氣密性密封的光電或電光部件及其生產(chǎn)方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及氣密性密封的光電或電光部件及其生產(chǎn)方法，其對熱和濕氣具有高堅固耐用性。本發(fā)明的重要特征是：殼體蓋以氣密性密封的方式連接到載體，殼體蓋內(nèi)的開孔以氣密性密封的方式被至少一個窗口元件封閉。電子部件帶有殼體，該殼體具有殼體蓋、作為殼體的基板的載體和被殼體蓋和載體包封的內(nèi)部空間，且該電子部件帶有被布置在內(nèi)部空間內(nèi)的至少一個光電或電光轉(zhuǎn)換器元件，殼體蓋以氣密性密封的方式被載體通過熔融金屬的結(jié)合連接封閉，且至少一個開孔被設(shè)置在殼體蓋內(nèi)。所述至少一個開孔以氣密性密封的方式被至少一個窗口元件沿窗口元件的邊緣金屬化部借助熔融金屬材料的周向第一接縫而連接到殼體蓋。窗口元件至少對輻射是透明的。
【專利說明】氣密性密封的光電或電光部件及其生產(chǎn)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及氣密性密封的電子部件，例如一般地從DE3335530A1中已知的電子部 件。本發(fā)明進一步涉及氣密性密封的光電或電光部件的生產(chǎn)方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 為通過傳感器特別是通過紅外傳感器（IR傳感器）來執(zhí)行氣體或氣體混合物的 成分測量，在一致性可靠的方式中，傳感器必須被封裝，以便相對于待被研究的氣體或氣體 混合物以氣密性方式被密封。特別地，當在高于室溫的溫度下執(zhí)行測量時，傳感器的材料 可能改變，并且通過傳感器獲取的測量值可能發(fā)生漂移。在氣體或氣體混合物具有對傳感 器的材料的腐蝕效果時，這一效應(yīng)惡化。在此方面，特別是高含量的水蒸氣和氧或自由基 (radical)的存在對傳感器具有不利影響。相同的一系列問題也出現(xiàn)在IR發(fā)射器上。
[0003] 因此，已知的是氣密性地封裝電子部件。從DE3335530A1中已知上面布置有電子 電路的基體（載體）。電路完全被由陶瓷材料、銅或鋼制成的覆蓋物蓋（在后文中稱為"殼 體蓋"）覆蓋。殼體蓋具有帶有可錫焊下側(cè)的周向邊緣。載體能夠是陶瓷板或大面積漆包 電路板（Enameled Circuit Board)。對應(yīng)于殼體蓋邊緣的下側(cè)的輪廓的導(dǎo)體帶被印制在 載體上。殼體蓋和載體沿此輪廓被錫焊在一起，并且因此以氣密性方式連接起來。在來自 DE3335530A1的另外一種布置中，殼體蓋完全由鋼制成，并且載體具有無漆包的金屬區(qū)，該 金屬區(qū)沿金屬區(qū)被焊接到殼體蓋。所要求的與所封裝的電子電路的電接觸被引導(dǎo)通過載 體，并且以氣密性方式熔融在壓制玻璃內(nèi)。能夠以氣體填充已組裝的殼體蓋，以便影響希望 的特征，例如露點或?qū)崧省?br> [0004] 以此方式生產(chǎn)的電子部件被很好地屏蔽環(huán)境影響。然而，電子部件不適合于容納 光電或電光轉(zhuǎn)換器，這是因為在轉(zhuǎn)換器元件和測量環(huán)境之間不存在光束路徑。
[0005] 現(xiàn)有技術(shù)（DE202009006481U1)公開了具有開口的電子部件的殼體蓋的可能性， 該開口被透明窗口覆蓋，并且因此允許轉(zhuǎn)換器元件和測量環(huán)境之間的光束路徑。然而，由于 以上所述的原因，在DE202009006481U1中公開的布置（用于保護不受不以氣密性方式形成 的濺水的裝置）不能在極大高于室溫的溫度下使用或不能在帶有腐蝕性介質(zhì)的環(huán)境中使 用。根據(jù)DE202009006481U1的在殼體蓋內(nèi)的透明窗口的組合，例如在DE3335530A1中所描 述的，至少缺乏在窗口和殼體蓋之間的氣密性密封的連接。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本發(fā)明的目的是，建議下述可能性，通過該可能性能夠在高于室溫的溫度下和帶 有腐蝕性介質(zhì)的測量環(huán)境中進行對介質(zhì)特征的一致性可靠的測量。本發(fā)明的另外目的是， 使得即使在高溫下也能夠改進對光電和電光單元的保護以免受不利的環(huán)境影響。
[0007] 在用于生產(chǎn)對熱和濕氣具有高堅固耐用性的氣密性密封的光電或電光部件的方 法中，以上所述的目的通過如下重要步驟滿足：
[0008] a)設(shè)置用于至少一個光電或電光轉(zhuǎn)換器元件的載體，所述載體同時用作殼體的基 板，
[0009] b)設(shè)置在底表面處具有開口的殼體蓋，
[0010] c)在殼體蓋內(nèi)產(chǎn)生至少一個開孔，使得在殼體蓋被放置在載體上之后，用于接納 所述至少一個轉(zhuǎn)換器元件的內(nèi)部空間相應(yīng)地通過在載體上方的殼體蓋形成，與所述至少一 個轉(zhuǎn)換器元件相關(guān)的輻射能夠以不受阻礙的方式沿被大體正交于載體定向的光束路徑在 開孔和轉(zhuǎn)換器元件之間通過殼體蓋，
[0011] d)設(shè)置至少一個窗口元件，所述至少一個窗口元件對于與轉(zhuǎn)換器元件相關(guān)的輻射 而言是透明的，并且所述至少一個窗口元件的形狀和尺寸適合于殼體蓋的相應(yīng)的開孔，并 且所述至少一個窗口元件具有邊緣金屬化部，邊緣金屬化部作為用于所述至少一個開孔的 邊緣區(qū)域的接觸表面，
