層25a的有 機(jī)層25、第2電極層27 (這里是陰極層）以及密封層29。由此，制作出具有陽(yáng)極層23、上述 有機(jī)層25以及陰極層27的重疊部分來(lái)作為發(fā)光部40的有機(jī)EL元件20。另外，在有機(jī)EL 元件的制造方法中，使陽(yáng)極層23和陰極層27未接觸，并且使有機(jī)層25至少在基材21的長(zhǎng) 度方向上的兩個(gè)外側(cè)超出陽(yáng)極層23。而且，在有機(jī)EL元件的制造方法中，使陰極層27至少 在上述長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)超出有機(jī)層27。由此，以至少在發(fā)光部40的在基材21的長(zhǎng) 度方向上的兩個(gè)外側(cè)、有機(jī)層25的上述長(zhǎng)度方向的兩端緣被陰極層27的上述長(zhǎng)度方向的 兩端側(cè)覆蓋的方式形成陽(yáng)極層23、有機(jī)層25以及陰極層27。
[0039] 作為基材21所使用的金屬材料，只要是通過(guò)對(duì)例如不銹鋼、Fe、Al、Ni、Co、Cu、它 們的合金等進(jìn)行軋制而能夠在常溫?常壓下形成帶狀的片的金屬，則任何金屬都能夠使用。
[0040] 作為絕緣層31，例如能夠使用有機(jī)絕緣層和無(wú)機(jī)絕緣層。
[0041] 作為有機(jī)絕緣層的形成材料能夠使用絕緣性的樹(shù)脂。因?yàn)榛?1在有機(jī)EL元件 的制造過(guò)程中有時(shí)被加熱到150°C?300°C，因此，作為有機(jī)絕緣層的材料，優(yōu)選使用具有 150°C以上的?；瘻囟鹊哪蜔嵝詷?shù)脂。作為該耐熱性樹(shù)脂，具體而言，能夠列舉出丙烯酸系 樹(shù)脂、降冰片烯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、聚酰亞胺樹(shù)脂、聚酰胺酰亞胺樹(shù)脂、聚酰胺樹(shù)脂、聚酯樹(shù)脂、 聚芳酯樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂、聚碳酸酯樹(shù)脂、聚醚酮樹(shù)脂、聚苯砜樹(shù)脂以及這些樹(shù)脂的復(fù)合體 等。其中，上述耐熱性樹(shù)脂優(yōu)選的是，從由丙烯酸系樹(shù)脂、降冰片烯樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂以及聚酰 亞胺樹(shù)脂組成的組中選出至少1種。
[0042] 有機(jī)絕緣層的厚度如果過(guò)薄，則無(wú)法充分將金屬制的基材21的表面凹凸平坦化； 如果過(guò)厚，則相對(duì)于金屬制的基材21的密合性有可能降低。從該觀點(diǎn)考慮，上述有機(jī)絕緣 層的厚度優(yōu)選lym?40 μπι的范圍。當(dāng)厚度在該范圍內(nèi)時(shí)，能夠確保充分的電絕緣性，并 且也能確保相對(duì)于基材21的密合性。上述有機(jī)絕緣層的厚度優(yōu)選的是0. 5 μ m?10 μ m， 進(jìn)一步優(yōu)選的是1 μ m?5 μ m。在基材21上形成上述有機(jī)絕緣層的方法并未特別限定，能 夠通過(guò)利用輥涂、噴涂、旋涂以及浸漬等的涂敷，或通過(guò)形成為薄膜狀的樹(shù)脂的轉(zhuǎn)印等來(lái)形 成。
[0043] 作為形成無(wú)機(jī)絕緣層的材料，能夠使用具有絕緣性的無(wú)機(jī)材料。另外，該無(wú)機(jī)材料 優(yōu)選具有阻氣性。作為該無(wú)機(jī)材料，例如，優(yōu)選包含金屬和半金屬的至少1種。另外，該金 屬和上述半金屬的至少1種優(yōu)選為從由氧化物、氮化物、碳化物、氧化氮化物、氧化碳化物、 氮化碳化物以及碳氧化氮化物組成的組中選出至少1種。作為金屬，例如能夠舉出鋅、鋁、 鈦、銅、鎂等；作為半金屬，例如能夠舉出硅、鉍、鍺等。
