藍(lán)寶石單晶爐的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐，包括：機(jī)架、腔體、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、電源、控制柜、及水冷系統(tǒng)；其中機(jī)架包括：底架，在底架上設(shè)有安裝孔，腔體設(shè)置在安裝孔內(nèi)；底板，底板設(shè)置在底架的下方，底架通過鎖緊螺釘與底板連接；調(diào)節(jié)螺釘及調(diào)節(jié)螺母，調(diào)節(jié)螺釘及調(diào)節(jié)螺母設(shè)置在底板上；立柱，立柱設(shè)置在底架的一側(cè)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置在立柱的上端面；運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接；橫梁，橫梁設(shè)置在底架上，控制柜通過螺釘固定在橫梁上。本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐將設(shè)備的主要組成部分完成裝配后，整體包裝、運(yùn)輸?shù)绞褂脠?chǎng)所，減少在安裝場(chǎng)地的工作量，縮短安裝、調(diào)整的時(shí)間，快速進(jìn)入工作狀態(tài)，提高效率。
【專利說明】藍(lán)寶石單晶爐

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是一種藍(lán)寶石單晶爐。

【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石晶體具有優(yōu)異的光學(xué)性能、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，強(qiáng)度高、硬度大、耐腐蝕，可在接近2000°C高溫的惡劣條件下工作，因而得到廣泛的應(yīng)用。是半導(dǎo)體發(fā)光二極管(LED)，大規(guī)模集成電路SOI和SOS及超導(dǎo)納米結(jié)構(gòu)薄膜等最為理想的襯底材料。
[0003]藍(lán)寶石單晶爐是針對(duì)藍(lán)寶石晶體的廣泛應(yīng)用而開發(fā)的晶體生長(zhǎng)設(shè)備。傳統(tǒng)的藍(lán)寶石單晶爐是把設(shè)備的幾個(gè)組成部分拼合、擺放在一起組成一臺(tái)設(shè)備，缺乏統(tǒng)一的安裝平臺(tái)來(lái)整體布局，造成安裝時(shí)工作量相對(duì)較大，對(duì)安裝人員的技術(shù)水平要求高，輔助設(shè)備占用率高，效率低。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供了一種方便裝配及運(yùn)輸?shù)乃{(lán)寶石單晶爐。
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐，包括:機(jī)架、腔體、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、電源、控制柜、及水冷系統(tǒng)；其中所述機(jī)架包括:底架，在所述底架上設(shè)有安裝孔，所述腔體設(shè)置在所述安裝孔內(nèi)；底板，所述底板設(shè)置在所述底架的下方，所述底架通過鎖緊螺釘與所述底板連接；調(diào)節(jié)螺釘及調(diào)節(jié)螺母，所述調(diào)節(jié)螺釘及所述調(diào)節(jié)螺母設(shè)置在所述底板上；立柱，所述立柱設(shè)置在所述底架的一側(cè)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述立柱的上端面；所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接；橫梁，所述橫梁設(shè)置在所述底架上，所述控制柜通過螺釘固定在所述橫梁上。
[0006]所述底板、所述調(diào)節(jié)螺釘及所述調(diào)節(jié)螺母的數(shù)量為四個(gè)，四個(gè)所述底板、所述調(diào)節(jié)螺釘及所述調(diào)節(jié)螺母的數(shù)量為四個(gè)分別設(shè)置在所述底板的四個(gè)角。
[0007]所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括:底座,所述底座為一貫通的柱體,所述底座的一端插入所述立柱內(nèi)；轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸穿設(shè)于所述底座，所述轉(zhuǎn)軸的兩端分別伸出所述底座的兩端；支座，所述支座通過螺釘設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上部。
[0008]在所述底座上、下兩端的內(nèi)壁上分別環(huán)接有襯套。
[0009]在所述襯套上設(shè)有油槽。
[0010]所述設(shè)有油槽為半圓形環(huán)形。
[0011]在所述轉(zhuǎn)軸插入所述立柱內(nèi)的一端的末端設(shè)有擋圈。
[0012]本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐將設(shè)備的主要組成部分完成裝配后，整體包裝、運(yùn)輸?shù)绞褂脠?chǎng)所，減少在安裝場(chǎng)地的工作量，縮短安裝、調(diào)整的時(shí)間，快速進(jìn)入工作狀態(tài)，提高效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐機(jī)架結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖3為本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐附圖中附圖標(biāo)記說明:
[0017]1-底板2-底架3-橫梁
[0018]4-立柱5-鎖緊螺釘6-調(diào)節(jié)螺釘
[0019]7-調(diào)節(jié)螺母8-安裝孔9-底座
[0020]10-轉(zhuǎn)軸11-襯套12-支座
[0021]13-螺釘14-擋圈15-機(jī)架
[0022]16-腔體17-旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)18-運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)
[0023]19-電源20-控制柜21-水冷系統(tǒng)