[0012] e)組裝載體、轉(zhuǎn)換器元件、殼體蓋和所述至少一個窗口元件，其中通過將金屬材料 熔融在所述至少一個窗口元件的邊緣金屬化部和殼體蓋之間，而在殼體蓋和所述至少一個 窗口元件之間產(chǎn)生氣密性密封的連接，并且在殼體蓋和載體之間產(chǎn)生氣密性密封的連接， 使得以氣密性密封的方式與載體形成熔融的金屬材料的第二接縫，并且殼體蓋在連接到載 體之前被定位在載體上，使得所述至少一個開孔與所述至少一個轉(zhuǎn)換器元件的要求的相應(yīng) 的光束路徑相對置地對齊。
[0013] 當然，步驟a)至d)能夠以任何次序執(zhí)行。重要的僅是，元件即載體、殼體蓋、轉(zhuǎn)換 器元件和窗口元件，在開始組裝時具有以上所述的變型。同樣無關(guān)緊要的是，是將窗口元件 首先連接到殼體蓋并且然后將殼體蓋放置在載體上，還是首先將殼體蓋放置在載體上并且 然后將窗口元件連接到殼體蓋。殼體蓋到載體的連接步驟也是可變的。此連接能夠在窗口 元件連接到殼體蓋之前、之后或與之同時執(zhí)行。
[0014] 光電轉(zhuǎn)換器元件將光信息（例如檢測到的電磁輻射）轉(zhuǎn)換為電信號（傳感器）。 電光轉(zhuǎn)換器元件意思是從電信號生成光信號的電子電路和裝置（例如，IR發(fā)射器、發(fā)光二 極管）。為簡單起見，將在后文中使用術(shù)語"轉(zhuǎn)換器元件"。
[0015] 通過烙融金屬材料形成接縫將理解為意味著共同地錫焊（soldering)和焊接 (welding)的結(jié)合技術(shù)。錫焊能夠通過使用填充材料的媒介物來執(zhí)行（例如，回流錫焊）或 不使用填充材料來執(zhí)行（例如，擴散釬焊（brazing))。在錫焊中，不會達到所要被結(jié)合的相 應(yīng)元件的材料的熔融溫度。相比之下，在焊接中，會達到所要被結(jié)合的相應(yīng)元件的材料的熔 融溫度。焊接能夠使用焊接填充材料執(zhí)行（例如，熔融焊接）或不使用焊接填充材料執(zhí)行 (例如，擴散焊接、電阻焊接、脈沖焊接、摩擦焊接）。
[0016] 當在金屬材料的臨時（瞬時）熔融之后通過其固化而在結(jié)合元件之間已形成連續(xù) 的連接時，沿著在其處將待結(jié)合的元件（殼體蓋和載體或窗口元件）彼此精確連接在一起 的結(jié)合線形成接縫。取決于所選擇的結(jié)合方法，熔融的金屬材料能夠是填充材料、焊接填充 材料或待結(jié)合的元件自身的材料。
[0017] 在此描述的意義范圍內(nèi)，技術(shù)術(shù)語"氣密性密封"用于如下連接，即：所述連接具有 小于KT 8mbar Ι/s、優(yōu)選地甚至直至小于lOimbar Ι/s的泄漏密封度（泄漏率）。當提到殼 體蓋和窗口元件及載體的氣密性密封連接時，不言而喻的是，在以上給出的定義的意義中， 熔融的金屬材料的接縫被形成為使得，至少對于以上所述的待以氣密性密封的方式沿其相 互接觸部的整個長度相互連接的元件而言足夠得長。
[0018] 在根據(jù)本發(fā)明的方法的優(yōu)選實施例中，窗口元件以透明材料板的形式產(chǎn)生。透 明材料優(yōu)選地從包括如下材料的組中選擇：藍寶石（A1203)、氟化鎂（MgF2)、氧化鎂（MgO)、 氟化鋰（LiF)、氟化鈣（CaF2)、氟化鋇（BaF2)、硅（Si)、二氧化硅（Si0 2)、鍺（Ge)、硒化鋅 (ZnSe)、硫化鋅（ZnS)、碲化鎘（CdTe)、砷化鎵（GaAs)、二氧化鈦（Ti02)、Y部分穩(wěn)定的氧化 鋯（Zr02)、溴化鉈和碘化鉈的混合物（KRS5 ;Tl(Br-I))、火石玻璃或熔融的硅石。
[0019] 邊緣金屬化部使得選擇的方法能夠通過金屬材料的熔融而產(chǎn)生接縫。邊緣金屬化 部便于待結(jié)合的元件的材料之間的結(jié)合。如果待結(jié)合的元件的材料，例如窗口元件的材料， 自身例如不可錫焊或不可焊接，則邊緣金屬化部使得首先能夠通過使用熔融金屬材料的接 縫進行連接。
[0020] 邊緣金屬化部能夠是單獨的金屬材料層。在本發(fā)明的另外的實施例中，邊緣金屬 化部能夠是至少兩層構(gòu)成的層序列。此類型的層序列包含金屬鉻、鎳、鐵、鈦、鉬、鈀和金的 一種構(gòu)成的至少一層。通過將至少兩種金屬作為層序列的層加以組合，能夠有利地促進待 結(jié)合的元件之間的粘合。層序列的層的材料、厚度、次序和量能夠根據(jù)待結(jié)合的元件的材料 和所使用的結(jié)合方法來選擇。例如，有利的層序列是鉻和鎳的組合，鐵、鎳和金的組合，或鈦 和鉬或鈀和金的組合。
[0021] 在根據(jù)本發(fā)明的方法的優(yōu)選的實施例形式中，鈦或鉻用作用于基體的粘合促進 物。鉬、鈀或鐵鎳能夠用作產(chǎn)生錫焊連接的金屬材料。此外，金或鎳能夠用于生成保護層和 /或潤濕層。
[0022] 邊緣金屬化部優(yōu)選地通過氣相沉積工藝產(chǎn)生，例如通過CVD (化學氣相沉積）或 PVD (物理氣相沉積）產(chǎn)生，或通過例如電鍍工藝的電化學工藝產(chǎn)生。
[0023] 如果不可錫焊或不可焊接的材料被選擇用于載體和/或殼體蓋，則也能夠?qū)⒑线m 的邊緣金屬化部布置在載體上、在殼體蓋上或在載體以及殼體蓋兩者上。
[0024] 為了使反應(yīng)性化學元素或化合物和/或自由基在電子部件內(nèi)部內(nèi)的存在最小化， 在產(chǎn)生殼體蓋和載體之間的氣密性密封的連接之前，能夠以氣體或氣體混合物填充內(nèi)部空 間。內(nèi)部空間也能夠替代性地被排空。此外,能夠首先以吹掃氣體填充內(nèi)部空間，并且然后 將其排空。反應(yīng)性元素或化合物和自由基的任何殘留能夠進一步通過后一個過程減少。
[0025] 例如，陶瓷、金屬（諸如鋼或鎳）、金屬合金和復(fù)合材料被選擇為用于殼體蓋的材 料。材料必須允許維持小于l(T 8mba;r Ι/s的泄漏率。Kovar合金也能夠被選擇為材料。Kovar 合金意思是具有低膨脹系數(shù)并且能夠容易地適合于膨脹系數(shù)的合金。這例如對降低殼體蓋 和窗口元件之間的連接處的張力是有利的。
