一種可拆卸式手動硅片上下料裝置制造方法
【專利摘要】一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，用于單晶硅拋光片生產(chǎn)中臥式低壓化學氣相沉積爐上下料。本實用新型設計的硅片上下料裝置，兩個支撐三角架（1）固定在凈化工作臺支撐支架（12）上，兩個支撐臂（3）與支撐三角架（1）固定連接在一起，支撐臂（3）可以旋轉。兩根支撐桿（2）固定在支撐臂（3）上。片盒槽（4）利用底部凸臺（11），卡放在兩個支撐桿（2）之上，可以在支撐桿（2）的上下料范圍內(nèi)滑動，并可防止片盒槽（4）掉落。本實用新型結構簡單，拆裝方便，幾乎不占用原有操作空間。
【專利說明】-種可拆卸式手動硅片上下料裝置

【技術領域】
[0001] 本實用新型屬于單晶硅拋光片生產(chǎn)【技術領域】，主要涉及一種可拆卸式手動硅片上 下料裝置。

【背景技術】
[0002] 目前，單晶硅拋光片生產(chǎn)過程中臥式低壓化學氣相沉積爐采用的上下料方式主要 有自動上下料方式與手動上下料方式兩種。自動上料是使用自動倒片器把硅片從片盒內(nèi)倒 入到石英舟上，然后把上好硅片的石英舟放到自動上下料機上，通過自動上下料機把石英 舟放在低壓化學氣相沉積爐的碳化硅槳上；手動上料是使用吸筆或干凈手套把硅片從片盒 內(nèi)取出放在石英舟上，然后手動把石英舟放在低壓化學氣相沉積爐的碳化硅槳上。下料操 作順序與上料相反。其中，自動上下料使用的自動倒片器及自動上下料機，設備昂貴，每臺 爐子需要單獨配置一臺自動上下料機，提高了生產(chǎn)成本；且使用自動上下料時，只能采用與 片盒同等槽距的石英舟，硅片的擺放方式單一，使用范圍有限。手動上下料方式，操作難度 小，生產(chǎn)成本低，同時擺放方式可以選擇單片或雙片（面對面）擺放，石英舟也可以選擇任意 槽距。但目前所采用的手動上下料方式在把放好硅片的石英舟放在低壓化學氣相沉積爐的 碳化硅槳上的過程中，存在有石英舟或硅片掉落風險，甚至因人員站立不穩(wěn)，跌落受傷或造 成碳化硅槳斷裂，尤其是在較高位置爐管上下料的時候風險更大。 實用新型內(nèi)容
[0003] 鑒于現(xiàn)有技術中所存在的實際問題，本實用新型設計了一種可拆卸式手動硅片上 下料裝置，采取在低壓化學氣相沉積爐凈化工作臺的支撐架上，在碳化硅漿的下方增加一 個可拆卸上下料裝置的技術方案，以克服現(xiàn)有技術中手動上下料過程中硅片或石英舟可能 掉落的風險，提高人員操作的安全性、穩(wěn)定性。
[0004] 為達到上述設計目的，本實用新型采取的具體技術方案是：一種可拆卸式手動硅 片上下料裝置，主要由支撐三角架、支撐桿、支撐臂、片盒槽、止動螺絲、插銷、墊片、內(nèi)六角 螺絲、止動螺母、圓頭銷釘構成；其中，兩個支撐三腳架使用內(nèi)六角螺絲、墊片固定在低壓化 學氣相沉積爐凈化工作臺的支撐架上；兩個支撐臂使用止動螺絲和止動螺母與支撐三角架 連接在一起，支撐臂可在支撐三角支架上旋轉，用插銷固定，兩根支撐桿采用圓頭銷釘固定 在支撐臂上；片盒槽底部設計有凸臺，方便片盒槽卡放在兩個支撐桿之上。所述的一種可拆 卸式手動硅片上下料裝置，其中支撐桿長度尺寸為1000mm?1500mm，兩根支撐桿中心距為 50mm?200mm。所述的一種可拆卸式手動娃片上下料裝置，其中支撐臂長度尺寸為450mm? 700mm。所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其中片盒槽上部槽口長度、寬度、高度尺 寸分別160mm?500mm、100mm?200mm、50mm?200mm。所述的一種可拆卸式手動娃片上下 料裝置，其中片盒槽底部卡槽的長度、寬度、高度尺寸分別為160mm?500mm、50mm?100mm、 20mm?150mm。所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其中支撐桿、支撐臂均采用不銹 鋼方管制作。
[0005] 本實用新型設計的可拆卸式手動硅片上下料裝置結構簡單，拆裝方便，幾乎不占 用設備原有操作空間。在上下料過程中其支撐桿一定程度上也起到保護碳化硅漿的作用。 片盒槽占用空間小、重量輕，卡放在支撐桿上，在支撐桿的上下料范圍內(nèi)滑動，可防止片盒 槽掉落。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0006] 圖1為本實用新型安裝位置示意圖；
[0007] 圖2為本實用新型安裝位置示意圖的側視圖；
[0008] 圖3為支撐臂與支撐三角架組裝結構示意圖；
[0009] 圖4為片盒槽結構示意圖；
[0010] 圖5為支持桿組裝結構示意圖；
[0011] 圖中：1、支撐三腳架，2、支撐桿，3、支撐臂，4、片盒槽，5、止動螺絲，6、插銷，7、墊 片，8、內(nèi)六角螺絲，9、止動螺母，10、圓頭銷釘，11、凸臺，12、凈化工作臺支撐架，13、石英 舟，14、碳化硅漿，15、凈化工作臺。