[0044] 上述無(wú)機(jī)絕緣層如果過(guò)薄，則絕緣性降低。另外，如果無(wú)機(jī)絕緣層過(guò)厚，則容易產(chǎn) 生裂縫，阻氣性和絕緣性降低。上述無(wú)機(jī)絕緣層的厚度優(yōu)選的是l〇nm?5 μ m的范圍，更 為優(yōu)選的是50nm?2 μ m的范圍，進(jìn)一步優(yōu)選的是0. Ιμπι?Ιμπι的范圍。形成上述無(wú)機(jī) 絕緣層的方法并未特別限定，能夠利用使用了能噴射無(wú)機(jī)絕緣層形成材料的蒸鍍?cè)吹恼翦?法、濺射法、CVD法等的干式法以及溶膠凝膠法等的濕式法等。
[0045] 作為用于形成陽(yáng)極層23的材料（陽(yáng)極層形成材料），能夠使用氧化銦錫（ΙΤ0)、氧 化鋅銦（ΙΖ0)或者氧化鋅（ΖηΟ)、鎵摻雜氧化鋅（GZ0)、銻摻雜氧化鋅（ΑΖ0)等的氧化鋅系 材料等。
[0046] 作為在絕緣層31上形成陽(yáng)極層23的方法，并未特別限定，例如能夠利用使用了能 夠噴射陽(yáng)極層形成材料的蒸鍍?cè)吹耐ǔ５恼翦兎ǎ谠撜翦兎ㄖ?，?yōu)選利用加熱蒸鍍法。
[0047] 有機(jī)層25至少具有作為有機(jī)結(jié)構(gòu)層的發(fā)光層25a。該有機(jī)層25能夠由1個(gè)有機(jī) 結(jié)構(gòu)層構(gòu)成，或者層疊多個(gè)有機(jī)結(jié)構(gòu)層而構(gòu)成。在有機(jī)層25由1個(gè)有機(jī)結(jié)構(gòu)層構(gòu)成的情況 下，該有機(jī)結(jié)構(gòu)層是上述的發(fā)光層25a。在有機(jī)層由多個(gè)有機(jī)結(jié)構(gòu)層構(gòu)成的情況下，該多個(gè) 有機(jī)結(jié)構(gòu)層是由發(fā)光層25a和發(fā)光層25a以外的有機(jī)結(jié)構(gòu)層構(gòu)成。另外，作為發(fā)光層25a 以外的有機(jī)結(jié)構(gòu)層，例如能夠舉出空穴注入層25b、空穴輸送層25d、電子注入層25c、電子 輸送層25e。
[0048] 這樣，有機(jī)層25只要至少具有作為有機(jī)結(jié)構(gòu)層的發(fā)光層25a，就不特別限定。有機(jī) 層25根據(jù)需要能夠以層疊多個(gè)有機(jī)結(jié)構(gòu)層而形成的方式構(gòu)成。例如，如圖1的（b)所示，也 可以是，按照空穴注入層25b、發(fā)光層25a以及電子注入層25c的順序?qū)盈B空穴注入層25b、 發(fā)光層25a以及電子注入層25c，將有機(jī)層形成為3層層疊體。另外，根據(jù)需要，也可以是， 通過(guò)將空穴輸送層25d(參照?qǐng)D1的（c))夾在上述圖1的（b)所示的發(fā)光層25a和空穴注 入層25b之間，或者，通過(guò)將電子輸送層25e (參照?qǐng)D1的（c))夾在發(fā)光層25a和電子注入 層25c之間，將有機(jī)層形成為4層層疊體。
[0049] 而且，如圖1的（c)所示，也可以是，通過(guò)將空穴輸送層25d夾在空穴注入層25b 和發(fā)光層25a之間、將電子輸送層25e夾在發(fā)光層25a和電子注入層25c之間，將有機(jī)層形 成為5層層疊體。另外，各層的膜厚通常設(shè)計(jì)為幾 nm?幾十nm左右，該膜厚根據(jù)有機(jī)層形 成材料22、發(fā)光特性等而適當(dāng)設(shè)計(jì)，而并不特別限定。