[0026] 載體例如能夠由陶瓷、金屬（諸如鋼或鎳）、金屬合金和復(fù)合材料或Kovar合金制 成。
[0027] 由根據(jù)本發(fā)明的方法生產(chǎn)的電子部件被證明對環(huán)境條件諸如熱和濕是非常堅固 耐用的。相應(yīng)地，在處于250°C的溫度下至少10000小時之后，通過根據(jù)本發(fā)明的電子部件 仍維持可允許的測量公差。甚至在處于185°C的溫度下至少18000小時之后，進一步的測試 也證明了電子部件的堅固耐用性。在_55°C的溫度下至少3000小時的連續(xù)負載下，電子部 件也顯示了可允許的測量公差。此外，電子部件對從+20°C至+200°C和從_40°C至+85°C的 熱循環(huán)是堅固耐用的。還承受了在小于10秒的過渡時間內(nèi)的溫度迅速改變以及改變率為 5K/分鐘的超過至少1000個循環(huán)數(shù)的溫度逐漸改變。此外，電子部件對400kPa的壓力是堅 固耐用的。此外，電子部件對85°C /85% RH( = 49lhPa)的溫度/空氣濕度負載在8500小 時下是堅固耐用的，并且對95°C /95% RH( = 803hPa)的溫度/空氣濕度負載在5200小時 下是堅固耐用的。
[0028] 以上所述的目的進一步通過如下電子部件滿足，所述電子部件帶有：殼體，殼體具 有殼體蓋、作為殼體的基板的載體和被殼體蓋和載體封閉的內(nèi)部空間；和至少一個光電或 電光轉(zhuǎn)換器元件，所述至少一個光電或電光轉(zhuǎn)換器元件被布置在內(nèi)部空間內(nèi)，并且具有以 氣密性密封的方式被引導(dǎo)通過載體并且被布置在載體內(nèi)的電接觸。殼體蓋以氣密性密封的 方式被載體通過熔融金屬的結(jié)合連接封閉。根據(jù)本發(fā)明的電子部件的特征在于，在殼體蓋 內(nèi)設(shè)置至少一個開孔，使得與所述至少一個轉(zhuǎn)換器元件相關(guān)的輻射能夠在開孔和轉(zhuǎn)換器元 件之間沿大體正交于載體定向的光束路徑通過殼體蓋。所述至少一個開孔以氣密性密封的 方式通過至少一個窗口兀件封閉，其中窗口兀件以氣密性密封的方式沿窗兀件的邊緣金屬 化部通過圍繞所述至少一個開孔的熔融金屬材料的周向第一接縫而連接到殼體蓋。窗口元 件至少對與所述至少一個轉(zhuǎn)換器元件相關(guān)的輻射是透明的。
[0029] 在根據(jù)本發(fā)明的電子部件的第一實施例中，所述至少一個轉(zhuǎn)換器元件是光電接收 器，使得電子部件是堅固耐用的傳感器。
[0030] 至少一個光學濾波器與相應(yīng)的光束路徑內(nèi)的開孔的至少一個關(guān)聯(lián)。此光學濾波器 (在下文中簡稱為"濾波器"）與窗口元件不同，所述窗口元件雖然對與轉(zhuǎn)換器元件相關(guān)的 輻射透明，但必然地具有不可避免的光學效應(yīng)（折射、吸收、透射）。濾波器能夠設(shè)定為使得 其在多個光束路徑內(nèi)是光學作用的。多個濾波器能夠被布置在光束路徑內(nèi)。濾波器能夠單 獨地相對于光束路徑傾斜，或能夠相對于光束路徑以可選擇的且受控的方式傾斜。檢測到 的且發(fā)射的輻射的波長修正能夠通過一個或更多個光學濾波器的受控傾斜實現(xiàn)。因為光學 濾波器通常包括超過一個光學層，所以相應(yīng)的光束路徑的在光學濾波器內(nèi)的路徑長度以及 輻射射線的在光學濾波器上的入射角度能夠通過傾斜調(diào)整。輻射的特征（例如，波長）能 夠通過路徑長度效果和交界面效果諸如干涉而被選擇性地影響。
[0031] 作為補充或替代，一個或更多個光學濾波器、光學作用元件諸如光圈也能夠被布 置在光束路徑內(nèi)。不希望的散射輻射能夠通過光圈被明顯地阻擋，所述光圈例如作為至少 一個濾波器的補充被設(shè)置在光束路徑內(nèi)。
[0032] 當光束路徑沿光軸在轉(zhuǎn)換器元件和開孔之間延伸時，光束路徑是垂直的，并且光 軸與轉(zhuǎn)換器元件的接收或發(fā)射輻射的表面垂直。光束路徑當光軸相對于轉(zhuǎn)換器元件的接收 或發(fā)射表面的表面法向傾斜達15°時是也被認為是"大體垂直的"。
[0033] 當此輻射能夠被轉(zhuǎn)換器元件檢測到或被其發(fā)射時，此輻射與轉(zhuǎn)換器元件是相關(guān) 的。
[0034] 當設(shè)置至少兩個開孔時，存在多個光束路徑。在根據(jù)本發(fā)明的電子部件中，所述至 少兩個開孔以氣密性密封的方式被至少一個窗口元件封閉。光束路徑在每一個情形中能夠 是到達光電接收器的分開的光束路徑。任一個開孔或至少兩個開孔能夠以氣密性密封的方 式分別被窗口元件封閉。
[0035] 在根據(jù)本發(fā)明的電子部件的另外的實施例中，到達相應(yīng)接收器的分開的光束路徑 形成為至少一個測量光束路徑和至少一個參考光束路徑。在此情況中，有利的是，使測量光 束路徑和參考光束路徑相互盡可能靠近，以保證測量光束和參考光束的良好的可比性。
[0036] 能夠在光學濾波器和窗口元件之間設(shè)置中間空間。一方面這防止光學濾波器和窗 口元件的直接接觸，另一方面當連接窗口元件和殼體蓋時，如果光學濾波器已事先被布置 在殼體的內(nèi)部空間內(nèi)的光束路徑內(nèi)，貝 1J光學濾波器暴露于更低的熱應(yīng)力。
[0037] 此外，中間空間有利地防止不希望的氣體直接在光學濾波器和窗口元件之間被收 集而且導(dǎo)致光學濾波器上的壓應(yīng)變。這些不希望的氣體可能例如作為在組裝期間所捕獲的 空氣和/或材料雜質(zhì)的結(jié)果而出現(xiàn)。如果這些空氣凹穴和/或材料雜質(zhì)在電子部件的運行 期間被加熱，則可能導(dǎo)致不希望的氣體的釋氣（outgassing)或膨脹。