【具體實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0025]如圖1?圖3所示，本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐的機(jī)架15，按預(yù)定位置將四塊底板I用地腳螺栓固定在地基上，將底架2按裝配關(guān)系放置在底板I之上，然后用調(diào)節(jié)螺釘6和調(diào)節(jié)螺母7調(diào)整底架2水平度，最后用鎖緊螺釘13固定好底架2的位置。
[0026]將立柱4裝入底架2的一側(cè)，用螺栓固定，其上端用于安裝旋轉(zhuǎn)及運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)18。再將橫梁3裝入底架2，并固定，實(shí)現(xiàn)電氣控制系統(tǒng)的固定。同時(shí)，底架2上中空的安裝孔8安裝平面用于安裝設(shè)備的腔體16部分。
[0027]旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)17包括:形狀為一貫通的柱體的底座9，底座9的一端插入立柱4內(nèi)。在底座9的兩端的開口處分別裝入滑動(dòng)襯套11，在滑動(dòng)襯套11的半圓形環(huán)形油槽(圖中未示出)中涂少量潤(rùn)滑脂。然后將轉(zhuǎn)軸10裝入兩個(gè)滑動(dòng)襯套11中，并貫穿整個(gè)底座9。同時(shí)，在轉(zhuǎn)軸10插入立柱4內(nèi)的一端的末端設(shè)有擋圈14。此時(shí)，通過底座9及其上的襯套11能保證轉(zhuǎn)軸10的旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)，無(wú)卡阻現(xiàn)象。并且具備足夠的抵抗變形的能力。
[0028]然后，將支座12安裝在轉(zhuǎn)軸10上部，并通過螺釘13固定。再將運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)18安裝通過支座12連接在轉(zhuǎn)軸10上，可實(shí)現(xiàn)大角度旋轉(zhuǎn)，并使設(shè)備結(jié)構(gòu)得以簡(jiǎn)化，降低空間尺寸，使設(shè)備進(jìn)一步小型化、輕量化。
[0029]最后，在機(jī)架15上安裝腔體16，用螺釘緊固；在機(jī)架15橫梁3上安裝控制柜20，用螺釘緊固；電源電極板與腔體16上安裝的電極位置對(duì)正，固定電源19位置；根據(jù)進(jìn)、排水主管位置確定水冷系統(tǒng)21匯水排方向，在設(shè)備占地面積范圍內(nèi)。
[0030]本發(fā)明藍(lán)寶石單晶爐將設(shè)備的主要組成部分完成裝配后，整體包裝、運(yùn)輸?shù)绞褂脠?chǎng)所，減少在安裝場(chǎng)地的工作量，縮短安裝、調(diào)整的時(shí)間，快速進(jìn)入工作狀態(tài)，提高效率。
[0031]以上已對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說明，但本發(fā)明創(chuàng)造并不限于實(shí)施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請(qǐng)權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.藍(lán)寶石單晶爐，其特征在于，包括機(jī)架、腔體、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)、電源、控制柜、及水冷系統(tǒng)；其中 所述機(jī)架包括: 底架，在所述底架上設(shè)有安裝孔，所述腔體設(shè)置在所述安裝孔內(nèi)； 底板，所述底板設(shè)置在所述底架的下方，所述底架通過鎖緊螺釘與所述底板連接； 調(diào)節(jié)螺釘及調(diào)節(jié)螺母，所述調(diào)節(jié)螺釘及所述調(diào)節(jié)螺母設(shè)置在所述底板上； 立柱，所述立柱設(shè)置在所述底架的一側(cè)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述立柱的上端面；所述運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)連接； 橫梁，所述橫梁設(shè)置在所述底架上，所述控制柜通過螺釘固定在所述橫梁上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石單晶爐，其特征在于，所述底板、所述調(diào)節(jié)螺釘及所述調(diào)節(jié)螺母的數(shù)量為四個(gè)，四個(gè)所述底板、所述調(diào)節(jié)螺釘及所述調(diào)節(jié)螺母的數(shù)量為四個(gè)分別設(shè)置在所述底板的四個(gè)角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石單晶爐，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括: 底座，所述底座為一貫通的柱體，所述底座的一端插入所述立柱內(nèi)； 轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸穿設(shè)于所述底座，所述轉(zhuǎn)軸的兩端分別伸出所述底座的兩端； 支座，所述支座通過螺釘設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的藍(lán)寶石單晶爐，其特征在于，在所述底座上、下兩端的內(nèi)壁上分別環(huán)接有襯套。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的藍(lán)寶石單晶爐，其特征在于，在所述襯套上設(shè)有油槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的藍(lán)寶石單晶爐，其特征在于，所述設(shè)有油槽為半圓形環(huán)形。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石單晶爐，其特征在于，在所述轉(zhuǎn)軸插入所述立柱內(nèi)的一端的末端設(shè)有擋圈。
【文檔編號(hào)】C30B29/20GK104278325SQ201410490325
【公開日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2014年9月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月23日
【發(fā)明者】宋奇 申請(qǐng)人:上海朗兆機(jī)電設(shè)備有限公司