[0050] 作為形成發(fā)光層25a的材料，例如三（8-羥基喹啉）鋁（Alq3)、[2-叔丁 基-6-[2-(2, 3, 6, 7-四氫-1，1，7, 7-四甲基-1H，5H-苯并[i j]喹嗪-9-基）乙烯 基]-4H-吡喃-4-亞基]丙二腈（DCJTB)等。
[0051] 空穴注入層25b是容易從陽(yáng)極層23向發(fā)光層25a、空穴輸送層25d注入空穴的層。 作為用于形成該空穴注入層25b的材料，例如，能夠使用HAT-CN(1，4, 5, 8, 9, 12-六氮雜苯 并菲六腈）、銅酞菁（CuPc)、Ν，Ν' -二（1-萘基）-N，Ν' -二苯基-1，Γ -聯(lián)苯-4, 4' -二胺 (a -NPD)等。
[0052] 空穴輸送層25d是至少具有輸送空穴的功能、或者抑制注入了的電子從陰極層 27向陽(yáng)極層23移動(dòng)的功能的任一個(gè)功能的層。作為用于形成空穴輸送層25d的材料， 例如能夠使用N，N' -二（1-萘基）-N，N' -二苯基-1，Γ -聯(lián)苯_4,4' -二胺（a-NPD)、 ^^州'-四苯基-4,4'-二氨基苯4州'-二苯基州州'-雙（3-甲基苯基）-[1，1'-聯(lián) 苯]_4,4' -二胺（TPD)等。
[0053] 電子注入層25c是容易從陰極層27將電子注入發(fā)光層25a或者電子輸送層25e 的層。作為用于形成該電子注入層25c的材料，例如能夠使用氟化鋰（LiF)、氟化銫（CsF) 等。
[0054] 電子輸送層25e是具有輸送電子的功能、或者抑制注入了的空穴從陽(yáng)極層23向陰 極層27移動(dòng)的功能的任一個(gè)功能的層。作為用于形成電子輸送層25e的材料，例如能夠使 用三（8-羥基喹啉）鋁（Alq3)等。
[0055] 作為在陽(yáng)極層23上形成有機(jī)層25的方法，并未特別限定，例如能夠利用使用了能 夠噴射有機(jī)層形成材料的蒸鍍?cè)吹耐ǔ５恼翦兎āＴ谠撜翦兎ㄖ?，?yōu)選利用加熱蒸鍍法。
[0056] 作為用于形成陰極層27的材料（陰極層形成材料）能夠使用鋁（A1)、鎂銀（Mg/ Ag)、IT0、IZ0 等。
[0057] 在有機(jī)層25上形成陰極層27的方法并不特別限定，例如能夠利用使用了能夠噴 射陰極層形成材料的蒸鍍?cè)吹恼翦兎?。另外，除此之外，例如也能夠利用通過(guò)濺射進(jìn)行成膜 的方法。
[0058] 作為用于形成密封層29的材料（密封層形成材料），能夠使用SiOCN、SiN、SiON 等。
[0059] 在陰極層27上形成密封層29的方法也并不特別限定，例如，能夠利用使用了能夠 噴射密封層形成材料的蒸鍍?cè)吹恼翦兎?，在該蒸鍍法中，例如?yōu)選的是利用等離子體輔助 蒸鍍法。
[0060] 在本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件的制造方法中，預(yù)先形成由基材21和形成在該基材 21的一面?zhèn)鹊慕^緣層31構(gòu)成的層疊體，在該層疊體的絕緣層31上依次蒸鍍陽(yáng)極層23、發(fā) 光層25a、陰極層27以及密封層29。另外，除此之外，預(yù)先在未層疊有絕緣層31的基材21 上，利用用于形成絕緣層31的蒸鍍?cè)丛诨?1上形成絕緣層31，在這樣形成了的絕緣層 31上也能夠依次形成上述陽(yáng)極層23、發(fā)光層25a、陰極層27以及密封層29。
[0061] 在本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件的制造方法中，具體而言，例如首先利用涂敷裝置等 在基材21的一面?zhèn)阮A(yù)先涂敷絕緣層31。