[0038] 為此原因，還非常有利的是，殼體的內(nèi)部空間和在光學濾波器與窗元件之間的中 間空間通過用于氣體交換和壓力平衡的至少一個通道而連接起來。
[0039] 在根據(jù)本發(fā)明的電子部件的另外的實施例中，轉(zhuǎn)換器元件是電光輻射源。反射器 被優(yōu)選地以旋轉(zhuǎn)對稱的方式沿光束路徑的初始部分布置，使得電子部件形成為用于發(fā)射定 向集束的發(fā)射器單兀。反射器能夠被形成為殼體壁的一部分。例如，殼體的內(nèi)側(cè)能夠被相應(yīng) 地形成為反射器，并且如果需要，其能夠被涂覆。表面處理諸如拋光或紋理化等同于涂覆。
[0040] 對于設(shè)置發(fā)射器單元的另一個可能性是，轉(zhuǎn)換器元件是電光輻射源，并且反射器 被設(shè)置在殼體蓋上，處在開孔上方，使得電子部件與反射器一起形成為用于發(fā)射定向集束 的發(fā)射器單元。在此類型的構(gòu)造中，反射器被布置在殼體外側(cè)。在簡單的情形中，反射器附 接到殼體。反射器被優(yōu)選地另外地固定到位，例如，通過結(jié)合接合（膠合、錫焊、焊接）或通 過摩擦接合。此類型的構(gòu)造允許電子部件被制造為帶有反射器，所述反射器取決于情況進 行選擇。
[0041] 根據(jù)本發(fā)明的電子部件能夠以其多種實施例和產(chǎn)品變體的形式在測量單元內(nèi)使 用。電子部件能夠特別地使用，用在用以測量和分析氣體和氣體混合物的IR測量單元內(nèi)。 [0042] 前述類型的測量單元具有被構(gòu)造為傳感器的至少一個電子部件以及被構(gòu)造為發(fā) 射器單元的至少一個電子部件。兩個電子部件被相互相對置地沿共同軸線定位。它們通過 測量單元殼體被以限定的距離保持。所述限定的距離形成測量路徑，沿所述測量路徑，對位 于測量單元內(nèi)或被引導(dǎo)通過測量單元的氣體或氣體混合物的特征進行測量。
[0043] 在根據(jù)本發(fā)明的測量單元的另外的實施例中，類似地存在被形成為傳感器的至少 一個電子部件以及被形成為發(fā)射器單元的至少一個電子部件。兩個電子部件被布置為相互 靠近，并且被沿至少偏轉(zhuǎn)一次的共同軸線定位。設(shè)置至少一個鏡像單元以將光軸偏轉(zhuǎn)，所述 至少一個鏡像單元通過測量單元殼體被保持與所述兩個電子部件相對置。當光軸被形成為 電子部件的共同軸線并且通過鏡像單元的作用被偏轉(zhuǎn)時，所述至少一個鏡像單元被認為與 電子部件相對置地布置且保持。能夠設(shè)置也被保持與電子部件相對置的另外的鏡像單元。
[0044] 另外，能夠使得至少一個鏡像單元被布置在電子部件之間或鄰近電子部件。通過 此類布置，光軸能夠多次折返，并且能夠因此在發(fā)射器和傳感器之間在測量單元內(nèi)實現(xiàn)對 應(yīng)長的測量路徑，而不需使測量單元殼體具有數(shù)分米的長度。所有的鏡像單元或單獨的鏡 像單元能夠是可控且可移位的。例如，鏡像單元能夠包含一個或更多個簡單的金屬鏡、分色 鏡，干涉鏡、（微）鏡陣列和/或成像鏡，例如橢圓（凹面）鏡，并且在成像鏡布置的情況中， 發(fā)射器單元和傳感器被布置在橢圓的兩個焦點中。
[0045] 測量單元殼體被優(yōu)選地形成為帶有用于使氣體通過的開口的管狀構(gòu)造。管狀構(gòu)造 能夠具有圓形的、卵形的、不規(guī)則的或成角度的橫截面。橫截面的形狀和直徑能夠在測量單 元殼體的長度上改變。金屬（諸如鋼或鋁）能夠用作測量單元殼體的材料。鋁是有利的材 料，因為鋁能夠容易地陽極化。
[0046] 本發(fā)明的對上述問題的解決的前提是電子部件的殼體的殼體蓋，所述殼體蓋在其 底表面處具有開口，并且所述殼體蓋的特征在于，至少一個開孔被進一步設(shè)置在殼體蓋內(nèi)， 所述開孔以氣密性密封的方式被具有預(yù)定的透明度的窗口元件封閉，其中窗口元件以氣密 性密封的方式沿窗口元件的圍繞所述至少一個開孔的邊緣金屬化部通過臨時（瞬時）熔融 金屬的周向接縫而連接到殼體蓋。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0047] 將在下文中參考附圖和實施例示例更詳細地描述本發(fā)明。附圖示出：
[0048] 圖1在縱截面中示出了根據(jù)本發(fā)明的帶有轉(zhuǎn)換器元件的電子部件的第一實施例； [0049] 圖2是根據(jù)本發(fā)明的殼體蓋的示意圖；
[0050] 圖3是根據(jù)本發(fā)明的窗口元件的示意圖；
[0051] 圖4在縱截面中示出了根據(jù)本發(fā)明的帶有兩個轉(zhuǎn)換器元件的電子部件的第二實 施例；
[0052] 圖5在縱截面中示出了根據(jù)本發(fā)明的帶有兩個轉(zhuǎn)換器元件的電子部件的第三實 施例；
[0053] 圖6在縱截面中示出了根據(jù)本發(fā)明的帶有內(nèi)部反射器的第一實施例的電子部件 的第四實施例；
[0054] 圖7在縱截面中示出了根據(jù)本發(fā)明的帶有內(nèi)部反射器的第二實施例的電子部件 的第五實施例；
[0055] 圖8在縱截面中示出了根據(jù)本發(fā)明的帶有外部反射器的電子部件的第六實施例；
[0056] 圖9示出了根據(jù)本發(fā)明的測量單元的第一實施例；
[0057] 圖10示出了根據(jù)本發(fā)明的帶有鏡像單元的測量單元的第二實施例；和
[0058] 圖11示出了根據(jù)本發(fā)明的帶有多個鏡像單元的測量單元的第三實施例。

【具體實施方式】
