一種使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭的制作方法
【專利摘要】一種使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,涉及人工晶體領(lǐng)域,本發(fā)明通過在連接盤(10)上設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的輸入端連接動(dòng)力源,在連接盤(10)的下部設(shè)有至少兩個(gè)夾持件(13),所述每個(gè)夾持件(13)連接旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使夾持件旋轉(zhuǎn),所述連接盤(10)的上部連接提拉裝置;本發(fā)明通過動(dòng)力源帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn),然后在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的下端連接夾持件使夾持件旋轉(zhuǎn),有效的修正了由于高頻線圈拉制孔內(nèi)溫度不一致導(dǎo)致硅芯橢圓,本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單,操作方便等特點(diǎn)。
【專利說明】一種使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭
【【技術(shù)領(lǐng)域】】
[0001]本發(fā)明涉及人工晶體領(lǐng)域,尤其涉及一種籽晶夾頭,具體涉及一種在拉制硅芯過程中使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭。
【【背景技術(shù)】】
[0002]已知的,硅芯在拉制過程中,需要使用籽晶進(jìn)行引晶,待引晶完成后進(jìn)行晶體的拉制;在此過程中,籽晶需要通過籽晶夾頭夾持,待高頻線圈將原料棒的端頭局部融化成液體后,籽晶夾頭帶動(dòng)籽晶下降直至穿過高頻線圈的拉制孔插入原料棒上端的溶液內(nèi),然后通過籽晶夾頭帶動(dòng)籽晶上升,此時(shí)籽晶帶動(dòng)溶液上升并重新結(jié)晶,最終形成所需長度的硅芯;而目前本領(lǐng)域技術(shù)人員在拉制硅芯時(shí),通常采用的籽晶夾頭是通過在連接盤的下面固定一定數(shù)量的裝有籽晶的夾持件,然后在連接盤的上面設(shè)有掛接機(jī)構(gòu),掛接機(jī)構(gòu)掛接在機(jī)械手上;而通過該結(jié)構(gòu)的籽晶夾頭在拉制硅芯時(shí)無法完成對(duì)所拉制硅芯的橢圓度進(jìn)行修正,也就是說通過該結(jié)構(gòu)的籽晶夾頭拉制出的硅芯橢圓,以直徑為8_的硅芯為例,其長軸與短軸的差值為0.5mm左右,IOmm的硅芯其長軸與短軸的差值達(dá)到Imm左右,而12mm的硅芯其長軸與短軸的差值達(dá)到2mm左右,而橢圓的硅芯在還原爐內(nèi)還原時(shí)不易裝夾,那么如何降低硅芯的橢圓度就成了本領(lǐng)域技術(shù)人員的長期技術(shù)訴求。
【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
[0003]為了實(shí)現(xiàn)所述發(fā)明目的,本發(fā)明提供了一種使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,本發(fā)明通過在連接盤內(nèi)設(shè)置旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),并通過動(dòng)力源帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn),然后在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的下端連接夾持件使夾持件旋轉(zhuǎn),有效的修正硅芯的橢圓度,本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單,操作方便等特點(diǎn)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
[0005]一種使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,包括連接盤、夾持件和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),在連接盤上設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的輸入端連接動(dòng)力源,在連接盤的下部設(shè)有至少兩個(gè)夾持件,所述每個(gè)夾持件連接旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使夾持件旋轉(zhuǎn),所述連接盤的上部連接提拉裝置形成所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭。
