一種提拉法晶體生長熱電偶固定系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種熱偶安裝固定系統(tǒng)。本發(fā)明要解決的問題是既要保證熱偶在安裝使用過程中不發(fā)生松動、搖擺和移位現(xiàn)象,又要解決熱電偶使用過程中容易損壞等問題,同時滿足熱偶安裝固定易于標(biāo)準化、便捷性。本系統(tǒng)由熱偶與熱偶固定支架組成,所述熱偶固定支架由熱偶套管、套管固定件、固定立柱和固定銷組成。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單,穩(wěn)固性好,安裝更換方便,熱偶不易損壞等優(yōu)點,適用于提拉法晶體生長領(lǐng)域。
【專利說明】一種提拉法晶體生長熱電偶固定系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明公開一種提拉法晶體生長熱電偶固定系統(tǒng),涉及晶體材料制備領(lǐng)域,特別涉及提拉法晶體生長熱偶安裝固定系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前提法晶體生長常用的熱偶安裝方式主要有兩種:1)采用鋯杯裝鍋方式的YAG晶體生長,熱電偶套在兩孔剛玉管中,剛玉管搭在鋯杯上,依靠上保溫罩壓緊固定剛玉管;2)采用鋯砂填埋方式的YV04晶體生長,熱電偶套在兩孔剛玉管中,整根熱偶埋在坩堝附近的二氧化鋯保溫砂中,通過搗實的鋯砂固定。(參見發(fā)明專利:CN02104314.0)兩種方式各有優(yōu)缺點:方式一具有安裝簡單方便,更換快捷等優(yōu)點,但使用過程中由于線圈的振動和上保溫罩開裂等影響,熱偶容易發(fā)生松動、搖擺甚至移位現(xiàn)象,造成測溫不準甚至熱偶損壞;方式二熱偶填埋在緊致的鋯砂中,熱偶松動、搖擺現(xiàn)象基本杜絕了,但熱偶安裝固定較繁瑣,而且在晶體生長過程中,鋯砂在反復(fù)升降溫后變得更加密實,容易結(jié)塊,特別是發(fā)生爬料現(xiàn)象時,熱偶測溫頭部與結(jié)塊的鋯砂和爬料粘結(jié)在一起,容易造成熱偶變形甚至損壞。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明要解決的問題是既要保證熱偶在安裝使用過程中不發(fā)生松動、搖擺和移位現(xiàn)象,又要解決熱電偶使用過程中容易損壞等問題,同時滿足熱偶安裝固定易于標(biāo)準化、便捷性。
[0004]為解決上述問題,本發(fā)明公開一種熱偶安裝固定系統(tǒng),固定系統(tǒng)包含熱偶與熱偶固定支架。熱偶固定支架由固定立柱(I)、套管固定件(2)、熱偶套管(3)和固定銷(4)和熱偶套管固定螺絲(5)五個部件組成。固定立柱(I)底部有一較長的螺紋孔,用于固定整個安裝支架以及調(diào)整支架的高度,立柱上部側(cè)面有一通孔,頂部有一小孔貫穿側(cè)通孔,作為固定銷孔;熱偶套管固定件有一圓槽,用于熱偶套管安裝,固定銷用于將熱偶套管固定件(2)與固定立柱(I)緊固。所述熱偶可以是鉬銠30-鉬銠6 (B型),鉬銠10-鉬(S型),銥銠或鎢錸熱偶。所述熱偶套管(2)的材質(zhì)為非金屬陶瓷材料,可以是碳化硅,石英,剛玉或氧化鋯,形狀可以是兩孔、四孔或一端封閉的棒狀。所述熱偶套管(2)的材質(zhì)為非金屬陶瓷材料,可以是碳化硅,石英,剛玉或氧化鋯,形狀可以是兩孔、四孔或一端封閉的棒狀。所述套管固定件(3)的圓槽開口可以全開也可半開,與熱偶套管固定時可采用絕緣螺絲旋緊式或絕緣膠布捆繞方式固定。所述固定立柱(1),套管固定件(3),固定銷(4)和熱偶固定螺絲(5)均為塑料絕緣材質(zhì),優(yōu)選為聚四氟乙烯(PTFE),尼龍(PA)或亞克力(PMMA)等。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0005]圖1為本發(fā)明熱偶固定支架部件圖圖2為本發(fā)明的安裝固定效果圖