[0059] 根據(jù)本發(fā)明的電子部件1 :具有作為關(guān)鍵元件的殼體2,殼體2通過帶有開孔5的 殼體蓋4和載體3形成，在載體3上放置殼體蓋4 ;以及窗口兀件10和光電或電光轉(zhuǎn)換器 元件7(圖1)。
[0060] 載體3被形成為Kovar合金板，且用作殼體2的基板。殼體蓋4被以罩狀的方式 放置在載體3的側(cè)表面中的一個側(cè)表面的表面上。通過殼體蓋4的內(nèi)側(cè)和載體3的側(cè)表面 的區(qū)域包圍內(nèi)部空間6,在內(nèi)部空間6內(nèi)布置轉(zhuǎn)換器元件7。轉(zhuǎn)換器元件7具有用于電接觸 轉(zhuǎn)換器元件7的接觸元件7. 1，接觸元件7. 1被引導(dǎo)通過載體3的接觸孔3. 1，并且與玻璃 一起熔融在接觸孔3. 1內(nèi)，以便進行氣密性密封。
[0061] 殼體蓋4由鎳制成，并且在其底表面4.1上具有開口 4.2 (也見圖2)。殼體蓋4的 蓋壁向外圍繞開口 4. 2彎曲，并且因此形成了界定開口 4. 2的周向邊緣4. 3。在殼體蓋4的 面向上的區(qū)域內(nèi)設(shè)置開孔5,開孔5與載體3相對置地在殼體蓋4內(nèi)。窗口元件10被布置 在內(nèi)部空間6外側(cè)，處在開孔5上方，并且完全地覆蓋開孔5。光學濾波器11在開孔5正下 方被保持在內(nèi)部空間6內(nèi)。從開孔5到轉(zhuǎn)換器元件7實現(xiàn)了用于與轉(zhuǎn)換器元件7相關(guān)的輻 射9的光束路徑8。光學濾波器11被布置在此光束路徑8內(nèi)。為簡化起見，對于以上所述 的元件（例如光學濾波器11)，無保持件在圖1至圖11中顯示出來。
[0062] 窗口元件10具有比開孔5的直徑大的直徑，并且具有邊緣區(qū)域10. 1，邊緣區(qū)域 10. 1在開孔5上方在所有側(cè)上突出（也見圖2)。邊緣金屬化部10. 2被設(shè)置在窗口元件10 的側(cè)表面上的邊緣區(qū)域10. 1上而面向殼體蓋4 (底部側(cè)表面）。通過熔融的填充材料形成 的第一接縫17被設(shè)置在邊緣金屬化部10. 2和殼體蓋4的圍繞開孔5的區(qū)域之間。窗口元 件10和殼體蓋4通過第一接縫17相互連接，以便進行氣密性密封。
[0063] 殼體蓋4以氣密性密封的方式沿周向邊緣4. 3通過第二接縫18被焊接到載體3。
[0064] 根據(jù)本發(fā)明的殼體蓋4在圖2中示出。如參考圖1所述，殼體蓋4在五個側(cè)上包 圍內(nèi)部空間6。底表面4.1具有被周向邊緣4. 3界定的開口 4. 2。窗口元件10通過第一接 縫17被布置在開孔5上方，并且以氣密性密封的方式連接到殼體蓋4。
[0065] 在圖3中的根據(jù)本發(fā)明的窗口元件10的底部側(cè)表面的透視圖，示出了邊緣區(qū)域 10. 1和被周向地形成在側(cè)表面上的邊緣金屬化部10. 2。邊緣金屬化部10. 2包括至少兩個 金屬層，所述至少兩個金屬層相互重疊地氣相沉積在邊緣區(qū)域的周向部分上。
[0066] 在本發(fā)明的另外的實施例中，邊緣金屬化部10. 2也能夠通過PVD濺鍍。
[0067] 在圖4中所示的根據(jù)本發(fā)明的電子部件的第二實施例，裝配有第一轉(zhuǎn)換器元件 7. 2和第二轉(zhuǎn)換器兀件7. 3。開孔5被設(shè)置在殼體蓋4內(nèi)，處在第一轉(zhuǎn)換器兀件7. 2和第二 轉(zhuǎn)換器元件7. 3上方。兩個開孔5以氣密性密封的方式通過共同的窗口元件10被覆蓋和 封閉。在第一轉(zhuǎn)換器兀件7. 2和開孔5之間在開孔5上方設(shè)置第一光束路徑8. 1，并且第二 轉(zhuǎn)換器兀件7. 3和開孔5之間在開孔5上方設(shè)置第二光束路徑8. 2。光學濾波器11被布 置在兩個光束路徑8. 1、8. 2內(nèi)，距開孔5-定的距離，使得在光學濾波器11、開孔5和窗口 元件之間形成中間空間12。中間空間12與內(nèi)部空間6通過通道13連通。沿兩個光束路徑 8. 1、8. 2在更下游在每個情況中布置另外的光學濾波器111，所述另外的光學濾波器111分 別僅與第一光束路徑8. 1關(guān)聯(lián)以及僅與第二光束路徑8. 2關(guān)聯(lián)。在第一光束路徑8. 1內(nèi)的 另外的光學濾波器111被垂直于第一光束路徑8. 1地定向，而在第二光束路徑8. 2內(nèi)的另 外的光學濾波器111被相對于第二光束路徑8. 2傾斜地定向。第一光束路徑8. 1是測量光 束路徑，并且第二光束路徑8. 2是參考光束路徑。
[0068] 在根據(jù)本發(fā)明的電子部件的另外的實施例中，另外的濾波器111也能夠都分別相 對于第一光束路徑8. 1和相對于第二光束路徑8. 2傾斜，以便例如調(diào)整兩個光束路徑8. 1、 8. 2的光學參數(shù)。為此目的，另外的濾波器111被設(shè)計為可調(diào)整的濾波器，S卩：其傾斜角度 能夠被選擇性地改變和調(diào)整。
[0069] 每個轉(zhuǎn)換器元件7. 2和7. 3具有接觸元件7. 1，接觸元件7. 1被引導(dǎo)通過載體3的 接觸孔3. 1，并且與玻璃一起一體地澆注在接觸孔3. 1內(nèi)，以便進行氣密性密封。殼體蓋4 通過第二接縫18連接到載體3。在此示例中，第二接縫18通過脈沖焊接方法產(chǎn)生。在此情 況中，不使用焊接填充材料；而是，殼體蓋4的材料和載體3的材料在周向邊緣4. 3的區(qū)域 和載體3的周向邊緣4. 3下方的區(qū)域內(nèi)部分地熔融。