[0062] 接著，在由基材21和絕緣層31構(gòu)成的層疊體的絕緣層31上，利用上述蒸鍍法形 成陽(yáng)極層23。接著，在該陽(yáng)極層23上，利用上述蒸鍍法形成作為有機(jī)層的發(fā)光層25a。然 后，在該發(fā)光層25a上，利用上述蒸鍍法形成陰極層27。接著，以覆蓋所形成了的各層的方 式利用上述蒸鍍法從該陰極層27的上方形成密封層29。由此，形成有機(jī)EL元件20。
[0063] 接著，說(shuō)明各層的形成。
[0064] 陽(yáng)極層23、有機(jī)層25、陰極層27以及密封層29的圖案化能夠使用如下以往公知 的方法適宜地進(jìn)行：例如使具有所希望的形狀的開(kāi)口的陰影掩模分別介于上述的各蒸鍍?cè)?與基材21之間、并使各結(jié)構(gòu)層的形成材料通過(guò)的方法等。另外，作為各結(jié)構(gòu)層的圖案，例如 能夠舉出圖2、圖4所示那樣的形狀，但并不特別限于這些圖2、圖4。
[0065] 例如，如圖1所示，為了使陽(yáng)極層23和陰極層27不接觸，首先，在上述層疊體的絕 緣層31上形成陽(yáng)極層23 (參照?qǐng)D2的（a))。接著，以在發(fā)光部40的在基材21的長(zhǎng)度方 向（空心箭頭方向）上的至少兩個(gè)外側(cè)覆蓋陽(yáng)極層23的方式形成有機(jī)層25(參照?qǐng)D2的 (b))。接著，以在上述兩個(gè)外側(cè)向兩個(gè)外側(cè)超出有機(jī)層25、并且覆蓋有機(jī)層25的上述長(zhǎng)度 方向的兩端緣的方式形成陰極層27(參照?qǐng)D2的（c))。而且，以使陽(yáng)極層23和陰極層27 的一部分超出密封層29的方式形成有該密封層29 (圖2的（d))。由此，形成有機(jī)EL元件 20,陽(yáng)極層23、有機(jī)層25以及陰極層27的重疊部分成為發(fā)光部40 (參照?qǐng)D3)。另外，如圖 2、圖3所示，在發(fā)光部40的上述長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)，有機(jī)層25的上述長(zhǎng)度方向的兩端 緣被陰極層27的兩端側(cè)覆蓋。
[0066] 在該圖2和圖3中，在發(fā)光部40的在基材21的寬度方向（圖2和圖3的左右方 向）上的兩個(gè)外側(cè)，有機(jī)層25在外側(cè)超出陰極層27。而且，陽(yáng)極層23在外側(cè)超出有機(jī)層 25。另外，形成了的陽(yáng)極層23和陰極層27不接觸。
[0067] 另外，例如，如圖4所示，為了使陽(yáng)極層23和陰極層27不接觸，首先，在上述層疊 體的絕緣層31上形成陽(yáng)極層23 (參照?qǐng)D4的（a))。接著，以在發(fā)光部40的在基材21的長(zhǎng) 度方向（空心箭頭方向）上的至少兩個(gè)外側(cè)覆蓋陽(yáng)極層23的方式形成有機(jī)層25(參照?qǐng)D 4的（b))。接著，以在上述兩個(gè)外側(cè)向兩個(gè)外側(cè)超出有機(jī)層25、并且覆蓋有機(jī)層25的上述 長(zhǎng)度方向的兩端緣的方式形成陰極層27(參照?qǐng)D4的（c))。然后，以使陽(yáng)極層23和陰極 層27的一部分超出密封層29的方式形成該密封層29 (參照?qǐng)D4的（d))。由此，形成有機(jī) EL元件20,陽(yáng)極層23、有機(jī)層25以及陰極層27的重疊部分成為發(fā)光部40 (參照?qǐng)D5)。另 夕卜，如圖4、圖5所示，在發(fā)光部40的在上述長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)，有機(jī)層25的上述長(zhǎng)度 方向的兩端緣被陰極層27的兩端側(cè)覆蓋。
