生長氧化物單晶體的熱場裝置制造方法
【專利摘要】生長氧化物單晶體的熱場裝置，包括坩堝，置于熱場中央，坩堝外有保溫筒、石英管和感應線圈，上方設有保溫罩和ZrO2蓋，保溫罩外安裝泡沫磚，泡沫磚上開有觀察隧道口，下方有不同材料套裝組成的底托，在保溫筒和石英管之間有氧化鋯粘，熱場的保溫筒、石英管、底托都分別由體積較小的多塊疊裝組成，這種結構不容易炸裂和損壞，損外的更換量小。本技術的熱場裝置觀察隧道較長，不易受到外界溫度的影響，熱場內的溫度梯度小，溫度平穩(wěn)恒定，晶體不容易炸裂，溫場的保溫性、氣密性和穩(wěn)固性較好，對設備和原料的損耗小，提拉晶體的成品率、成功率高，成本低。
【專利說明】生長氧化物單晶體的熱場裝置
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于晶體設備【技術領域】，具體涉及一種生長氧化物單晶體的熱場裝置。
【背景技術】
[0002]人工生產氧化物的單晶體，需要的生長溫度很高，制造過程中晶體需要在平恒穩(wěn)定高溫的環(huán)境中生長才不會炸裂，熱場裝置為晶體的生長提供必要的恒溫環(huán)境?，F有技術中專利CN202830220U公開了一種提拉法晶體生長的熱場裝置，該技術中將觀察孔直接開在了保溫層上，隧道的長度較短，外界環(huán)境距離溫場內部距離短，溫場內部的溫度受到外界環(huán)境溫度的影響較大，容易引起溫場內部溫度頻繁波動，保溫、恒溫效果不好，在溫度頻繁波動的溫場中提拉晶體，晶體容易炸裂，導致廢品率增高，生產成本增高。

【發(fā)明內容】

[0003]針對現有技術中，生產氧化物的單晶體存在熱場裝置的恒溫、保溫效果不好，溫場內部容易受到外界環(huán)境的影響，溫度頻繁波動，導致提拉晶體時晶體容易出現炸裂現象，本實用新型提供一種生長氧化物單晶體的熱場裝置，其技術方案如下:
[0004]一種生長氧化物單晶體的熱場裝置，在坩堝外同心設置有感應線圈，坩堝上方設有保溫罩，保溫罩呈圓筒形，保溫罩的筒壁上開有觀察隧道口，保溫罩上方安裝ZrO2蓋，保溫罩外安裝有Al2O3泡沫磚，觀察隧道口穿過Al2O3泡沫磚，坩堝外同心安裝有ZrO2保溫筒，保溫筒呈圓筒形，保溫筒由多塊疊裝在一起組成，保溫筒外安裝石英管，石英管由上下兩塊組裝在一起，在保溫筒和石英管之間安裝有氧化鋯粘層，坩堝底部下方疊裝有兩塊ZrO2底托，ZrO2底托呈長方形，ZrO2底托下方設有兩塊Al2O3底托，Al2O3底托呈倒置的杯形套裝在一起組成，Al2O3底托下方套裝石英底托，石英底托下方套裝黃銅底托。
[0005]本技術在保溫罩外設置安裝泡沫磚，再在泡沫磚上開觀察隧道口，延長了觀察隧道的長度，可減少溫場內部與外界環(huán)境的接觸，使溫場內部始終保持在溫度平穩(wěn)恒定的狀態(tài)，晶體不會炸裂，坩堝外的保溫筒、石英管和坩堝下方的底托都分別采取由多塊進行疊裝組成，多塊疊裝不容易炸裂和損壞，損外時只需要進行小塊的更換，設備的損耗小、成本低，在保溫筒和石英管之間裝有氧化鋯粘層進行保溫隔熱并保護石英管，在保溫筒外安裝石英管、Al2O3底托下方安裝石英底托能大大提高溫場的氣密性，更加有利于提高溫場內部的保溫和恒溫效果，采用不同的材料組裝底托，能優(yōu)化發(fā)揮不同材料的特有性能，可起到保溫性、氣密性和穩(wěn)固性互補的作用。本實用新型結構合理，熱場中的組成部件不容易損壞，使用壽命長，設備和原料的損耗小，成本低，溫場內部的溫度平穩(wěn)，梯度小，波動少，提拉晶體的成功率、成品率高。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1為本實用新型的剖面結構示意圖?！揪唧w實施方式】
[0007]實施例:如圖1所示，一種生長氧化物單晶體的熱場裝置，在坩堝6外同心設置有感應線圈8，坩堝6上方設有保溫罩2，保溫罩2呈圓筒形，保溫罩2的筒壁上開有觀察隧道口 13，保溫罩2上方安裝ZrO2蓋1，保溫罩2外安裝有Al2O3泡沫磚12，觀察隧道口 13穿過Al2O3泡沫磚12，坩堝6外同心安裝有ZrO2保溫筒3，保溫筒3呈圓筒形，保溫筒3由多塊疊裝在一起組成，保溫筒3外安裝石英管4，石英管4由上下兩塊組裝在一起，在保溫筒3和石英管4之間安裝有氧化鋯粘層5，坩堝6底部下方疊裝有兩塊ZrO2底托7，ZrO2底托7呈長方形，ZrO2底托7下方設有兩塊Al2O3底托9，Al2O3底托9呈倒置的杯形套裝在一起組成，Al2O3底托9下方套裝石英底托10，石英底托10下方套裝黃銅底托11。
【權利要求】
1.生長氧化物單晶體的熱場裝置，在坩堝(6)外同心設置有感應線圈(8)，坩堝(6)上方設有保溫罩(2)，保溫罩(2)呈圓筒形，保溫罩(2)的筒壁上開有觀察隧道口(13)，保溫罩(2)上方安裝ZrO2蓋(1)，其特征在于:保溫罩(2)外安裝有Al2O3泡沫磚(12)，觀察隧道口(13)穿過AI2O3泡沫磚(12)，坩堝(6)外同心安裝有ZrO2保溫筒(3)，保溫筒(3)呈圓筒形，保溫筒(3)由多塊疊裝在一起組成，保溫筒(3)外安裝石英管(4)，石英管(4)由上下兩塊組裝在一起，在保溫筒(3)和石英管(4)之間安裝有氧化鋯粘層(5)，坩堝(6)底部下方疊裝有兩塊ZrO2底托(7)，ZrO2底托(7)呈長方形，ZrO2底托(7)下方設有兩塊Al2O3底托(9)，Al2O3底托(9)呈倒置的杯形套裝在一起組成，Al2O3底托(9)下方套裝石英底托(10)，石英底托(10 )下方套裝黃銅底托(11)。
【文檔編號】C30B15/14GK203795015SQ201420162940
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年4月4日 優(yōu)先權日:2014年4月4日
【發(fā)明者】黃永臣, 白鳳周, 劉鵬, 黃楠 申請人:玉溪市明珠晶體材料有限公司