[0070] 在根據(jù)如在圖5中所示的本發(fā)明的電子部件1的第三實施例示例中，構(gòu)造基本上 對應(yīng)于在圖4中所示的情況，但光學濾波器11在每個情況中與第一光束路徑8. 1和第二光 束路徑8. 2關(guān)聯(lián)。另外，帶有光圈孔徑23. 1的光圈23被設(shè)置在光束路徑8. 1和8. 2內(nèi)。 光圈23具有邊緣，所述邊緣延伸直至殼體蓋4的內(nèi)側(cè)，并且因此將內(nèi)部空間6水平地分開。 輻射9能夠僅通過相應(yīng)的光圈孔徑23. 1。這防止了不希望的散射輻射沿第一光束路徑8. 1 和第二光束路徑8. 2傳播。散射輻射例如可以由于從光學濾波器11和/或另外的光學濾 波器111的前側(cè)離開的輻射分量所導(dǎo)致。
[0071] 在根據(jù)本發(fā)明的電子部件1的第四實施例示例中，轉(zhuǎn)換器元件7被布置在內(nèi)部空 間6內(nèi)（圖6)。殼體蓋4具有開孔5。轉(zhuǎn)換器元件7是電光轉(zhuǎn)換器元件，并且被設(shè)計為發(fā) 射輻射9,輻射9是波長范圍在0. 8至25 μ m之間的紅外輻射。內(nèi)部反射器14被布置在內(nèi) 部空間6內(nèi)，處于轉(zhuǎn)換器元件7上方，使得光束路徑8的第一部分被內(nèi)部反射器14以旋轉(zhuǎn) 對稱方式包圍。內(nèi)部反射器14具有錐形形狀，并且在其內(nèi)側(cè)上設(shè)置有反射IR輻射的涂層 (未示出）。轉(zhuǎn)換器元件7、內(nèi)部反射器14和開孔5相互對齊，使得通過轉(zhuǎn)換器元件7發(fā)射的 福射9通過內(nèi)部反射器14被收集，并且通過開孔5作為定向集束（directed beam bundle) 的形式被發(fā)射出去。內(nèi)部反射器14錫焊到轉(zhuǎn)換器元件7。在另外的布置中，內(nèi)部反射器14 被通過保持裝置（未示出）保持。第二接縫18被通過錫焊形成。
[0072] 在另外的布置中，內(nèi)部反射器14也能夠具有橢圓或拋物面形狀。此外，內(nèi)部反射 器14也能夠被以自由形式的方式成形，例如被通過橢圓和拋物面的部分的組合成形。
[0073] 在內(nèi)部反射器14的替代性的構(gòu)造中，殼體蓋4的內(nèi)側(cè)被成形為內(nèi)部反射器14并 且被涂覆，如在圖7中示意性地示出的那樣。
[0074] 在根據(jù)本發(fā)明的電子部件1的第六實施例中，外部反射器15被放置在殼體蓋4 上，處在窗口兀件10上方（圖8)。外部反射器15在其側(cè)上具有反射器保持器16。殼體蓋 4被反射器保持器16側(cè)向包圍。為實現(xiàn)外部反射器15的高精度定位，反射器保持器16在 彎曲的周向邊緣4. 3的上側(cè)上。在另外的實施例中，外部反射器15能夠在表面上方結(jié)合地 (特別是膠合地、錫焊地或焊接地）連接到殼體蓋4,在一些區(qū)域上方，或通過點焊而結(jié)合地 連接到殼體蓋4。
[0075] 使用根據(jù)本發(fā)明的光電和電光轉(zhuǎn)換器元件7的測量單元19的第一實施例在圖9 中示意性地示出。測量單元19具有鋁制管狀測量單元殼體19. 1，兩個通孔20被設(shè)置在測 量單元殼體19. 1的側(cè)壁內(nèi)，以引導(dǎo)待測量的介質(zhì)進出。測量單元殼體19. 1能夠是圓柱形 管狀的，或也能夠具有η邊形棱柱的形式的管狀形狀（僅在圖11中示出）。作為發(fā)射器單 元的電光轉(zhuǎn)換器元件7被布置在測量單元殼體19. 1的前端處。作為傳感器的另外的光電 轉(zhuǎn)換器元件7被布置在測量單元殼體19. 1的另一個前端處。兩個轉(zhuǎn)換器元件7相互面向， 并且被相對置地定位。兩個轉(zhuǎn)換器元件7的光束路徑8的延伸形成共同的光軸，并且通過 虛線指示。測量路徑22通過轉(zhuǎn)換器元件7之間的間隔限定。
[0076] 根據(jù)本發(fā)明的測量單元19的第二實施例在圖10中示出。兩個轉(zhuǎn)換器元件7被并 排布置在測量單元殼體19. 1的前端處，所述兩個轉(zhuǎn)換器元件7中的一個轉(zhuǎn)換器元件被形成 為傳感器，并且另一個轉(zhuǎn)換器元件被形成為發(fā)射器單元。兩個轉(zhuǎn)換器元件7面向測量單元 殼體19. 1的相對端的方向。鏡像單元21被布置在測量單元殼體19. 1的相對端處，使得在 兩個轉(zhuǎn)換器元件7之間限定被折返一次的共同的光軸。通過此步驟，測量路徑22 (通過虛 線表示）超過翻倍，而測量單元殼體19. 1的長度維持不變。
[0077] 為了甚至進一步延長測量路徑22而使測量單元殼體19. 1的長度維持不變，能夠 布置另外的鏡像單元21，如在圖11中所示。在此測量單元19的第三實施例示例中，兩個轉(zhuǎn) 換器元件7又被并排布置，使得一個轉(zhuǎn)換器元件7被形成為傳感器，而另一個轉(zhuǎn)換器元件7 被形成為發(fā)射器單元。在測量單元殼體19. 1的相對端處，并排布置四個鏡像單元21，即第 一鏡像單元21. 1、第三鏡像單元21. 3、第五鏡像單元21. 5和第七鏡像單元21. 7。第二鏡像 單元21. 2、第四鏡像單元21. 4和第六鏡像單元21. 6被設(shè)置為鄰近兩個轉(zhuǎn)換器元件7。兩 個轉(zhuǎn)換器元件7的共同的光軸被折返七次，并且從轉(zhuǎn)換器元件7延伸到第一鏡像單元21. 1， 然后延伸到第二鏡像單元21. 2,并且進一步繼續(xù)延伸直至第七鏡像單元21. 7,并且然后延 伸到另一個轉(zhuǎn)換器元件7。此布置的結(jié)果是，測量路徑22 (虛線）的長度超過根據(jù)圖9的第 一實施例示例中的測量路徑22的八倍。
[0078] 附圖標記列表
[0079] 1電子部件
[0080] 2 殼體
[0081] 3 載體
[0082] 3. 1接觸孔
[0083] 4殼體蓋
[0084] 4. 1底表面
