感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有機el顯示裝置及液晶顯示裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種感光性樹脂組合物，其可達成顯影時以及用作硬化膜時的與基板的密接性。所述感光性樹脂組合物含有：(A)包含滿足下述(1)及(2)的至少一個的聚合物的聚合物成分：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元、以及(a2)具有交聯(lián)性基的構成單元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元的聚合物、以及包括(a2)具有交聯(lián)性基的構成單元的聚合物；(B)非離子性光酸產(chǎn)生劑；(C)下述通式(S)所表示的化合物(式中，R1表示包含至少1個以上氮原子的基團，A表示2價連結(jié)基，R2表示有機基)；(D)溶劑；以及(E)烷氧基硅烷化合物。
【專利說明】感光性樹脂組合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有機EL顯 示裝置及液晶顯示裝置

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種感光性樹脂組合物（以下有時簡稱為"本發(fā)明的組合物")。另外， 本發(fā)明涉及一種使用上述感光性樹脂組合物的硬化膜的制造方法、將感光性組合物硬化而 成的硬化膜、使用上述硬化膜的各種圖像顯示裝置。
[0002] 更詳細而言，本發(fā)明涉及一種適合于形成液晶顯示裝置、有機電激發(fā)光 (electroluminescence, EL)顯示裝置、集成電路元件、固體攝影元件等電子零件的平坦化 膜、保護膜或?qū)娱g絕緣膜的感光性樹脂組合物以及使用所述感光性樹脂組合物的硬化膜的 制造方法。

【背景技術】
[0003] 在有機EL顯示裝置、或液晶顯示裝置等中設置有經(jīng)圖案形成的層間絕緣膜。就用 以獲得必需的圖案形狀的步驟數(shù)少，而且可獲得充分的平坦性等而言，在所述層間絕緣膜 的形成中廣泛使用感光性樹脂組合物。
[0004] 對于上述顯示裝置中的層間絕緣膜，除了絕緣性、耐溶劑性、耐熱性、硬度、以及氧 化銦錫（indium tin oxide, IT0)溉鍍適應性優(yōu)異等硬化膜的物性以外，還期望高的透明 性。因此，嘗試使用透明性優(yōu)異的丙烯酸系樹脂作為膜形成成分，例如已知有專利文獻1中 記載的樹脂。另外，感光性樹脂組合物也已知專利文獻2中記載的組合物。
[0005] [現(xiàn)有技術文獻]
[0006] [專利文獻]
[0007] [專利文獻1]日本專利特開2011-209681號公報
[0008] [專利文獻2]日本專利特開2005-234449號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0009] 發(fā)明要解決的課題
[0010] 構成層間絕緣膜的感光性樹脂組合物的重要特性可列舉與基板的密接性。顯影步 驟中有時產(chǎn)生自基板上的"膜剝落"，這成為問題之一。進而，近年來，隨著顯示裝置高性能 化、高精細化，變得難以進行微細的圖案加工，也要求硬化后的層間絕緣膜材料的密接性提 商。
[0011] 如上所述，感光性樹脂組合物要求顯影時以及制成硬化膜的狀態(tài)下的與基底基板 的密接性。尤其，配線基板中由于基板自身包含多種材料，故而形成于其表面的層間絕緣膜 材料也設置對多種基板的密接性。
[0012] 本發(fā)明的目的為解決上述課題，目的在于提供一種與基板的密接性良好的感光性 樹脂組合物。尤其本發(fā)明的目的在于提供一種顯影時基板密接性以及硬化后的對各種基板 的密接性高的感光性樹脂組合物。
[0013] 進而，本發(fā)明的目的在于提供一種使用此種感光性樹脂組合物的硬化膜的形成方 法、硬化膜、有機EL顯示裝置、以及液晶顯示裝置。
[0014] 解決問題的技術手段
[0015] 本發(fā)明人進行研究的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過感光性樹脂組合物中含有非離子性光酸產(chǎn)生 齊IJ、特定的通式所表示的化合物、及烷氧基硅烷，則顯影時、用作硬化膜時的與基板的密接 性顯著提高。
[0016] 具體而言，通過以下的解決手段〈1>，優(yōu)選為通過〈2>?〈12>，來解決上述課題。
[0017] 〈1> 一種感光性樹脂組合物，其含有：
[0018] (A)包含滿足下述（1)及（2)的至少一個的聚合物的聚合物成分：
[0019] (1)包括（al)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元、以及（a2)具有交聯(lián) 性基的構成單元的聚合物，
[0020] (2)包括（al)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元的聚合物、以及包括 (a2)具有交聯(lián)性基的構成單元的聚合物；
[0021] (B)非離子性光酸產(chǎn)生劑；
[0022] (C)下述通式⑶所表示的化合物：
[0023]通式（S)
[0024] [化 1]
[0025]