[0068] 在該圖4和圖5中，在發(fā)光部40的在基材21的寬度方向（圖4和圖5的左右方 向）上的兩個(gè)外側(cè)中的一個(gè)外側(cè)（圖4和圖5的右側(cè)），有機(jī)層25在外側(cè)超出陰極層27。 另外，陽(yáng)極層23在外側(cè)露出有機(jī)層25。與此相反，在另一個(gè)外側(cè)（圖4和圖5的左側(cè)），有 機(jī)層25在外側(cè)超出陽(yáng)極層23。而且，陰極層27在外側(cè)超出有機(jī)層25。另外，形成了的陽(yáng) 極層23和陰極層27不接觸。
[0069] 在上述圖3和圖5所例示的有機(jī)EL元件20中，陽(yáng)極層23和陰極層27的超出密 封層29的部分彼此不接觸。通過(guò)對(duì)該超出部分通電，能夠使發(fā)光部40發(fā)光。
[0070] 另外，在本實(shí)施方式中，發(fā)光部40采用矩形形狀這樣的結(jié)構(gòu)，但該發(fā)光部40的形 狀并沒(méi)有特別限定。
[0071] 采用該制造方法，能夠使陽(yáng)極層23和陰極層27不接觸，并且能夠形成陽(yáng)極層23、 有機(jī)層25以及陰極層27。因此，避免了陽(yáng)極層23和陰極層27之間短路，能夠使發(fā)光部40 發(fā)光。另外，在發(fā)光部40的在帶狀的金屬制的基材21的長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)，利用陰極 層27的上述長(zhǎng)度方向的兩端側(cè)來(lái)覆蓋有機(jī)層25的上述長(zhǎng)度方向的兩端緣，由此，即使由在 基材21的表面部沿長(zhǎng)度方向延伸的細(xì)微的槽導(dǎo)致氧、水分通過(guò)絕緣層31的表面部的槽而 進(jìn)入到密封層29的內(nèi)側(cè)，氧、水分也難以到達(dá)有機(jī)層25和陰極層27之間的交界，因此能夠 抑制氧、水分到達(dá)發(fā)光部40的內(nèi)側(cè)。
[0072] 因此，能夠制造出抑制了發(fā)光特性的劣化的有機(jī)EL元件20。
[0073] 另外，在圖2?圖5所例示的有機(jī)EL元件20中，在發(fā)光部40的在基材21的寬度 方向上的至少任一個(gè)外側(cè)，有機(jī)層25的兩端緣未被陰極層27的兩端側(cè)覆蓋。然而，如上所 述，在寬度方向上，絕緣層31的表面部的槽間的凸部與上述結(jié)構(gòu)層接觸，因此能夠抑制氧、 水分進(jìn)入密封層29的內(nèi)部。
[0074] 另外，上述制造方法例如也可以像以下這樣實(shí)施。將卷取成了卷狀的、基材21和 絕緣層31的層疊體從作為供給部的供給輥放出。使被放出了的層疊體的基材21與筒輥 (未圖示）的表面抵接并移動(dòng)，并且在支承于該筒輥的層疊體的絕緣層31上像上述那樣依 次形成陽(yáng)極層23、有機(jī)層25、陰極層27以及密封層29。將得到了的有機(jī)EL元件20依次卷 取于作為回收部的卷取輥（未圖示）。
[0075] 另外，除此之外，上述制造方法例如能夠像以下那樣實(shí)施。將卷取成了卷狀的基材 21從上述供給輥放給。在被放出了的基材21上像上述那樣依次形成絕緣層31、陽(yáng)極層23、 有機(jī)層25、陰極層27以及密封層29。將得到了的有機(jī)EL元件20依次卷取于上述卷取輥。
[0076] 另外，如上述那樣放出被卷取輥卷取了的有機(jī)EL元件20,進(jìn)行剪裁等，也能夠形 成片狀的有機(jī)EL元件20。