[0085] 4. 2 開口
[0086] 4. 3周向邊緣
[0087] 5 開孔
[0088] 6內(nèi)部空間
[0089] 7轉(zhuǎn)換器元件
[0090] 7. 1接觸元件
[0091] 7. 2第一轉(zhuǎn)換器元件
[0092] 7. 3第二轉(zhuǎn)換器元件
[0093] 8 光束路徑
[0094] 8· 1第一光束路徑
[0095] 8.2第二光束路徑
[0096] 9 輻射
[0097] 10窗口元件
[0098] 10. 1邊緣區(qū)域
[0099] 10. 2邊緣金屬化部
[0100] 11光學濾波器
[0101] 111另外的光學濾波器
[0102] 12中間空間
[0103] 13 通道
[0104] 14內(nèi)部反射器
[0105] 15外部反射器
[0106] 16反射器保持器
[0107] 17第一接縫
[0108] 18第二接縫
[0109] 19測量單元
[0110] 19. 1測量單元殼體
[0111] 20 通孔
[0112] 21鏡像單元
[0113] 21. 1第一鏡像單元
[0114] 21. 2第二鏡像單元
[0115] 21. 3第三鏡像單元
[0116] 21. 4第四鏡像單元
[0117] 21. 5第五鏡像單元
[0118] 21. 6第六鏡像單元
[0119] 21. 7第七鏡像單元
[0120] 22測量路徑
[0121] 23 光圈
[0122] 23. 1光圈孔徑
【權(quán)利要求】
1. 一種用于生產(chǎn)對熱和濕氣具有高堅固耐用性的氣密性密封的光電或電光部件的方 法，所述方法具有如下步驟： a) 設(shè)置用于至少一個光電或電光轉(zhuǎn)換器元件（7)的載體（3)，所述載體（3)同時用作 殼體⑵的基板， b) 設(shè)置在底表面（4. 1)處具有開口（4.2)的殼體蓋（4)， c) 在所述殼體蓋（4)內(nèi)產(chǎn)生至少一個開孔（5)，使得在所述殼體蓋（4)被放置在所述 載體（3)上之后，用于接納所述至少一個轉(zhuǎn)換器元件（7)的內(nèi)部空間（6)相應(yīng)地通過在所 述載體（3)上方的所述殼體蓋（4)形成，與所述至少一個轉(zhuǎn)換器元件（7)相關(guān)的輻射（9) 能夠以不受阻礙的方式沿被大體正交于所述載體（3)定向的光束路徑（8)在開孔（5)和所 述轉(zhuǎn)換器元件（7)之間通過所述殼體蓋（4)， d) 設(shè)置至少一個窗口元件（10)，所述至少一個窗口元件（10)對于與所述轉(zhuǎn)換器元件 (7)相關(guān)的輻射（9)而言是透明的，并且所述至少一個窗口元件（10)的形狀和尺寸適合于 所述殼體蓋（4)的相應(yīng)的所述開孔（5)，并且所述至少一個窗口元件（10)具有邊緣金屬化 部（10. 2)，所述邊緣金屬化部（10. 2)作為用于所述至少一個開孔（5)的邊緣區(qū)域的接觸表 面， e) 組裝載體（3)、轉(zhuǎn)換器元件（7)、殼體蓋（4)和所述至少一個窗口元件（10)，其中通 過將金屬材料熔融在所述至少一個窗口元件（10)的所述邊緣金屬化部（10. 2)和所述殼體 蓋（4)之間而在所述殼體蓋（4)和所述至少一個窗口元件之間（10)產(chǎn)生氣密性密封的連 接，并且在所述殼體蓋（4)和所述載體（3)之間產(chǎn)生氣密性密封的連接，使得以氣密性密封 的方式與所述載體（3)形成熔融的金屬材料的第二接縫（18)，并且所述殼體蓋（4)在連接 到所述載體（3)之前被定位在所述載體（3)上，使得所述至少一個開孔（5)與所述至少一 個轉(zhuǎn)換器元件（7)的要求的相應(yīng)的所述光束路徑（8)相對置地對齊。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述窗口元件（10)以透明材料板的形 式產(chǎn)生，所述透明材料從包括如下材料的組中選擇：藍寶石（A1 203)、氟化鎂（MgF2)、氧化鎂 (MgO)、氟化鋰（LiF)、氟化鈣（CaF 2)、氟化鋇（BaF2)、硅（Si)、二氧化硅（Si02)、鍺（Ge)、硒 化鋅（ZnSe)、硫化鋅（ZnS)、碲化鎘（CdTe)、砷化鎵（GaAs)、二氧化鈦（Ti02)、Y部分穩(wěn)定的 氧化鋯（Zr0 2)、溴化鉈和碘化鉈的混合物（KRS5 ;Tl(Br-I))、火石玻璃或熔融的硅石。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述邊緣金屬化部（10. 2)包括至少 兩層構(gòu)成的層序列，并且所述層序列包含金屬鉻、鎳、鐵、鈦、鉬、鈀和金中的一種構(gòu)成的至 少一層。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中的一項所述的方法，其特征在于，所述邊緣金屬化部（10. 2) 通過氣相沉積工藝或通過電化學工藝產(chǎn)生。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，在產(chǎn)生處在所述殼體蓋（4)和所述載體 (3)之間的所述氣密性密封的連接之前，以氣體或以氣體混合物填充所述內(nèi)部空間（6)，或 將所述內(nèi)部空間（6)排空。