圖3為本發(fā)明的實施應(yīng)用示意圖圖中,1、固定立柱,2、套管固定件,3、熱偶套管,4、固定銷,5、熱偶套管固定螺絲,6、熱偶。
【具體實施方式】
[0006]下面結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明進行詳細說明。
[0007]先將固定立柱(I)從線圈固定柱頂端旋入,調(diào)節(jié)至合適高度,熱偶(6)從熱偶套管
(3)穿入,然后將整根熱偶套管(3)裝入套管固定件(2)的圓槽中,再將套管固定件(2)插入固定立柱(I)的側(cè)面通孔中,將套管固定件(2)的固定孔與立柱頂部的小孔調(diào)整到同軸心,嵌入固定銷(4),調(diào)節(jié)熱偶測溫頭與坩堝合適距離后旋緊熱偶套管固定螺絲(5),穩(wěn)妥起見,再用絕緣膠布將熱偶套管(3)與套管固定件(2)纏繞幾圈,最后將熱偶正負極導(dǎo)線同爐內(nèi)的熱偶補償導(dǎo)線相連,完成熱偶安裝固定過程。如附圖3所示。當(dāng)晶體生長上爐或下爐時,只需將固定立柱(I)旋轉(zhuǎn)一角度,熱偶安裝支架可整體旋轉(zhuǎn),十分便捷。而需更換熱偶時,只需將熱偶套管取出,穿入新熱偶后重新裝入即可。
【權(quán)利要求】
1.一種提拉法晶體生長熱電偶固定系統(tǒng),包括測溫?zé)崤己蜔崤脊潭ㄖЪ?,熱偶固定支架由固定立?I)、熱偶套管(2)、套管固定件(3)、固定銷(4)和熱偶套管固定螺絲(5)五部分組成,其特征在于:固定立柱(I)底部有一較長的螺紋孔,用于固定整個安裝支架以及調(diào)整支架的高度,立柱上部側(cè)面有一通孔,頂部有一小孔貫穿側(cè)通孔,作為固定銷孔;熱偶套管固定件有一圓槽,用于熱偶套管安裝,固定銷用于將熱偶套管固定件(2)與固定立柱(I)緊固。
2.根據(jù)權(quán)利要求書I所述的一種提拉法晶體生長熱電偶固定系統(tǒng),其特征在于所述熱偶可以是鉬銠30-鉬銠6 (B型),鉬銠10-鉬(S型),銥銠或鎢錸熱偶。
3.根據(jù)權(quán)利要求書I所述的一種提拉法晶體生長熱電偶固定系統(tǒng),其特征在于所述熱偶套管(2)的材質(zhì)為非金屬陶瓷材料,可以是碳化硅,石英,剛玉或氧化鋯,形狀可以是兩孔、四孔或一端封閉的棒狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求書I所述的一種提拉法晶體生長熱電偶固定系統(tǒng),其特征在于所述套管固定件(3)的圓槽開口可以全開也可半開,與熱偶套管固定時可采用絕緣螺絲旋緊式或絕緣膠布捆繞方式固 定。
5.根據(jù)權(quán)利要求書I所述的一種提拉法晶體生長熱電偶固定系統(tǒng),其特征在于所述固定立柱(1),套管固定件(3),固定銷(4)和熱偶固定螺絲(5)均為塑料絕緣材質(zhì),優(yōu)選為聚四氟乙烯(PTFE),尼龍(PA)或亞克力(PMMA)。
【文檔編號】C30B15/00GK104164700SQ201410352353
【公開日】2014年11月26日 申請日期:2014年7月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月24日
【發(fā)明者】曾憲林, 王昌運, 陳偉 申請人:福建福晶科技股份有限公司