[0006]所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,所述連接盤的形狀為圓形;或橢圓形;或方形;或三角形;或多邊形。
[0007]所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,所述連接盤上部面的中部設(shè)有向下凹陷的環(huán)形凹槽,在所述凹槽的中部設(shè)有主動(dòng)力軸安裝孔,在所述主動(dòng)力軸安裝孔的外圍設(shè)有至少一個(gè)從動(dòng)軸安裝孔,所述從動(dòng)軸安裝孔環(huán)繞主動(dòng)力軸安裝孔設(shè)置,在凹槽的上部設(shè)有連接盤蓋體。
[0008]所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,所述連接盤蓋體的中部設(shè)有內(nèi)孔,在所述內(nèi)孔的外圍分別設(shè)有旋擰孔和 連接架固定孔,所述連接架固定孔上設(shè)有連接架,所述連接架連接提拉裝置。
[0009]所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)力軸、從動(dòng)軸、從動(dòng)齒輪和主動(dòng)齒輪,所述主動(dòng)力軸和從動(dòng)軸分別設(shè)置在主動(dòng)力軸安裝孔和從動(dòng)軸安裝孔內(nèi),在主動(dòng)力軸的外緣面上設(shè)有主動(dòng)齒輪,在從動(dòng)軸的外緣面上設(shè)有從動(dòng)齒輪,所述主動(dòng)齒輪的齒面與從動(dòng)齒輪的齒面嚙合,所述主動(dòng)力軸的上端連接動(dòng)力源,主動(dòng)力軸和從動(dòng)軸的下端分別連接夾持件或從動(dòng)軸的下端連接夾持件。
[0010]所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的替換結(jié)構(gòu)為旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)力軸、從動(dòng)軸、從動(dòng)摩擦輪和主動(dòng)摩擦輪,所述主動(dòng)力軸和從動(dòng)軸分別設(shè)置在主動(dòng)力軸安裝孔和從動(dòng)軸安裝孔內(nèi),在主動(dòng)力軸的外緣面上設(shè)有主動(dòng)摩擦輪,在從動(dòng)軸的外緣面上設(shè)有從動(dòng)摩擦輪,所述從動(dòng)摩擦輪與主動(dòng)摩擦輪接觸,所述主動(dòng)力軸的上端連接動(dòng)力源,主動(dòng)力軸和從動(dòng)軸的下端分別連接夾持件或從動(dòng)軸的下端連接夾持件。
[0011 ] 所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的另一替換結(jié)構(gòu)為旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括蝸桿、從動(dòng)軸和蝸輪,所述蝸桿和從動(dòng)軸分別設(shè)置在主動(dòng)力軸安裝孔和從動(dòng)軸安裝孔內(nèi),在從動(dòng)軸的外緣面上設(shè)有蝸輪,所述蝸桿與蝸輪嚙合,所述蝸桿的上端連接動(dòng)力源,蝸桿和從動(dòng)軸的下端分別連接夾持件或從動(dòng)軸的下端連接夾持件。
[0012]所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,所述主動(dòng)力軸與主動(dòng)齒輪過盈配合或通過平鍵連接,所述從動(dòng)軸與從動(dòng)齒輪或蝸輪過盈配合或通過平鍵連接。
[0013]所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,所述動(dòng)力源為電機(jī)或液壓馬達(dá)或氣動(dòng)馬達(dá),所述電機(jī)外接電源。
[0014]所述的使籽 晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,所述電機(jī)通過聯(lián)軸器連接主動(dòng)力軸或蝸桿的上端。
[0015]由于采用如上所述的技術(shù)方案,本發(fā)明具有如下有益效果:
[0016]本發(fā)明所述的一種使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,本發(fā)明通過在連接盤內(nèi)設(shè)置旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),并通過動(dòng)力源帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn),然后在旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的下端連接夾持件使夾持件旋轉(zhuǎn),夾持件在旋轉(zhuǎn)的同時(shí)帶動(dòng)拉制出的硅芯旋轉(zhuǎn),有效的修正了由于高頻線圈拉制孔內(nèi)溫度不一致導(dǎo)致硅芯橢圓,本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單,操作方便等特點(diǎn)。
【【專利附圖】
【附圖說明】】
[0017]圖1是本發(fā)明的立體結(jié)構(gòu)爆炸示意圖;
[0018]圖2是本發(fā)明中主動(dòng)齒輪和從動(dòng)齒輪在連接盤內(nèi)的設(shè)置結(jié)構(gòu)示意圖;
[0019]圖3是本發(fā)明中從動(dòng)摩擦輪和主動(dòng)摩擦輪在連接盤內(nèi)的設(shè)置結(jié)構(gòu)示意圖;
[0020]圖中:1、電機(jī);2、旋擰孔;3、聯(lián)軸器;4、連接架固定孔;5、連接盤蓋體;6、主動(dòng)力軸;7、從動(dòng)軸;8、從動(dòng)齒輪;9、主動(dòng)齒輪;10、連接盤;兒、從動(dòng)摩擦輪;12、主動(dòng)摩擦輪;13、夾持件。
【【具體實(shí)施方式】】
[0021]通過下面的實(shí)施例可以更詳細(xì)的解釋本發(fā)明,公開本發(fā)明的目的旨在保護(hù)本發(fā)明范圍內(nèi)的一切變化和改進(jìn),本發(fā)明并不局限于下面的實(shí)施例;
[0022]結(jié)合附圖1~3中所述的一種使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,包括連接盤10、夾持件13和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述連接盤10的形狀為圓形;或橢圓形;或方形;或三角形;或多邊形,其中優(yōu)選圓形;然后在連接盤10上部面的中部設(shè)有向下凹陷的環(huán)形凹槽,在凹槽的上部的內(nèi)緣面上設(shè)有內(nèi)螺紋,在內(nèi)螺紋的下部設(shè)有定位臺(tái)階,在凹槽底面的中部設(shè)有主動(dòng)力軸安裝孔,在所述主動(dòng)力軸安裝孔的外圍設(shè)有至少一個(gè)從動(dòng)軸安裝孔,所述從動(dòng)軸安裝孔環(huán)繞主動(dòng)力軸安裝孔設(shè)置,在凹槽的上部設(shè)有連接盤蓋體5,所述連接盤蓋體5的外緣面上設(shè)有外螺紋,連接盤蓋體5的中部設(shè)有內(nèi)孔,在所述內(nèi)孔的外圍分別設(shè)有用于旋緊連接盤蓋體5的旋擰孔2和連接架固定孔4,所述連接架固定孔4上設(shè)有連接架,所述連接架連接提拉裝置;
[0023]進(jìn)一步,在連接盤10的內(nèi)部設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)力軸6、從動(dòng)軸
7、從動(dòng)齒輪8和主動(dòng)齒輪9,所述主動(dòng)力軸6和從動(dòng)軸7分別設(shè)置在主動(dòng)力軸安裝孔和從動(dòng)軸安裝孔內(nèi),其中主動(dòng)力軸6的上端穿過連接盤蓋體5中部的內(nèi)孔與動(dòng)力源連接,在主動(dòng)力軸6與連接盤蓋體5中部的內(nèi)孔之間設(shè)有軸承,其中從動(dòng)軸7的上端為懸空設(shè)置或活動(dòng)設(shè)置在連接盤蓋體5上的定位孔內(nèi),為了進(jìn)一步提高旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的運(yùn)行穩(wěn)定性,在主動(dòng)力軸安裝孔和主動(dòng)力軸6之間設(shè)有軸承,在從動(dòng)軸安裝孔和從動(dòng)軸7之間設(shè)有軸承,然后在主動(dòng)力軸6的外緣面上設(shè)有主動(dòng)齒輪9,在從動(dòng)軸7的外緣面上設(shè)有從動(dòng)齒輪8,所述主動(dòng)齒輪9的齒面與從動(dòng)齒輪8的齒面嚙合,所述主動(dòng)力軸6的上端連接動(dòng)力源,主動(dòng)力軸6和從動(dòng)軸7的下端分別連接夾持件13或從動(dòng)軸7的下端連接夾持件13,此結(jié)構(gòu)為優(yōu)選結(jié)構(gòu);