【權利要求】
1. 一種感光性樹脂組合物，其含有： (A) 包含滿足下述（1)及（2)的至少一個的聚合物的聚合物成分： (1) 包括（al)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元、以及（a2)具有交聯(lián)性基 的構成單元的聚合物， (2) 包括（al)具有酸基由酸分解性基保護的基團的構成單元的聚合物、以及包括（a2) 具有交聯(lián)性基的構成單元的聚合物； (B) 非離子性光酸產(chǎn)生劑； (C) 下述通式（S)所表示的化合物： 通式（S) [化1]
(通式（S)中，R1表示包含至少1個以上氮原子的基團，A表示2價連結(jié)基，R2表示有 機基）； (D) 溶劑；以及 (E) 烷氧基硅烷化合物。
2. 根據(jù)權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中所述通式（S)中，R1為-NR3R4所表 示的基團（其中，R 3及R4分別為有機基，可相互鍵結(jié)而形成環(huán)）。
3. 根據(jù)權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中所述通式（S)中，R1為5元環(huán) 或者6元環(huán)的環(huán)狀基。
4. 根據(jù)權利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中所述通式（S)中，R1為嗎啉基。
5. 根據(jù)權利要求1至4中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中所述（B)的光酸產(chǎn)生 劑為肟磺酸酯化合物。
6. 根據(jù)權利要求1至5中任一項所述的感光性樹脂組合物，其中所述烷氧基硅烷化合 物為二烷氧基硅烷化合物或者三烷氧基硅烷化合物。
7. 根據(jù)權利要求1至6中任一項所述的感光性樹脂組合物，其包含（F)交聯(lián)劑。
8. -種硬化膜的制造方法，其包括： (1)將根據(jù)權利要求1至7中任一項所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上的步驟； (2)自所涂布的感光性樹脂組合物中去除溶劑的步驟； (3) 利用光化射線對去除了溶劑的感光性樹脂組合物進行曝光的步驟； (4) 利用水性顯影液對經(jīng)曝光的感光性樹脂組合物進行顯影的步驟；以及 (5) 對經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進行熱硬化的后烘烤步驟。
9. 根據(jù)權利要求8所述的硬化膜的制造方法，其中在所述顯影步驟后、所述后烘烤步 驟前，包括對經(jīng)顯影的感光性樹脂組合物進行全面曝光的步驟。
10. -種硬化膜，其是利用根據(jù)權利要求8或9所述的方法來形成。
11. 根據(jù)權利要求10所述的硬化膜，其為層間絕緣膜。
12. -種有機電激發(fā)光顯示裝置或液晶顯示裝置，其包括根據(jù)權利要求10或11所述的 硬化膜。
【文檔編號】H05B33/22GK104395823SQ201380032350
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2013年6月18日 優(yōu)先權日:2012年6月20日
【發(fā)明者】山﨑健太, 疋田政憲, 霜山達也, 川島敬史, 山田悟, 米澤裕之 申請人:富士膠片株式會社