6. -種電子部件（1)，所述電子部件（1)帶有：殼體（2)，所述殼體（2)具有殼體蓋（4)、 作為所述殼體（2)的基板的載體（3)和被所述殼體蓋（4)和所述載體（3)包封的內(nèi)部空 間（6);和至少一個光電或電光轉(zhuǎn)換器元件（7)，所述至少一個光電或電光轉(zhuǎn)換器元件（7) 被布置在所述內(nèi)部空間（6)內(nèi)，并且具有以氣密性密封的方式被引導(dǎo)通過所述載體（3)并 且被布置在所述載體（3)內(nèi)的電接觸，其中所述殼體蓋（4)以氣密性密封的方式被所述載 體（3)通過熔融金屬的結(jié)合連接封閉，其特征在于，在所述殼體蓋（4)內(nèi)設(shè)置至少一個開孔 (5) ，使得與所述至少一個轉(zhuǎn)換器元件（7)相關(guān)的輻射（9)能夠在所述開孔（5)和所述轉(zhuǎn)換 器元件（7)之間沿被大體正交于所述載體（3)定向的光束路徑（8)通過所述殼體蓋（4)，并 且所述至少一個開孔（5)以氣密性密封的方式被至少一個窗口元件（10)封閉，其中所述窗 口元件（10)以氣密性密封的方式沿所述窗口元件（10)的邊緣金屬化部（10.2)通過圍繞 所述至少一個開孔（5)的熔融金屬材料的周向第一接縫（17)而連接到所述殼體蓋（4)，并 且所述窗口元件（10)至少對所述輻射（9)是透明的。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子部件（1)，其特征在于，所述至少一個轉(zhuǎn)換器元件（7)是 光電接收器，使得所述電子部件（1)是堅固耐用的傳感器。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的電子部件（1)，其特征在于，至少一個光學濾波器（11、111) 與所述開孔（5)中的至少一個開孔在相應(yīng)的所述光束路徑（8)內(nèi)關(guān)聯(lián)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的電子部件（1)，其特征在于，針對每一個情況中的到達光 電接收器的分開的光束路徑（8、8. 1、8. 2)，設(shè)置以氣密性密封的方式連接到至少一個窗口 元件（10)的至少兩個開孔（5)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子部件（1)，其特征在于，到達相應(yīng)接收器的所述分開的 光束路徑（8、8. 1、8. 2)是至少一個測量光束路徑和至少一個參考光束路徑。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8至10中的一項所述的電子部件（1)，其特征在于，在所述光學濾波 器（11)和所述窗口元件（10)之間設(shè)置中間空間（12)。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的電子部件（1)，其特征在于，所述殼體（2)的所述內(nèi)部空間 (6) 和在所述光學濾波器（11)與所述窗口元件（10)之間的所述中間空間（12)通過用于氣 體交換和壓力平衡的至少一個通道（13)連接。
13. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子部件（1)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)換器元件（7)是電光輻 射源，并且內(nèi)部反射器（14)被以旋轉(zhuǎn)對稱的方式沿所述光束路徑（8)的初始部分布置，使 得所述電子部件（1)被形成為用于發(fā)射定向集束輻射（9)的發(fā)射器單元。
14. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的電子部件（1)，其特征在于，所述轉(zhuǎn)換器元件（7)是電光輻 射源，并且外部反射器（15)被設(shè)置在所述殼體蓋（4)上，處在所述開孔（5)上方，使得所述 電子部件（1)與所述外部反射器（15) -起被形成為用于發(fā)射定向集束輻射（9)的發(fā)射器 單元。
15. -種電子部件（1)的殼體的殼體蓋，所述殼體蓋（4)在其底表面（4. 1)處具有開 口（4. 2)，其特征在于，至少一個開孔（5)被設(shè)置在所述殼體蓋（4)的蓋壁內(nèi)，所述開孔（5) 以氣密性密封的方式被具有預(yù)定的透明度的窗口元件（10)封閉，其中所述窗口元件（10) 以氣密性密封的方式沿所述窗口元件（10)的圍繞所述至少一個開孔（5)的邊緣金屬化部 (10.2)通過臨時熔融金屬的周向接縫（17)而連接到所述殼體蓋（4)。
16. 帶有至少一個根據(jù)權(quán)利要求6至12中的一項所述的電子部件（1)并且?guī)в兄辽僖?個根據(jù)權(quán)利要求13和14中的一項所述的電子部件（1)的測量單元（9)，其特征在于，兩個 電子部件（1)被相互相對置地沿共同的光軸定位，并且通過測量單元殼體（19. 1)保持限定 的距離，所述限定的距離形成測量路徑（22)。
17. 帶有至少一個根據(jù)權(quán)利要求6至12中的一項所述的電子部件（1)并且?guī)в兄辽僖?個根據(jù)權(quán)利要求13和14中的一項所述的電子部件（1)的測量單元（9)，其特征在于，兩個 電子部件（1)被布置為相互靠近，并且沿至少偏轉(zhuǎn)一次的共同光軸定位，其中設(shè)置至少一 個鏡像單元（21)以用于使所述光軸偏轉(zhuǎn)，所述至少一個鏡像單元（21)通過測量單元殼體 (19. 1)而被保持與所述兩個電子部件（1)相對置。
18.根據(jù)權(quán)利要求16或17中的一項所述的測量單元（9)，其特征在于，所述測量單元 殼體（19. 1)被形成為帶有用于使氣體通過的通孔（20)的管狀構(gòu)造。
【文檔編號】H05K5/00GK104159423SQ201410202313
【公開日】2014年11月19日 申請日期:2014年5月14日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月14日
【發(fā)明者】斯特芬·比爾曼, 安德烈·馬吉, 帕特里克·薩克塞 申請人:微混合電子有限公司