[0024]進(jìn)一步,為了更好的實(shí)施本發(fā)明,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的替換結(jié)構(gòu)為旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)力軸6、從動(dòng)軸7、從動(dòng)摩擦輪11和主動(dòng)摩擦輪12,所述主動(dòng)力軸6和從動(dòng)軸7分別設(shè)置在主動(dòng)力軸安裝孔和從動(dòng)軸安裝孔內(nèi),在主動(dòng)力軸6的外緣面上設(shè)有主動(dòng)摩擦輪12,在從動(dòng)軸7的外緣面上設(shè)有從動(dòng)摩擦輪11,所述從動(dòng)摩擦輪11與主動(dòng)摩擦輪12接觸,所述主動(dòng)力軸6的上端連接動(dòng)力源,主動(dòng)力軸6和從動(dòng)軸7的下端分別連接夾持件13或從動(dòng)軸7的下立而連接夾持件13 ;
[0025]進(jìn)一步,為了更好的實(shí)施本發(fā)明,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的另一替換結(jié)構(gòu)為旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括蝸桿、從動(dòng)軸7和蝸輪 ,所述蝸桿和從動(dòng)軸7分別設(shè)置在主動(dòng)力軸安裝孔和從動(dòng)軸安裝孔內(nèi),在從動(dòng)軸7的外緣面上設(shè)有蝸輪,所述蝸桿與蝸輪嚙合,所述蝸桿的上端連接動(dòng)力源,蝸桿和從動(dòng)軸7的下端分別連接夾持件13或從動(dòng)軸7的下端連接夾持件13 ;
[0026]進(jìn)一步,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的輸入端連接動(dòng)力源,在連接盤10的下部設(shè)有至少兩個(gè)夾持件13,所述夾持件的數(shù)量和位置分別對(duì)應(yīng)高頻線圈上的拉制孔的數(shù)量和位置,所述每個(gè)夾持件13分別連接旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使夾持件旋轉(zhuǎn),所述連接盤10的上部連接提拉裝置形成所述的晶體提拉裝置。
[0027]其中所述主動(dòng)力軸6與主動(dòng)齒輪9過盈配合或通過平鍵連接,所述從動(dòng)軸7與從動(dòng)齒輪8或蝸輪過盈配合或通過平鍵連接。
[0028]其中所述動(dòng)力源為電機(jī)I或液壓馬達(dá)或氣動(dòng)馬達(dá),其中優(yōu)選電機(jī)1,所述電機(jī)I為耐高溫電機(jī),本發(fā)明在實(shí)施過程中,為了更好的保護(hù)電機(jī)1,在電機(jī)I的外部設(shè)有保護(hù)罩,所述保護(hù)罩的材質(zhì)為耐高溫材料,如四氟或不銹鋼,同時(shí)在電機(jī)I的電源線的外部設(shè)有保擴(kuò)套,所述電機(jī)I通過聯(lián)軸器3連接主動(dòng)力軸6或蝸桿的上端,所述電機(jī)I外接電源。
[0029]本發(fā)明的具體實(shí)施過程為:將準(zhǔn)備好的籽晶固定在夾持件13內(nèi),然后在對(duì)爐體內(nèi)的原料棒化料時(shí)或在硅芯拉制時(shí)通過給電機(jī)I供電,使電機(jī)I通過旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)夾持件13旋轉(zhuǎn)。
[0030]以上內(nèi)容中未細(xì)述部份為現(xiàn)有技術(shù),故未做細(xì)述。
[0031]為了公開本發(fā)明的目的而在本文中選用的實(shí)施例,當(dāng)前認(rèn)為是適宜的,但是,應(yīng)了解的是,本發(fā)明旨在包 括一切屬于本構(gòu)思和發(fā)明范圍內(nèi)的實(shí)施例的所有變化和改進(jìn)。
【權(quán)利要求】
1.一種使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,包括連接盤(10)、夾持件(13)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),其特征是:在連接盤(10)上設(shè)有旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的輸入端連接動(dòng)力源,在連接盤(10)的下部設(shè)有至少兩個(gè)夾持件(13),所述每個(gè)夾持件(13)連接旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使夾持件(13)旋轉(zhuǎn),所述連接盤(10)的上部連接提拉裝置形成所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,其特征是:所述連接盤(10)的形狀為圓形;或橢圓形;或方形;或三角形;或多邊形。