[0077] 由上述制造方法得到的本實(shí)施方式的有機(jī)EL元件20,在帶狀的金屬制的基材21 的一面?zhèn)纫来涡纬山^緣層31、第1電極層（這里是陽(yáng)極層23)、至少具有作為有機(jī)結(jié)構(gòu)層的 發(fā)光層25a的有機(jī)層25、第2電極層（這里是陰極層27)以及密封層29。而且，有機(jī)EL元 件20具有陽(yáng)極層23、有機(jī)層25以及陰極層27的重疊部分來(lái)作為發(fā)光部40。陽(yáng)極層23與 陰極層27不接觸，并且有機(jī)層25至少在基材21的長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出陽(yáng)極層23。 而且，陰極層27至少在上述長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出有機(jī)層25。由此，在發(fā)光部40的至 少在基材21的長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)，有機(jī)層25的上述長(zhǎng)度方向的兩端緣被陰極層27的 上述長(zhǎng)度方向的兩端側(cè)覆蓋。
[0078] 如上所述,該有機(jī)EL元件20是能夠抑制劣化的元件。
[0079] 本發(fā)明的有機(jī)EL元件的制造方法和有機(jī)EL元件如上所述，但本發(fā)明并不限于上 述各實(shí)施方式，能夠在本發(fā)明的主旨范圍內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑O(shè)計(jì)變更。
[0080] 另外，在上述實(shí)施方式中，將第1電極層作為陽(yáng)極層23、第2電極層作為陰極層 27,但除此之外，也可以是，將第1電極層作為陰極層、第2電極層作為陽(yáng)極層，在上述層疊 體的絕緣層31上依次形成陰極層、有機(jī)層以及陽(yáng)極層。實(shí)施例
[0081] 接著例舉實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于這些實(shí)施例。
[0082] 〈基材的表面粗糙度Ra的測(cè)定〉
[0083] 基材的表面粗糙度（Ra)的測(cè)定是利用觸針式表面形狀測(cè)定裝置（商品名： Dektakl50)來(lái)進(jìn)行的。分別在10處位置測(cè)定基材的長(zhǎng)度方向和寬度方向的表面粗糙度，并 且用10處位置的平均值作為基材的長(zhǎng)度方向和寬度方向的表面粗糙度。
[0084] 實(shí)施例1
[0085] 作為帶狀的金屬制的基材，使用了寬度為30mm、長(zhǎng)度為140m、厚度為50 μ m、基材 的長(zhǎng)度方向的表面粗糙度（Ra)為40nm、基材的寬度方向的表面粗糙度（Ra)為55nm的卷 狀的柔性SUS基板。即，在實(shí)施例1中，基材的長(zhǎng)度方向的表面粗糙度比寬度方向的表面 粗糙度小。通過(guò)使用涂敷裝置在該基材的一面?zhèn)韧糠蟊┧嵯禈?shù)脂（JSR公司制，商品名 「JEM-477」），而形成了厚度為3 μ m的絕緣層。將該基材與絕緣層的層疊體卷繞在了供給輥 (未圖示）上。另外，作為第1電極層、有機(jī)層、第2電極層以及密封層的圖案，采用了圖2 所示的圖案。