【具體實施方式】
[0012] 下面結合附圖給出本實用新型的實施方式（以BTU7351X擴散爐為例）如下：
[0013] 如圖1、圖2、圖3、圖4、圖5所示，本實用新型所述的一種可拆卸式手動硅片上下 料裝置，主要由支撐三腳架1、支撐桿2、支撐臂3、片盒槽4、止動螺絲5、插銷6、墊片7、內(nèi) 六角螺絲8、止動螺母9、圓頭銷釘10構成。其中，兩個支撐三角架1用內(nèi)六角螺絲8、墊片 7固定在低壓化學氣相沉積爐凈化工作臺支撐支架12上，長度尺寸為450mm?700mm的兩 個支撐臂3使用止動螺絲5和止動螺母9與支撐三角架1連接在一起，支撐臂3可在支撐 三角架1上旋轉，用插銷6固定。長度尺寸為1000mm?1500mm的兩根支撐桿2采用圓頭 銷釘10固定在支撐壁3上，兩根支撐桿2的中心距為50mm?200mm。片盒槽4底部設有凸 臺11，片盒槽4卡放在兩根支撐桿2之上，保持片盒的穩(wěn)定性；片盒槽4上槽口的長度、寬 度、高度尺寸分別為160mm?500mm、100mm?200、50mm?200mm ;片盒槽4底部凸臺11的 長度、寬度、高度尺寸分別為160_?500mm、50mm?100mm、20mm?150mm。支撐桿2、支撐 臂3均采用不銹鋼方管制作。
[0014] 本實用新型所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置在需要上下料時，撥出插銷 6向外部方向旋轉支撐臂3呈90°，使支撐臂3與低壓化學氣相沉積爐的凈化工作臺垂直， 然后重新插入插銷6固定支撐臂3,避免支撐臂3轉動。接著把插有圓頭銷釘10的兩根支 撐桿2通過圓頭銷釘10插入支撐臂3上，最后把片盒槽4卡在支撐桿2上，再把裝滿硅片的 片盒放在片盒槽4內(nèi)。石英舟13正常加工時一直放在碳化硅漿14上，不用取下，因片盒、 硅片、碳化硅漿4、石英舟13全部在一個較小的空間內(nèi)，上料時可直接把硅片從片盒內(nèi)取出 放入石英舟13上，下料時直接把硅片從石英舟13上取下，放入在片盒內(nèi)，減少了石英舟13 從碳化硅漿上取下或放上的重復動作，避免了上下料過程中硅片或石英舟13掉落的風險。 在可拆卸式硅片手動上下料裝置停止工作時，取下片盒槽4,拆下支撐桿2,將支撐臂3旋轉 到緊貼低壓化學氣相沉積爐凈化工作臺的位置。
【權利要求】
1. 一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：可拆卸式手動硅片上下料裝置主要 由支撐三腳架（1)、支撐桿（2)、支撐臂（3)、片盒槽（4)、止動螺絲（5)、插銷（6)、墊片（7)、 內(nèi)六角螺絲（8)、止動螺母（9)、圓頭銷釘（10)構成；其中，兩個支撐三角架（1)用內(nèi)六角螺 絲（8)和墊片（7)固定在凈化工作臺支撐支架（12)上；兩個支撐臂（3)與支撐三角架（1) 采用止動螺絲（5)和止動螺母（9)連接在一起，支撐臂（3)可以旋轉，用插銷（6)固定；兩根 支撐桿（2)用圓頭銷釘（10)固定在支撐壁（3)上；片盒槽（4)底部設有凸臺（11)，凸臺（11) 卡放在兩個支撐桿（2)之上。
2. 根據(jù)權利要求1所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：支撐桿（2)長 度尺寸為1000mm?1500mm，兩根支撐桿（2)中心距為50mm?200mm。
3. 根據(jù)權利要求1所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：支撐臂（3)長 度尺寸為450mm?700mm。
4. 根據(jù)權利要求1所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：片盒槽（4)上 部槽口的長度、寬度、高度尺寸分別為160mm?500mm、100mm?200mm、50mm?200mm。
5. 根據(jù)權利要求1所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：片盒槽（4)底 部卡槽的長度、寬度、高度尺寸分別為160mm?500mm、50mm?100mm、20?150mm。
6. 根據(jù)權利要求1所述的一種可拆卸式手動硅片上下料裝置，其特征是：支撐桿（2)、 支撐臂（3)采用不銹鋼方管制作。
【文檔編號】C30B29/06GK203938750SQ201420269234
【公開日】2014年11月12日 申請日期:2014年5月26日 優(yōu)先權日:2014年5月26日
【發(fā)明者】苗利剛, 李海濤, 吳躍峰 申請人:洛陽單晶硅有限責任公司