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,其特征是:所述連接盤(10)上部面的中部設(shè)有向下凹陷的環(huán)形凹槽,在所述凹槽的中部設(shè)有主動(dòng)力軸安裝孔,在所述主動(dòng)力軸安裝孔的外圍設(shè)有至少一個(gè)從動(dòng)軸安裝孔,所述從動(dòng)軸安裝孔環(huán)繞主動(dòng)力軸安裝孔設(shè)置,在凹槽的上部設(shè)有連接盤蓋體(5)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,其特征是:所述連接盤蓋體(5)的中部設(shè)有內(nèi)孔,在所述內(nèi)孔的外圍分別設(shè)有旋擰孔⑵和連接架固定孔(4),所述連接架固定孔(4)上設(shè)有連接架,所述連接架連接提拉裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,其特征是:所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)力軸出)、從動(dòng)軸(7)、從動(dòng)齒輪(8)和主動(dòng)齒輪(9),所述主動(dòng)力軸(6)和從動(dòng)軸(7)分別設(shè)置在主動(dòng)力軸安裝孔和從動(dòng)軸安裝孔內(nèi),在主動(dòng)力軸(6)的外緣面上設(shè)有主動(dòng)齒輪(9),在從動(dòng)軸(X)的外緣面上設(shè)有從動(dòng)齒輪(8),所述主動(dòng)齒輪(9)的齒面與從動(dòng)齒輪(8)的齒面嚙合,所述主動(dòng)力軸(6)的上端連接動(dòng)力源,主動(dòng)力軸(6)和從動(dòng)軸(7)的下端分別連接夾持件(13)或從動(dòng)軸(7)的下端連接夾持件(13)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,其特征是:所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的替換結(jié)構(gòu)為旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)力軸(6)、從動(dòng)軸(7)、從動(dòng)摩擦輪(11)和主動(dòng)摩擦輪(12),所述主動(dòng)力軸(6)和從動(dòng)軸(7)分別設(shè)置在主動(dòng)力軸安裝孔和從動(dòng)軸安裝孔內(nèi),在主動(dòng)力軸(6)的外緣面上設(shè)有主動(dòng)摩擦輪(12),在從動(dòng)軸(7)的外緣面上設(shè)有從動(dòng)摩擦輪(11),所述從動(dòng)摩擦輪(11)與主動(dòng)摩擦輪(12)接觸,所述主動(dòng)力軸(6)的上端連接動(dòng)力源,主動(dòng)力軸(6)和從動(dòng)軸(7)的下端分別連接夾持件(13)或從動(dòng)軸(7)的下端連接夾持件(13)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,其特征是:所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的另一替換結(jié)構(gòu)為旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括蝸桿、從動(dòng)軸(7)和蝸輪,所述蝸桿和從動(dòng)軸(7)分別設(shè)置在主動(dòng)力軸安裝孔和從動(dòng)軸安裝孔內(nèi),在從動(dòng)軸(7)的外緣面上設(shè)有蝸輪,所述蝸桿與蝸輪嚙合,所述蝸桿的上端連接動(dòng)力源,蝸桿和從動(dòng)軸(7)的下端分別連接夾持件(13)或從動(dòng)軸(7)的下端連接夾持件(13)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5或6或7任一權(quán)利要求所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,其特征是:所述主動(dòng)力軸(6)與主動(dòng)齒輪(9)過盈配合或通過平鍵連接,所述從動(dòng)軸(7)與從動(dòng)齒輪(8)或蝸輪過盈配合或通過平鍵連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,其特征是:所述動(dòng)力源為電機(jī)(I)或液壓馬達(dá)或氣動(dòng)馬達(dá),所述電機(jī)(I)外接電源。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的使籽晶轉(zhuǎn)動(dòng)的籽晶夾頭,其特征是:所述電機(jī)(I)通過聯(lián)軸器(3)連接主動(dòng)力軸(6)或蝸桿的上端。
【文檔編號(hào)】C30B28/10GK103993353SQ201410169006
【公開日】2014年8月20日 申請(qǐng)日期:2014年4月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月18日
【發(fā)明者】劉朝軒, 王晨光, 史優(yōu)才 申請(qǐng)人:洛陽金諾機(jī)械工程有限公司