[0086] 而且，將卷取成了卷狀的上述層疊體從上述供給輥連續(xù)地放出，并且在被放出了 的層疊體的絕緣層31上，依次加熱蒸鍍了厚度為100nm的A1層（陽(yáng)極層）作為第1電極 層23、有機(jī)層25中的厚度為10nm的HAT-CN(1，4, 5, 8, 9, 12-六氮雜苯并菲六腈）層作為空 穴注入層、厚度為50nm的NPB層作為空穴輸送層、厚度為45nm的Alq3層作為發(fā)光層和電 子輸送層、厚度為〇· 5nm的LiF層作為電子注入層。之后，共蒸鍍了厚度為5/15nm的Mg/ Ag層（陰極層）作為第2電極層27。而且，利用濺射形成了厚度為50nm的IT0層（陰極 層）。之后，通過(guò)等離子體輔助蒸鍍蒸鍍了厚度為〇.4μπι的SiOCN作為密封層29。將得到 了的層疊體（有機(jī)EL元件20)由卷取輥卷取。
[0087] 卷取之后，放出上述層疊體，并且切斷成規(guī)定的長(zhǎng)度，由此，得到實(shí)施例1的有機(jī) EL元件20 (縱80_X橫30mm)(參照?qǐng)D3)。
[0088] 實(shí)施例2
[0089] 除了作為第1電極層23、有機(jī)層25、第2電極層27以及密封層29的圖案采用了 圖4所示的圖案以外，與實(shí)施例1相同地制造出了實(shí)施例2的有機(jī)EL元件20 (參照?qǐng)D5)。
[0090] 實(shí)施例3
[0091] 依次加熱蒸鍍了有機(jī)層中的、厚度為0. 5nm的LiF層作為電子注入層、厚度為45nm 的Alq3層作為發(fā)光層和電子輸送層、厚度為50nm的NPB作為空穴輸送層、厚度為10nm的 CuPc作為空穴注入層。而且，通過(guò)濺射成膜了厚度為50nm的ITO層（陰極層）作為第2電 極層。之后，利用等離子體輔助蒸鍍蒸鍍了厚度為400nm的SiOCN作為密封層。除此之外， 是與實(shí)施例1相同的。另外，采用圖2所示的圖案，得到了實(shí)施例3的有機(jī)EL元件20(縱 80mm X 橫 30mm)(參照?qǐng)D 3)。
[0092] 比較例1
[0093] 除了使用了圖6所示的圖案以外，與實(shí)施例1相同地制造出了比較例1的有機(jī)EL 元件50。
[0094] 比較例2
[0095] 除了使用了圖7所示的圖案以外，與實(shí)施例1相同地并制造出了比較例2的有機(jī) EL元件50。
[0096] 比較例3
[0097] 除了使用了圖8所示的圖案以外，與實(shí)施例1相同地并制造出了比較例3的有機(jī) EL元件50。
[0098] 比較例4
[0099] 除了使用了圖9所示的圖案以外，與實(shí)施例1相同地并制造出了比較例4的有機(jī) EL元件50。
[0100] 比較例5
[0101] 除了使用了圖6所示的圖案以外，與實(shí)施例3相同地并制造出了比較例5的有機(jī) EL元件50。
[0102] 〈有機(jī)EL元件的壽命評(píng)價(jià)〉
[0103] 將得到了的各有機(jī)EL元件以不發(fā)光的狀態(tài)保存在設(shè)定成了 60°C /90% RH的恒溫 恒濕器內(nèi)。保存開(kāi)始后，每隔規(guī)定的時(shí)間將各有機(jī)EL元件取出并使其發(fā)光。測(cè)定了發(fā)光部 的面積（發(fā)光區(qū)域的面積）。將保存時(shí)間與發(fā)光部的面積之間的關(guān)系描繪在圖表上。而且， 將發(fā)光部的面積開(kāi)始減少的時(shí)間作為有機(jī)EL元件的壽命。另外，發(fā)光部的面積的測(cè)定是使 用基恩士公司制造的數(shù)碼顯微鏡（商品名：VHX-1000)來(lái)進(jìn)行的。結(jié)果在表1中表示。
[0104] 在實(shí)施例1?3中，在發(fā)光部的在基材的長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)，有機(jī)層的兩端緣 被第2電極層（陰極層）的兩端側(cè)覆蓋。在比較例1?5中，有機(jī)層的兩端緣的至少一者 未被陰極層覆蓋。如表1所示，將實(shí)施例1?3和比較例1?5進(jìn)行比較，實(shí)施例1?3的 壽命是比較例1?5的壽命的1. 5倍以上。其結(jié)果可知，采用本發(fā)明的制造方法所得到的 有機(jī)EL元件能夠抑制發(fā)光特性的劣化，在長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性上優(yōu)異。
[0105] 此外，在上述實(shí)施例中使用了有機(jī)絕緣層作為絕緣層，但即使使用無(wú)機(jī)絕緣層也 一樣能得到本發(fā)明的效果。
[0106] [表 1]
[0107]

【權(quán)利要求】
1. 一種有機(jī)EL元件的制造方法，其中，通過(guò)在帶狀的金屬制的基材的一面?zhèn)纫来涡纬?絕緣層、第1電極層、至少具有作為有機(jī)結(jié)構(gòu)層的發(fā)光層的有機(jī)層、第2電極層以及密封層， 而制作出具有上述第1電極層、上述有機(jī)層以及上述第2電極層的重疊部分來(lái)作為發(fā)光部 的有機(jī)EL元件，其特征在于， 使上述第1電極層和上述第2電極層不接觸，并且， 使上述有機(jī)層至少在上述基材的長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出上述第1電極層，而且使 上述第2電極層至少在上述長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出上述有機(jī)層，由此，以在上述發(fā)光 部的至少在上述基材的長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)、上述有機(jī)層的上述長(zhǎng)度方向的兩端緣被上 述第2電極層的上述長(zhǎng)度方向的兩端側(cè)覆蓋的方式形成上述第1電極層、上述有機(jī)層以及 上述第2電極層。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機(jī)EL元件的制造方法，其特征在于， 上述基材的長(zhǎng)度方向的表面粗糙度比寬度方向的表面粗糙度小。
3. -種有機(jī)EL元件，其是通過(guò)在帶狀的金屬制的基材的一面?zhèn)纫来涡纬山^緣層、第1 電極層、至少具有作為有機(jī)結(jié)構(gòu)層的發(fā)光層的有機(jī)層、第2電極層以及密封層而成的，并具 有上述第1電極層、上述有機(jī)層以及上述第2電極層的重疊部分來(lái)作為發(fā)光部，其特征在 于， 上述第1電極層和上述第2電極層不接觸，并且， 使上述有機(jī)層至少在上述基材的長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出上述第1電極層，而且使 上述第2電極層至少在上述長(zhǎng)度方向上向兩個(gè)外側(cè)超出上述有機(jī)層，由此，在上述發(fā)光部 的至少在上述基材的長(zhǎng)度方向上的兩個(gè)外側(cè)，上述有機(jī)層的上述長(zhǎng)度方向的兩端緣被上述 第2電極層的上述長(zhǎng)度方向的兩端側(cè)覆蓋。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的有機(jī)EL元件，其特征在于， 上述基材的長(zhǎng)度方向的表面粗糙度比寬度方向的表面粗糙度小。
【文檔編號(hào)】H05B33/04GK104145530SQ201380011467
【公開(kāi)日】2014年11月12日 申請(qǐng)日期:2013年2月28日 優(yōu)先權(quán)日:2012年2月28日
【發(fā)明者】大崎啟功, 森田成紀(jì) 申請(qǐng)人:日東電工株式會(huì)社